JP2011039172A - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】投影光学系のレンズに生じうる不均一な温度分布による結像特性の低下を抑制する。
【解決手段】物体面に配置される原版9のパターンを像面に配置される基板18に投影する投影光学系を有する露光装置において、前記投影光学系は、前記物体面から前記像面に至る光路に前記物体面から順に配置された第1平面鏡11、第1凹面鏡12、凸面鏡14、第2凹面鏡15、第2平面鏡16と、前記第1凹面鏡12と前記凸面鏡14との間および前記凸面鏡14と前記第2凹面鏡15との間に配置された正のパワーを有する屈折光学系20とを有し、前記屈折光学系20は、屈折率の温度変化係数が正の材料で構成された第1レンズ13aと、屈折率の温度変化係数が負の材料で構成された第2レンズ13bとを含む。
【選択図】図1
【解決手段】物体面に配置される原版9のパターンを像面に配置される基板18に投影する投影光学系を有する露光装置において、前記投影光学系は、前記物体面から前記像面に至る光路に前記物体面から順に配置された第1平面鏡11、第1凹面鏡12、凸面鏡14、第2凹面鏡15、第2平面鏡16と、前記第1凹面鏡12と前記凸面鏡14との間および前記凸面鏡14と前記第2凹面鏡15との間に配置された正のパワーを有する屈折光学系20とを有し、前記屈折光学系20は、屈折率の温度変化係数が正の材料で構成された第1レンズ13aと、屈折率の温度変化係数が負の材料で構成された第2レンズ13bとを含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、露光装置およびそれを使ってデバイスを製造するデバイス製造方法に関する。
半導体デバイスやFPD(フラットパネルディスプレイ)などのデバイスは、フォトリソグラフィ工程を経て製造される。フォトリソグラフィ工程は、マスクやレチクルと呼ばれる原版のパターンをレジストと呼ばれる感光剤が塗布されたガラス基板やウエハなどの基板に投影し該基板を露光する露光工程を含む。FPDの製造においては、一般的には、反射鏡を含む投影光学系を有する露光装置が使用されうる。
特許文献1は、ガラス基板などの比較的大画面の被露光体を露光する投影光学系に関するものである。同文献には、物体側から順に、正の第1反射面、負の第2反射面、第3反射面を有し、第1反射面と第2反射面との間および第2反射面と第3反射面との間に少なくとも2枚のレンズが配置された投影光学系が開示されている。該レンズは、瞳面である第2反射面の近傍に配置されうる。
FPDの大画面化および生産性の向上の要求に応じて露光領域の面積が増大し、それに伴って投影光学系に入射する光のエネルギー量が増大している。特に、投影光学系の瞳やその近傍では、光束が収束されるので、エネルギー密度が高くなる。反射面を構成するミラーについては、線膨張係数の小さな材質の選択と表面吸収率の小さな反射膜の選択とによって変形を小さくしたり、冷却したりすることが比較的容易である。
しかしながら、光の入射によってレンズで発生する熱は、レンズの周辺部ではそれを支持する部材を介して逃げ易いが、レンズの中央部では逃げ難い。これによって、レンズには、例えば周辺部から中心部に向かって徐々に温度が高くなるような不均一な温度分布が生じ、これがレンズに対して望ましくないパワー(屈折力)を付加する。例えば、レンズが石英で構成される場合を考える。石英は、正のdn/dt(nは屈折率、tは温度であり、dn/dtは、屈折率の温度係数(温度変化による屈折率の変化)を意味する。)を有するので、周辺部から中心部に向かって徐々に温度が高くなるような温度分布は、レンズに対して正のパワーを付加する。このような望ましくないパワーの付加は、結像特性の低下をもたらす。
本発明は、投影光学系のレンズに生じうる不均一な温度分布による結像特性の低下を抑制することを目的とする。
本発明の1つの側面は、物体面に配置される原版のパターンを像面に配置される基板に投影する投影光学系を有する露光装置に係り、前記投影光学系は、前記物体面から前記像面に至る光路に前記物体面から順に配置された第1平面鏡、第1凹面鏡、凸面鏡、第2凹面鏡、第2平面鏡と、前記第1凹面鏡と前記凸面鏡との間および前記凸面鏡と前記第2凹面鏡との間に配置された正のパワーを有する屈折光学系とを有し、前記屈折光学系は、屈折率の温度変化係数が正の材料で構成された第1レンズと、屈折率の温度変化係数が負の材料で構成された第2レンズとを含む。
