JP2011096305A - 光学式磁気ディスク両面欠陥検査装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
一台の検査装置で従来の連続記録磁性媒体の磁気ディスクの表面欠陥の検査とディスクリートトラック方式、パターンドメディア方式の磁気ディスクの表面欠陥の検査を行うことを可能にする。
【解決手段】
連続記録磁性媒体の磁気ディスクの表面欠陥を検査するときには連続記録磁性媒体検査用のしきい値と比較して欠陥を検出し、ディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気ディスクの表面欠陥の検査するときにはディスク表面からの反射光を検出した信号のレベルに基いてデータ領域とサーボ領域とを識別し、それぞれの領域からの反射光検出信号を領域に応じたしきい値処理をして欠陥を検出するようにした。
【選択図】図1
Description
一方、(c)は次世代のディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気ディスク100−2で、ディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気ディスク100−2には、データの書き込み、読み出しを行うデータ領域1021とディスクの位置制御を行うためのサーボ領域1022が形成されている。(d)にその断面の一部を拡大した模式図を示す。基板1011の表面に磁性膜層1012(実際には、下地膜上に形成された多層膜で構成されている)が形成されその表面が保護膜1013で覆われた構造になっている。この磁性膜層1012は、データ領域1021では同じ形状のパターンが等ピッチに形成されているのに対して、サーボ領域1022では形状やピッチが異なるパターンが形成されている。そのため、表面が無欠陥の理想的な状態であっても、磁気ディスク100−2の表面にレーザを斜め方向から照射したときに、データ領域からの反射光とサーボ領域からの反射光には光量の差が生じてしまう(サーボ領域からの反射光量が大きくなる)。
テーブル部110は、試料(磁気ディスク)100を載置して回転可能なテーブル(スピンドル)111、テーブル111を回転の主軸に直角な方向に移動可能なステージ112を備えている。また、テーブル部は、図示していない試料100をチャックして保持する機構を備えている。
表面側の散乱光検出系1202は、試料100の表面からの反射光(正反射光と散乱光)のうち散乱光を集光する対物レンズに相当する第1の非球面フレネルレンズ123、集光された散乱光を集束させる集束レンズに相当する第2の非球面フレネルレンズ124、第2の非球面フレネルレンズ124で集束された散乱光を 通過させるピンホール1252を有して散乱光以外の迷光を遮光するピンホール板1251、ピンホール板1251のピンホール1252を通過した散乱光を高感度に検出する第1の光電変換器125(例えば、アバランシェ・フォトダイオード(APD)や光電子増倍管(PMT)など)を備える。
表面側の正反射光検出系1203は、試料100からの反射光(正反射光と散乱光)のうち正反射光を反射して光路を切替えるミラー126、光路を切替えられた正反射光を集光させる集光レンズ127、集光レンズ127で集光された正反射光を通過させて正反射光以外の迷光を遮光するピンホール1282を有するピンホール板1281、ピンホール1282を通過した正反射光を検出する第2の光電変換器129(APD)を備えている。ミラー126は、正反射光以外の光(散乱光)を反射しないように、十分に小さい形状に形成されている。第2の光電変換器129(APD)は、ディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気ディスクの表面欠陥のデータエリア上の微小な欠陥からの微弱な反射光とサーボエリアからの比較的強い反射光とを検出できるように、ゲインを調整しておく。
サーボ領域欠陥検出部142−12で検出されて欠陥信号1473とデータ領域欠陥検出部142−13で検出された欠陥信号1477とは、それぞれの欠陥が検出された位置の情報とともに一旦検査結果記憶部142−14に送られて記憶された後、欠陥判定部142−3に送られる。
