JP2011061085A - 強誘電体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】強誘電体キャパシタの上部電極上にコンタクトプラグを容易に形成することができ、かつ、強誘電体キャパシタ上方の水素バリア膜の破損を抑制した半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、半導体基板10上に設けられた複数のトランジスタと、複数のトランジスタ上に設けられた第1の層間絶縁膜ILD1と、第1の層間絶縁膜ILD1上に設けられた複数の強誘電体キャパシタCと、複数の強誘電体キャパシタCの上面および側面を被覆する第1の水素バリア膜HB1と、強誘電体キャパシタCの上方に設けられ、並びに、隣接する2つの強誘電体キャパシタC間に間隙または空孔Hを有する状態で埋め込まれた第2の層間絶縁膜ILD2と、間隙または空孔Hの開口部を閉じるように第2の層間絶縁膜ILD2上を被覆するカバー絶縁膜CIと、カバー絶縁膜CI上を被覆する第2の水素バリア膜HB2とを備える。
【選択図】図2
【解決手段】半導体記憶装置は、半導体基板10上に設けられた複数のトランジスタと、複数のトランジスタ上に設けられた第1の層間絶縁膜ILD1と、第1の層間絶縁膜ILD1上に設けられた複数の強誘電体キャパシタCと、複数の強誘電体キャパシタCの上面および側面を被覆する第1の水素バリア膜HB1と、強誘電体キャパシタCの上方に設けられ、並びに、隣接する2つの強誘電体キャパシタC間に間隙または空孔Hを有する状態で埋め込まれた第2の層間絶縁膜ILD2と、間隙または空孔Hの開口部を閉じるように第2の層間絶縁膜ILD2上を被覆するカバー絶縁膜CIと、カバー絶縁膜CI上を被覆する第2の水素バリア膜HB2とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体記憶装置に関する。
一般に、強誘電体メモリに用いられる強誘電体材料は水素に晒されると還元され、それにより、分極特性が劣化する。従来から、強誘電体材料の劣化を抑制するために、強誘電体キャパシタの周辺に水素バリア膜を形成していた。
水素バリア膜は、水素が強誘電体キャパシタへ侵入しないように、強誘電体キャパシタの下方、強誘電体キャパシタの側面、強誘電体キャパシタの上方に設けられていた。強誘電体キャパシタの上方から水素の侵入を抑制するために、水素バリア膜は、強誘電体キャパシタを被覆する層間絶縁膜上にも堆積されていた。
しかし、隣接する2つの強誘電体キャパシタ間に充填された層間絶縁膜内に間隙または空孔が形成される場合がある。層間絶縁膜上に水素バリア膜を堆積したとき、この水素バリア膜は、層間絶縁膜内の間隙または空孔の開口部において破損してしまう。この場合、水素が水素バリア膜の破損部分から強誘電体キャパシタへ侵入してしまう。
水素バリア膜の破損を抑制するために水素バリア膜の膜厚を厚くすることが考えられる。しかし、水素バリア膜が厚いと、強誘電体キャパシタの上部電極に接触するコンタクトプラグを形成する際に、水素バリア膜のエッチングに時間がかかってしまう。
強誘電体キャパシタの上部電極上にコンタクトプラグを容易に形成することができ、かつ、強誘電体キャパシタ上方の水素バリア膜の破損を抑制した半導体記憶装置を提供する。
本発明に係る実施形態に従った半導体記憶装置は、半導体基板上に設けられた複数のトランジスタと、前記複数のトランジスタ上に設けられた第1の層間絶縁膜と、前記第1の層間絶縁膜上に設けられた複数の強誘電体キャパシタと、前記複数の強誘電体キャパシタの上面および側面を被覆する第1の水素バリア膜と、前記強誘電体キャパシタの上方に設けられ、並びに、隣接する2つの前記強誘電体キャパシタ間に間隙または空孔を有する状態で埋め込まれた第2の層間絶縁膜と、前記間隙または空孔の開口部を閉じるように前記第2の層間絶縁膜上を被覆するカバー絶縁膜と、前記カバー絶縁膜上を被覆する第2の水素バリア膜とを備えている。