本発明によれば、投影光学系のレンズに生じうる不均一な温度分布による結像特性の低下が抑制される。
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
[第1実施形態]
図1を参照しながら本発明の第1実施形態の露光装置について説明する。第1実施形態の露光装置EX1は、照明系ILと、投影光学系POと、投影光学系POの物体面OPに原版9を配置しそれを走査する原版駆動機構(不図示)と、投影光学系POの像面IPに基板18を配置しそれを走査する基板駆動機構(不図示)とを備える。照明系ILは、例えば、光源LS、第1コンデンサーレンズ3、フライアイレンズ4、第2コンデンサーレンズ5、スリット規定部材6、結像光学系7、平面ミラー8を含みうる。光源LSは、例えば、水銀ランプ1と、楕円ミラー2とを含みうる。スリット規定部材6は、原版9の照明範囲(即ち、原版9を照明するスリット形状光の断面形状)を規定する。結像光学系7は、スリット規定部材6によって規定されるスリットを物体面に結像させるように配置されている。平面ミラー8は、照明系ILにおいて光路を折り曲げる。
図1を参照しながら本発明の第1実施形態の露光装置について説明する。第1実施形態の露光装置EX1は、照明系ILと、投影光学系POと、投影光学系POの物体面OPに原版9を配置しそれを走査する原版駆動機構(不図示)と、投影光学系POの像面IPに基板18を配置しそれを走査する基板駆動機構(不図示)とを備える。照明系ILは、例えば、光源LS、第1コンデンサーレンズ3、フライアイレンズ4、第2コンデンサーレンズ5、スリット規定部材6、結像光学系7、平面ミラー8を含みうる。光源LSは、例えば、水銀ランプ1と、楕円ミラー2とを含みうる。スリット規定部材6は、原版9の照明範囲(即ち、原版9を照明するスリット形状光の断面形状)を規定する。結像光学系7は、スリット規定部材6によって規定されるスリットを物体面に結像させるように配置されている。平面ミラー8は、照明系ILにおいて光路を折り曲げる。
投影光学系POは、物体面OPに配置される原版9のパターンを像面IPに配置される基板18に投影し、これにより基板18が露光される。投影光学系POは、等倍結像光学系、拡大結像光学系および縮小結像光学系のいずれとしても構成されうるが、等倍結像光学系として構成されることが好ましい。投影光学系POは、物体面POから像面IPに至る光路に、物体面OPから順に配置された第1平面鏡11、第1凹面鏡12、凸面鏡14、第2凹面鏡15、第2平面鏡16を有する。投影光学系POはまた、第1凹面鏡12と凸面鏡14との間および凸面鏡14と第2凹面鏡15との間に配置された屈折光学系20を有する。第1平面鏡11の鏡面を含む平面と第2平面鏡16の鏡面を含む平面とは、互いに90度の角度をなす。第1平面鏡11と第2平面鏡16とは、一体的に形成されていもよい。第1凹面鏡12および第2凹面鏡15は、一体的に構成されてもよい。
屈折光学系20は、投影光学系POの瞳面である凸面鏡14の近傍に配置され、その全体で、小さな正のパワーを有するメニスカスレンズとして機能しうる。屈折光学系20は、屈折率の温度変化係数(dn/dt)が正の材料(例えば、石英)で構成された第1レンズ13aと、屈折率の温度変化係数(dn/dt)が負の材料(例えば、蛍石)で構成された第2レンズ13bとを含む。屈折光学系20は、典型的には、第1レンズ13aおよび第2レンズ13bからなるが、第1レンズ13aおよび第2レンズ13bのほかに、1または複数のレンズを含んでもよい。第1レンズ13aおよび第2レンズ13bは、屈折光学系20を構成する複数のレンズ(第1レンズ13aおよび第2レンズ13bを含む)の温度変化(屈折光学系20に対する光の照射)に起因する屈折光学系20の収差を低減する。
