JP2011011950A - サファイア単結晶の製造方法、当該方法で得られたサファイア単結晶及びサファイア単結晶の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】結晶成長によって製造された塊状のサファイア単結晶の結晶欠陥の除去を図り、塊状のサファイア単結晶から得るサファイア製品の収率を向上させる方法を提供する。
【解決手段】塊状のサファイア単結晶であるサファイアインゴットを製造する「サファイア単結晶成長工程」S101を行う。次に、サファイア単結晶成長工程S101にて得られたサファイアインゴットに対して加熱処理を施す「インゴットの加熱工程」S102を行う。その後、加熱処理が施されたサファイアインゴットに対して機械加工を施す「インゴットの加工工程」S103を行う。ここで、インゴットの加熱工程S102において、大気以上の酸素濃度に高められた雰囲気中によってサファイアインゴットの加熱を行う。こうすることで、サファイアインゴットに機械加工を行う際に生じる、サファイアインゴットのクラックの発生を抑制する。
【選択図】図1
【解決手段】塊状のサファイア単結晶であるサファイアインゴットを製造する「サファイア単結晶成長工程」S101を行う。次に、サファイア単結晶成長工程S101にて得られたサファイアインゴットに対して加熱処理を施す「インゴットの加熱工程」S102を行う。その後、加熱処理が施されたサファイアインゴットに対して機械加工を施す「インゴットの加工工程」S103を行う。ここで、インゴットの加熱工程S102において、大気以上の酸素濃度に高められた雰囲気中によってサファイアインゴットの加熱を行う。こうすることで、サファイアインゴットに機械加工を行う際に生じる、サファイアインゴットのクラックの発生を抑制する。
【選択図】図1
Description
本発明は、サファイア単結晶の製造方法、当該方法で得られたサファイア単結晶及びサファイア単結晶の加工方法に関する。
近年、サファイア単結晶は、例えば青色LEDを製造する際のIII族窒化物半導体(GaN等)のエピ膜成長用の基板材料として広く利用されている。また、サファイア単結晶は、例えば液晶プロジェクタに用いられる偏光子の保持部材等としても広く用いられている。
このようなサファイア単結晶の板材すなわちウエハは、一般的には、塊状のサファイア単結晶から所定の厚さに切り出すことによって得る。塊状のサファイア単結晶を製造する方法については種々の提案がなされているが、その結晶特性が良いことや大きな結晶径のものを得やすいということから、溶融固化法で製造されることが多い。特に、溶融固化法の一つであるチョクラルスキー法(Cz法)が広く用いられている。
チョクラルスキー法によって、塊状のサファイア単結晶を製造するには、まず坩堝に酸化アルミニウムの原料を充填し、高周波誘導加熱法や抵抗加熱法によって坩堝を加熱し原料を溶融する。原料を溶融した後、所定の結晶方位に切り出した種結晶を原料融液表面に接触させ、種結晶を所定の回転速度で回転させながら所定の速度で上方に引き上げて単結晶を成長させる(例えば、特許文献1参照)。
ところで、結晶成長によって育成された塊状のサファイア単結晶は、その後、製品として用いる部分を残し、他の部分を切断するなどの機械加工が施される。さらに、例えば塊状のサファイア単結晶から板状のサファイア基板を得る場合には、塊状のサファイア単結晶に切断(スライス)加工を行うことで、複数の板状のサファイア単結晶に分割する。ここで、塊状のサファイア単結晶に上記のような機械加工を施す際に、加工対象となる塊状のサファイア単結晶に結晶歪みが生じていると、塊状のサファイア単結晶にクラックなどの損傷が発生し易くなる。通常、塊状のサファイア単結晶にクラックなどの損傷が生じると、クラックが生じている部分は廃棄し、残りの部分を製品として利用することとなる。
多くの溶融固化法から製造された塊状のサファイア単結晶には、単結晶製造工程における熱応力に起因する結晶歪みが生じやすく、その後の機械加工を施す際に塊状のサファイア単結晶にクラックなどの損傷を生じやすいという問題があった。
多くの溶融固化法から製造された塊状のサファイア単結晶には、単結晶製造工程における熱応力に起因する結晶歪みが生じやすく、その後の機械加工を施す際に塊状のサファイア単結晶にクラックなどの損傷を生じやすいという問題があった。
本発明は、結晶成長によって製造された塊状のサファイア単結晶の結晶歪みの除去を図り、塊状のサファイア単結晶から得るサファイア製品の収率を安定して向上させることを目的とする。
かかる目的のもと、本発明が適用されるサファイア単結晶の製造方法は、機械加工の対象となる塊状のサファイア単結晶を、塊状のサファイア単結晶を加熱するための加熱装置内に設置する第1の工程と、加熱装置内に設置された塊状のサファイア単結晶を、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素、酸素、二酸化炭素及び一酸化炭素からなる群から選ばれた少なくとも1種を含む雰囲気中で加熱する第2の工程とを備えることを特徴とする。
このようなサファイア単結晶の製造方法において、第2の工程における雰囲気は、大気以上の酸素濃度に高められた雰囲気中で行われることを特徴とすることができる。
この場合、酸素以外として、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素、二酸化炭素及び一酸化炭素からなる群から選ばれた少なくとも1種を用いることができる。
本発明においては、製造コストの面で好ましくは酸素濃度が21体積%(大気)以上の酸素を含む酸素/窒素混合系の雰囲気ガスを用いることができる。
この場合、酸素以外として、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素、二酸化炭素及び一酸化炭素からなる群から選ばれた少なくとも1種を用いることができる。
本発明においては、製造コストの面で好ましくは酸素濃度が21体積%(大気)以上の酸素を含む酸素/窒素混合系の雰囲気ガスを用いることができる。
また、このようなサファイア単結晶の製造方法において、第2の工程における雰囲気の酸素濃度は、23体積%以上であることを特徴とすることができる。さらに、第2の工程における雰囲気は、1500℃以上1800℃未満に加熱されることを特徴とすることができる。そして、第2の工程は、30時間以上継続されることを特徴とすることができる。
また、第1の工程では、2以上の板状のサファイア単結晶を得るための機械加工の対象となる塊状のサファイア単結晶を用いることを特徴とすることができる。さらに、第1の工程では、引き上げ法によって製造された得られた塊状のサファイア単結晶を用いることを特徴とすることができる。
