JP2011007462A - 熱処理炉 - Google Patents

Abstract

【課題】上下方向の複数段で熱処理できる構成でありながら、上下の各段の間でガスが混ざり合うことを防止することのできる熱処理炉を提供する。
【解決手段】断熱性を有する炉壁１０に囲まれることにより炉内に単一の加熱室９が形成されている炉本体１と、前記単一の加熱室９に上下方向に複数段設けられ各段でワークＷを水平方向に搬送する搬送部３１，３２，３３と、これら搬送部３１，３２，３３によってワークＷが搬送される搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３毎に加熱室９を上下方向複数段に仕切る仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃと、これら仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃによって仕切られた段毎に炉内環境を調整する調整装置８ａ，８ｂ，８ｃとを備えている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、熱処理炉に関する。

トレイ上に搭載された、又は、容器内に収納された被処理物を熱処理する熱処理炉として、炉内にハースローラ等の搬送部が設けられ、この搬送部によって被処理物を搬送しながら熱処理を行うものがある。このような熱処理炉では、所定の処理用ガスが炉内に供給され、当該処理用ガスを含む雰囲気の中で被処理物の熱処理が行われる。

処理量を増やすためには前記熱処理炉を複数設置すればよいが、熱処理炉は水平方向に長い炉長を有していることから、大きな設置スペースが必要となる。
そこで、例えば特許文献１に示しているように、炉内に単一の加熱室が形成され、この単一の加熱室にハースローラ等の搬送部を上下に二段設けた熱処理炉が提案されている。この熱処理炉によれば、上下各段で被処理物を水平方向に搬送しながら熱処理を行い、処理量を増やすことができる。

特開平１０−１７９２５号公報（図３参照）

特許文献１に記載の熱処理炉によれば、加熱室に搬送部を上下二段設けることで、処理量を増やすことを可能としながらも、装置の設置面積を小さくして省スペース化を図ることができる。
しかし、この熱処理炉では、上下の各段の間で雰囲気ガスが強制撹拌されて混ざり合うことにより、温度及び雰囲気ガスの均一化を図る構成となる。このために、例えば上段にある被処理物に対して熱処理を行うことで反応したガスが、下段に流れると、下段に供給された処理用ガスと混ざり、下段における熱処理に影響を及ぼすおそれがある。
このような雰囲気の撹拌による炉内の温度の均一性やガス濃度の均一性の確保には限界があり、この構成では、より厳格な製品性能の要求に応じられない場合がある。さらに、被処理物が粉体、軽量物や基板等であって当該被処理物の性質上、雰囲気の撹拌が許されない場合がある。
そこで、上記のような従来の問題点を解決するために、本発明は、上下方向の複数段で熱処理できる構成でありながら、上下の各段の間でガスが混ざり合うことを防止して、厳しい要求に対応するために、均一な温度分布やガス濃度や圧力等（これらを「炉内環境」という）を確保できる熱処理炉を提供することを目的とする。

前記目的を達成するための本発明の熱処理炉は、断熱性を有する炉壁に囲まれることにより炉内に単一の加熱室が形成されている炉本体と、前記単一の加熱室に上下方向に複数段設けられ各段でワークを水平方向に搬送する搬送部と、前記搬送部によって前記ワークが搬送される搬送路毎に前記加熱室を上下方向複数段に仕切る仕切部材と、前記仕切部材によって仕切られた段毎に炉内環境を調整する調整装置とを備えていることを特徴とする。

本発明によれば、搬送部が単一の加熱室に上下方向に複数段設けられ、当該搬送部によって各段でワークを水平方向に搬送するので、加熱室の上下方向の複数段でワークを搬送しながら処理を行うことができる。そして、仕切部材が、単一の加熱室を搬送路毎に上下方向複数段に仕切ることから、複数段の搬送路の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができる。そして、仕切部材によって加熱室が上下方向に仕切られていても、調整装置は、炉内環境を段毎に調整するので、各段で所望の処理を行うことが可能となる。

