JP2011009481A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 中央領域に開口をもつ円盤状の配線基板11が、突出部12aをもつ基板保持部材12に装着されて保持され、プローブヘッド13が開口で固持される。配線基板11上面のポゴ座14、これに電気接続する配線基板11下面のポゴ座用接続ランド15、配線基板11上面のコネクタ16、これに電気接続する配線基板11下面のプローブ用接続ランド17が形設されている。そして、配線基板11と基板保持部材12の間の空隙12cに、ポゴ座用接続ランド15とプローブ用接続ランド17を接続するジャンパー線18が配設してある。プローブヘッド13のプローブ固定部19の複数のプローブ20はFPC21を通しコネクタ16に電気接続する。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1の実施形態にかかるプローブカードについて図1、図2、図3および図4を参照して説明する。ここで、図1は本実施形態にかかるプローブカードを示す模式的な断面図である。そして、図2および図3は、それぞれプローブカードを構成する配線基板の一例を示す上面図および下面図である。図4はプローブカードを構成する基板保持部材の一例を示す平面図である。
次に、本発明の第2の実施形態にかかるプローブカードについて図6、図7、および図8を参照して説明する。ここで、図6は本実施形態にかかるプローブカードを示す模式的な断面図である。そして、図7および図8は、それぞれプローブカードを構成する配線基板の一例を示す上面図および下面図である。
Claims (9)
- 被検査体の端子に接触する複数のプローブと、
前記プローブが取り付けられたプローブヘッドと、
検査用の電気信号を生成するテスターの端子が接触する複数のテスター端子接続部を第1主面に、前記プローブの端子が電気接続する複数のプローブ端子接続部を第2主面あるいは第1主面に備えた板状の配線基板と、
前記第2主面の側から前記配線基板を保持し、前記配線基板との間に所定の空隙を形成する基板保持部材と、
前記空隙内に配置され、前記複数のテスター端子接続部と前記複数のプローブ端子接続部を電気接続する絶縁体被覆の複数の導電線と、
を有することを特徴とするプローブカード。 - 前記配線基板は、前記複数のテスター端子接続部が形成された第1の配線基板と、前記複数のプローブ端子接続部が形成された第2の配線基板とにより構成され、
前記第2の配線基板と前記基板保持部材との間に形成される空隙の高さが、前記第1の配線基板と前記基板保持部材との間の空隙の高さよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。 - 前記基板保持部材は前記配線基板を着脱自在に保持することを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
- 前記基板保持部材は、その所定の箇所に形成された突出部を有し、前記突出部の上端面が前記配線基板の第2主面に当接して前記配線基板を保持することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載のプローブカード。
- 前記第2の配線基板を保持する前記突出部が、前記第1の配線基板を保持する前記突出部より高くなっていることを特徴とする請求項4に記載のプローブカード。
- 前記配線基板は前記突出部の上端面に締結されていることを特徴とする請求項4又は5に記載のプローブカード。
- 前記基板保持部材は、金属製であり、前記突出部の上端面がその当接する前記配線基板の第2主面に形成された導電層に接続し、接地電位に固定されていることを特徴とする請求項6に記載のプローブカード。
- 前記基板保持部材は前記プローブヘッドを固持することを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一項に記載のプローブカード。
- 前記プローブは、フォトリソグラフィ技術を用いた金属加工を通して前記プローブヘッドに取り付けられ、フレキシブルプリント基板を介して前記プローブ端子接続部に電気接続していることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一項に記載のプローブカード。
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