JP2011009319A - セラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材と、該基材の少なくとも一方の面に設けた離型層とからなり、上記の離型層が、表面粗さが10nm以下である基材の表面上に、有機珪素化合物を蒸着モノマーとし、プラズマCVD法により有機珪素化合物に起因する有機成分を含有するように形成した有機珪素酸化物の連続蒸着膜からなることを特徴とするセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルム及びその製造方法に関するものである。
【選択図】図3
Description
なお、本発明においてフィルム又はシートなどの表現を用いているが、フィルム又はシートあるいはフィルム状物又はシート状物という表現に特別の意味合いを持つものでもなく、いずれの場合をも意味するものである。
積層セラミックコンデンサは、以下のように製造されている。
まず、離型性の搬送支持体上にセラミックコンデンサ用スラリーを均一に流延して、セラミックスラリーの薄膜層を形成し、そのセラミックスラリーの生シートを形成後、所定の大きさにカットし、所定の大きさにカットされたセラミック生シート上に電極ペーストを印刷し、乾燥後この生シートを重ねて圧着等を行った後、さらに所定の大きさにカットして焼成し、焼成後、外部電極ペーストを塗布し、焼き付けて製品とするか、又は、まず、焼成前誘電体層と焼成前内部電極層とを必要枚数だけ交互に複数積層させて、積層体を形成する。次に、この積層体を所定の寸法に切断して、グリーンチップを形成し、グリーンチップに対して脱バインダ処理、焼成処理、及びアニール処理を施し、コンデンサ素子本体を得る。この素子本体の両端部に一対の外部端子電極を形成することによって、積層セラミックコンデンサを形成している。
また、セラミックグリーンシートの表面が凹凸になると電気容量が面的に不均一となり、また、形状欠陥が生じることから、平滑にすることが求められ、そのため積層セラミックコンデンサに用いるセラミックコンデンサグリーンシート製造用離型フィルムの平滑性も数nmオーダーのものが必要となってきている。
さらに、セラミックグリーンシートが離型フィルムとの間の離型性が悪くなるとセラミックグリーンシートの薄膜化によりセラミックグリーンシートを剥離できず、あるいは剥離に時間がかかるなど歩留まりや生産性の低下を生じている。
このように、セラミックグリーンシートに求められるナノオーダーレベルで平滑化し、かつ薄膜化することは非常に困難であり、現状では誘電体層の欠陥によるショートや電極切れなどの問題が発生するなど、積層セラミックコンデンサの小型化及び大容量化には限界があった。
従来、離型層を塗工により形成する場合、離型フィルムの表面粗さを10nm以下となるように調製することは、困難とされ、ウェットコート式離型シートでは、積層セラミックコンデンサの薄膜化の動きに応えるには限界があった。
本発明のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムを用いて製造された薄膜セラミックグリーンシートを用いた薄膜積層コンデンサの一例として図1にその概略的断面図を示す。
まず、本発明に係る薄膜状のセラミックグリーンシート、すなわち、積層セラミックコンデンサの酸化物誘電体薄膜層又はセラミック薄膜層に対応するシート状物を用いた電子部品の一実施形態として、積層セラミックコンデンサの全体構成について説明する。
内部電極6の厚みは、特に限定されないが、好ましくは0.1〜1μmである。
セラミック薄膜層5の主成分としては、特に限定されず、通常のチタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウム及び/又はチタン酸バリウムなどの誘電体材料が挙げられる。各セラミック薄膜層5の厚みは、特に限定されないが、数μm〜数百μmのものが一般的である。特に本実施形態では、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下に薄層化されている。
第1および第2外部電極7、8の材質は、特に限定されないが、通常、銅や銅合金、ニッケルやニッケル合金などが用いられる。第1および第2外部電極7、8の厚みは、特に限定されないが、通常10〜50μm程度である。
この有機成分の存在により撥水性が付与され、離型性が有機珪素酸化物の連続蒸着膜層に付与されることとなる。有機珪素酸化物の連続蒸着膜層に含有する化合物としては、特に、CH3部位を持つハイドロカーボンを基本構造とするものを多く含有するものが離型層として好ましいものである。
具体的には、基材として少なくとも表面粗さ(Ra)が10nm以下に調製された表面平滑性を有することが必要とされ、本発明の離型フィルムの基材は、プラスチック基材であって、表面粗さ(Ra)が10nm以下となるように調製したものである。
さらに、例えば、テンター方式、あるいは、チューブラー方式等を利用して1軸ないし2軸延伸処理してもよい。
