JP2007214319A - 薄膜トランジスタ及びその電子ディスプレー - Google Patents
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Abstract
【課題】基材上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体活性層、およびソース電極、ドレイン電極からなる薄膜トランジスタにおいて、良好なトランジスタ特性を保ちつつ、膜がはがれにくい信頼性の高いフレキシブルなトランジスタを実現する。
【解決手段】可撓性プラスチックの基材上に、無機材料からなる密着層、金属からなるゲート電極、ゲート電極と接する側のゲート絶縁層がシリコン及び酸素を主体として化学蒸着法(CVD法)で炭素を0.5〜4%(原子分率)を含有するように形成した層と、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層が、シリコン及び窒素を主体としてスパッタ法で炭素を0.05〜0.5%(原子分率)を含有するように形成した層の2層以上の異なる組成からなるゲート絶縁層、酸化物からなる半導体活性層、ソース電極、ドレイン電極の順に多層構成であって、可撓性プラスチック基材とゲート電極の層間に密着層を形成した薄膜トランジスタ。
【選択図】図1
【解決手段】可撓性プラスチックの基材上に、無機材料からなる密着層、金属からなるゲート電極、ゲート電極と接する側のゲート絶縁層がシリコン及び酸素を主体として化学蒸着法(CVD法)で炭素を0.5〜4%(原子分率)を含有するように形成した層と、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層が、シリコン及び窒素を主体としてスパッタ法で炭素を0.05〜0.5%(原子分率)を含有するように形成した層の2層以上の異なる組成からなるゲート絶縁層、酸化物からなる半導体活性層、ソース電極、ドレイン電極の順に多層構成であって、可撓性プラスチック基材とゲート電極の層間に密着層を形成した薄膜トランジスタ。
【選択図】図1
Description
本発明は、薄膜トランジスタ及びその製造方法、薄膜トランジスタを用いた電子ディスプレーに関する。
一般に電子デバイスの駆動用トランジスタとして、アモルファスシリコンや多結晶シリコン等を用いた薄膜トランジスタが用いられてきた。しかしながら、高品質なアモルファスシリコンや多結晶シリコンの作成には200℃以上の成膜温度を必要とするため、フレキシブルなデバイスを実現するためには基材として耐熱性の優れたポリイミドのような極めて高価でかつ吸水率が高い扱い難いフィルムを使わざるを得なかった。
また近年、有機半導体材料を用いた薄膜トランジスタが盛んに研究されている。有機半導体材料は真空プロセスを用いず印刷プロセスで作成できるため、大幅にコストを下げられる可能性があり可撓性のプラスチック基材上に設けられる等の利点を有する。しかしながら、有機半導体材料の移動度は極めて低く、また経時劣化にも弱いという難点があり未だ広範な実用に至っていない。
以上のような状況を受け、透明酸化物半導体が近年非常に注目を浴びている。透明酸化物は低温で作成しても高い移動度を示す上に、基材、電極、絶縁膜等に透明材料を用いれば透明なデバイスを実現できる等、従来の材料になかった特性を持つ。透明酸化物半導体として例えば非晶質In−Ga−Zn−O材料を用いた電界効果型トランジスタが提案されている。
上記のアモルファス酸化物半導体を半導体活性層として用いることで、野村らは室温でPET基板上に移動度10cm2/Vs前後の優れた特性を持つ透明電界効果型トランジスタの作成に成功している。室温作製でこのような高い移動度を実現できることを実証したことで、PET等安価な汎用プラスチック基材上にトランジスタが形成可能となり、軽量で壊れにくいフレキシブルディスプレー(フレキシブル電子ディスプレー)の広範な普及への期待が大きく高まってきた。しかしながら、プラスチックフィルム上に多層の膜を形成する場合、多層膜の層間が容易にはがれたり、プラスチックフィルムが応力のために撓んだりしてフレキシブルなデバイスを実現する上で大きな問題となる。
特に、全ての層をスパッタ法で形成すると大きな圧縮応力がかかるため、膜の剥がれや撓みのため、大面積のデバイスを大量に生産することは極めて難しかった。これを解決する手段として絶縁層をCVD法、特にPlasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)法で形成する方法がある(非特許文献1参照)。
しかしながら、200℃以下の低温でPECVD法を使用して作製した酸化シリコン、窒化シリコン等の絶縁膜は絶縁性や絶縁耐性が悪く、絶縁膜として十分な特性を発揮できなかった。
以下に公知文献を記す。
K. Nomura et al Nature, 432, 488 (2004)