別の観点から、本発明は、前記記載のサファイア単結晶の製造方法によって製造されたサファイア単結晶、及びサファイア単結晶の製造方法を経た後に、機械加工を施すサファイア単結晶の加工方法を提供することができる。
本発明によれば、結晶成長によって製造された塊状のサファイア単結晶の結晶歪みの除去が図れ、塊状のサファイア単結晶から得るサファイア製品の収率を安定して向上させることが可能となる。特に、4インチ以上の大口径の塊状サファイア単結晶から得られるサファイア製品の収率を安定的に向上させることができる。また、4インチ以上の大口径のc軸サファイア単結晶引上げの製造方法においては、格段に収率を向上させることができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1は、本実施形態におけるサファイアインゴットの製造手順の一例を説明するためのフローチャートである。
本実施形態では、図1に示すように、サファイア単結晶の結晶成長を行って、塊状のサファイア単結晶(以下、サファイアインゴット10と呼ぶ。)を作製する「サファイア単結晶成長工程」を行う(ステップ101)。次に、サファイア単結晶成長工程にて得られたサファイアインゴット10に対して加熱処理を施す「インゴットの加熱工程」を行う(ステップ102)。そして、加熱処理が施されたサファイアインゴット10に対して機械加工を施す「インゴットの加工工程」を行う(ステップ103)。
図1は、本実施形態におけるサファイアインゴットの製造手順の一例を説明するためのフローチャートである。
本実施形態では、図1に示すように、サファイア単結晶の結晶成長を行って、塊状のサファイア単結晶(以下、サファイアインゴット10と呼ぶ。)を作製する「サファイア単結晶成長工程」を行う(ステップ101)。次に、サファイア単結晶成長工程にて得られたサファイアインゴット10に対して加熱処理を施す「インゴットの加熱工程」を行う(ステップ102)。そして、加熱処理が施されたサファイアインゴット10に対して機械加工を施す「インゴットの加工工程」を行う(ステップ103)。
<サファイア単結晶成長工程>
図2は、単結晶引き上げ装置3の構成を説明するための一例の図である。
図2に示す単結晶引き上げ装置3は、サファイア単結晶成長工程において用いられるものである。本実施形態の単結晶引き上げ装置3は、融液凝固法の一つであるチョクラルスキー(Cz)法によりサファイア単結晶の育成を行うものである。本実施形態の単結晶引き上げ装置3は、図2に示すように、断熱容器31、るつぼ32、加熱コイル33、引き上げ棒40及び種結晶ホルダ41を備えている。
断熱容器31は、円柱状の外形を有しており、その内部には円柱状の空間が形成されている。また、断熱容器31は、ジルコニア製の断熱材からなる部品を組み立てることで構成されている。るつぼ32は、断熱容器31の内側下方に設けられ、酸化アルミニウムを溶融してなるアルミナ融液100を収容する。るつぼ32は、図2に示すように、鉛直上方に向かって開口するように配置されている。
図2は、単結晶引き上げ装置3の構成を説明するための一例の図である。
図2に示す単結晶引き上げ装置3は、サファイア単結晶成長工程において用いられるものである。本実施形態の単結晶引き上げ装置3は、融液凝固法の一つであるチョクラルスキー(Cz)法によりサファイア単結晶の育成を行うものである。本実施形態の単結晶引き上げ装置3は、図2に示すように、断熱容器31、るつぼ32、加熱コイル33、引き上げ棒40及び種結晶ホルダ41を備えている。
断熱容器31は、円柱状の外形を有しており、その内部には円柱状の空間が形成されている。また、断熱容器31は、ジルコニア製の断熱材からなる部品を組み立てることで構成されている。るつぼ32は、断熱容器31の内側下方に設けられ、酸化アルミニウムを溶融してなるアルミナ融液100を収容する。るつぼ32は、図2に示すように、鉛直上方に向かって開口するように配置されている。
加熱コイル33は、断熱容器31を挟んでるつぼ32の壁面と対向するように配置されている。そして、加熱コイル33は、下側端部がるつぼ32の下端よりも下側に位置するように、上側端部はるつぼ32の上端よりも上側に位置するように配置されている。
加熱コイル33は、高周波の交流電流が供給されると、るつぼ32内に渦電流を発生させる。そうすると、るつぼ32ではジュール熱が発生し、るつぼ32が加熱されることになる。そして、るつぼ32の加熱に伴ってるつぼ32内に収容される酸化アルミニウムがその融点(約2050℃)を超えて加熱されると、るつぼ32内において酸化アルミニウムが溶融しアルミナ融液100となる。
加熱コイル33は、高周波の交流電流が供給されると、るつぼ32内に渦電流を発生させる。そうすると、るつぼ32ではジュール熱が発生し、るつぼ32が加熱されることになる。そして、るつぼ32の加熱に伴ってるつぼ32内に収容される酸化アルミニウムがその融点(約2050℃)を超えて加熱されると、るつぼ32内において酸化アルミニウムが溶融しアルミナ融液100となる。
引き上げ棒40は、断熱容器31の上方から下方に伸びている。引き上げ棒40は、例えばステンレス等の金属棒にて構成されており、鉛直方向への移動及び軸を中心とする回転が可能となるように取り付けられている。また、引き上げ棒40のるつぼ32と対向する側には、後述する種結晶11を取り付けるための種結晶ホルダ41が設けられている。
そして、引き上げ棒40は、引き上げ棒40を鉛直上方に引き上げるための引き上げ駆動部(不図示)、及び引き上げ棒40を回転させるための回転駆動部(不図示)に接続されている。なお、引き上げ駆動部はモータで構成されており、引き上げ棒40の引き上げ速度を調整できるようになっている。また、回転駆動部もモータで構成されており、引き上げ棒40の回転速度を調整できるようになっている。
上述のように構成される単結晶引き上げ装置3によって、サファイア単結晶成長をさせるには、まず、原料となる酸化アルミニウムをるつぼ32に投入する。そして、加熱コイル33に通電を行うことでるつぼ32が誘導加熱され、るつぼ32内の酸化アルミニウムが融解し、るつぼ32にアルミナ融液が充填される。その後、るつぼ32内のアルミナ融液にサファイア単結晶からなる種結晶11を接触させ、種結晶11を回転させながら上方に引き上げることで、種結晶11に順次サファイア単結晶を成長させる。なお、本実施形態では、サファイアインゴット10のサイズが、引き上げ方向の長さが約30cm、最大径(引き上げ方向と直交する断面の幅)が十数cmとなるように育成する。また、本実施形態では、サファイアインゴット10のサイズが、引き上げ方向の長さが約30cm以上、最大径が十数cm以上になるように育成することができる。