正のdn/dtを有する材料で構成された第1レンズ13aには、その中央部分の温度がその周辺部分の温度よりも高くなると、それによって凸のパワーが付加される。当該凸のパワーは、温度分布のほか、第1レンズ13aの厚さに依存する。負のdn/dtを有する材料で構成された第1レンズ13aには、その中央部分の温度がその周辺部分の温度よりも高くなると、それによって凹のパワーが付加される。当該凹のパワーは、温度分布のほか、第2レンズ13bの厚さに依存する。第1レンズ13aおよび第2レンズ13bの厚さは、屈折光学系20に対する光の照射によって付加的に生じる凸のパワーと凹のパワーとの差が小さくなるように決定される。屈折光学系20が第1レンズ13a、第2レンズ13bからなる場合、第1レンズ13a、第2レンズ13bの厚さは、光の照射によって第1レンズ13aに付加される凸のパワーと第2レンズ13bに付加される凹のパワーとの差が小さくなるように決定される。これにより、投影光学系POに対する光の照射(典型的には基板18の露光)による投影光学系POの光学特性(収差)の変動を低減することができる。
投影光学系POは、物体面POと第1平面鏡11との間に配置された第1屈折光学系10と、第2平面鏡16と像面IPとの間に配置された第2屈折光学系17とを更に有しうる。第1屈折光学系10および第2屈折光学系17は、投影光学系POのディストーションおよび/または結像倍率の調整のために使用されうる。第1屈折光学系10および第2屈折光学系17は、平行平面板でありうる。平行平面板をアクチュエータによって変形させることによって投影光学系POのディストーションおよび/または結像倍率を調整することができる。
[第2実施形態]
図2を参照しながら本発明の第2実施形態の露光装置EX2について説明する。図2では、照明系ILが省略されているが、実際には、露光装置EX2も露光装置EX1と同様に照明系ILを備えている。第2実施形態の露光装置EX2は、投影光学系POが第1屈折光学系10の代わりに第1屈折光学系10'を有し、第2屈折光学系17の代わりに第2屈折光学系17'を有する点で第1実施形態と異なる。第2実施形態では、第1屈折光学系10'および第2屈折光学系17'の少なくとも1つは、非球面を有し、これにより、原版9の照明範囲(即ち、原版9を照明するスリット形状光の断面形状)を拡大することができる。この拡大は、屈折光学系20に入射する光のエネルギー密度の増大をもたらすので、屈折光学系20を本発明に従って構成することがより有用となる。第2実施形態において、投影光学系POは、等倍結像光学系、拡大結像光学系および縮小結像光学系のいずれとしても構成されうるが、等倍結像光学系として構成されることが好ましい。
図2を参照しながら本発明の第2実施形態の露光装置EX2について説明する。図2では、照明系ILが省略されているが、実際には、露光装置EX2も露光装置EX1と同様に照明系ILを備えている。第2実施形態の露光装置EX2は、投影光学系POが第1屈折光学系10の代わりに第1屈折光学系10'を有し、第2屈折光学系17の代わりに第2屈折光学系17'を有する点で第1実施形態と異なる。第2実施形態では、第1屈折光学系10'および第2屈折光学系17'の少なくとも1つは、非球面を有し、これにより、原版9の照明範囲(即ち、原版9を照明するスリット形状光の断面形状)を拡大することができる。この拡大は、屈折光学系20に入射する光のエネルギー密度の増大をもたらすので、屈折光学系20を本発明に従って構成することがより有用となる。第2実施形態において、投影光学系POは、等倍結像光学系、拡大結像光学系および縮小結像光学系のいずれとしても構成されうるが、等倍結像光学系として構成されることが好ましい。
[第3実施形態]
図3を参照しながら本発明の第2実施形態の露光装置EX3について説明する。図3では、照明系ILが省略されているが、実際には、露光装置EX3も露光装置EX1と同様に照明系ILを備えている。第3実施形態の露光装置EX3は、投影光学系POが第1屈折光学系10の代わりに第1屈折光学系10'を有し、第2屈折光学系17の代わりに第2屈折光学系17'を有する点で第1実施形態と異なる。第3実施形態では、第1屈折光学系10'および第2屈折光学系17'の少なくとも1つが非球面を有し、かつ、第1レンズ13aおよび第2レンズ13bの少なくとも一方が非球面を有する。これらにより、原版9の照明範囲(即ち、原版9を照明するスリット形状光の断面形状)を拡大することができる。この拡大は、屈折光学系20に入射する光のエネルギー密度の増大をもたらすので、屈折光学系20を本発明に従って構成することがより有用となる。第3実施形態において、投影光学系POは、等倍結像光学系、拡大結像光学系および縮小結像光学系のいずれとしても構成されうるが、拡大結像光学系として構成されることが好ましい。
