JP2011091152A - パワーモジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パワーモジュール(1)の基板(12)を多層基板で構成するとともに、その多層基板の一部にサーマルビア(13)を設ける。
【選択図】図1
Description
上記ベアチップ(10)に電気が流れると、該ベアチップ(10)が発熱する。ここで、上記冷却器(15)内を冷媒が流れている。そして、上記ベアチップ(10)の温度が冷媒の温度よりも高くなると、該ベアチップ(10)の熱が上記冷却器(15)へ伝えられる。
本実施形態によれば、上記パワーモジュール(1)の基板(12)を多層基板(12)とし、その多層基板(12)内に第3樹脂基板(12c)が形成されている。ここで、この多層基板(12)では、各基板が熱圧着によって互いに密着するように積層されている。このため、各基板間の接触熱抵抗は、従来のように絶縁部材を挟んで重ね合わせることによる接触熱抵抗に比べて小さい。
図2に示す本実施形態の変形例1のパワーモジュール(20)は、上記第3樹脂基板(12c)の厚みが上記第1及び第2樹脂基板(12a,12b)の厚みよりも薄くなっている。こうすると、図1に示すパワーモジュール(1)のように第1から第3樹脂基板(12a,12b,12c)を全て同一の厚みで構成した場合に比べて、上記第3樹脂基板(12c)の熱抵抗を小さくすることができる。これにより、上記第3樹脂基板(12c)内の熱の流れがスムーズになり、上記ベアチップ(10)の冷却効率を効果的にアップさせることができる。
図3に示す本実施形態の変形例2のパワーモジュール(30)は、上記冷却器(15)が上記第3樹脂基板(12c)の下面に形成されたパターンに半田付けで固定されている。
上記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
10 ベアチップ
11 ヒートスプレッダ
12 多層基板
12a 第1樹脂基板(第2基板)
12b 第2樹脂基板(第2基板)
12c 第3樹脂基板(第1基板)
13 サーマルビア
14 半田(接合部材)
15 冷却器(冷却部材)
Claims (6)
- 基板(12)と、該基板(12)の表面側に配置されたパワーデバイス用のベアチップ(10)と、該基板(12)の裏面側に配置されて上記ベアチップ(10)を冷却する冷却部材(15)とを備えたパワーモジュールであって、
上記基板(12)は、絶縁性を有する少なくとも1つ以上の第1基板(12c)と絶縁性を有する少なくとも1つ以上の第2基板(12a,12b)とが積層された多層基板(12)であって、
上記第1基板(12c)及び第2基板(12a,12b)のうちの第2基板(12a,12b)側に、上記ベアチップ(10)及び冷却部材(15)の間の位置で厚さ方向に貫通するサーマルビア(13)が設けられていることを特徴とするパワーモジュール。 - 請求項1において、
上記第2基板(12a,12b)が、上記多層基板(12)における上記ベアチップ(10)側の最外層を構成することを特徴とするパワーモジュール。 - 請求項1又は2において、
上記第1基板(12c)の熱伝導率は、上記第2基板(12a,12b)の熱伝導率よりも高いことを特徴とするパワーモジュール。 - 請求項1から3の何れか1つにおいて、
上記第1基板(12c)の厚みは、上記第2基板(12a,12b)の厚みよりも薄いことを特徴とするパワーモジュール。 - 請求項1から4の何れか1つにおいて、
上記第1基板(12c)と上記第2基板(12a,12b)は、樹脂製の基板であることを特徴とするパワーモジュール - 請求項1から5の何れか1つにおいて、
上記冷却部材(15)と上記基板(12)との間には、一端面が上記冷却部材(15)に密着して他端面が上記基板(12)に密着することにより上記冷却部材(15)を上記基板(12)に接合する接合部材(14)が設けられていることを特徴とするパワーモジュール。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013219227A (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-24 | Denso Corp | 電子装置 |
WO2014050081A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 株式会社デンソー | 電子装置 |
JP2014131081A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-07-10 | Denso Corp | 電子装置 |
JP2016009771A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-01-18 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
WO2020235148A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置及び電子機器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6432655A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-02 | Hitachi Chemical Co Ltd | Substrate for loading semiconductor element |
JPS6432656A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-02 | Hitachi Chemical Co Ltd | Manufacture of substrate for loading semiconductor element |
JP2002261454A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-09-13 | Hitachi Ltd | 回路基板、その製造方法、自動車用電子回路装置 |
JP2006196853A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-07-27 | Daikin Ind Ltd | ヒートポンプ装置 |
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2009
- 2009-10-21 JP JP2009242482A patent/JP2011091152A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6432655A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-02 | Hitachi Chemical Co Ltd | Substrate for loading semiconductor element |
JPS6432656A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-02 | Hitachi Chemical Co Ltd | Manufacture of substrate for loading semiconductor element |
JP2002261454A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-09-13 | Hitachi Ltd | 回路基板、その製造方法、自動車用電子回路装置 |
JP2006196853A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-07-27 | Daikin Ind Ltd | ヒートポンプ装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013219227A (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-24 | Denso Corp | 電子装置 |
WO2014050081A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 株式会社デンソー | 電子装置 |
JP2014082474A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-05-08 | Denso Corp | 電子装置 |
JP2014131081A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-07-10 | Denso Corp | 電子装置 |
CN104685619A (zh) * | 2012-09-25 | 2015-06-03 | 株式会社电装 | 电子装置 |
US9686854B2 (en) | 2012-09-25 | 2017-06-20 | Denso Corporation | Electronic device |
JP2016009771A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-01-18 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
WO2020235148A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置及び電子機器 |
US11961783B2 (en) | 2019-05-20 | 2024-04-16 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Semiconductor apparatus and electronic apparatus |
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