本発明に係る実施形態に従った半導体記憶装置は、半導体基板上に設けられた複数のトランジスタと、前記複数のトランジスタ上に設けられた第1の層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に設けられた複数の強誘電体キャパシタと、前記複数の強誘電体キャパシタの上面および側面を被覆する第1の水素バリア膜と、前記強誘電体キャパシタの上方に設けられ、並びに、隣接する2つの前記強誘電体キャパシタ間に間隙または空孔を有する状態で埋め込まれた第2の層間絶縁膜と、前記間隙または空孔の内部を埋め込み、かつ、前記第2の層間絶縁膜上を被覆する第2の水素バリア膜とを備えている。
本発明による半導体記憶装置は、強誘電体キャパシタの上部電極上にコンタクトプラグを容易に形成することができ、かつ、強誘電体キャパシタ上方の水素バリア膜の破損を抑制することができる。
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
(第1の実施形態)
図1は、本発明に係る第1の実施形態に従った強誘電体メモリの構成を示す断面図である。図1には、セルトランジスタ(T)のソース−ドレイン間にキャパシタ(C)の両端をそれぞれ接続し、これをユニットセルUC(以下、メモリセルMCともいう)とし、このユニットセルUCを複数直列に接続した「TC並列ユニット直列接続型強誘電体メモリ」を示している。図1は、複数のユニットセルUCが直列接続される方向(ビット線130の延伸方向)に沿った断面図である。尚、本実施形態は、TC並列ユニット直列接続型強誘電体メモリに限らず、強誘電体キャパシタを備えた任意のメモリに適用可能である。
図1は、本発明に係る第1の実施形態に従った強誘電体メモリの構成を示す断面図である。図1には、セルトランジスタ(T)のソース−ドレイン間にキャパシタ(C)の両端をそれぞれ接続し、これをユニットセルUC(以下、メモリセルMCともいう)とし、このユニットセルUCを複数直列に接続した「TC並列ユニット直列接続型強誘電体メモリ」を示している。図1は、複数のユニットセルUCが直列接続される方向(ビット線130の延伸方向)に沿った断面図である。尚、本実施形態は、TC並列ユニット直列接続型強誘電体メモリに限らず、強誘電体キャパシタを備えた任意のメモリに適用可能である。
本実施形態による強誘電体メモリは、シリコン基板10と、シリコン基板10上に設けられたセルトランジスタTと、セルトランジスタT上に形成された第1の層間絶縁膜ILD1と、第1の層間絶縁膜ILD1の上方に設けられた強誘電体キャパシタCとを備えている。図示はしないが、複数の強誘電体キャパシタCが、シリコン基板10の上方にマトリクス状に二次元配置されている。
セルトランジスタTのゲートがワード線WLとして機能する。ビット線130とワード線WLとは互いに直交している。配線140は、ワード線WLに接続されており、ワード線WLを低抵抗化している。
図2は、図1の2−2線に沿った拡大断面図である。図2では、3つの強誘電体キャパシタの断面を示している。シリコン基板10に素子分離STI(Shallow Trench Isolation)が形成されている。隣接する2つのSTI間にアクティブ領域AAが形成されている。セルトランジスタTは、アクティブ領域AA上に形成されている。尚、図2は、ワード線WLの延伸方向に沿った断面図であるので、セルトランジスタTは拡散層DL1以外現れていない。
第1の層間絶縁膜ILD1は、シリコン基板10上に堆積されている。第1の層間絶縁膜ILD1は、例えば、BPSG(Boron Phosphorous Silicate Glass)またはTEOS(Tetra Ethoxy Silane)等を用いたシリコン酸化膜により形成されている。底部水素バリア膜HBBが第1の層間絶縁膜ILD1上に設けられている。底部水素バリア膜HBBは、例えば、Al2O3またはSiN等からなる。底部水素バリア膜HBBは、強誘電体キャパシタCの底部から侵入しようとする水素をブロックするために設けられている。中間絶縁膜MLDが底部水素バリア膜HBB上に設けられている。中間絶縁膜MLDは、例えば、シリコン酸化膜からなる。
