JP2011119610A - 枚葉式の基板液処理装置における循環ラインの液交換方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】枚葉式の基板液処理装置10であって、処理液を循環させる循環ライン12と、前記循環ライン内に設けられたタンク13と、前記タンクに設けられた液面レベルセンサ14と、前記液面レベルセンサの出力に従って、前記タンク内に新しい処理液を補充する液補充部15と、所定の液廃棄条件と連動して設定される所定の補充停止条件に従って、前記液補充部の作動を停止させると共に、前記所定の液廃棄条件で前記タンク内の処理液を全て廃棄させる液交換制御部16と、を備える。
【選択図】図3
Description
11 基板処理室
12 循環ライン
13 タンク
14 液面レベルセンサ
15 液補充部
16 液交換制御部
17 ドレインバルブ
101 補充開始用の液面レベルセンサ
102 補充終了用の液面レベルセンサ
Claims (10)
- 枚葉式の基板液処理装置であって、
処理液を循環させる循環ラインと、
前記循環ライン内に設けられたタンクと、
前記タンクに設けられた液面レベルセンサと、
前記液面レベルセンサの出力に従って、前記タンク内に新しい処理液を補充する液補充部と、
所定の液廃棄条件と連動して設定される所定の補充停止条件に従って、前記液補充部の作動を停止させると共に、前記所定の液廃棄条件で前記タンク内の処理液を全て廃棄させる液交換制御部と、
を備えたことを特徴とする基板液処理装置。 - 前記所定の液廃棄条件及び前記所定の補充停止条件は、交換1回あたりの処理液の基板処理枚数に基づいて決定されるようになっている
ことを特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。 - 前記所定の液廃棄条件及び前記所定の補充停止条件は、交換1回あたりの処理液の使用時間に基づいて決定されるようになっている
ことを特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。 - 前記液補充部は、単一の液面レベルセンサの出力に従って、常時少量ずつ処理液を補充ずるようになっている
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の基板液処理装置。 - 枚葉式の基板液処理装置であって、
処理液を循環させる循環ラインと、
前記循環ライン内に設けられたタンクと、
前記タンクに設けられた液面レベルセンサと、
前記液面レベルセンサの出力に従って、前記タンク内に新しい処理液を補充する液補充部と、
所定の液廃棄条件と連動して設定される所定の補充停止条件に従って、前記液補充部の作動を停止させると共に、前記所定の液廃棄条件で前記タンク内の処理液を全て廃棄させる液交換制御部と、
を備えた液処理装置における液交換方法であって、
所定の液廃棄条件及び所定の補充停止条件を設定する工程と、
設定された所定の補充停止条件に従って、前記液補充部の作動を停止させる工程と、
設定された所定の液廃棄条件に従って、前記タンク内の処理液を全て廃棄させる工程と、
を備えたことを特徴とする基板液処理方法。 - 前記所定の液廃棄条件及び前記所定の補充停止条件は、交換1回あたりの処理液の基板処理枚数に基づいて決定されるようになっている
ことを特徴とする請求項5に記載の基板液処理方法。 - 前記所定の液廃棄条件及び前記所定の補充停止条件は、交換1回あたりの処理液の使用時間に基づいて決定されるようになっている
ことを特徴とする請求項5または6に記載の基板液処理方法。 - 設定された所定の補充停止条件が満たされるまで、前記液補充部は、単一の液面レベルセンサの出力に従って、常時少量ずつ処理液を補充ずるようになっている
ことを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに記載の基板液処理方法。 - 液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムであって、
前記制御装置によって実行されることにより、請求項5乃至8のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、プログラム。 - 液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムが記録された記録媒体であって、
前記プログラムが前記制御装置によって実行されることにより、請求項5乃至8のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、記録媒体。
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