JP2011011299A - マウントフランジの端面修正方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 46
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010627 Phaseolus vulgaris Nutrition 0.000 description 1
- 244000046052 Phaseolus vulgaris Species 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】 マウントフランジの端面修正方法であって、研削部材とマウントフランジの端面とを対向させてフランジ端面修正治具を保持テーブルで保持する保持ステップと、該保持テーブル及び該フランジ端面修正治具と該マウントフランジとの間に電圧を印加する電圧印加ステップと、該研削部材と該マウントフランジの端面とを当接させるために該保持テーブルと該マウントフランジとを接近する方向に相対移動させる相対移動ステップと、該研削部材と該端面とが接触した際の電気的導通を検知する導通検知ステップと、該導通検知ステップにおいて検知された電気的導通に基づいて、端面修正開始の基準位置を決定する基準位置決定ステップと、該マウントフランジを回転させて該研削部材により該端面を研削して修正する修正ステップと、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図5
Description
30 マウントフランジ
30a 端面
40 ワッシャーブレード
41 着脱フランジ
42 フランジ端面修正治具
50 研削部材(研削チップ)
54 保持テーブル
60 導通検出回路
Claims (3)
- 回転可能に支持されたスピンドルの先端に固定され、導電性保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードをマウントする導電性マウントフランジの端面を、研削部材を有する導電性フランジ端面修正治具を用いて修正するマウントフランジの端面修正方法であって、
該研削部材と該端面とを対向させて該フランジ端面修正治具を該保持テーブルで保持する保持ステップと、
該保持テーブル及び該フランジ端面修正治具と該マウントフランジとの間に電圧を印加する電圧印加ステップと、
該研削部材と該マウントフランジの端面とを当接させるために該保持テーブルと該マウントフランジとを接近する方向に相対移動させる相対移動ステップと、
該研削部材と該端面とが接触した際の電気的導通を検知する導通検知ステップと、
該導通検知ステップにおいて検知された電気的導通に基づいて、端面修正開始の基準位置を決定する基準位置決定ステップと、
該マウントフランジを回転させて該研削部材により該端面を研削して修正する修正ステップと、
を具備したことを特徴とするマウントフランジの端面修正方法。 - 前記導通検知ステップは、該端面の最下点に該研削部材を当接させることにより実施し、
前記基準位置決定ステップは、該マウントフランジを所定距離下降させる上下位置合わせステップと、
該研削部材を前記スピンドルの軸線方向と直交する方向に該マウントフランジの該端面を横切る位置まで移動させる左右位置合わせステップと、
を含む請求項1記載のマウントフランジの端面修正方法。 - 前記修正ステップは、該マウントフランジを回転させつつ該研削部材を前記スピンドルの軸線方向と直交する方向に該端面を横切って複数回往復移動させる端面研削ステップと、
該マウントフランジを該スピンドルの軸線方向に所定距離インデックス送りするインデックス送りステップと、
を含む請求項1又は2記載のマウントフランジの端面修正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009158085A JP5340832B2 (ja) | 2009-07-02 | 2009-07-02 | マウントフランジの端面修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009158085A JP5340832B2 (ja) | 2009-07-02 | 2009-07-02 | マウントフランジの端面修正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011011299A true JP2011011299A (ja) | 2011-01-20 |
JP5340832B2 JP5340832B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=43590661
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009158085A Active JP5340832B2 (ja) | 2009-07-02 | 2009-07-02 | マウントフランジの端面修正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5340832B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014155967A (ja) * | 2013-02-14 | 2014-08-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | マーキング治具およびマーキング方法 |
CN106271936A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | 株式会社迪思科 | 端面接触确认器械 |
JP2019198944A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN112440166A (zh) * | 2019-09-03 | 2021-03-05 | 东和株式会社 | 法兰盘端面修正装置及方法、切断装置及切断方法 |
DE102021206463A1 (de) | 2020-06-24 | 2021-12-30 | Disco Corporation | Schneidmaschine |
US11351651B2 (en) * | 2017-11-16 | 2022-06-07 | Disco Corporation | Cutting apparatus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0866859A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | ブレード装着部のフランジ修正手段 |
JPH08339977A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | フランジ端面修正治具 |
JPH1187279A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 電鋳ブレード |
-
2009
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0866859A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | ブレード装着部のフランジ修正手段 |
JPH08339977A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | フランジ端面修正治具 |
JPH1187279A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 電鋳ブレード |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014155967A (ja) * | 2013-02-14 | 2014-08-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | マーキング治具およびマーキング方法 |
KR102387756B1 (ko) | 2015-06-29 | 2022-04-19 | 가부시기가이샤 디스코 | 단부면 접촉 확인 기구 |
CN106271936A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | 株式会社迪思科 | 端面接触确认器械 |
KR20170002292A (ko) * | 2015-06-29 | 2017-01-06 | 가부시기가이샤 디스코 | 단부면 접촉 확인 기구 |
JP2017013154A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | 株式会社ディスコ | 端面接触確認器具 |
TWI712476B (zh) * | 2015-06-29 | 2020-12-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 端面接觸確認器具 |
US11351651B2 (en) * | 2017-11-16 | 2022-06-07 | Disco Corporation | Cutting apparatus |
JP2019198944A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7043346B2 (ja) | 2018-05-18 | 2022-03-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
KR20190132203A (ko) | 2018-05-18 | 2019-11-27 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
KR20210028128A (ko) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | 토와 가부시기가이샤 | 플랜지 단부면 수정 장치, 절단 장치, 플랜지 단부면 수정 방법 및 절단품의 제조 방법 |
CN112440166A (zh) * | 2019-09-03 | 2021-03-05 | 东和株式会社 | 法兰盘端面修正装置及方法、切断装置及切断方法 |
KR102418893B1 (ko) * | 2019-09-03 | 2022-07-11 | 토와 가부시기가이샤 | 플랜지 단부면 수정 장치, 절단 장치, 플랜지 단부면 수정 방법 및 절단품의 제조 방법 |
DE102021206463A1 (de) | 2020-06-24 | 2021-12-30 | Disco Corporation | Schneidmaschine |
KR20210158787A (ko) | 2020-06-24 | 2021-12-31 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
US11826879B2 (en) | 2020-06-24 | 2023-11-28 | Disco Corporation | Cutting machine |
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Publication number | Publication date |
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JP5340832B2 (ja) | 2013-11-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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