そして、成長したサファイア単結晶すなわちサファイアインゴット10を取り出し、冷却することでサファイア単結晶成長工程が完了する。
なお、製造後のサファイアインゴット10は、結晶成長初期に形成される肩部12と、製品として利用する部位として形成される直胴部13と、肩部12の逆側に形成される尾部14とを有している(後述する図3(a)参照)。
そして、成長したサファイア単結晶すなわちサファイアインゴット10を取り出し、冷却することでサファイア単結晶成長工程が完了する。
なお、製造後のサファイアインゴット10は、結晶成長初期に形成される肩部12と、製品として利用する部位として形成される直胴部13と、肩部12の逆側に形成される尾部14とを有している(後述する図3(a)参照)。
<インゴットの加熱工程>
インゴットの加熱工程は、上述のサファイア単結晶成長工程において得られたサファイアインゴット10に対して加熱処理を行うものである。インゴットの加熱工程は、サファイアインゴット10における結晶歪みの除去を図るための工程である。このように、サファイアインゴット10を加熱処理し、その結晶歪みを除去することで、例えば後述のインゴットの加工工程を行う際における機械加工の衝撃に伴ったサファイアインゴット10の損傷を抑制することができる。なお、このインゴットの加熱工程については、後に詳しく説明する。
インゴットの加熱工程は、上述のサファイア単結晶成長工程において得られたサファイアインゴット10に対して加熱処理を行うものである。インゴットの加熱工程は、サファイアインゴット10における結晶歪みの除去を図るための工程である。このように、サファイアインゴット10を加熱処理し、その結晶歪みを除去することで、例えば後述のインゴットの加工工程を行う際における機械加工の衝撃に伴ったサファイアインゴット10の損傷を抑制することができる。なお、このインゴットの加熱工程については、後に詳しく説明する。
<インゴットの加工工程>
図3は、インゴットの加工工程を説明するための一例の図である。
インゴットの加工工程は、インゴットの加熱工程を経たサファイアインゴット10に対して機械加工を施すものである。具体的には、図3(a)及び(b)に示すように、製品として利用する直胴部13を残し、内周刀切断機などを用いてサファイアインゴット10から肩部12及び尾部14を切断する。そして、図3(c)に示すように、サファイアインゴット10の側面に形成される凹凸を切除するように、直胴部13に対して外周研削を行う。
図3は、インゴットの加工工程を説明するための一例の図である。
インゴットの加工工程は、インゴットの加熱工程を経たサファイアインゴット10に対して機械加工を施すものである。具体的には、図3(a)及び(b)に示すように、製品として利用する直胴部13を残し、内周刀切断機などを用いてサファイアインゴット10から肩部12及び尾部14を切断する。そして、図3(c)に示すように、サファイアインゴット10の側面に形成される凹凸を切除するように、直胴部13に対して外周研削を行う。
さらに、サファイアインゴット10を所望とする形状に加工することで、半導体装置の基板や機械部品等の製品として用いる。例えば、サファイアインゴット10を引き上げ方向(図3(c)に示すサファイアインゴット10の長手方向)と直交する方向に切断することにより、図3(d)に示すように板状のサファイア単結晶であるサファイアウエハ15が得られる。なお、本実施形態では、サファイアインゴット10をc軸方向に結晶成長させていることから、得られるサファイアウエハ15の主面はc面((0001)面)となる。そして、例えば青色LED(発光ダイオード)の基板としてサファイアウエハ15を利用する場合には、そのサファイアウエハ15にAlN膜、GaN膜、InGaN膜などの半導体層が適宜成膜される。
続いて、インゴットの加熱工程(昇温工程、温度保持工程、降温工程)について詳しく説明する。なお、本実施形態では、窒素及び酸素からなる群から選ばれた少なくとも1種を含む雰囲気で加熱工程が主に行われる。
図4は、加熱装置2の全体構成を説明するための一例の図である。
図4に示す加熱装置2は、インゴットの加熱工程において、サファイアインゴット10を加熱するために用いるものである。加熱装置2は、図4に示すように、炉室21と、サファイアインゴット10を載せる積載台22と、熱源となるヒータ23と、ヒータ23の加熱温度などを制御する制御部24、炉室21内に、例えば酸素ガス及び窒素ガスとを含む雰囲気ガスを供給するガス供給部25と、炉室21内の雰囲気ガスを排気するガス排気部27とを備える。
なお、本実施形態のガス供給部25は、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素、酸素、二酸化炭素及び一酸化炭素からなる群から選ばれた少なくとも1種を含む雰囲気ガスを作り、炉室21内に供給することができる。
図4は、加熱装置2の全体構成を説明するための一例の図である。
図4に示す加熱装置2は、インゴットの加熱工程において、サファイアインゴット10を加熱するために用いるものである。加熱装置2は、図4に示すように、炉室21と、サファイアインゴット10を載せる積載台22と、熱源となるヒータ23と、ヒータ23の加熱温度などを制御する制御部24、炉室21内に、例えば酸素ガス及び窒素ガスとを含む雰囲気ガスを供給するガス供給部25と、炉室21内の雰囲気ガスを排気するガス排気部27とを備える。
なお、本実施形態のガス供給部25は、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素、酸素、二酸化炭素及び一酸化炭素からなる群から選ばれた少なくとも1種を含む雰囲気ガスを作り、炉室21内に供給することができる。
本実施形態の積載台22は、サファイアインゴット10を載せる台である。本実施形態では、サファイアインゴット10を加熱対象とするため、積載台22をサファイアインゴット10と同種となる酸化アルミニウム製としている。こうすることで、サファイアインゴット10の加熱時において、サファイアインゴット10に酸化アルミニウム以外の異物が付着することを防止している。例えば、積載台22を酸化アルミニウム以外の材料によって構成した場合、その積載台22の材料とサファイアインゴット10とが反応したり、その材料と雰囲気ガスとが反応したりすることで、サファイアインゴット10に異物が付着するおそれがある。そこで、本実施形態では、積載台22をサファイアインゴット10と同種の酸化アルミニウム製としている。