第1のコンタクトプラグCP1およびCP10が中間絶縁膜MLD、底部水素バリア膜HBBおよび第1の層間絶縁膜ILD1を貫通するように設けられている。第1のコンタクトプラグCP1およびCP10は、例えば、タングステンまたはドープトポリシリコン等からなる。CP1およびCP10は、同時に形成されているためともに第1のコンタクトプラグと呼ぶが、CP1は、拡散層DL1に接続されたコンタクトプラグであり、CP10は、拡散層DL2に接続されたコンタクトプラグである。尚、図2は、ワード線WLの延伸方向に沿った断面図であるので、CP10は現れていない。
強誘電体キャパシタCが第1のコンタクトプラグCP1上に設けられている。強誘電体キャパシタCの下部電極LEは、第1のコンタクトプラグCP1を介してセルトランジスタTの一方の拡散層DL1に電気的に接続されている。
強誘電体キャパシタCは、下部電極LE、強誘電体膜FEおよび上部電極UEを有する。下部電極LEの材料は、例えば、Ti、TiN、TiAlN、Pt、Ir、IrO2、SRO、Ru、RuO2等の単層膜、あるいは、これらの積層膜からなる。強誘電体膜FEの材料は、例えば、PZT(Pb(ZrxTi(1−x))O3)、SBT(SrxBiyTazOa)、BLT(BixLayOz)等からなる。ここで、x、y、z、aは正数である。上部電極UEの材料は、例えば、Pt、Ir、IrO2、SRO、Ru、RuO2等の単層膜、あるいは、これらの積層膜からなる。
強誘電体キャパシタCの上面および側面は、第1の水素バリア膜HB1で被覆されている。第1の水素バリア膜HB1は、例えば、Al2O3、SiN等からなる。
第2の層間絶縁膜ILD2が、第1の水素バリア膜HB1を介して強誘電体キャパシタCの上面および側面上に設けられている。第2の層間絶縁膜ILD2は、例えば、BPSGまたはTEOS等を用いたシリコン酸化膜により形成されている。第2の層間絶縁膜ILD2は、その表面が平坦化されている。第2の層間絶縁膜ILD2は、隣接する2つの強誘電体キャパシタC間に間隙または空孔を有する状態で埋め込まれている。この間隙または空孔は、その開口部がカバー絶縁膜CIで覆われ、閉じられることによって空洞Hとして残存する。
カバー絶縁膜CIは、例えば、BPSGまたはTEOS等を用いたシリコン酸化膜により形成されている。カバー絶縁膜CIは、第2の層間絶縁膜ILD2と異なる材料で形成されてもよいが、第2の層間絶縁膜ILD2と同じ材料(SiO2)で形成されていてもよい。
第2の水素バリア膜HB2がカバー絶縁膜CI上を被覆するように形成されている。第2の水素バリア膜HB2は、例えば、Al2O3またはSiN等からなる。カバー絶縁膜CIの膜厚は、第2の水素バリア膜HB2の膜厚より厚くてよい。カバー絶縁膜CIの材料は、第2の水素バリア膜HB2の材料に比べてエッチング速度(例えば、RIE(Reactive Ion Etching)によるエッチング速度)が速い材料で形成されているからである。従って、カバー絶縁膜CIを厚く形成しても、カバー絶縁膜CIはエッチング時間をさほど長期化しない。カバー絶縁膜CIを第2の水素バリア膜HB2よりも厚く形成することによって、カバー絶縁膜CIは、間隙または空孔の開口部を被覆することができる。その結果として、空洞Hが隣接する2つの強誘電体キャパシタC間に残存する。
しかし、カバー絶縁膜CIが間隙または空孔の開口部を被覆しているので、第2の水素バリア膜HB2は破損せずに、カバー絶縁膜CIの上面全体を被覆することができる。これにより、水素が強誘電体キャパシタCの上方から侵入することを防止することができる。
カバー絶縁膜CIおよび第2の水素バリア膜HB2は、平坦化された第2の層間絶縁膜上に堆積されている。これによって、第2の水素バリア膜HB2は、その被覆性が向上し、水素バリアの効果を充分に発揮することができる。
第3の層間絶縁膜ILD3が、第2の水素バリア膜HB2上に設けられている。第3の層間絶縁膜ILD3は、第2の層間絶縁膜ILD2と同じ材料で形成されていてよい。さらに、第3の層間絶縁膜ILD3、第2の水素バリア膜HB2、カバー絶縁膜CI、第2の層間絶縁膜ILD2および第1の水素バリア膜HB1を貫通するように第2のコンタクトプラグCP2が形成されている。第2のコンタクトプラグCP2は、例えば、W、Al、TiN、Cu、Ti、Ta、TaN等のいずれかを含む材料で形成されている。