また、前記熱処理炉では様々なワークを処理することができるが、例えばワークが直方体や板状等の平面視矩形の被処理物そのものでありその一辺の方向が搬送方向となる場合や、ワークが平面視矩形のトレイと当該トレイに載せられた被処理物とからなりトレイの一辺の方向が搬送方向となる場合であり、そして、このようなワークが搬送方向に密に並んで搬送される場合、前記熱処理炉が備えている前記仕切部材は、前記ワークの搬送方向に直交する前記ワークの左右側方それぞれに配置され、当該ワークが両者の間を通過する左右の部分仕切部からなる構成とするのが好ましい。
この場合、ワークと左右の部分仕切部とが左右方向に並んだ構成となり、これら部分仕切部が用いられて加熱室を上下方向に複数段に仕切ることができる。さらに、ワークと左右の部分仕切部とが左右方向に並んだ構成となるので、仕切部材を加熱室内に設けても熱処理炉を低く構成することが可能となる。

また、ワークの種類が前記ワークと異なる場合や、ワークが搬送方向に間隔をもって搬送される場合、前記熱処理炉が備えている前記仕切部材は、前記搬送路に存在する前記ワークよりも上方及び下方の内の少なくとも一方に設けられ、前記加熱室を上下方向にほぼ完全に区画している仕切板からなるのが好ましい。
この場合、仕切板によって加熱室を搬送路毎に上下方向に複数段仕切ることができ、上下の搬送路の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができる。

また、前記調整装置は、前記路本体内のガスを段毎で加熱するヒータと、当該段毎の温度を検出する温度検出器と、前記温度検出器の検出結果に基づいて前記ヒータを段毎で制御する制御装置とを有しているのが好ましい。
この調整装置によれは、前記仕切部材によって仕切られた段毎に、炉内環境として炉内の温度を、調整することが可能となる。

また、前記調整装置は、前記路本体内の段毎にガスを供給するガス導入部と、当該各段のガスを排気するガス排気部と、前記ガス導入部からのガスの導入及び前記ガス排気部からのガスの排気を制御する制御装置とを有しているのが好ましい。
この調整装置によれは、前記仕切部材によって仕切られた段毎に、炉内環境として炉内のガス濃度を、調整することが可能となる。

さらに、この調整装置は、前記路本体内の段毎のガスの排気流量を調整するエジェクタと、当該段毎の圧力を検出する圧力計とを更に備え、前記制御装置は、前記圧力計の検出結果に基づいて前記エジェクタを前記段毎で制御するのが好ましい。
この場合、前記仕切部材によって仕切られた段毎に、炉内環境として炉内の圧力を、調整することが可能となる。

本発明の熱処理炉によれば、仕切部材が、搬送路毎に単一の加熱室を上下複数段に仕切ることから、複数段の搬送路の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができ、各段でワークに対して所望の処理を行うことが可能となる。

本発明の熱処理炉の概略構成を示している縦断面図である。 熱処理炉が有している炉本体の一部を示している縦断面図である。 炉本体の横断面図である。 本発明の熱処理炉の他の実施形態の一部を示している横断面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の熱処理炉の概略構成を示している縦断面図である。この熱処理炉では、様々な被処理物を処理することができるが、第一の実施の形態では、平面視矩形のトレイと当該トレイに載せられた被処理物とを含めてワークＷと呼んで説明する。なお、トレイは底面及び側面を有した皿形状であり、トレイの一辺の方向が搬送方向に向けられてワークＷが搬送される。

熱処理炉は、一方向に長くワークＷの被処理物に熱処理を施す炉本体１の他に、図１の左側から順に、ワークＷを炉本体１に搬入するための搬入装置２と、炉本体１の上流側に設けられパージ室を有した第一中間装置３と、炉本体１の下流側に設けられ冷却室を有した冷却装置４と、パージ室を有した第二中間装置５と、ワークＷを次の工程に搬出するための搬出装置６とを備えている。

炉本体１の概略構成を説明すると、炉本体１は、断熱性を有する炉壁１０に囲まれることにより炉内に単一の加熱室９が形成された構成である。そして、この単一の加熱室９には、上下方向に三段のワークＷの搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３が設けられていて、各段でワークＷは搬送されながら処理が行われる。
なお、本発明において、ワークＷの搬送方向（図１の左から右へ向かう方向）が前後方向前方であり、この搬送方向に直交する水平方向が左右方向である。