また、積載台22をサファイアインゴット10と同じ材料とすることにより、両者の熱伝導率が等しくなる。こうすることで、本実施形態では、例えばサファイアインゴット10の積載台22と接触する部位の温度が他の部分よりも高くなること、あるいは低くなることを抑制し、サファイアインゴット10が均一に加熱されるように構成している。
ガス供給部25は、ガス供給管251を介して炉室21の内部に雰囲気ガスを供給するものである。本実施の形態において、ガス供給部25は、例えば、O2源261から供給される酸素とN2源262から供給される不活性ガスの一例としての窒素とを混合した混合ガスを供給できるようになっている。そして、ガス供給部25は、酸素と窒素との混合比を可変することで混合ガス中の酸素の濃度の調整が可能となっており、また、炉室21の内部に供給する混合ガスの流量の調整も可能となっている。
ガス排気部27は、ガス排気管271を介して炉室21の内部から雰囲気ガスを排出する。ガス排気部27は、例えばポンプ等で構成されており、炉室21の内部から排出する雰囲気ガスの流量の調整も可能となっている。
ヒータ23は、炉室21内の雰囲気ガスを加熱し、その雰囲気ガスを介してサファイアインゴット10の加熱を行う。また、本実施形態のヒータ23には、セラミックヒータを用いている。ヒータ23には、適宜各種熱源を用いて構わない。ただし、後述するように、本実施形態では、炉室21内の雰囲気ガスの酸素濃度を大気以上に設定しながら、サファイアインゴット10の加熱を行う。そこで、本実施形態では、高酸素雰囲気下において用いられる場合であっても、劣化等の影響が小さいセラミックヒータを用いている。
制御部24は、後述する保持温度T1、加熱における保持時間t、昇温レート(単位時間当たりの上昇温度)、降温レート(単位時間当たりの降下温度)などの設定を受け付け、炉室21内の温度や、サファイアインゴット10の温度等に基づいてヒータ23の加熱温度の制御を行う。また、制御部24は、炉室21内の酸素濃度を所定の条件とするために、ガス供給部25によるガスの供給量の調整、あるいはガス排気部27によるガスの排出量の調整も行う。
なお、図示はしていないが、加熱装置2には、炉室21内の雰囲気ガスの温度を測定する温度計や、炉室21内の雰囲気ガスの酸素濃度を測定する酸素濃度検知装置が適宜設けられている。また、加熱装置2にサファイアインゴット10自体の温度を検知する温度検知装置を設け、サファイアインゴット10の温度を直接的に検出するように構成しても良い。
なお、図示はしていないが、加熱装置2には、炉室21内の雰囲気ガスの温度を測定する温度計や、炉室21内の雰囲気ガスの酸素濃度を測定する酸素濃度検知装置が適宜設けられている。また、加熱装置2にサファイアインゴット10自体の温度を検知する温度検知装置を設け、サファイアインゴット10の温度を直接的に検出するように構成しても良い。
図5は、本実施形態におけるインゴットの加熱工程について説明するための一例の図である。
まず、図4を参照しながら説明したように、加熱装置2の炉室21内に設けられる積載台22にサファイアインゴット10を設置する(第1の工程)。そして、以下に説明するように、温度を上昇させる昇温工程P1、所定の温度を一定時間維持する温度保持工程P2、所定の温度から下げる降温工程P3を経ることにより、サファイアインゴット10に加熱処理を施す(第2の工程)。
なお、以下の説明では、温度保持工程P2において保持する温度を「保持温度T1」と呼び、サファイアインゴット10の温度を保持温度T1に維持する時間を「保持時間t」と呼ぶ。
まず、図4を参照しながら説明したように、加熱装置2の炉室21内に設けられる積載台22にサファイアインゴット10を設置する(第1の工程)。そして、以下に説明するように、温度を上昇させる昇温工程P1、所定の温度を一定時間維持する温度保持工程P2、所定の温度から下げる降温工程P3を経ることにより、サファイアインゴット10に加熱処理を施す(第2の工程)。
なお、以下の説明では、温度保持工程P2において保持する温度を「保持温度T1」と呼び、サファイアインゴット10の温度を保持温度T1に維持する時間を「保持時間t」と呼ぶ。
(昇温工程)
まず、ガス供給部25及びガス排気部27を調整することによって、炉室21内の雰囲気ガスにおける酸素濃度が例えば、21体積%濃度(大気並)あるいはそれ以上の濃度となるように、炉室21内の雰囲気条件を調整する。そして、ヒータ23の加熱を開始することにより、図5に示すように、炉室21内の雰囲気ガスの温度が初期温度T0(例えば常温の25℃)から保持温度T1になるように、ヒータ23を制御する。なお、本実施形態では、保持温度T1は例えば1600℃に設定している。また、本実施形態において、加熱時における炉室21内の雰囲気条件は、例えば、大気中の酸素濃度(21体積%)以上になるように設定している。
まず、ガス供給部25及びガス排気部27を調整することによって、炉室21内の雰囲気ガスにおける酸素濃度が例えば、21体積%濃度(大気並)あるいはそれ以上の濃度となるように、炉室21内の雰囲気条件を調整する。そして、ヒータ23の加熱を開始することにより、図5に示すように、炉室21内の雰囲気ガスの温度が初期温度T0(例えば常温の25℃)から保持温度T1になるように、ヒータ23を制御する。なお、本実施形態では、保持温度T1は例えば1600℃に設定している。また、本実施形態において、加熱時における炉室21内の雰囲気条件は、例えば、大気中の酸素濃度(21体積%)以上になるように設定している。
なお、初期温度T0から保持温度T1まで上昇させるまでの時間は、雰囲気条件にも依存するものの、例えば昇温レートに基づいて設定する。本実施形態では、例えば、昇温レートを2℃/分としている。本発明においては、昇温レートは雰囲気条件にも依存し、特に限定されるものではないが、通常、大気雰囲気中では0.5℃/分以上50℃/分未満の範囲において任意に設定することが好ましく、また1℃/分以上5℃/分未満の範囲にすることが望ましい。
また、下限を0.5℃/分以下に設定すると当該工程における時間が長くなり製品の生産性が悪くなり、コスト面においても実行的ではない。50℃/分を超えるレートの場合にはサファイアインゴット10内に大きな温度勾配を生じ熱応力が発生してしまう。
さらに、昇温工程P1では、図5に示すように初期温度T0から保持温度T1に一段で昇温させてもよく、また複数の昇温工程を含む複数段の工程を経て初期温度T0から保持温度T1に昇温させても良い。