K. Nomura et al Nature, 432, 488 (2004)
本発明は以上の点に鑑み、酸化物トランジスタの動作に影響を与えずに、密着性に優れた信頼性の高いトランジスタを実現することを目的とする。
本発明の請求項1に係る発明は、可撓性のプラスチック基材上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体活性層、およびソース電極、ドレイン電極からなる薄膜トランジスタにおいて、可撓性のプラスチック基材上に、無機材料からなる密着層、金属からなるゲート電極、2層以上の異なる組成からなるゲート絶縁層、酸化物からなる半導体活性層、ソース電極、ドレイン電極の順に多層構成からなり、可撓性のプラスチック基材とゲート電極の層間に密着層を形成したことを特徴とする薄膜トランジスタである。
本発明の請求項2に係る発明は、前記無機材料からなる密着層が、酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化シリコンからなることを特徴とする請求項1記載の薄膜トランジスタである。
本発明の請求項3に係る発明は、前記ゲート絶縁層において、ゲート電極と接する側のゲート絶縁層が、シリコンおよび酸素を主体として形成されており、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層が、シリコンおよび窒素を主体として形成されていることを特徴とする請求項1、又は2記載の薄膜トランジスタである。
本発明の請求項4に係る発明は、前記ゲート電極と接する側のゲート絶縁層が、化学蒸着法(Chemical Vapor Deposition:CVD)法で形成され、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層が、スパッタ法で形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の薄膜トランジスタの製造方法である。
本発明の請求項5に係る発明は、前記ゲート電極と接する側のゲート絶縁層が、炭素を0.5atomic%(原子分率)以上、4atomic%(原子分率)以下を含有し、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層が、炭素を0.05atomic%(原子分率)以上、炭素を0.5atomic%(原子分率)以下を含有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の薄膜トランジスタである。
本発明の請求項6に係る発明は、前記ゲート電極が、アルミ、クロム、チタン、銀または銅を主成分とすることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の薄膜トランジスタである。
本発明の請求項7に係る発明は、薄膜トランジスタをマトリックス状に複数個を配列した薄膜トランジスタを用いた電子ディスプレーにおいて、前記請求項1乃至6のいずれか1項記載の薄膜トランジスタを用いたことを特徴とする電子ディスプレーである。
請求項1の発明は、可撓性のプラスチック基材上に、無機材料からなる密着層、金属からなるゲート電極、2層以上の異なる組成からなるゲート絶縁層、酸化物からなる半導体活性層、およびソース電極、ドレイン電極からなるボトムゲート型薄膜トランジスタによれば、各々の層間の応力が少なく、かつ密着性の高いフレキシブルトランジスタを実現できる。
請求項2の無機材料からなる密着層が、酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化シリコンからなる薄膜トランジスタによれば、可撓性プラスチック基材とゲート電極との間に密着層を形成し、無機材料からなる密着層が存在することにより膜剥がれを防止することができる。
請求項3記載の発明は、請求項1記載のゲート絶縁層において、ゲート電極と接する側のゲート絶縁層がシリコンおよび酸素を主体として形成されており、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層がシリコン、窒素を主体として形成されている薄膜トランジスタによれば、絶縁性、絶縁耐性に優れた特性を持ち、はがれにくい薄膜トランジスタを実現できる。
請求項4の発明は、請求項2記載のゲート電極と接する側のゲート絶縁層が化学蒸着法(CVD法)で、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層がスパッタ法で形成されている薄膜トランジスタによれば、CVD法を用いてゲート電極上にゲート絶縁膜を成長し始めることで、ゲート電極にダメージを与えず、ゲート絶縁膜を成膜させることができ、その上にスパッタ法で下地のゲート絶縁層と異なる組成のゲート絶縁膜を成膜することで優れた絶縁性および密着性を実現できる。