欠陥判定部142−3では、表面側正反射光検出信号処理部142−1から送られてきた欠陥情報と表面側散乱光検出信号処理部142−2から送られてきた欠陥情報とを用いて試料100の表面側1001の各欠陥の種類(凹状欠陥、凸状欠陥、線状の欠陥等)、サイズレベル(例えば、大、中、小)を判定する。
欠陥判定部142−3で判定した結果は、欠陥の位置情報と共に統合処理部144に送られる。
また、裏面検査光学系130にプリズム133を用いることにより、試料100の裏面側1002の検査光学系を設置することが可能になり、装置全体をコンパクトに作成することを可能にした。
表面側検出信号処理部142と裏面側検出信号処理部143とで処理されたデータは統合処理部144へ送られて処理され、試料100の両面の欠陥情報として記憶部145に送られて格納されると共に、入出力部146にも送られて画面1461上に検査結果の情報を出力する。
本実施例においては、入出力部146の表示画面1461に図7に示した種類選択領域1462が表示されず、「連続記録磁性媒体」又は「ディスクリートトラックメディア/パターンドメディア」を選択する工程がない。
Claims (10)
- 検査対象の磁気ディスクを保持して回転と移動が可能なテーブル手段と、
該テーブル手段に保持された磁気ディスクの表面の傷や欠陥を光学的に検出する表面側欠陥検出手段と、
前記磁気ディスクの裏面の傷や欠陥を光学的に検出する裏面側欠陥検出手段と、
前記表面側欠陥検出手段からの出力と前記裏面側欠陥検出手段からの出力とを処理して欠陥を検出する処理手段と、
該処理手段で処理する条件を入力するとともに該処理手段で処理した結果を出力する表示画面を備えた入出力手段と、
前記テーブル手段と前記表面側欠陥検出手段と前記裏面側欠陥検出手段と前記処理手段と前記入出力手段とを制御する制御手段と
を備えた磁気ディスクの両面欠陥検査装置であって、
前記入出力手段は表示画面上に前記検査対象の磁気ディスクの種類を選択する選択部を表示し、前記制御手段は前記入出力手段の表示画面上で選択された磁気ディスクの種類に応じて前記処理手段を制御して前記検査対象である磁気ディスクの表面と裏面との欠陥を検出することを特徴とする光学式磁気ディスク両面欠陥検査装置。 - 前記入出力手段の表示画面上に表示する前記検査対象の磁気ディスクの種類を選択する選択部は、前記検査対象の磁気ディスクが連続記録磁気磁性媒体であるかディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気記録媒体であるかを選択する選択部であることを特徴とする請求項1に記載の光学式磁気ディスク両面欠陥検査装置。
- 検査対象の磁気ディスクを保持して回転と移動が可能なテーブル手段と、
該テーブル手段に保持された磁気ディスクの表面の傷や欠陥を光学的に検出する表面側欠陥検出手段と、
前記磁気ディスクの裏面の傷や欠陥を光学的に検出する裏面側欠陥検出手段と、
前記表面側欠陥検出手段からの出力と前記裏面側欠陥検出手段からの出力とを処理して欠陥を検出する処理手段と、
該処理手段で処理した結果を出力する表示画面を備えた出力手段と、
を備えた磁気ディスクの両面欠陥検査装置であって、
前記処理手段は、前記検査対象の磁気ディスクの種類を識別し、該識別した磁気ディスクの種類に応じて前記表面側欠陥検出手段からの出力と前記裏面側欠陥検出手段からの出力とを処理する処理条件を変えることを特徴とする光学式磁気ディスク両面欠陥検査装置。 - 前記処理手段は、前記検査対象の磁気ディスクが連続記録磁気磁性媒体の磁気ディスクであるかディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気ディスクであるかを識別し、ディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気ディスクであると識別した場合には、該磁気ディスクの表面をサーボ領域とデータ領域とに切り分けて欠陥を検出することを特徴とする請求項3に記載の光学式磁気ディスク両面欠陥検査装置。
- 前記表面側欠陥検出手段と前記裏面側欠陥検出手段とは、それぞれ