また、下限を0.5℃/分以下に設定すると当該工程における時間が長くなり製品の生産性が悪くなり、コスト面においても実行的ではない。50℃/分を超えるレートの場合にはサファイアインゴット10内に大きな温度勾配を生じ熱応力が発生してしまう。
さらに、昇温工程P1では、図5に示すように初期温度T0から保持温度T1に一段で昇温させてもよく、また複数の昇温工程を含む複数段の工程を経て初期温度T0から保持温度T1に昇温させても良い。
(温度保持工程)
温度保持工程P2では、雰囲気ガスの温度を保持温度T1に維持する。本実施形態では、例えば、この保持温度T1を1600℃としている。さらに、炉室21内の温度がこの保持温度T1を維持するように制御しながら、温度保持工程P2を50時間継続させる。なお、保持温度T1は、1500℃以上1800℃未満に設定することが好ましい。また、保持時間tは、例えば30時間以上に設定することが好ましい。
温度保持工程P2では、雰囲気ガスの温度を保持温度T1に維持する。本実施形態では、例えば、この保持温度T1を1600℃としている。さらに、炉室21内の温度がこの保持温度T1を維持するように制御しながら、温度保持工程P2を50時間継続させる。なお、保持温度T1は、1500℃以上1800℃未満に設定することが好ましい。また、保持時間tは、例えば30時間以上に設定することが好ましい。
(降温工程)
降温工程P3では、温度保持工程P2において保持時間tが経過した後、サファイアインゴット10の温度を保持温度T1から降下させる。なお、本発明においては、降温レートは、特に限定されるものではないが、0.5℃/分以上2℃/分未満とすることが望ましい。
なお、昇温レートと降温レートとの大小関係を上記のように設定した理由は、これらのレートが大き過ぎると熱衝撃によりサファイアインゴット10にクラックが生じてしまう恐れがあり、特に降温時の方が熱衝撃を受け易いので、降温レートを昇温レートより遅くすることが好ましい。また、昇温工程及び降温工程において、下限が0.5℃/分以下とすると当該工程における時間が長くなり製品の生産性が悪くなり、コスト面においても実行的ではない。
降温工程P3では、温度保持工程P2において保持時間tが経過した後、サファイアインゴット10の温度を保持温度T1から降下させる。なお、本発明においては、降温レートは、特に限定されるものではないが、0.5℃/分以上2℃/分未満とすることが望ましい。
なお、昇温レートと降温レートとの大小関係を上記のように設定した理由は、これらのレートが大き過ぎると熱衝撃によりサファイアインゴット10にクラックが生じてしまう恐れがあり、特に降温時の方が熱衝撃を受け易いので、降温レートを昇温レートより遅くすることが好ましい。また、昇温工程及び降温工程において、下限が0.5℃/分以下とすると当該工程における時間が長くなり製品の生産性が悪くなり、コスト面においても実行的ではない。
次に、上述したサファイアインゴット10の加熱工程における加熱条件についての詳細な説明を行う。
以下では、サファイアインゴット10の加熱工程における、雰囲気ガスの酸素濃度、保持温度T1、及び保持時間tについての好ましい条件の例を挙げる。
本発明者らは、サファイア単結晶成長工程を経たサファイアインゴット10を用い、雰囲気条件、保持温度T1及び保持時間tを異ならせたインゴットの加熱工程を行った。これにより、各条件に基づいて作製された複数のサファイアインゴット10を得た。そして、得られた複数のサファイアインゴット10のサンプルに対して、インゴットの加工工程と同様に、肩部12及び尾部14を切断する加工を行った。そして、切断によってクラックが発生する割合に基づいて、4段階の評価(A評価、B評価、C評価、D評価)を行った。
以下では、サファイアインゴット10の加熱工程における、雰囲気ガスの酸素濃度、保持温度T1、及び保持時間tについての好ましい条件の例を挙げる。
本発明者らは、サファイア単結晶成長工程を経たサファイアインゴット10を用い、雰囲気条件、保持温度T1及び保持時間tを異ならせたインゴットの加熱工程を行った。これにより、各条件に基づいて作製された複数のサファイアインゴット10を得た。そして、得られた複数のサファイアインゴット10のサンプルに対して、インゴットの加工工程と同様に、肩部12及び尾部14を切断する加工を行った。そして、切断によってクラックが発生する割合に基づいて、4段階の評価(A評価、B評価、C評価、D評価)を行った。
ここで、A評価は、クラックの発生率が10%未満となったものである。
B評価は、クラックの発生率が10%以上40%未満となったものである。
C評価は、クラックの発生率が40%以上70%未満となったものである。
D評価は、クラックの発生率が70%以上となったものである。
B評価は、クラックの発生率が10%以上40%未満となったものである。
C評価は、クラックの発生率が40%以上70%未満となったものである。
D評価は、クラックの発生率が70%以上となったものである。
図6は、加熱時の雰囲気条件について説明するための一例の図である。
インゴットの加熱工程において、加熱時の雰囲気(加熱装置2における炉室21内の雰囲気)の条件を異ならせて複数のサファイアインゴット10を作製し、各条件にて得られたサファイアインゴット10の評価を行った。なお、図6に示す例では、保持温度T1を1600℃とし、保持時間tを50時間に設定している。
図6に示すように、酸素濃度を0体積%、5体積%及び10体積%に設定した場合では、その評価がD評価となった。酸素濃度を上記の範囲に設定してインゴットの加熱工程を行った場合には、多数のサンプルにおいてクラックが発生した。上記の酸素濃度の条件では、サファイアインゴット10に生じている結晶歪みを除去するには、酸素濃度が十分でないことが伺える。
インゴットの加熱工程において、加熱時の雰囲気(加熱装置2における炉室21内の雰囲気)の条件を異ならせて複数のサファイアインゴット10を作製し、各条件にて得られたサファイアインゴット10の評価を行った。なお、図6に示す例では、保持温度T1を1600℃とし、保持時間tを50時間に設定している。
図6に示すように、酸素濃度を0体積%、5体積%及び10体積%に設定した場合では、その評価がD評価となった。酸素濃度を上記の範囲に設定してインゴットの加熱工程を行った場合には、多数のサンプルにおいてクラックが発生した。上記の酸素濃度の条件では、サファイアインゴット10に生じている結晶歪みを除去するには、酸素濃度が十分でないことが伺える。
次に、酸素濃度を15体積%に設定した場合では、その評価がC評価となった。酸素濃度を15体積%にすることで、クラックの発生率が若干ながら抑えることができると分かった。しかしながら、約半数以上のサンプルにおいてクラックが発生していることから、この酸素濃度の条件であっても、結晶歪みを除去するにあたっては、酸素濃度が不十分であることが分かった。