請求項5のゲート電極と接する側のゲート絶縁層が、炭素を0.5atomic%〜4atomic%を含有し、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層が、炭素を0.05atomic%〜0.5atomic%を含有するゲート絶縁層が形成されている薄膜トランジスタによれば、このような炭素含有率を取ることで優れた絶縁特性とフレキシブルデバイスに重要な柔軟性を合わせ持った薄膜トランジスタを実現できる。
請求項6のゲート電極がアルミ、クロム、チタン、銀または銅を主成分とする薄膜トランジスタによれば、ゲート電極の界面が剥がれ難くく、かつ優れた特性の薄膜トランジスタを実現できる。
請求項7の請求項1乃至6のいずれか1項記載の薄膜トランジスタを用いた電子ディスプレーによれば、軽量で衝撃性にも強く、安価に製造できる電子ディスプレーを実現できる。
本発明の薄膜トランジスタを一実施形態に基づいて以下説明する。なお、本発明の実施形態を図示して説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図1に本発明の薄膜トランジスタの一実施例の層構成の側断面図を示す。
図1の薄膜トランジスタでは、可撓性プラスチック基材1上に無機材料からなる密着層2を形成され、その上にゲート電極3が形成され、その上に2層以上の異なる組成を持つゲート絶縁層の第一ゲート絶縁膜4および第二ゲート絶縁膜5が形成され、その上に酸化物からなる半導体活性層6が形成し、該半導体活性層上にソース電極7、ドレイン電極8が形成されている。これに限定されるものでは無く、例えばゲート絶縁層が三層構成、又はゲート絶縁膜上に画素電極6、ドレイン電極7、ソース電極8が先に形成され、その後に半導体活性層5が形成されていても構わない。
前記可撓性のプラスチック基材1は、透明であっても不透明であっても構わない。しかし、本発明の薄膜トランジスタを透過型ディスプレーに使用する場合は透明である必要がある。具体的には、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレンサルファイド、ポリエーテルスルホン、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルサルフェン、トリアセチルセルロース、ポリビニルフルオライドフィルム、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合樹脂、耐候性ポリエチレンテレフタレート、耐候性ポリプロピレン、ガラス繊維強化アクリル樹脂フィルム、ガラス繊維強化ポリカーボネート、ポリイミド、透明性ポリイミド、フッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、SUS薄板等を使用することができるが、これらに限定されるわけではない。これらは単独の基材として使用してもよいが、二種以上を積層した複合基材を使用することもできる。
前記無機材料からなる密着層2は、不透明でも透明でもあっても構わず、無機酸化物、無機窒化物が好適に用いられる。具体的には、酸化珪素、窒化珪素、シリコンオキシナイトライド(SiOxNy)、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウム、酸化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化ハフニウム等のいずれかの単独、もしくは二種以上の混合系などが使用できるがこれらに限定されるものではない。この中では特に酸化珪素、窒化珪素、シリコンオキシナイトライド、酸化アルミニウムが、密着性の良さ、製造価格の安さなどから好適に用いられる。またこれらの密着層にガスバリア機能を持たせることもトランジスタの長期信頼性を確保するためには望ましい。密着層の形成には真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法、レーザーアブレーション法、プラズマCVD法、光CVD法、ホットワイヤーCVD法、スピンコート、ディップコート、スクリーン印刷、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、インクジェット法などの方法を用いて形成されるがこれらに限定されるものではない。密着層の厚さは1nm〜800nmの範囲であることが好ましい。
本発明のゲート絶縁層は、2層以上の異なる組成から形成されており、2層以上であれば何層積層されていても構わない。しかし、コスト面から考えると2層以上4層以下が望ましい。前記第一ゲート絶縁膜4は、ゲート電極側に接しており、シリコンおよび酸素を主体として形成されている。具体的には酸化珪素などがあげられるがそれ以外にもシリコンオキシナイトライドなどで酸素分量が窒素分量を上回るものなども含まれる。
