JP2011045916A - レーザ処理装置、太陽電池パネルの製造装置、太陽電池パネルおよびレーザ処理方法 - Google Patents
レーザ処理装置、太陽電池パネルの製造装置、太陽電池パネルおよびレーザ処理方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板2に積層された薄膜に対して照射する変質用レーザL1と変質用レーザL1が照射した薄膜の部位を追従して照射する剥離用レーザL2とを生成するレーザ処理装置10と、レーザ処理装置10と基板2とを相対的に移動させるステージ移動部12と、を備えている。これにより、レーザスクライブ時に生じる粉体を大幅に或いは完全に削減する。また、粉体が生じたとしても粉体は薄膜から変質しているため、薄膜と癒着ないしは固着することがなく、簡単な洗浄で容易に除去することが可能になる。
【選択図】 図2
Description
3 透明電極層 4 光電変換層
4L 活性化層 5 背面電極層
10 レーザ処理装置 11 搭載ステージ
12 ステージ移動部 21 レーザ光源装置
22 設定部 27 変質用レンズ移動機構
28 剥離用レンズ移動機構 31 変質用レーザ光源
32 剥離用レーザ光源 33 発振強度設定部
34 レンズ位置設定部 41 ビームスプリッタ
L1 変質用レーザ L2 剥離用レーザ
Claims (7)
- 基板に積層された薄膜に対して照射する第1のレーザとこの第1のレーザが照射した前記薄膜の部位を追従して照射する第2のレーザとを生成するレーザ手段と、
前記レーザ手段と前記基板とを相対的に移動させる相対移動手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ処理装置。 - 前記レーザ手段は、
前記第1のレーザを発振する第1のレーザ光源と、
前記第2のレーザを発振する第2のレーザ光源と、
前記第1のレーザが薄膜を剥離しないように変質させる発振強度に前記第1のレーザ光源を設定し、前記第2のレーザが変質した薄膜を剥離するような発振強度に設定する発振強度設定手段と、
を備えていることを特徴とする請求項1記載のレーザ処理装置。 - 前記第1のレーザの光路に設けたレンズを移動させる第1のレンズ移動手段と、
前記第2のレーザの光路に設けたレンズを移動させる第2のレンズ移動手段と、
前記第1のレンズ移動手段および前記第2のレンズ移動手段の移動制御を行うレンズ位置設定手段と、
を備えていることを特徴とする請求項1記載のレーザ処理装置。 - 前記レーザ手段は、
レーザを発振するレーザ光源と、
前記レーザ光源から発振されたレーザを前記第1のレーザと前記第2のレーザとに分離させる光分離手段と、
前記第1のレーザと前記第2のレーザとのうち何れか一方の光路を90度変換する光路変換手段と、
を備えていることを特徴とする請求項1記載のレーザ処理装置。 - 請求項1乃至4何れか1項に記載のレーザ処理装置を備えたことを特徴とする太陽電池パネルの製造装置。
- 請求項5記載の太陽電池パネルの製造装置により製造されたことを特徴とする太陽電池パネル。
- 基板に積層された薄膜に対して、この薄膜を剥離しないようにして変質させる第1のレーザを照射し、
前記第1のレーザが照射された部位の薄膜に対して、この薄膜を剥離する第2のレーザを追従して照射させ、
前記第1のレーザおよび前記第2のレーザと前記基板とを相対移動させながら、前記第1のレーザおよび前記第2のレーザの照射を行うこと
を特徴とするレーザ処理方法。
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