そして、酸素濃度を21体積%に設定した場合では、その評価はB評価となった。つまり、酸素濃度を大気雰囲気と同じとなる21体積%に設定した場合は、上記までの酸素濃度に設定した場合と比較して、クラックの発生率が大幅に低下した。また、上記までの傾向から、酸素濃度が高まるにつれてクラックの発生率が次第に低下しており、酸素濃度が高くなればなるほど結晶歪みの除去率が向上することが伺える。
そして、酸素濃度を23体積%及び25体積%に設定した場合では、その評価はA評価となった。つまり、酸素濃度を大気雰囲気よりも高くなる23体積%に設定した場合は、上記までの酸素濃度に設定した場合と比較して、クラックの発生をほぼ無くせることが明らかとなった。これは、大気雰囲気下よりも高い酸素濃度のもとで、サファイアインゴット10の加熱を行うことによって、サファイアインゴット10の内部に生じている酸素欠陥に雰囲気ガスの酸素が入り込み、原子の移動が起こることで結晶歪みが除去されたものと考えられる。その結果、サファイアインゴット10に機械加工を行うといった衝撃を与えた場合であっても、クラックが生じにくくなったものと考えられる。
さらに、酸素濃度を30体積%、50体積%、100体積%と設定した場合においても、評価結果がA評価となることが確認できた。ここで、酸素濃度が50体積%を超えて、さらに高くなるにつれて、クラックの発生率がより低減されることが確認された。しかしながら、例えば酸素濃度が50体積%である場合と100体積%である場合とでは、クラック発生率にそれほど大きな差異はみられなかった。なお、加熱時の雰囲気の酸素濃度は少なくとも21体積%であれば良く、また、コストと結晶歪みの除去との効果を鑑みると、酸素濃度を50体積%以下にすることがより好ましい。
図7は、保持温度T1の条件について説明するための一例の図である。
インゴットの加熱工程において、保持温度T1の条件を異ならせて複数のサファイアインゴット10を作製し、それぞれについて評価を行った。なお、図7に示す例では、雰囲気条件における酸素濃度を23体積%とし、保持時間tを50時間に設定している。また、図7には、サファイアインゴット10の加熱温度の上昇に伴って発生し得る散乱体の有無を併記している。散乱体とは、結晶内部の欠陥が生じることによって見られる現象であり、例えば集光照明下で観察することによって目視にて確認することができる。
インゴットの加熱工程において、保持温度T1の条件を異ならせて複数のサファイアインゴット10を作製し、それぞれについて評価を行った。なお、図7に示す例では、雰囲気条件における酸素濃度を23体積%とし、保持時間tを50時間に設定している。また、図7には、サファイアインゴット10の加熱温度の上昇に伴って発生し得る散乱体の有無を併記している。散乱体とは、結晶内部の欠陥が生じることによって見られる現象であり、例えば集光照明下で観察することによって目視にて確認することができる。
まず、図7に示すように、保持温度T1を1100℃及び1200℃に設定した場合、その評価はD評価となった。保持温度T1がこれらの温度域であると、クラックの発生を抑制できるだけの結晶歪みの除去が難しいことが分かった。
そして、保持温度T1を1300℃及び1400℃に設定した場合、その評価はC評価となった。保持温度T1を1300℃以上にすることで、若干ながらクラックの発生率を低減できることが分かった。しかしながら、この保持温度T1がこの温度域であっても、約半数以上のサンプルにクラックが発生した。
そして、保持温度T1を1300℃及び1400℃に設定した場合、その評価はC評価となった。保持温度T1を1300℃以上にすることで、若干ながらクラックの発生率を低減できることが分かった。しかしながら、この保持温度T1がこの温度域であっても、約半数以上のサンプルにクラックが発生した。
保持温度T1を1500℃に設定した場合には、その評価がB評価となった。保持温度T1をこの温度域に設定することで、多くのサファイアインゴット10における結晶歪みを除去できることが分かった。これは、保持温度T1を1500℃以上にすることで、サファイアインゴット10の内部においてサファイアインゴット10を構成する原子が移動し易くなり、結晶歪みが緩和されたもとの推測できる。
そして、保持温度T1を1600℃及び1700℃に設定した場合には、その評価がA評価となった。保持温度T1をこれらの温度域にすることで、結晶が移動し易すくなり、結晶歪みが緩和されたものと考えられる。さらに、外部の酸素原子がサファイアインゴット10の内部深くまで入り込み易くなり、その結果として、サファイアインゴット10における結晶歪みが除去され、クラックの発生率を極めて低く抑えることができたものと理解される。
保持温度T1を1800℃及び1900℃に設定した場合には、クラックの発生率が著しく高くなることが分かった。ここで、得られたサファイアインゴット10を観察したところ、サファイアインゴット10に散乱体が発生していることが確認された。保持温度T1が高くなればなるほど、上述の傾向から結晶歪みなどの除去がされるものと考えられるが、保持温度T1が1800℃以上となると、逆に加熱に起因して、サファイアインゴット10に結晶欠陥が発生してしまうことが分かった。
なお、サファイア単結晶の融点が約2050℃であることから、保持温度T1は、少なくともサファイアの融点より低く設定する必要がある。
なお、サファイア単結晶の融点が約2050℃であることから、保持温度T1は、少なくともサファイアの融点より低く設定する必要がある。
図8は、保持時間tの条件について説明するための一例の図である。
インゴットの加熱工程において、保持時間tの条件を異ならせて複数のサファイアインゴット10を作製し、各条件にて得られたサファイアインゴット10の評価を行った。ここでは、図6及び図7を参照しながら説明したように、好ましい条件であった雰囲気ガスの酸素濃度(23体積%、50体積%)、及び保持温度T1(1500℃、1700℃)を例として説明する。
インゴットの加熱工程において、保持時間tの条件を異ならせて複数のサファイアインゴット10を作製し、各条件にて得られたサファイアインゴット10の評価を行った。ここでは、図6及び図7を参照しながら説明したように、好ましい条件であった雰囲気ガスの酸素濃度(23体積%、50体積%)、及び保持温度T1(1500℃、1700℃)を例として説明する。