また本発明の第二ゲート絶縁膜5は、酸化物からなる半導体活性層側に接しており、シリコンおよび窒素を主体として形成されている。具体的には窒化珪素などがあげられるがそれ以外にもシリコンオキシナイトライドなどで窒素分量が酸素分量を上回るものなども含まれる。第一ゲート絶縁層および第二ゲート絶縁層は共に膜厚が2nm以上500nm以下であることが好ましい。これ以外にも異なる組成の絶縁膜が第一ゲート絶縁膜4および第二ゲート絶縁膜5の間に挿入されていても構わない。
ゲート絶縁層40は真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法、レーザーアブレーション法、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法、光CVD法、ホットワイヤーCVD法、ゾルゲル法などの方法を用いて形成される。ゲート絶縁層40の厚さは、40nm〜1μmであることが望ましい。これらに限定されるものではない。第一ゲート絶縁膜4は、CVD法で、第二ゲート絶縁膜5はスパッタ法で膜形成されることが望ましい。このような製造方法をとることで、高い絶縁性を持ちながら、残留応力が少なく、剥がれにくく、信頼性の高い薄膜トランジスタを実現できる。
また本発明のゲート絶縁層40は、ゲート電極と接する側の第一ゲート絶縁膜4が、炭素を0.5atomic%(原子分率)〜4atomic%(原子分率)を含有し、望ましくは0.7atomic%〜2atomic%を含有していることが好ましい。また、半導体活性層と接する側の第二ゲート絶縁膜5が、炭素を0.05atomic%(原子分率)〜0.5atomic%(原子分率)を含有し、望ましくは0.2atomic%(原子分率)を含有していることが好ましい。ゲート絶縁層40中の炭素の混入は、絶縁膜の柔軟性を増すためフレキシビリティが増すという反面、絶縁性の悪化をもたらすため、あまり好ましいことではないと考えられてきた。しかしながら、本発明で記載したような炭素含有率の特性を利用することで、高い絶縁性とデバイスの高い柔軟性と剥がれにくさを同時に実現することができる。
前記酸化物からなる半導体活性層6に用いる酸化物半導体材料は、亜鉛、インジウム、スズ、タングステン、マグネシウム、ガリウムのうち一種類以上の元素を含む酸化物である、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ、酸化タングステン、酸化亜鉛ガリウムインジウム等公知の材料が挙げられるがこれらに限定されるものではない。これらの材料の構造は単結晶、多結晶、微結晶、結晶/アモルファスの混晶、ナノ結晶散在アモルファス、アモルファスのいずれであってもかまわない。半導体層の膜厚は少なくとも20nm以上が望ましい。酸化物半導体層はスパッタ法、パルスレーザー堆積法、真空蒸着法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、MBE(Molecular Beam Epitaxy)法、ゾルゲル法などの方法を用いて形成されるが、好ましくはスパッタ法、パルスレーザー堆積法、真空蒸着法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法である。スパッタ法ではRFマグネトロンスパッタ法、DCスパッタ法、真空蒸着では加熱蒸着、電子ビーム蒸着、イオンプレーティング法、CVD法ではホットワイヤーCVD法、プラズマCVD法などが挙げられるがこれらに限定されるものではない。
前記金属からなるゲート電極3、ソース電極7、ドレイン電極8には、インジウム(In)、アルミ(Al)、金(Au)、銀(Ag)、チタン(Ti)、銅(Cu)等の金属薄膜であってもよいし、酸化インジウム(In2O3)、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化カドミウム(CdO)、酸化インジウムカドミウム(CdIn2O4)、酸化カドミウムスズ(Cd2SnO4)、酸化亜鉛スズ(Zn2SnO4)等の酸化物材料でもよい。またこの酸化物材料に不純物をドープしたものも好適に用いられる。例えば、In2O3にスズ(Sn)やモリブデン(Mo)、チタン(Ti)をドープしたもの、SnO2にアンチモン(Sb)やフッ素(F)をドープしたもの、ZnOにインジウム、アルミニウム、ガリウム(Ga)をドープしたものなどである。ゲート電極3、ソース電極7及びドレイン電極8の材料は、全て同じものとしてもよく、異なるものとしても良い。これらのゲート電極、ソース電極、ドレイン電極は真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法、レーザーアブレーション法、プラズマCVD法、光CVD法、ホットワイヤーCVD法、また導電性ペーストを用いてスピンコート、ディップコート、スクリーン印刷、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、インクジェットなどの方法で形成される。酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ等の透明導電性酸化物を使用する場合はドーパントを混入させることで透明導電膜の導電率を上げることが望ましい。例えば酸化亜鉛ではガリウム、アルミニウム、ボロンなど、酸化スズではフッ素、アンチモンなど、酸化インジウムではスズ、亜鉛、チタン、セリウム、ハフニウム、ジルコニアなど混入させ透明導電膜を縮退させることが好ましい。また電極材料に酸化物半導体と同じ母材料を用い、ドーパント濃度だけを高くすることもまた生産効率増加のために望ましい。ゲート電極3、ソース電極7、ドレイン電極8の各々電極の膜厚は、少なくとも15nm以上である必要がある。またゲート電極3、ソース電極7及びドレイン電極8の材料は、全て同じものとしてもよく、異なるものとしても良い。
本発明の酸化物の薄膜トランジスタは、液晶用電子ディスプレー、有機EL用電子ディスプレー、光書き込み型コレステリック液晶型用電子ディスプレー、Twisting Ball方式用電子ディスプレー、トナーディスプレー方式用電子ディスプレー、可動フィルム方式用電子ディスプレー、センサーなど電子ディスプレーのデバイスに使用することができる。
以下に、本発明の実施例について図面を用いて説明する。本発明はこれにより限定されるものではない。
実施例1として、図1に示した本発明のボトムゲート薄膜トランジスタを作成した。まず、可撓性プラスチック基材1には三菱ダイヤホイル社製のポリエチレンテレフタレート(PET):T−60(厚さ100μm)を使用した。その上に電子ビーム蒸着法で密着層2としてアルミナ薄膜を40nm成膜し、引き続いてアルミニウムをスパッタで50nm積層し、エッチング法でゲート電極3をパターニングした。次に平行平板型のPECVD法を用いて、第一ゲート絶縁膜4としてSiO2を基板温度55℃で50nm成膜した。この際に、原材料として50℃に保持した恒温漕にHMDSO(ヘキサメチルジシロキサン)を入れて気化させ流量をマスフローコントローラで制御しながら5SCCM流し、同時に酸素を50SCCM流した。圧力は0.2Torrに保持し、13.56MHzの高周波を投入電力100Wでプラズマを励起させて成膜を行った。ここでこの第一ゲート絶縁膜4の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は3.5%であった。次にターゲットとしてSiNの焼結体を用い、RFマグネトロンスパッタ法により室温でSiONを120nm積層し、第二ゲート絶縁膜5を成膜した。この際にアルゴン40SCCM、酸素4SCCMをプロセスガスとして流した。ここでこの第二ゲート絶縁膜5の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は0.3%であった。次にターゲットとしてZnOの焼結体を用いRFマグネトロンスパッタ法(プロセスガスはアルゴン19.7SCCM、酸素0.3SCCM)によって50nmの膜厚を有する半導体活性層を成膜し、エッチング法によりパターニングして、半導体活性層6を作製した。続いてスズドープ酸化インジウム(ITO)からなる画素電極、ソース電極7およびドレイン電極8をRFマグネトロンスパッタ法で膜厚80nmずつ形成した。パターニングはリフトオフ法を用いた。ここでチャネル長は50μm、チャネル幅は50μmで形成した。
実施例2として、図1に示した本発明のボトムゲートの薄膜トランジスタを作成した。まず、可撓性プラスチック基材1には三菱ダイヤホイル社製のポリエチレンテレフタレート(PET):T−60(厚さ100μm)を使用した。その上に電子ビーム蒸着法で密着層2としてSiO2薄膜を40nm成膜し、引き続いてクロムをスパッタで50nm積層し、エッチング法でゲート電極3をパターニングした。次に平行平板型のPECVD法を用いて、第一ゲート絶縁膜4としてSiO2を基板温度55℃で40nm成膜した。この際に、原材料として80℃に保持した恒温漕にTEOS(テトラエトキシシラン)を入れて気化させ流量をマスフローコントローラで制御しながら5SCCMを流すと同時に酸素を50SCCM流した。圧力は0.5Torrに保持し、13.56MHzの高周波でプラズマを投入電力100Wで励起させて成膜を行った。ここでこの第一ゲート絶縁膜4の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は1.8%であった。次にターゲットとしてSiNの焼結体を用い、RFマグネトロンスパッタ法(Ar 40SCCM、酸素4SCCM)により室温でSiONを110nm積層し、第二ゲート絶縁膜5を成膜した。ここでこの第二ゲート絶縁膜5の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は0.3%であった。次にターゲットとしてZnOの焼結体を用いRFマグネトロンスパッタ法(スパッタガスはAr 19.7SCCM、酸素0.3SCCM)によって50nmの膜厚を有する半導体活性層を作製し、エッチング法によりパターニングして、半導体活性層6を作製した。続いて電子ビーム蒸着法を用いてアルミニウムのソース電極7、およびドレイン電極8を80nmずつ形成した。ここでは蒸着時に金属マスクを用いてソースおよびドレイン電極を形成した。チャネル長は100μm、チャネル幅は1mmで形成した。