第3の層間絶縁膜ILD3、第2の水素バリア膜HB2、カバー絶縁膜CI、第2の層間絶縁膜ILD2および第1の水素バリア膜HB1を貫通し、コンタクトプラグCP10と電気的に接続されるように第3のコンタクトプラグCP3が形成されている。第3のコンタクトプラグCP3は、例えば、タングステンまたはドープトポリシリコン等からなる。尚、図2は、ワード線WLの延伸方向に沿った断面図であるので、CP3は現れていない。
ローカル配線LICが第2、第3のコンタクトプラグCP2、CP3上に形成されている。ローカル配線LICは、例えば、W、Al、TiN、Cu、Ti、Ta、TaN等のいずれかを含む材料で形成されている。ローカル配線LICは、第2のコンタクトプラグCP2を介して上部電極UEに電気的に接続されている。
このように、第1の実施形態では、カバー絶縁膜CIが第2の水素バリア膜HB2の下に設けられている。これによって、第2の水素バリア膜HB2は、間隙または空孔の開口部で破損することなく、強誘電体キャパシタCの上方を被覆することができる。その結果、第1の実施形態は、水素の侵入から強誘電体キャパシタCを確実に保護することができる。
第1の実施形態では、第2の水素バリア膜HB2は、水素を阻止するのに充分な厚み(例えば、約10nm)を有すればよく、それ以上に厚くする必要はない。第2の水素バリア膜HB2は、このように非常に薄くても、水素バリア効果を充分に発揮することができる。第2の水素バリア膜HB2を薄くすることによって、第2のコンタクトプラグCP2を形成する際のエッチングが容易になる。
図3から図6は、第1の実施形態による強誘電体メモリの製造方法を示す断面図である。
シリコン基板10上にSTIを形成する。これにより、アクティブ領域AAが決定される。セルトランジスタTをアクティブ領域AA上に形成する。セルトランジスタTは、通常のMISFET(Metal Insulation Semiconductor Field Effect Transistor)と同様の製造方法で形成され得る。従って、ここではセルトランジスタTの製造方法の詳細についての説明は省略する。
次に、シリコン基板10およびセルトランジスタT上に第1の層間絶縁膜ILD1が堆積される。CMP(Chemical Mechanical Polishing)を用いて第1の層間絶縁膜ILD1の上面が平坦化される。次に、底部水素バリア膜HBBおよび中間絶縁膜MLDが第1の層間絶縁膜ILD1上に堆積される。
次に、リソグラフィおよびRIEを用いて、拡散層DL1、DL2上にある中間絶縁膜MLD、底部水素バリア膜HBBおよび第1の層間絶縁膜ILD1が選択的に除去される。これにより、コンタクトホールが拡散層DL1、DL2上に開口される。次に、コンタクトホール内に導電材料(タングステンまたはドープトポリシリコン)が埋め込まれ、CMPを用いてこの導電材料を平坦化する。これにより、図3に示すように、コンタクトプラグCP1が形成される。
次に、下部電極LE、強誘電体膜FEおよび上部電極UEの各材料が中間絶縁膜MLDおよび第1のコンタクトプラグCP1上に堆積される。下部電極LEと第1のコンタクトプラグCP1との間に、導電性の水素バリア膜50が設けられていてもよい。水素バリア膜50は、例えば、チタンナイトライド(T3N4等)、チタンアルミニウムナイトライド(TixAlyNz等)、タングステンナイトライド(WxNy等)、チタニウム(Ti)の単層膜、あるいは、これらの積層膜からなる。
次に、マスク材料(図示せず)が上部電極UEの材料上に堆積される。マスク材料は、例えば、シリコン酸化膜、Al2O3またはTiAlN等である。次に、リソグラフィおよびRIEを用いて、マスク材料をパターニングする。続いて、パターニング後のマスク材料をマスクとして用いて、上部電極UE、強誘電体膜FEおよび下部電極LEを連続的に加工する。これにより、図4に示すように、強誘電体キャパシタCが形成される。このとき、隣接する強誘電体キャパシタC間において、底部水素バリア膜HBBまでオーバーエッチングする。
次に、強誘電体キャパシタCの上面および側面を被覆するように、第1の水素バリア膜HB1を堆積する。第1の水素バリア膜HB1は、底部水素バリア膜HBBと接触し、それにより、強誘電体キャパシタCを囲む。