本発明における一般的な添加剤としては、離型フィルムの基材として必要な機能を維持するため、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、帯電防止剤、滑剤、アンチブロッキング剤、染料、顔料等の着色剤等を使用することができる。
離型層を形成するプラズマ化学気相成長法としては、例えば、図3に示すような蒸着層を形成する基材にプラズマ化学気相蒸着を行なう雰囲気下に順次送り出し、巻き取り式のプラズマ化学気相成長方式を適用し、連続的にセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムを製造することができる。
そこで、本発明の有機成分を含有する有機珪素酸化物の連続蒸着膜を形成するために使用する有機珪素化合物の蒸着原料モノマーとしては、メチル基あるいはエチル基を含み、且つSiを主鎖とする、次のようなモノマー材料、例えば、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン(TMDSO)、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)、ビニルトリメチルシラン、メチルトリメチルシラン(MTMOS)、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン(TMOS)、テトラエトキシシラン(TEOS)、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン等を使用することができる。
キャリヤーガスとして、アルゴンガス又はヘリウムガスからなる不活性ガスを含有させることができる。
また、プラスチック基材にプラズマ化学気相成長を適用する方法としては、一般的には、プラズマ発生装置内でロール状のプラスチック基材を巻き取りながら、あるいはプラズマ発生装置内をプラスチック基材が通過することにより、連続的に有機珪素酸化物の連続蒸着膜をプラズマ化学気相成長させ、離型フィルムを製造することができる。
厚みが5nm以下であると、蒸着膜の平面密度が低下して基材フィルムが表面に露出することとなり、剥離性が低下し、離型層自体がセラミックグリーンシートへ付着剥離する可能性が増加する。一方、50nmより厚くなると、剛性が増してきて、その膜にクラック等が発生し易くなるので好ましくない。
具体例を挙げると、CH3 2部位を持つハイドロカーボンを挙げることができる。上記以外でも、蒸着過程の条件等を変化させることにより、有機珪素酸化物の連続蒸着膜層中に含有される有機成分の種類、量等を変化させることができる。
具体的には、その膜厚としては、5〜50nmが好ましい。膜厚が5nm以下だと、蒸着膜の平面密度が低下し、離型フィルムの基材フィルムの表面粗さの影響を受け、基材が露出することとなり、離型性が低下し、離型層が剥がれ易くなり好ましくない。50nm以上だと、蒸着層の厚みを形成するための工程において、平面的に均一な表面粗さを有する、平滑な表面が得にくくなるとともに、蒸着層の厚みが厚くなり、セラミックグリーンシート形成時に収縮などによるクラックが入り易くなる。必要以上に厚くすることは、蒸着膜の形成速度と関係し、生産性の低下、コスト高にもなる。
ガス供給装置16、17及び原料揮発供給装置18等から酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物の蒸着用モノマーガス等を供給し、蒸着用混合ガス組成物を調製しながら原料供給ノズル19を通して真空チャンバ12内に該蒸着用混合ガス組成物を導入し、上記冷却・電極ドラム15の周面上に搬送された基材1の上に、グロー放電プラズマ20によって発生したプラズマを照射して、有機珪素酸化物の連続蒸着膜層を成膜化する。なお、冷却・電極ドラム15は、真空チャンバ12の外に配置されている電源21から所定の電力を印加する。また、冷却・電極ドラム15の近傍には、マグネット22を配置してプラズマの発生を促進している。また原料を供給する原料揮発供給装置18は、原料である有機珪素化合物を揮発させ、ガス供給装置16、17から供給される酸素ガス、不活性ガス等と混合させ、この混合ガスは原料供給ノズル19を介して真空チャンバ12内に導入するもので、混合ガス中の有機珪素化合物、酸素ガス、及び、不活性ガス等の含有量は、有機珪素酸化物の連続蒸着膜層に求める性質に応じて任意の組成に変更することが可能である。
そして、有機珪素酸化物の連続蒸着膜層を形成した基材1は、所定の巻き取りスピードで補助ロール23を介して巻き取りロール24に巻き取って、本発明にかかるプラズマ化学気相成長法による有機珪素酸化物の連続蒸着膜層を形成した基材とするものである。なお、図中、25は真空ポンプを表す。
また、有機珪素酸化物の連続蒸着膜層の形成時の真空度は、1×10-1〜1×10-4Torr、好ましくは1×10-2〜1×10-3Torrに調整することから、従来の真空蒸着法により酸化珪素の蒸着膜を形成する時の真空度、1×10-4〜1×10-5Torrに比較して低真空度であることから、基材1を原反交換時の真空状態設定時間を短くすることができ、真空度も安定化しやすく、成膜プロセスが安定する。