以下本発明の比較例として実施例3〜9を実施した。以下順番に説明する
実施例3(比較例1)として、従来の薄膜トランジスタを作成した(図1参照)。まず、可撓性プラスチック基材1には三菱ダイヤホイル社製のポリエチレンテレフタレート(PET):T−60(厚さ100μm)を使用した。その上にアルミニウムをスパッタで50nm積層し、エッチング法でゲート電極3をパターニングした。次に平行平板型のPECVD法を用いて、第一ゲート絶縁膜4としてSiO2を基板温度55℃で50nm成膜した。この際に、原材料として50℃に保持した恒温漕にHMDSO(ヘキサメチルジシロキサン)を入れて気化させ流量をマスフローコントローラで制御しながら5SCCM流し、同時に酸素を50SCCM流した。圧力は0.2Torrに保持し、13.56MHzの高周波を投入電力100Wでプラズマを励起させて成膜を行った。ここでこの第一ゲート絶縁膜4の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は3.5%であった。次にターゲットとしてSiNの焼結体を用い、RFマグネトロンスパッタ法により室温でSiONを120nm積層し、第二ゲート絶縁膜5を成膜した。この際にアルゴン40SCCM、酸素4SCCMをプロセスガスとして流した。ここでこの第二ゲート絶縁膜5の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は0.3%であった。次にターゲットとしてZnOの焼結体を用いRFマグネトロンスパッタ法(スパッタガスはAr 19.7SCCM、酸素0.3SCCM(酸素流量比1.5%))によって50nmの膜厚を有する半導体活性層を成膜し、エッチング法によりパターニングして、半導体活性層6を作製した。続いてスズドープ酸化インジウム(ITO)からなる画素電極、ソース電極7およびドレイン電極8をRFマグネトロンスパッタ法で膜厚80nmずつ形成した。パターニングはリフトオフ法を用いた。ここでチャネル長は50μm、チャネル幅は50μmで形成した。
実施例4(比較例2)として、従来の薄膜トランジスタを作成した(図1参照)。まず、可撓性プラスチック基材1には三菱ダイヤホイル社製のポリエチレンテレフタレート(PET):T−60(厚さ100μm)を使用した。その上に電子ビーム蒸着法で密着層2としてアルミナ薄膜を40nm成膜し、引き続いてアルミニウムをスパッタで50nm積層し、エッチング法でゲート電極3をパターニングした。次にターゲットとしてSiNの焼結体を用い、RFマグネトロンスパッタ法(Ar 40SCCM、酸素0.2SCCM)により室温でSiONを220nm積層し、第二ゲート絶縁膜5を成膜した。ここでこの第二ゲート絶縁膜5の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は0.3%であった。次に平行平板型のPECVD法を用いて、第一ゲート絶縁膜4としてSiO2を基板温度55℃で100nm成膜した。この際に、原材料として50℃に保持した恒温漕にHMDSO(ヘキサメチルジシロキサン)を入れて気化させ流量をマスフローコントローラで制御しながら5SCCM流し、同時に酸素を50SCCM流した。圧力は0.2Torrに保持し、13.56MHzの高周波を投入電力100Wでプラズマを励起させて成膜を行った。ここでこの第一ゲート絶縁膜4の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は3.5%であった。次にターゲットとしてZnOの焼結体を用いRFマグネトロンスパッタ法(スパッタガスはAr 19.7SCCM、酸素0.3SCCM)によって50nmの膜厚を有する半導体活性層を作製し、エッチング法によりパターニングして、半導体活性層6を作製した。続いてスズドープ酸化インジウム(ITO)からなる画素電極、ソース電極7およびドレイン電極8をRFマグネトロンスパッタ法で膜厚80nmずつ形成した。パターニングはリフトオフ法を用いた。ここでチャネル長は50μm、チャネル幅は50μmで形成した。