次に、PECVD(Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition)やスパッタ等を用いて、第1の水素バリア膜HB1上に第2の層間絶縁膜ILD2を堆積し、第2の層間絶縁膜ILD2の上面を平坦化する。第2の層間絶縁膜ILD2は、強誘電体キャパシタCの上面上に堆積されるだけでなく、隣接する強誘電体キャパシタC間も充填する。近年の強誘電体メモリの微細化に伴い、隣接する強誘電体キャパシタC間のアスペクト比が非常に高くなってきている。従って、隣接する強誘電体キャパシタC間に充填される第2の層間絶縁膜ILD2は、図5に示すように間隙または空孔Vを含むことが多い。この場合、図7(A)の比較例に示すように、第2の層間絶縁膜ILD2上に薄い水素バリア膜HB2を直接堆積した場合、水素バリア膜HB2が破損してしまう。
本実施形態では、PECVDやスパッタ等を用いて図6に示すように、第2の層間絶縁膜ILD2上にカバー絶縁膜CIを堆積し、カバー絶縁膜CI上に第2の水素バリア膜HB2を堆積する。図7(B)および図7(C)は、カバー絶縁膜CIおよび第2の水素バリア膜HB2が堆積される様子を示す拡大断面図である。図7(B)に示すように、第2の水素バリア膜HB2よりも厚いカバー絶縁膜CIを第2の層間絶縁膜ILD2上に堆積することによって、カバー絶縁膜CIは、破損することなく、間隙または空孔Vの開口部を塞ぐことができる。図7(C)に示すように、カバー絶縁膜CI上に第2の水素バリア膜HB2を堆積することによって、第2の水素バリア膜HB2は、破損することなく、カバー絶縁膜CI上を被覆することができる。
カバー絶縁膜CIにより間隙または空孔Vの開口部を塞ぐことにより水素バリア膜HB2の膜厚が薄くても間隙または空孔により破れることがなく、10nm程度に薄くても安定な水素バリア膜を形成できる。カバー絶縁膜CIは、一般的に層間絶縁膜として用いられるシリコン酸化膜等の材料である。水素バリア膜HB2は、層間絶縁膜(シリコン酸化膜)よりも水素の透過性の低いアルミナやシリコン窒化膜等を用いる。これらは一般にシリコン酸化膜よりもエッチング速度の遅い材料である。よって、水素バリア膜HB2の膜厚を薄くできることによって、第2のコンタクトプラグCP2の形成が容易になる。
次に、第2の水素バリア膜HB2上に第3の層間絶縁膜ILD3を堆積する。上部電極UEに達するコンタクトホールが開口される。次に、MOCVD(Metalorganic CVD)、スパッタ、メッキ、スパッタリフロ等のいずれかを用いて、コンタクトホール内に導電材料を埋め込む。続いて、CMPを用いてこの導電材料を平坦化する。これにより、第2のコンタクトプラグCP2が形成される。同様にコンタクトプラグCP10に接続されるコンタクトプラグCP3の形成を行う。
さらに、第2のコンタクトプラグCP2および第3のコンタクトプラグCP3上にローカル配線LICを形成することによって、図2に示す構造が得られる。
本実施形態によれば、間隙または空孔Vが隣接する強誘電体キャパシタC間の第2の層間絶縁膜ILD2に形成されたとしても、第2の水素バリア膜HB2は破損せず、第2の層間絶縁膜ILD2上を被覆することができる。
(第2の実施形態)
図8は、本発明に係る第2の実施形態に従った強誘電体メモリの構成を示す断面図である。第2の実施形態では、カバー絶縁膜CIが、第2の層間絶縁膜ILD2を被覆するとともに、間隙または空孔Vの内部を埋め込んでいる。第2の実施形態のその他の構成は、対応する第1の実施形態の構成と同様でよい。第2の実施形態は、製造後に空洞Hを有さないが、間隙または空孔Vを埋め込むことによって、第2の水素バリア膜HB2の破損を防止している。従って、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図8は、本発明に係る第2の実施形態に従った強誘電体メモリの構成を示す断面図である。第2の実施形態では、カバー絶縁膜CIが、第2の層間絶縁膜ILD2を被覆するとともに、間隙または空孔Vの内部を埋め込んでいる。第2の実施形態のその他の構成は、対応する第1の実施形態の構成と同様でよい。第2の実施形態は、製造後に空洞Hを有さないが、間隙または空孔Vを埋め込むことによって、第2の水素バリア膜HB2の破損を防止している。従って、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
