JP2011049297A - 薄膜トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基板上に少なくともゲート電極、ゲート絶縁層、酸化物を含む半導体層、ソース電極およびドレイン電極が設けられ、前記ゲート絶縁層は前記絶縁基板と接触する下部ゲート絶縁層と、該下部ゲート絶縁層の上に形成された一層以上の上部ゲート絶縁層を積層してなる薄膜トランジスタの製造方法であって、前記下部ゲート絶縁層がイオンビームスパッタ法により成膜されることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法としたものである。
【選択図】図1
Description
なお、膜厚が10nm以下又は200nm以上であっても、基板全体が被覆され膜剥離や基板の反り等の問題が生じなければ、これを妨げるものではない。
実施例1では図4に示すような薄膜トランジスタを作製した。
図4において下部ゲート絶縁層12aの膜厚を200nm、上部ゲート絶縁層12bの膜厚を250nmとした以外は実施例1と同様に素子を作製し、薄膜トランジスタ素子2を得た。
図4において下部ゲート絶縁層12aの膜厚を250nm、上部ゲート絶縁層12bの膜厚を200nmとした以外は実施例1と同様に素子を作製し、薄膜トランジスタ素子3を得た。
図4において下部ゲート絶縁層12aの膜厚を10nm、上部ゲート絶縁層12bの膜厚を440nmとした以外は実施例1と同様に素子を作製し、薄膜トランジスタ素子4を得た。
図4において上部ゲート絶縁層12bとして平行平板型プラズマCVD装置を用いてSiO2を成膜した以外は実施例1と同様に素子を作製し、薄膜トランジスタ素子5を得た。SiO2は基板温度を120℃とし、ヘキサメチルジシロキサン(50℃)をガス流量5SCCM、O2をガス流量50SCCM流し、投入電力100W、成膜圧力20Paとして成膜した。
図4において上部ゲート絶縁層12bとしてポリビニルフェノールをスピンコーターを用いて1000nm成膜し、成膜後180℃で1時間、大気中で熱処理を行った以外は実施例1と同様に素子を作製し、薄膜トランジスタ素子6を得た。
図5においてゲート絶縁層12として、SiON(膜厚450nm)をRFマグネトロンスパッタ装置を用いて単層で形成した以外は、実施例1と同様に作製し、薄膜トランジスタ素子7を得た。SiONの成膜条件は、投入電力500W、ガス流量Ar=50SCCM、O2=20SCCM、成膜圧力1.0Paとした。
このような薄膜効果トランジスタは電子ペーパー、LCD、有機ELディスプレイ等のスイッチング素子として利用できる。また特にフレキシブル基材を基板とするフレキシブルディスプレイや、ICカード、ICタグ等にも広く応用することができる。
11 ゲート電極
12 ゲート絶縁層
12a 下部ゲート絶縁層
12b 上部ゲート絶縁層
13 半導体層
14 ソース電極
15 ドレイン電極
Claims (10)
- 絶縁基板上に少なくともゲート電極、ゲート絶縁層、酸化物を含む半導体層、ソース電極およびドレイン電極が設けられ、前記ゲート絶縁層は前記絶縁基板と接触する下部ゲート絶縁層と、該下部ゲート絶縁層の上に形成された一層以上の上部ゲート絶縁層を積層してなる薄膜トランジスタの製造方法であって、前記下部ゲート絶縁層がイオンビームスパッタ法により成膜されることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記下部ゲート絶縁層の少なくとも一層が、酸化シリコン、窒化シリコン、シリコンオキシナイトライド、酸化アルミニウムのいずれか1種の化合物を含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記上部ゲート絶縁層の少なくとも一層がマグネトロンスパッタ法により成膜されることを特徴とする請求項1乃至2に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記上部ゲート絶縁層の少なくとも一層がCVD法により成膜されることを特徴とする請求項1乃至2に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記上部ゲート絶縁層の少なくとも一層が塗布法により成膜されることを特徴とする請求項1乃至2に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記上部ゲート絶縁層の少なくとも一層が、酸化シリコン、窒化シリコン、シリコンオキシナイトライド、酸化アルミニウムのいずれか1種の化合物を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記上部ゲート絶縁層の少なくとも一層が、ポリアクリレート、ポリビニルアルコール、ポリスチレン、ポリイミド、ポリエステル、エポキシ、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコールのいずれか1種の化合物を含むことを特徴とする請求項6に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記下部ゲート絶縁層の膜厚が10nm以上200nm以下であることを特徴とする請求項1乃至7に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記酸化物を含む半導体層がInとGaとZnのうち少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項1乃至8に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記絶縁基板が可撓性基板であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
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