実施例5(比較例3)として、従来の薄膜トランジスタを作成した(図1参照)。まず、可撓性プラスチック基材1には三菱ダイヤホイル社製のポリエチレンテレフタレート(PET):T−60(厚さ100μm)を使用した。その上に電子ビーム蒸着法で密着層2としてアルミナ薄膜を40nm成膜し、引き続いてアルミニウムをスパッタで50nm積層し、エッチング法でゲート電極3をパターニングした。次にターゲットとしてSiNの焼結体を用い、RFマグネトロンスパッタ法(Ar 40SCCM、酸素0.2SCCM)により室温でSiONを300nm積層し、第二ゲート絶縁膜5を成膜した。ここでこの第二ゲート絶縁膜5の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は0.3%であった。次にターゲットとしてZnOの焼結体を用いRFマグネトロンスパッタ法(スパッタガスはAr、19.7SCCM、酸素0.3SCCM)によって50nmの膜厚を有する半導体活性層を成膜し、エッチング法によりパターニングして、半導体活性層を作製した。続いてスズドープ酸化インジウム(ITO)からなる画素電極、ソースおよびドレイン電極をRFマグネトロンスパッタ法で膜厚80nmずつ形成した。パターニングはリフトオフ法を用いた。ここでチャネル長は50μm、チャネル幅は50μmで形成した。
実施例6(比較例4)として、従来の薄膜トランジスタを作成した(図1参照)。まず、可撓性プラスチック基材1には三菱ダイヤホイル社製のポリエチレンテレフタレート(PET):T−60(厚さ100μm)を使用した。その上に電子ビーム蒸着法で密着層2としてアルミナ薄膜を40nm成膜し、引き続いてアルミニウムをスパッタで50nm積層し、エッチング法でゲート電極3をパターニングした。次に平行平板型のPECVD法を用いて、第一ゲート絶縁膜4としてSiO2を基板温度55℃で300nm成膜した。この際に、原材料として50℃に保持した恒温漕にHMDSO(ヘキサメチルジシロキサン)を入れて気化させ流量をマスフローコントローラで制御しながら5SCCM流し、同時に酸素を50SCCM流した。圧力は0.2Torrに保持し、13.56MHzの高周波を投入電力100Wでプラズマを励起させて成膜を行った。ここでこの第一ゲート絶縁膜4の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は3.5%であった。次にターゲットとしてZnOの焼結体を用いRFマグネトロンスパッタ法(スパッタガスはAr:19.7SCCM、酸素0.3SCCM(酸素流量比1.5%))によって50nmの膜厚を有する半導体活性層を成膜し、エッチング法によりパターニングして、半導体活性層6を作製した。続いてスズドープ酸化インジウム(ITO)からなる画素電極、ソース電極7およびドレイン電極8をRFマグネトロンスパッタ法で膜厚80nmずつ形成した。パターニングはリフトオフ法を用いた。ここでチャネル長は50μm、チャネル幅は50μmで形成した。
実施例7(比較例5)として、従来の薄膜トランジスタを作成した(図1参照)。まず、可撓性プラスチック基材1には三菱ダイヤホイル社製のポリエチレンテレフタレート(PET):T−60(厚さ100μm)を使用した。その上に電子ビーム蒸着法で密着層2としてアルミナ薄膜を40nm成膜し、引き続いてアルミニウムをスパッタで50nm積層し、エッチング法でゲート電極3をパターニングした。次に平行平板型のPECVD法を用いて、第一ゲート絶縁膜4としてSiO2を基板温度40℃で70nm成膜した。この際に、原材料として70℃に保持した恒温漕にHMDSO(ヘキサメチルジシロキサン)を入れて気化させ流量をマスフローコントローラで制御しながら10SCCM流し、同時に酸素を30SCCM流した。圧力は0.2Torrに保持し、13.56MHzの高周波を投入電力80Wでプラズマを励起させて成膜を行った。ここでこの第一ゲート絶縁膜4の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は4.8%であった。次にターゲットとしてSiNの焼結体を用い、RFマグネトロンスパッタ法により室温でSiONを120nm積層し、第二ゲート絶縁膜5を成膜した。この際にアルゴン40SCCM、酸素4SCCMをプロセスガスとして流した。ここでこの第二ゲート絶縁膜5の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は0.3%であった。次にターゲットとしてZnOの焼結体を用いRFマグネトロンスパッタ法(プロセスガスはアルゴン19.7SCCM、酸素0.3SCCM)によって50nmの膜厚を有する半導体活性層を成膜し、エッチング法によりパターニングし半導体活性層6を作製した。続いてスズドープ酸化インジウム(ITO)からなる画素電極、ソース電極7およびドレイン電極8をRFマグネトロンスパッタ法で膜厚80nmずつ形成した。パターニングはリフトオフ法を用いた。ここでチャネル長は50μm、チャネル幅は50μmで形成した。
