JP2011018828A - 位置認識装置及び位置認識方法並びに位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位置認識装置11は、半導体ウエハWの端縁の位置を検出可能な複数のセンサa1、a2、b1、b2を備えた検出手段16と、半導体ウエハWと検出手段16とを直線方向に相対移動可能な移動手段17と、検出手段16の検出データから半導体ウエハWの中心位置を算出可能な制御手段18とを備えて構成されている。検出手段16は、前記相対移動する直線方向に対して直交する方向に、所定間隔を隔てて少なくとも4か所にセンサa1、a2、b1、b2が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、ウエハの位置認識及び位置決めを簡単な構成で精度よく行うことができる位置認識装置及び位置認識方法並びに位置決め装置を提供することにある。
半導体ウエハと検出手段とを直線方向に相対移動させる工程と、前記半導体ウエハと検出手段とが相対移動する直線方向に対して直交する方向に、所定間隔を隔てて少なくとも4か所にセンサを備えた検出手段を用い、前記相対移動中に前記半導体ウエハの端縁の位置を検出する工程と、前記検出手段の検出データから複数の差を求める工程と、求められた複数の差に対応する各センサの間隔をそれぞれ比較する工程と、前記比較の結果、センサの間隔と近似する検出データを用いて半導体ウエハの中心位置を算出する工程とを備える、という方法を採っている。
なお、本明細書及び特許請求の範囲において、「差」とは、検出手段の検出データから求められる2個のセンサのX軸方向の間隔を意味する。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 位置認識装置
13 支持手段
14 カメラ(外縁検知手段)
16 検出手段
17 移動手段
18 制御手段
a1、a2、b1、b2 センサ
Ca、Cb、Cab 間隔
Da、Db 差
N Vノッチ
OF オリエンテーションフラット
W 半導体ウエハ
Claims (5)
- 半導体ウエハの中心位置を検出して認識するための位置認識装置において、
前記半導体ウエハの端縁の位置を検出可能な複数のセンサを備えた検出手段と、前記半導体ウエハと検出手段とを直線方向に相対移動可能な移動手段と、検出手段の検出データから半導体ウエハの中心位置を算出可能な制御手段とを備え、
前記検出手段は、前記半導体ウエハと検出手段とが相対移動する直線方向に対して直交する方向に、所定間隔を隔てて少なくとも4か所に前記センサが設けられていることを特徴とする位置認識装置。 - 前記半導体ウエハは、結晶方位を示すオリエンテーションフラット又はVノッチを備え、
前記検出手段は、前記オリエンテーションフラットの幅又はVノッチの開口幅より長く設定された間隔を隔てた両側にそれぞれ少なくとも2か所に設けられていることを特徴とする請求項1記載の位置認識装置。 - 前記制御手段は、前記検出手段の検出データから複数の差を求める機能と、求められた複数の差に対応する各センサの間隔をそれぞれ比較する機能と、比較の結果、センサの間隔と近似する差が求められたセンサの検出データを用いて半導体ウエハの中心位置を算出する機能とを備えていることを特徴とする請求項1又は2記載の位置認識装置。
- 半導体ウエハの中心位置を検出するための位置認識方法において、
半導体ウエハと検出手段とを直線方向に相対移動させる工程と、
前記半導体ウエハと検出手段とが相対移動する直線方向に対して直交する方向に、所定間隔を隔てて少なくとも4か所にセンサを備えた検出手段を用い、前記相対移動中に前記半導体ウエハの端縁の位置を検出する工程と、
前記検出手段の検出データから複数の差を求める工程と、
求められた複数の差に対応する各センサの間隔をそれぞれ比較する工程と、
前記比較の結果、センサの間隔と近似する検出データを用いて半導体ウエハの中心位置を算出する工程とを備えていることを特徴とする位置認識方法。 - 請求項1、2又は3記載の位置認識装置と、この位置認識装置により中心位置が認識された半導体ウエハを載置可能に設けられるとともに、当該半導体ウエハを平面内で回転可能な支持手段と、半導体ウエハにおける結晶方位を示すオリエンテーションフラット又はVノッチを検知する外縁検知手段とを備えた位置決め装置であって、
前記支持手段は、半導体ウエハを回転することにより、外縁検知手段で検知されたオリエンテーションフラット又はVノッチを所定の向きに設定して位置決め可能に設けられていることを特徴とする位置決め装置。
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