第2の実施形態は、空洞Hを有さないので、水、水素、構成原子に水素原子を含む気体等の異物が空洞Hに溜まることを防止でき、それによる強誘電体キャパシタの劣化を抑制できる。
第2の実施形態の製造方法は、図3から図5を参照して説明した工程を経た後、カバー膜CIの材料をALD(Atomic Layer Deposition)あるいはコーティングにより堆積する。ALDを用いてSiO2を堆積した場合、通常のCVDと異なり、カバー絶縁膜CIを狭い間隙または空孔Vの内部まで堆積させることができる。一方、ALDを用いると製造コストが上がる。従って、SOGなどの塗布型酸化膜でカバー絶縁膜CIを第2の層間絶縁膜ILD2上に形成してもよい。例えば、PSZ(ポリシラザン)を第2の層間絶縁膜ILD2上に塗布し、カバー絶縁膜CIを形成してもよい。その後、第2の水素バリア膜HB2を第1の実施形態と同様にカバー絶縁膜CI上に堆積する。
第2の実施形態のその後の製造工程は、対応する第1の実施形態の製造工程と同様でよい。これにより、第2の実施形態による強誘電体メモリが完成する。
(第3の実施形態)
図9は、本発明に係る第3の実施形態に従った強誘電体メモリの構成を示す断面図である。第3の実施形態では、第2の水素バリア膜HB2が、第2の層間絶縁膜ILD2を被覆するとともに、間隙または空孔Vの内部を埋め込んでいる。第3の実施形態では、カバー絶縁膜CIが省略されている。第3の実施形態のその他の構成は、対応する第1の実施形態の構成と同様でよい。第3の実施形態は、製造後に空洞Hを有さないが、第2の水素バリア膜HB2自身が間隙または空孔Vを埋め込む。これによって、第2の水素バリア膜HB2は破損しない。従って、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図9は、本発明に係る第3の実施形態に従った強誘電体メモリの構成を示す断面図である。第3の実施形態では、第2の水素バリア膜HB2が、第2の層間絶縁膜ILD2を被覆するとともに、間隙または空孔Vの内部を埋め込んでいる。第3の実施形態では、カバー絶縁膜CIが省略されている。第3の実施形態のその他の構成は、対応する第1の実施形態の構成と同様でよい。第3の実施形態は、製造後に空洞Hを有さないが、第2の水素バリア膜HB2自身が間隙または空孔Vを埋め込む。これによって、第2の水素バリア膜HB2は破損しない。従って、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
第3の実施形態も、空洞Hを有さないので、水、水素、構成原子に水素原子を含む気体等の異物が空洞Hに溜まることを防止でき、それによる強誘電体キャパシタの劣化を抑制できる。
第3の実施形態の製造方法は、図3から図5を参照して説明した工程を経た後、第2の水素バリア膜の材料をALDにより堆積する。例えば、第2の水素バリア膜の材料としてAl2O3またはSiNをALDを用いて堆積する。この場合、通常のCVDと異なり、第2の水素バリア膜の材料を狭い間隙または空孔Vの内部まで堆積させることができる。一方、ALDを用いると製造コストが上がる。しかし、カバー絶縁膜CIを堆積する必要が無いので、製造工程数は減少する。従って、その分、製造コストの増加を抑制、あるいは、製造コストを削減することができる。
さらに、カバー絶縁膜CIが堆積されないので、上部電極UE上に形成されるコンタクトホールのアスペクト比を低減できる。これは、ローカル配線LICと上部電極UEとの接触抵抗を低減させ、かつ、コンタクト不良を抑制することができる。
(第4の実施形態)
図10は、本発明に係る第4の実施形態に従った強誘電体メモリの構成を示す断面図である。第4の実施形態では、強誘電体キャパシタCの側面が、強誘電体キャパシタの底面または上面に対して70度以下の傾きを有する順テーパー状に形成されている。このとき、例えば、強誘電体キャパシタCの高さHIGHは、約300nm〜約400nmであった。隣接する強誘電体キャパシタC間の間隔Dは、約60nm〜約100nmであった。また、第1の水素バリア膜HB1の膜厚は、約50〜約100nmであった。この場合、第2の層間絶縁膜ILD2内に間隙または空孔Vが発生しない。