セラミックグリーンシートの製造について説明する。セラミックグリーンシートは、完成後の積層セラミックコンデンサ3(図1)において、誘電体層5を構成するものである。
次に、積層セラミックコンデンサの製造方法の一例を説明する。
(内部電極層用膜の形成)
この内部電極層用膜は、完成後の積層セラミックコンデンサ3(図1)において、内部電極層6を構成することとなる。
まず、図1に示すように、第1支持シートとしてのキャリアシートAを準備し、その上に離型層2(2a)を形成する。次に、離型層2(2a)の表面に内部電極6を所定パターンで形成する。形成される内部電極6の厚さは、好ましくは0.1〜1μm、より好ましくは0.1〜0.5μm程度である。内部電極膜6aの形成方法としては、特に限定されないが、スパッタリング法又は蒸着法などの薄膜法あるいはスクリーン印刷法、グラビア印刷法などの印刷法が挙げられる。
次に、上述の方法で形成した内部電極6及びセラミックグリーンシートを積層する工程について説明する。
まず、キャリアシートA(離型フィルム又はシート)の表面に接着層を形成し、接着層転写用シートを準備する。キャリアシートAは、すべて同じシートで構成される。次に、キャリアシートA上に形成された接着層を内部電極6の表面に押し付け、加熱加圧する。その後、キャリアシートAを剥がすことにより、接着層が内部電極6の表面に転写される。その後、キャリアシートA上に形成された内部電極6を、接着層を介してセラミックグリーンシート5の表面に押し付け、加熱加圧する。そして、キャリアシートAを剥がすことにより、内部電極6が、セラミックグリーンシート5の表面に転写される。
転写時の加熱温度及び加圧力は、一般的には、加熱温度が40〜100℃、また、加圧力が、0.1〜15MPaで行われる。加圧は、プレスによる加圧でも、カレンダロールによる加圧でもよい。
この積層体における積層方向の両端面に外層用セラミックグリーンシートを積層した後、積層体に対して最終的な加熱、加圧を行い、製造した積層体を所定サイズに切断し、グリーンチップを形成する。最終加圧時の圧力は、好ましくは10〜200MPaである。また、加熱温度は、40〜100℃が好ましい。
セラミックグリーンチップの焼成後に得られた焼成体をアニール処理して、コンデンサ素子本体4を形成し、得られたコンデンサ素子本体に対して、例えば、バレル研磨、サンドプラスト等にて端面研磨を施し、各端面に端子電極用ペーストを焼きつけて第1外部電極7及び第2外部電極8を形成する。
形成した積層セラミックコンデンサは、高平滑性離型フィルムの表面粗さが10nm以下を実現したことにより、製造されるセラミックグリーンシートの表面の表面粗さを10nm以下とすることができる。ミクロンオーダーの厚みのセラミックグリーンシートとして平滑で表面粗さが10nm以下であって、貫通孔のないものが製造できることにより、セラミックグリーンシートの薄膜化が可能となり、その結果、従来の積層セラミックコンデンサに比べて多数積層でき、高密度化が可能となり、コンデンサ容量を従来のものより高容量化することができる。
(測定方法)
(1)炭素含有率の測定
X線光電子分析装置(島津製作所製ESCA3400)を使用し、最表面から深さ方向に3.0nmイオンエッチングし、エッチングされた蒸着層の元素分析から炭素含有率を算出した。
離型層の転移性については、下記組成にて調製したセラミックスラリーをドクターブレードコーターにより離型フィルムの離型面上に均一に塗工し、オーブン中、80℃で乾燥して厚さ2.0μmのセラミックグリーンシート層を形成後、真空吸着機でセラミックグリーンシート層を吸引して離型フィルムから剥離させた。
セラミックグリーンシートを剥離させた後、離型したセラミックグリーンシートを直径30mmの円状に裁断し、セラミックグリーンシートの離型層側の表面への離型層の転移を確認するため、蛍光X線分析装置(リガク製RIX2000)を用いて剥離前後における離型フィルムの表面のSi強度を測定し、剥離前後のSi強度の変化を調べた。セラミックグリーンシート層形成前の離形層側のSi強度と比較することにより、離型層の転移性(転移していれば、Si強度が低下する)を評価する。
〔セラミックスラリーの組成〕
チタン酸バリウム(セラミック粉体) 100部
ポリビニルブチラール(バインダ) 10部
フタル酸ジオクチル(可塑剤) 5部
溶剤(トルエン/イソプロピルアルコール=1/1) 100部
セラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムの離型層表面の平滑性を評価するため、作成した高平滑性離型フィルムの表面を非接触式3次元表面粗さ計(Zygo社製、NewViewTM7000)を用いて、視野範囲0.11mm×0.11mmにわたって、異なる場所20箇所で測定を実施し、その算術平均表面粗さ(Ra)の測定値を求めた。