図3を参照しながら本発明の第2実施形態の露光装置EX3について説明する。図3では、照明系ILが省略されているが、実際には、露光装置EX3も露光装置EX1と同様に照明系ILを備えている。第3実施形態の露光装置EX3は、投影光学系POが第1屈折光学系10の代わりに第1屈折光学系10'を有し、第2屈折光学系17の代わりに第2屈折光学系17'を有する点で第1実施形態と異なる。第3実施形態では、第1屈折光学系10'および第2屈折光学系17'の少なくとも1つが非球面を有し、かつ、第1レンズ13aおよび第2レンズ13bの少なくとも一方が非球面を有する。これらにより、原版9の照明範囲(即ち、原版9を照明するスリット形状光の断面形状)を拡大することができる。この拡大は、屈折光学系20に入射する光のエネルギー密度の増大をもたらすので、屈折光学系20を本発明に従って構成することがより有用となる。第3実施形態において、投影光学系POは、等倍結像光学系、拡大結像光学系および縮小結像光学系のいずれとしても構成されうるが、拡大結像光学系として構成されることが好ましい。
[第4実施形態]
本発明の好適な実施形態のデバイス製造方法は、例えば、半導体デバイス、FPDのデバイスの製造に好適である。例えば、液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造されうる。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、上記の露光装置を使って感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含みうる。
本発明の好適な実施形態のデバイス製造方法は、例えば、半導体デバイス、FPDのデバイスの製造に好適である。例えば、液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造されうる。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、上記の露光装置を使って感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含みうる。
Claims (6)
- 物体面に配置される原版のパターンを像面に配置される基板に投影する投影光学系を有する露光装置であって、
前記投影光学系は、
前記物体面から前記像面に至る光路に前記物体面から順に配置された第1平面鏡、第1凹面鏡、凸面鏡、第2凹面鏡、第2平面鏡と、
前記第1凹面鏡と前記凸面鏡との間および前記凸面鏡と前記第2凹面鏡との間に配置された正のパワーを有する屈折光学系とを有し、
前記屈折光学系は、屈折率の温度変化係数が正の材料で構成された第1レンズと、屈折率の温度変化係数が負の材料で構成された第2レンズとを含む、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記投影光学系は、
前記物体面と前記第1平面鏡との間に配置された第1屈折光学系と、
前記第2平面鏡と前記像面との間に配置された第2屈折光学系とを更に有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記第1屈折光学系および前記第2屈折光学系は、平行平面板を含む、
ことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 前記第1屈折光学系および前記第2屈折光学系の少なくとも一方が非球面を有し、
前記第1レンズおよび前記第2レンズの少なくとも一方が非球面を有する、
ことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 前記第1レンズは石英で構成され、前記第2レンズは蛍石で構成されている、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。 - デバイスを製造するデバイス製造方法であって、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置を使って基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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