図10は、本発明に係る第4の実施形態に従った強誘電体メモリの構成を示す断面図である。第4の実施形態では、強誘電体キャパシタCの側面が、強誘電体キャパシタの底面または上面に対して70度以下の傾きを有する順テーパー状に形成されている。このとき、例えば、強誘電体キャパシタCの高さHIGHは、約300nm〜約400nmであった。隣接する強誘電体キャパシタC間の間隔Dは、約60nm〜約100nmであった。また、第1の水素バリア膜HB1の膜厚は、約50〜約100nmであった。この場合、第2の層間絶縁膜ILD2内に間隙または空孔Vが発生しない。
第4の実施形態のその他の構成は、対応する第3の実施形態の構成と同様でよい。
図11は、強誘電体キャパシタCのテーパーの角度θと空孔Vの発生率との関係を示すグラフである。図11のグラフに示すように、上記条件のもと、テーパー角が70度以下の場合に、空孔Vの発生率はほぼゼロになる。
強誘電体キャパシタCのテーパー角を低下させる余地がある場合にのみ適用可能である。しかし、第4の実施形態は、従来の製造方法に対して大きな変更を加えることなく第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
C…強誘電体キャパシタ、UE…上部電極、FE…強誘電体膜、LE下部電極、T…セルトランジスタ、ILD1〜ILD3…第1から第3の層間絶縁膜、MLD…中間絶縁膜、CP10,CP1〜CP3…第1から第3のコンタクトプラグ、HBB…底部水素バリア膜、HB1、HB2…第1、第2の水素バリア膜、CI…カバー膜、LIC…ローカル配線、V…間隙または空孔、C…空洞
Claims (6)
- 半導体基板上に設けられた複数のトランジスタと、
前記複数のトランジスタ上に設けられた第1の層間絶縁膜と、
前記第1の層間絶縁膜上に設けられた複数の強誘電体キャパシタと、
前記複数の強誘電体キャパシタの上面および側面を被覆する第1の水素バリア膜と、
前記強誘電体キャパシタの上方に設けられ、並びに、隣接する2つの前記強誘電体キャパシタ間に間隙または空孔を有する状態で埋め込まれた第2の層間絶縁膜と、
前記間隙または空孔の開口部を閉じるように前記第2の層間絶縁膜上を被覆するカバー絶縁膜と、
前記カバー絶縁膜上を被覆する第2の水素バリア膜とを備えた半導体記憶装置。 - 隣接する2つの前記強誘電体キャパシタ間に前記間隙または空孔による空洞が残存することを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記カバー膜は、前記間隙または空孔の内部を埋め込み、かつ、前記第2の層間絶縁膜上を被覆することを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記カバー絶縁膜の膜厚は、前記第2の水素バリア膜の膜厚よりも厚いことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の半導体記憶装置。
- 前記カバー絶縁膜のエッチング速度は、前記第2の水素バリア膜のエッチング速度よりも速いことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の半導体記憶装置。
- 半導体基板上に設けられた複数のトランジスタと、
前記複数のトランジスタ上に設けられた第1の層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に設けられた複数の強誘電体キャパシタと、
前記複数の強誘電体キャパシタの上面および側面を被覆する第1の水素バリア膜と、
前記強誘電体キャパシタの上方に設けられ、並びに、隣接する2つの前記強誘電体キャパシタ間に間隙または空孔を有する状態で埋め込まれた第2の層間絶縁膜と、
前記間隙または空孔の内部を埋め込み、かつ、前記第2の層間絶縁膜上を被覆する第2の水素バリア膜とを備えた半導体記憶装置。
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