図8に示すように、保持時間tが長くなるにつれて、クラックの発生率が低下することが明らかとなった。また、同じ保持時間tであっても、酸素濃度が高い方がその評価は良くなり、保持温度T1が高い方がその評価は良くなることが分かった。例えば、保持温度T1が1700℃であって、酸素濃度を50体積%に設定した場合には、保持時間tを10時間に設定しても、その評価がB評価となることが分かった。さらに、酸素濃度に着目すると、酸素濃度を50体積%に設定した場合には、保持時間tを20時間に設定することで、A評価及びB評価となった。
そして、図8に示す結果から、保持温度T1が1500℃以上1700℃以下の範囲では、インゴットの加熱工程において、保持時間tを30時間以上にした場合、A評価及びB評価であり、クラックの発生率を大幅に低減することができるものと理解される。
そして、図8に示す結果から、保持温度T1が1500℃以上1700℃以下の範囲では、インゴットの加熱工程において、保持時間tを30時間以上にした場合、A評価及びB評価であり、クラックの発生率を大幅に低減することができるものと理解される。
なお、保持時間tを70時間、90時間、100時間に設定した場合においては、図8に示すように、評価がA評価とるものの、これらの保持時間tで加熱が行われたサファイアインゴット10におけるクラックの発生率には大きな差異がみられないこととなる。以上により、保持時間tは少なくとも30時間とし、インゴットの加熱工程にかける時間やコストと、クラックの発生率の程度とを鑑みると、保持時間tは50時間〜60時間に設定することがより好ましい。
以上説明したように、本実施形態では、インゴットの加熱工程における加熱条件を、雰囲気条件で酸素濃度を大気中の酸素濃度(21体積%)以上とし、保持温度T1を1500℃以上1800℃未満とし、保持時間tを少なくとも30時間に設定することによって、サファイアインゴット10における結晶歪みを除去し、その後に機械加工を行った場合であっても、クラックの発生を抑制している。
ここで、図2を参照しながら説明したように、本実施形態では引き上げ法の一例としてのチョクラルスキー法によって、最大径十数cm程度またはそれ以上(4インチ以上)の塊状のサファイア単結晶であるサファイアインゴット10の製造を行っている。このように、引き上げ法を用いたサファイア単結晶の成長の場合、その結晶に歪みが生じやすいことが知られている。また、引き上げ法において、サファイア単結晶の結晶方位におけるc軸方向に結晶成長を行うと、さらに結晶歪みが発生し易くなることも知られている。
これに対し、本実施形態では、インゴットの加工工程の前に、サファイアインゴット10に対してインゴットの加熱工程を施している。こうすることで、特に、結晶歪みが生じ易い引き上げ法を用いてサファイアインゴット10の製造を行った場合に、そのサファイアインゴット10の結晶歪みを効果的に除去することができる。特に、最大径4インチ以上のサファイアインゴット10の結晶歪みを効果的に除去することができる。
これに対し、本実施形態では、インゴットの加工工程の前に、サファイアインゴット10に対してインゴットの加熱工程を施している。こうすることで、特に、結晶歪みが生じ易い引き上げ法を用いてサファイアインゴット10の製造を行った場合に、そのサファイアインゴット10の結晶歪みを効果的に除去することができる。特に、最大径4インチ以上のサファイアインゴット10の結晶歪みを効果的に除去することができる。
なお、図5に示すように、インゴットの加熱工程の温度保持工程P2において、保持温度T1を一定に保つようにして、インゴットの加熱を行う例を示しているが、必ずしも保持温度T1を一定に維持することに限定されない。上述のように、保持温度T1を1500℃以上1800℃未満に設定することで、サファイアインゴット10における結晶欠陥を低減することが可能となる。従って、温度保持工程P2において、保持温度T1が1500℃以上1800℃未満となる温度範囲内であれば、この範囲内において保持温度T1が上下に変動しても構わない。
このように、本発明が適用されるサファイア単結晶の製造方法は、機械加工の対象となる塊状のサファイア単結晶を、当該塊状のサファイア単結晶を加熱するための加熱装置内に設置する第1の工程と、加熱装置内に設置された塊状のサファイア単結晶を、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素、酸素、二酸化炭素及び一酸化炭素からなる群から選ばれた少なくとも1種を含む雰囲気中で加熱する第2の工程とを備えることを特徴として実施することができる。そして、製造方法によって製造されたサファイア単結晶は、その後の切断工程でのクラックの発生率を格段に低下させることができ、機械加工を施す、有望なサファイア単結晶の加工方法も提供することができる。
また、サファイア単結晶の製造方法は、特に、4インチ以上の大口径の塊状サファイア単結晶を製造する場合、その収率を安定して向上させることができる。さらに、4インチ以上の大口径であってc軸サファイア単結晶引上げの製造方法においては、極めて効果的である。
また、サファイア単結晶の製造方法は、特に、4インチ以上の大口径の塊状サファイア単結晶を製造する場合、その収率を安定して向上させることができる。さらに、4インチ以上の大口径であってc軸サファイア単結晶引上げの製造方法においては、極めて効果的である。
2…加熱装置、3…単結晶引き上げ装置、10…サファイアインゴット
Claims (9)
- 機械加工の対象となる塊状のサファイア単結晶を、当該塊状のサファイア単結晶を加熱するための加熱装置内に設置する第1の工程と、
前記加熱装置内に設置された前記塊状のサファイア単結晶を、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素、酸素、二酸化炭素及び一酸化炭素からなる群から選ばれた少なくとも1種を含む雰囲気中で加熱する第2の工程と
を備えることを特徴とするサファイア単結晶の製造方法。 - 前記第2の工程における前記雰囲気の酸素濃度は、大気中の酸素濃度以上であることを特徴とする請求項1に記載のサファイア単結晶の製造方法。
- 前記第2の工程における前記雰囲気の酸素濃度は、23体積%以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載のサファイア単結晶の製造方法。
- 前記第2の工程における前記雰囲気は、1500℃以上1800℃未満に加熱されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のサファイア単結晶の製造方法。
- 前記第2の工程は、30時間以上継続されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のサファイア単結晶の製造方法。