レーザ光源と
該レーザ光源から発射されたレーザを前記テーブル手段に保持された検査対象である磁気ディスクに照射する照射光学系と
前記レーザが照射された磁気ディスクからの反射光のうち正反射光を検出する正反射光検出光学系と
前記レーザが照射された磁気ディスクからの反射光のうち散乱光を検出する散乱光検出光学系と
を備え、前記散乱光検出光学系は非球面フレネルレンズを備えて構成されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の光学式磁気ディスク両面欠陥検査装置。 - 検査対象の磁気ディスクを回転させながら一方向に移動させ、
該回転しながら一方向に移動している前記磁気ディスクの表面側にレーザを照射して該レーザを照射された前記磁気ディスクの表面側からの反射光を検出し、
該回転しながら一方向に移動している前記磁気ディスクの裏面側にレーザを照射して該レーザを照射された前記磁気ディスクの裏面側からの反射光を検出し、
前記磁気ディスクの表面側からの反射光を検出して得た信号と前記磁気ディスクの裏面側からの反射光を検出して得た信号とを処理して前記磁気ディスクの表面側及び裏面側の欠陥を検出する
磁気ディスクの両面欠陥検査方法であって、
前記検査対象の磁気ディスクの種類を入力し、該入力した前記検査対象の磁気ディスクの種類に応じて前記欠陥を検出するステップにおいて前記磁気ディスクの表面側及び裏面側の欠陥を検出する検出条件を切替えることを特徴とする光学式磁気ディスク両面欠陥検査方法。 - 前記磁気ディスクの表面側及び裏面側の欠陥を検出する検出条件を切替えることが、前記検査対象の磁気ディスクが連続記録磁気磁性媒体であるかディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気記録媒体であるかを選択することであることを特徴とする請求項6に記載の光学式磁気ディスク両面欠陥検査方法。
- 検査対象の磁気ディスクを回転させながら一方向に移動させ、
該回転しながら一方向に移動している前記磁気ディスクの表面側にレーザを照射して該レーザを照射された前記磁気ディスクの表面側からの反射光を検出し、
該回転しながら一方向に移動している前記磁気ディスクの裏面側にレーザを照射して該レーザを照射された前記磁気ディスクの裏面側からの反射光を検出し、
前記磁気ディスクの表面側からの反射光を検出して得た信号と前記磁気ディスクの裏面側からの反射光を検出して得た信号とを処理して前記磁気ディスクの表面側及び裏面側の欠陥を検出する
磁気ディスクの両面欠陥検査方法であって、
前記磁気ディスクの表面側及び裏面側の欠陥を検出する工程において、前記検査対象の磁気ディスクの種類を識別し、該識別した磁気ディスクの種類に応じて前記磁気ディスクの表面側からの反射光を検出して得た信号と前記磁気ディスクの裏面側からの反射光を検出して得た信号とを処理する処理条件を変えることを特徴とする光学式磁気ディスク両面欠陥検査方法。 - 前記磁気ディスクの表面側及び裏面側の欠陥を検出する工程において、前記検査対象の磁気ディスクの種類を識別することが、連続記録磁気磁性媒体の磁気ディスクであるかディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気ディスクであるかを識別することであり、前記検査対象の磁気ディスクの種類がディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気ディスクであると識別した場合には、該磁気ディスクの表面をサーボ領域とデータ領域とに切り分けて欠陥を検出することを特徴とする請求項8に記載の光学式磁気ディスク両面欠陥検査方法。
- 前記磁気ディスクの表面側からの反射光を検出することと前記磁気ディスクの裏面側からの反射光を検出することとを、それぞれ前記レーザが照射された磁気ディスクからの反射光のうち正反射光と散乱光とを分離し、該分離した散乱光を非球面フレネルレンズで集光して検出することを特徴とする請求項6乃至9の何れかに記載の光学式磁気ディスク両面欠陥検査方法。
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