上記(2)の組成にて調製したセラミックスラリーをドクターブレードコーターにより離型フィルムの離型面上に均一に塗工し、オーブン中、80℃で乾燥して厚さ2.0μmのセラミックグリーンシート層を形成後、真空吸着機で該グリーンシート層を吸引して離型フィルムから剥離させた。
セラミックグリーンシートを剥離させた後、セラミックグリーンシートを10cm×10cmに裁断し、同シート中のピンホール(貫通孔)及び貫通していない窪んだ部分(未貫通孔)を拡大顕微鏡で観察してその数を数えた。
(実施例1)
基材として、厚さ50μmの表面粗さ(Ra)の実測値が4.0nmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡製A4100)を使用し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロールに装着後、下記に示す蒸着条件で、上記基材フィルムの片側コロナ処理面に、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を蒸着材料としたプラズマ化学気相成長法を用いて厚さ10nm、表面粗さ4.2nm、表層から3.0nmまでのC/Si比が2.7の酸化珪素膜の平滑層を形成して本発明にかかる高平滑性離型フィルムを得た。
(蒸着条件)
蒸着材料;ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)
反応ガス;酸素、ヘリウム
蒸着面;コロナ処理面
導入ガス量;HMDSO:酸素ガス:ヘリウム=10:1:10(単位:slm)
出力;2.3kW
成膜速度;100m/min
成膜圧力;1.8×10-2torr
基材として、厚さ50μmの表面粗さ(Ra)の実測値が4.0nmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡製A4100)を使用し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロールに装着後、下記に示す蒸着条件で、上記基材フィルムの片側コロナ処理面に、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を蒸着材料としたプラズマ化学気相成長法を用いて厚さ10nm、表面粗さ4.0nm、表層から3.0nmまでのC/Si比が1.8の酸化珪素膜の平滑層を形成して本発明にかかる高平滑性離型フィルムを得た。
(蒸着条件)
蒸着材料;ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)
反応ガス;酸素、ヘリウム
導入ガス量;HMDSO:酸素ガス:ヘリウム=10:0.5:10(単位:slm)
出力;3.1kW
蒸着面;コロナ処理面
成膜速度;100m/min
成膜圧力;2.7×10-2Pa
基材として、厚さ50μmの表面粗さ(Ra)の実測値が4.0nmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡製A4100)を使用し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロールに装着後、下記に示す蒸着条件で、上記基材フィルムの片側コロナ処理面に、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を蒸着材料としたプラズマ化学気相成長法を用いて厚さ36nm、表面粗さ4.4nm、表層から3.0nmまでのC/Si比が2.4の酸化珪素膜の平滑層を形成して本発明にかかる高平滑性離型フィルムを得た。
(蒸着条件)
蒸着材料;ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)
反応ガス;酸素、ヘリウム
導入ガス比;HMDSO:酸素:ヘリウム=10:0.5:10
出力;2.1kW
蒸着面;コロナ処理面
成膜速度;30m/min
成膜圧力;1.6×10-2Pa
基材として、厚さ25μmの表面粗さ(Ra)の実測値が30nmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡製A5100)を使用し、そのコロナ処理面に下記アンカーコート剤をグラビアコート法により塗布乾燥し、厚さ2.1μm、表面粗さ8.4nmの平滑層を形成した。これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロールに装着後、下記に示す蒸着条件で上記基材フィルムのアンカーコート層を形成した平滑面に、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を蒸着材料としたプラズマ化学気相成長法を用いて厚さ10nm、表面粗さ8.5nm、表層から3.0nmまでのC/Si比が2.7の酸化珪素膜の平滑層を形成して本発明にかかる高平滑性離型フィルムを得た。
(蒸着条件)
蒸着材料;ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)
