JP2011040468A - 固体撮像素子用の反射防止膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射防止膜1は、遮光用金属膜3の上層にある位相反転用絶縁層4と、この位相反転用絶縁層4の上層にある表層金属層5と、表層金属層5の上層にある保護膜層6と、を備える。また、位相反転用絶縁層4は、その屈折率をn、対象波長の波長をλとしたときに、略λ/4nとなる膜厚に成膜され、表層金属層5は、シート抵抗が略100〜450Ω/□となる膜厚に成膜される。この構成によれば、遮光用金属膜3の表面に入射した光の一部を、位相反転用絶縁層4の表面と遮光用金属膜3の表面との間で、位相反転させながら繰り返し再反射させて消衰させることにより、高い反射防止効果を実現できる。
【選択図】図1
Description
実施例1に係る反射防止膜1は、二酸化ケイ素(SiO2)等から成る基材2上に膜厚1μmのアルミニウムから成る遮光用金属膜3を形成しておき、この遮光用金属膜3上に形成される。より具体的には、この反射防止膜1は、位相反転用絶縁層4として膜厚110nmの窒化シリコン(SiN)から成る層(屈折率n=2.0)と、表層金属層5として膜厚10nm(シート抵抗200Ω/□に相当する)の窒化チタン(TiN)から成る層と、保護膜層6として膜厚400nmの酸化シリコン(SiO2)から成る層とが遮光用金属膜3上に積層されたものである。
実施例2に係る反射防止膜1は、位相反転用絶縁層4と遮光金属膜3との間に、内層金属層7として、膜厚15nmのTiNを設けた点が上記実施例1と異なる。
実施例2に係る反射防止膜1は、保護膜層6上に、樹脂保護層8として、マイクロレンズ用樹脂膜を3μm形成した点が上記実施例2と異なる。
比較例に係る反射防止膜101の構成を図4に示す。反射防止膜101は、位相反転用絶縁層4が設けられておらず、表層金属層105として膜厚100nmの窒化チタン(TiN)から成る層と、保護膜層106として膜厚400nmの酸化シリコン(SiO2)から成る層と、樹脂保護層108として膜厚3μmの樹脂膜とが遮光用金属層3上に積層されたものである。他の構成は、実施例1と同様である。
2 基材
3 遮光用金属膜
4 位相反転用絶縁層
5 表層金属層
6 保護膜層
7 内層金属層
8 樹脂保護層
Claims (4)
- 固体撮像素子の受光部以外の箇所に選択的に被膜される遮光用金属膜上に設けられる固体撮像素子用の反射防止膜であって、
前記遮光用金属膜の上層に設けられる位相反転用絶縁層と、該位相反転用絶縁層の上層に設けられる表層金属層と、該表層金属層の上層に設けられる保護膜層と、を備え、
前記位相反転用絶縁層は、その屈折率をn、対象波長の波長をλとしたときに、略λ/4nとなる膜厚に成膜され、
前記表層金属層は、シート抵抗が略100〜450Ω/□となる膜厚に成膜されたことを特徴とする固体撮像素子用の反射防止膜。 - 前記表層金属層がチタン及び窒化チタン又はチタンを含む材料から成ることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子用の反射防止膜。
- 前記位相反転用絶縁層と前記遮光メタル層との間に、窒化チタンを含む材料から成る層を更に設けたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の固体撮像素子用の反射防止膜。
- 前記保護膜層の上層に、樹脂保護層を更に設けたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の固体撮像素子用の反射防止膜。
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