- 前記第1の工程では、2以上の板状のサファイア単結晶を得るための機械加工の対象となる前記塊状のサファイア単結晶を用いることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のサファイア単結晶の製造方法。
- 前記第1の工程では、引き上げ法によって得られた前記塊状のサファイア単結晶を用いることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のサファイア単結晶の製造方法。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のサファイア単結晶の製造方法によって製造されたサファイア単結晶。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のサファイア単結晶の製造方法を経た後に、機械加工を施すサファイア単結晶の加工方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014069784A1 (ko) * | 2012-10-31 | 2014-05-08 | 주식회사 사파이어테크놀로지 | 사파이어 단결정의 열처리 방법 및 장치 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013114863A1 (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-08 | パナソニック株式会社 | 偏光子を用いてテラヘルツ電磁波を偏光させる方法 |
CN102634845A (zh) * | 2012-02-07 | 2012-08-15 | 徐州协鑫光电科技有限公司 | 泡生法生长蓝宝石单晶体中的升温化料的方法及其应用 |
US9092187B2 (en) | 2013-01-08 | 2015-07-28 | Apple Inc. | Ion implant indicia for cover glass or display component |
US9623628B2 (en) | 2013-01-10 | 2017-04-18 | Apple Inc. | Sapphire component with residual compressive stress |
US9828668B2 (en) | 2013-02-12 | 2017-11-28 | Apple Inc. | Multi-step ion implantation |
US9416442B2 (en) | 2013-03-02 | 2016-08-16 | Apple Inc. | Sapphire property modification through ion implantation |
JP2014192307A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | サファイア基板の平坦加工方法 |
US20150104376A1 (en) * | 2013-10-16 | 2015-04-16 | Gt Crystal Systems, Llc | Method of annealing sapphire |
CN104451890B (zh) * | 2014-11-25 | 2017-06-06 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 一种蓝宝石强化方法 |
US20160370116A1 (en) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | Apple Inc. | Process for heat treating a sapphire component |
US10280504B2 (en) | 2015-09-25 | 2019-05-07 | Apple Inc. | Ion-implanted, anti-reflective layer formed within sapphire material |
HUE063258T2 (hu) | 2016-03-30 | 2024-01-28 | Nikon Corp | Alumínium-oxidot tartalmazó optikai komponens |
WO2021080803A1 (en) | 2019-10-22 | 2021-04-29 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Impact copolymer compositions |
TW202407176A (zh) * | 2022-03-31 | 2024-02-16 | 美商元平台技術有限公司 | 後期處理光損失恢復方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59152289A (ja) * | 1983-02-16 | 1984-08-30 | Seiko Epson Corp | スタ−ブル−サフアイヤの製造方法 |
JPS6287492A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-21 | Seiko Epson Corp | スタ−・サフアイア人工結晶の合成方法 |
JP2004123467A (ja) * | 2002-10-03 | 2004-04-22 | Shinkosha:Kk | サファイア単結晶およびサファイア単結晶用原料 |
JP2004256388A (ja) * | 2003-02-18 | 2004-09-16 | Carl-Zeiss-Stiftung | 六方晶系単結晶の成長方法及び同単結晶の半導体素子用基板としての利用 |
JP4940610B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2012-05-30 | 住友金属鉱山株式会社 | サファイア単結晶の育成方法 |
-
2009
- 2009-07-03 JP JP2009158444A patent/JP2011011950A/ja not_active Abandoned
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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