反応ガス;酸素、ヘリウム
導入ガス比;HMDSO:酸素:ヘリウム=10:0.5:10
出力;2.1kW
蒸着面;コロナ処理面
成膜速度;100m/min
成膜圧力;1.8×10-2Pa
基材として、厚さ50μm、表面粗さ(Ra)の実測値が4.0nmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡製A4100)を使用し、該基材フィルムの片側コロナ処理面に、下記に示す蒸着条件で基材フィルムの片側コロナ処理面に、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を蒸着材料としたプラズマ化学気相成長法を用いて厚さ10nm、表面粗さ4.1nm、表層から3.0nmまでのC/Si比が1.5の酸化珪素膜を形成して離型フィルムを得た。
(蒸着条件)
蒸着材料;ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)
反応ガス;酸素、ヘリウム
導入ガス量;HMDSO:酸素ガス:ヘリウム=10:0.5:10(単位:slm)
出力;4.3kW
蒸着面;コロナ処理面
成膜速度;100m/min
成膜圧力;2.8×10-2Pa
基材として、厚さ25μmの表面粗さ(Ra)の実測値が30nmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡製A5100)を使用し、そのコロナ処理面に下記アンカーコート剤をグラビアコート法により塗布乾燥し、厚さ1.2μm、表面粗さ15nmの平滑層を基材表面に作製した。これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロールに装着後、下記に示す蒸着条件で、上記基材フィルムのアンカーコート層を形成した平滑面に、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を蒸着材料としたプラズマ化学気相成長法を用いて厚さ10nm、表面粗さ23nm、表層から3.0nmまでのC/Si比が2.7の酸化珪素膜を形成してセラミックコンデンサグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(蒸着条件)
蒸着材料;ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)
反応ガス;酸素、ヘリウム
導入ガス比;HMDSO:酸素:ヘリウム=10:0.5:10
出力;1.9kW
蒸着面;コロナ処理面
成膜速度;100m/min
基材として、厚さ50μm、表面粗さ(Ra)の実測値が4.0nmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡製A4100)を使用し、該基材フィルムの片側コロナ処理面に、シリコーン樹脂材料として溶剤型剥離紙用の末端にビニル基を有するポリジメチルシロキサンからなる付加反応硬化型シリコーン樹脂(東レダウコーニングシリコーン(株)製LTC750A)を当該シリコーン樹脂100部に硬化剤として白金硬化触媒SRX−212(東レダウコーニングシリコーン(株)製)0.8部を配合した5重量%トルエン溶液の離型剤を調製し、グラビアロールコート法によりPET表面に4g/m2(Wet)の塗工量で塗布後、加熱温度140℃で加熱乾燥して、坪量が0.3g/m2となる離型層の厚さであって、表面粗さ27nmのシリコーン樹脂離型層の塗工型離型フィルムを得た。
なお、実施例4及び比較例2において、基材表面粗さを所望の表面粗さのものにするため基材フィルムの表面にアンカーコート処理を施した。そのアンカーコート処理に使用したアンカーコート剤は以下のとおり調製した。
平均分子量25,000、水酸基価80mgKOH/gのアクリルポリオールをメチルエチルケトン(MEK)/酢酸エチルの混合溶剤(混合比1:1)で希釈し、液中の固形分濃度が10%になるよう調製した主剤に対し、固形分75%のトリレンジイソシアネートを含有する酢酸エチル溶液を硬化剤として、主剤100部に対して硬化剤10部添加し、平滑層形成用アンカーコート剤を調製した。
表1は、実施例及び比較例で製造した離型シートを用いてグリーンシートを実際に製造して、グリーンシートをスラリー状態で適用し、焼成し、剥離した前後の離型層の蛍光X線分析を行い、Si強度を測定し、離型層の材料成分の珪素の量の変化を観察した結果を以下にまとめた。
ここで、基材:表面粗さは、基材フィルムの表面粗さそのもの又は基材フィルムの表面にアンカーコート剤を塗布することで表面粗さを調整して求める表面粗さにしたものを実測して基材の表面粗さとし、そのような表面粗さを有する基材に蒸着層を形成し、その表面粗さを実測したものを離型層の表面粗さという。
従来のシリコーン層を離型層とする比較例3は、基材の表面粗さが本発明の条件を満たしていても離型層の表面粗さが大きく、ピンホール及び未貫通孔が非常に多いセラミックグリーンシートが形成された。
