JP2011061418A - 水晶振動片及び水晶振動デバイス - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 123
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 80
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 72
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 72
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 27
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 27
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003064 anti-oxidating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】水晶振動片(10A)は、厚みすべり振動する水晶振動片と、水晶振動片の両面に形成される一対の励振電極(12a、12b)と、励振電極からそれぞれ引き出された一対の引出電極(13a、13b)と、引出電極と接続し導電性接着剤と接着する接続電極(14a、14b)とを備える。そして、接続電極側の励振電極の隅部(A3またはB4)は凸型に丸く形成されている。
【選択図】 図2
Description
また、凸型に丸く形成された励振電極の隅部の半径と凹型に丸く形成されている接続電極の半径とが同じである。
さらに、励振電極の丸く形成された隅部と接続電極との距離は、引出電極の長さと同等以上である。
<水晶振動子100の全体構成>
第1実施形態において、水晶振動片の一例として表面実装(SMD)型のATカットの水晶振動片について説明する。
ATカットの水晶振動片について説明する前に、そのATカットの水晶振動片が収容される水晶振動子100について、図1を参照しながら説明する。図1は、第1ATカットの水晶振動片10Aを収容した水晶振動子100の断面図である。
以下、第1実施形態の第1ATカットの水晶振動片10Aについて、図2を参照しながら説明する。
図2は、第1ATカットの水晶振動片10Aの平面図である。図2(a)は、第1ATカットの水晶振動片10Aの+Y’側(表面)の平面図である。図2(b)は、第1ATカットの水晶振動片10Aの−Y’側(裏面)の平面図である。
図2(a)に示されたように、水晶振動片11の+Y’側の主面に設けられた励振電極12aには、その−X’側に引き出された引出電極13aが形成される。引出電極13aは接続電極14aに接続されている。接続電極14aは水晶振動片11の−Z’側の端部を表裏で挟むように形成されている。さらに、−Y’側の主面に設けられた接続電極14aは、導電性接着剤16(図2(b)を参照)により連結部21a(図1を参照)に接合されている。
<第2ATカットの水晶振動片10Bの構成>
第2実施形態において、水晶振動片が収容される水晶振動子100の構成は第1実施形態と同じであるため、水晶振動片の一例として表面実装(SMD)型の第2ATカットの水晶振動片10Bについて、図3を参照しながら説明する。
(表面)の平面図である。図3(b)は、第2ATカットの水晶振動片10Bの−Y’側 (裏面)の平面図である。第2実施形態においてもX’軸、Y’軸及びZ’軸を用いる。
<第3ATカットの水晶振動片10Cの構成>
第3実施形態において、水晶振動片が収容される水晶振動子100の構成は第1実施形態と同じであるため、水晶振動片の一例として表面実装(SMD)型の第3ATカットの水晶振動片10Cについて、図4を参照しながら説明する。
<第4ATカットの水晶振動片10Dの構成>
第4実施形態において、水晶振動片が収容される水晶振動子100の構成は第1実施形態と同じであるため、水晶振動片の一例として表面実装(SMD)型の第4ATカットの水晶振動片10Dについて、図5を参照しながら説明する。
第4実施形態においても、接続電極24a、24bの形状を「L」字型にすれば、接続電極24a、24bと導電性接着剤16との接触面積が多くなる。
11 … 水晶振動片
12(12a、12b) 32(32a、32b) … 励振電極
13(13a、13b) … 引出電極
14(14a、14b)、24(24a、24b) … 接続電極
15 … 台座
16 … 導電性接着剤
17a、17b … 外部電極
18 … ベース
19a、19b … 壁
20 …蓋体
21 … 連結部
LA1、LA2 … 励振領域
100 … 水晶振動子
D … 引出電極のZ’方向の長さ
W1 … 水晶振動片のX’方向の幅
W2 … 励振電極のX’方向の幅
W3 … 引出電極のX’方向の幅
W4 … 接続電極のX’方向の幅
W5 … 第2及び第4実施形態の接続電極のX’方向の最小幅
H1 … 水晶振動片のZ’方向の長さ
H2 … 励振電極のZ’方向の長さ
H3 … 接続電極のZ’方向の最小長さ
Claims (6)
- 厚みすべり振動する水晶振動片と、前記水晶振動片の両面に形成される一対の励振電極と、前記励振電極からそれぞれ引き出された一対の引出電極と、前記引出電極と接続し導電性接着剤と接着する接続電極とを備えた水晶振動片であって、
前記接続電極側の前記励振電極の隅部は凸型に丸く形成されている水晶振動片。 - 前記接続電極側の前記励振電極の隅部に対向する前記接続電極は、凹型に丸く形成されている請求項1に記載の水晶振動片。
- 前記凸型に丸く形成された前記励振電極の隅部の半径と前記凹型に丸く形成されている前記接続電極の半径とが同じである請求項2に記載の水晶振動片。
- 前記接続電極側の前記励振電極の隅部に対向する前記接続電極は、L型に形成されている請求項1に記載の水晶振動片。
- 前記励振電極の丸く形成された隅部と前記接続電極との距離は、前記引出電極の長さと同等以上である請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の水晶振動片。
- 請求項1から請求項7に記載の水晶振動片と、
前記水晶振動片を固定するパッケージと、
を備えた水晶振動デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009207935A JP5378917B2 (ja) | 2009-09-09 | 2009-09-09 | 水晶振動片及び水晶振動デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009207935A JP5378917B2 (ja) | 2009-09-09 | 2009-09-09 | 水晶振動片及び水晶振動デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011061418A true JP2011061418A (ja) | 2011-03-24 |
JP5378917B2 JP5378917B2 (ja) | 2013-12-25 |
Family
ID=43948568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009207935A Expired - Fee Related JP5378917B2 (ja) | 2009-09-09 | 2009-09-09 | 水晶振動片及び水晶振動デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5378917B2 (ja) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5378917B2 (ja) | 2013-12-25 |
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