実施例8(比較例6)として、従来の薄膜トランジスタを作成した(図1参照)。まず、可撓性プラスチック基材1には三菱ダイヤホイル社製のポリエチレンテレフタレート(PET):T−60(厚さ100μm)を使用した。その上に電子ビーム蒸着法で密着層2としてSiO2薄膜を40nm成膜し、引き続いてクロムをスパッタで50nm積層し、エッチング法でゲート電極3をパターニングした。次に平行平板型のPECVD法を用いて、第一ゲート絶縁膜4としてSiO2を基板温度85℃で50nm成膜した。この際に、原材料として80℃に保持した恒温漕にTEOS(テトラエトキシシラン)を入れて気化させ流量をマスフローコントローラで制御しながら2.5SCCMを流すと同時に酸素を100SCCM流した。圧力は0.5Torrに保持し、13.56MHzの高周波でプラズマを投入電力250Wで励起させて成膜を行った。ここでこの第一ゲート絶縁膜4の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は0.3%であった。次にターゲットとしてSiNの焼結体を用い、RFマグネトロンスパッタ法(Ar 40SCCM、酸素4SCCM)により室温でSiONを110nm積層し、第二ゲート絶縁膜5を成膜した。ここでこの第二ゲート絶縁膜5の組成をX線光電子分光分析装置(XPS)で分析したところ、炭素の原子分率は0.3%であった。次にターゲットとしてZnOの焼結体を用いRFマグネトロンスパッタ法(スパッタガスはAr:19.7SCCM、酸素0.3SCCM)によって50nmの膜厚を有する半導体活性層を成膜し、エッチング法によりパターニングして、半導体活性層6を作製した。続いて電子ビーム蒸着法を用いてアルミニウムのソース電極7、およびドレイン電極8を80nmずつ形成した。ここでは蒸着時に金属マスクを用いてソース電極およびドレイン電極を形成した。チャネル長は100μm、チャネル幅は1mmで形成した。
表1には、実施例1、2、及び実施例3〜8(比較例1〜6)の絶縁膜の特性等の評価結果をまとめた表を示す。
また、表2には、実施例1、2、及び実施例3〜8(比較例1〜6)の結果(on/off比、移動度、曲げ特性)を示す。
1…可撓性プラスチック基材
2…無機材料からなる密着層
3…金属からなるゲート電極
4…第一層のゲート絶縁膜
5…第二層のゲート絶縁膜
6…酸化物からなる半導体活性層
7…ソース電極
8…ドレイン電極
40…ゲート絶縁層
2…無機材料からなる密着層
3…金属からなるゲート電極
4…第一層のゲート絶縁膜
5…第二層のゲート絶縁膜
6…酸化物からなる半導体活性層
7…ソース電極
8…ドレイン電極
40…ゲート絶縁層
Claims (7)
- 可撓性のプラスチック基材上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体活性層、およびソース電極、ドレイン電極からなる薄膜トランジスタにおいて、可撓性のプラスチック基材上に、無機材料からなる密着層、金属からなるゲート電極、2層以上の異なる組成からなるゲート絶縁層、酸化物からなる半導体活性層、ソース電極、ドレイン電極の順に多層構成からなる薄膜トランジスタであって、前記可撓性のプラスチック基材とゲート電極の層間に密着層を形成したことを特徴とする薄膜トランジスタ。
- 前記無機材料からなる密着層が、酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化シリコンからなることを特徴とする請求項1記載の薄膜トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁層において、ゲート電極と接する側のゲート絶縁層が、シリコンおよび酸素を主体として形成されており、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層が、シリコンおよび窒素を主体として形成されていることを特徴とする請求項1、又は2記載の薄膜トランジスタ。
- 前記ゲート電極と接する側のゲート絶縁層が、化学蒸着法(Chemical Vapor Deposition:CVD)法で形成され、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層が、スパッタ法で形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記ゲート電極と接する側のゲート絶縁層が、炭素を0.5atomic%(原子分率)以上、4atomic%(原子分率)以下を含有し、半導体活性層と接する側のゲート絶縁層が、炭素を0.05atomic%(原子分率)以上、炭素を0.5atomic%(原子分率)以下を含有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の薄膜トランジスタ。
- 前記ゲート電極が、アルミ、クロム、チタン、銀または銅を主成分とすることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の薄膜トランジスタ。
- 薄膜トランジスタをマトリックス状に複数個を配列した薄膜トランジスタを用いた電子ディスプレーにおいて、前記請求項1乃至6のいずれか1項記載の薄膜トランジスタを用いたことを特徴とする電子ディスプレー。
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