一方、実施例1〜4に見られるように、離型層が有機成分を本発明の範囲で含有した撥水性が適度に付与されたもので、10nm以下の表面粗さの高平滑性離型フィルムを用いることにより、未貫通孔の形成はあるもののピンホールのない、面状に均一なセラミックグリーンシートが得られた。
1:基材
2(2a):離型層、有機成分含有有機珪素酸化物蒸着膜
3:積層セラミックコンデンサ
4:コンデンサ素子本体(素子本体)
4a、4b:セラミック素子本体の第1又は第2端部
5:誘電体層(セラミック薄膜層);セラミックグリーンシート
6:内部電極
7、8:第1及び第2外部電極
11:プラズマ化学気相成長装置
12:真空チャンバ
13:巻き出しロール
14:補助ロール
15:冷却・電極ドラム
16、17:ガス供給装置
18:原料揮発供給装置
19:原料供給ノズル
20:グロー放電プラズマ
21:電源
22:マグネット
23:補助ロール
24:巻き取りロール
25:真空ポンプ
Claims (11)
- 積層セラミックコンデンサを構成する誘電体層を形成するための薄膜セラミックグリーンシートを製造するために用いるセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムにおいて、基材フィルム上の離型層が、該基材フィルムに直接、プラズマ化学気相蒸着法(CVD法)により有機成分を含むように制御された有機珪素酸化物の連続蒸着膜であり、かつ該有機珪素酸化物の連続蒸着膜の表面粗さが算術平均表面粗さ(Ra)で10nm以下であることを特徴とするセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルム。
- 基材フィルムが、有機珪素酸化物の連続蒸着膜を形成する面側の算術平均表面粗さ(Ra)が10nm以下のプラスチックスフィルムである請求項1に記載のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルム。
- 有機成分を含む有機珪素酸化物の連続蒸着膜が、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン(TMDSO)、テトラエトキシシラン(TEOS)又はヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を蒸着モノマー材料として用いたものである請求項1又は2に記載のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルム。
- 有機成分を含む有機珪素酸化物の連続蒸着膜が、ヘキサメチルジシロキサンを蒸着モノマー材料として用いたものであって、最表面から3nmにおけるC/Si比が1.8〜2.7である請求項1〜3のいずれか1項に記載のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルム。
- CVD法が、低温プラズマ化学気相成長法である請求項1〜4のいずれか1項に記載のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルム。
- 離型層の厚みが5〜50nmである請求項1〜5のいずれか1項に記載のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルム。
- 基材フィルムが2軸延伸ポリエステルフィルムである請求項1〜6のいずれか1項記載のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルム。
- 積層セラミックコンデンサを構成する誘電体層を形成するための薄膜セラミックグリーンシートを製造するために用いるセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムの製造方法において、基材フィルムが、離型層を形成する面側の算術平均表面粗さ(Ra)で10nm以下である高平滑性を有する基材フィルムであって、該基材フィルム上に有機珪素化合物を蒸着原料とし、CVD法により化学気相蒸着し、算術平均表面粗さ(Ra)が10nm以下である有機珪素酸化物の連続蒸着膜を形成することを特徴とするセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムの製造方法。
- CVD法が、低温プラズマ化学気相成長法である請求項8に記載のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムの製造方法。
- 離型層の厚みが5〜50nmである請求項8又は9に記載のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムの製造方法。
- 基材フィルムが2軸延伸ポリエステルフィルムである請求項7〜10のいずれか1項に記載のセラミックコンデンサグリーンシート製造用高平滑性離型フィルムの製造方法。
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