本発明の熱処理炉の全体構成を説明する。前記搬入装置２は、搬入ステージ２ａ上のワークＷを、前記搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３それぞれと同じ高さの位置まで移動させる昇降機構２ｂを有している。昇降機構２ｂによって各高さ位置に移動したワークＷは、第一中間装置３の上下方向に三段設けられたパージ室にそれぞれ投入される。その後、ワークＷは炉本体１内に投入され、上下三段それぞれで熱処理が行われ、さらに、炉本体１の外部に設けられた冷却装置４の冷却室４ａを通過する。その後、ワークＷは、第二中間装置５のパージ室に投入され、搬出装置６によって搬出ステージ６ａへ取り出される。なお、搬出装置６は、前記搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３それぞれを通過してきたワークＷを、第二のステージ６ａへと移動させる昇降機構６ｂを有している。また、前記パージ室の前後には気密性を有する開閉扉が設けられている。

前記第一の中間装置３から前記第二の中間装置５までの間には、後述する上中下段の搬送部３１，３２，３３によってワークＷは搬送される。熱処理炉１の前壁１４及び後壁１５にワークＷの通過口が設けられている。搬送部３１，３２，３３それぞれによって、ワークＷは次々に炉内へと投入され、これらワークＷは熱処理炉１内で処理される。すなわち、この熱処理炉は連続式である。

炉本体１についてさらに説明する。図２は、炉本体１の一部を示している縦断面図であり、図３は、炉本体１の横断面図である。炉本体１は、ワークＷの搬送方向に長い直方体形状を有していて、前記のとおり、断熱性をそれぞれが有している上壁１１、底壁１２、左側壁１３ａ、右側壁１３ｂ、前壁１４（図１参照）及び後壁１５（図１参照）によって六方から囲まれることで、炉内に単一の加熱室９が形成されている。

そして、この単一の加熱室に、上下方向に三段の搬送部３１，３２，３３が設けられている。すなわち、上段の搬送部３１、中段の搬送部３２及び下段の搬送部３３が設けられている。上段の搬送部３１、中段の搬送部３２及び下段の搬送部３３それぞれによって、上中下の各段で、ワークＷは前後方向前方に搬送される。本実施形態の搬送部３１，３２，３３それぞれはハースローラからなる。ワークＷはこれらハースローラの上に載置された状態で搬送される。
この構成により、ワークＷが搬送される通路として、上段の搬送路Ｒ１、中段の搬送路Ｒ２及び下段の搬送路Ｒ３が構成される。なお、本実施形態では、図３に示しているように、搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３それぞれにおいて、ワークＷは左右方向に複数列（三列）に並んだ状態となって前後方向前方へと搬送される。

そして、炉本体１は、搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３毎に加熱室９を上下方向に三段に仕切る仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃを備えている。仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃそれぞれは同じ構成であり、上段の仕切部材７ａを代表として説明すると、図３において、仕切部材７ａは、三列に密となって左右に並んでいるワークＷの左右側方それぞれに配置された左の部分仕切部２１ａと右の部分仕切部２２ａとからなる。そして、これら左の部分仕切部２１ａと右の部分仕切部２２ａとの間を、三列のワークＷが通過する。

左の部分仕切部２１ａ及び右の部分仕切部２２ａは、左側壁１３ａ及び右側壁１３ｂから左右方向の中央に向かって延びるように設けられていて、図２に示しているように、前後方向に長い板状の部材である。さらに説明すると、部分仕切部２１ａ，２２ａを備えた仕切部材７ａは、図１に示しているように、炉本体１の前後方向全長にわたって設けられている。そして、図３において、部分仕切部２１ａ，２２ａの先端縁とワークＷとの間には隙間が形成される。なお、このように隙間が形成されているが、その寸法は小さいので、多くのガスが隙間を通って上下方向に流出することを防ぐ機能は十分に備えている。

そして、本実施形態ではワークＷの一部である被処理物を載せたトレイが、前後方向に密に並んで搬送されていて、このトレイの左右の側方にある前記部分仕切部２１ａ，２２ａと当該トレイとによって、当該トレイ上にある被処理物が進行する搬送路Ｒ１を含む上方の空間と、その下方の空間とを仕切ることができる。

なお、断熱性を有する炉壁１０を構成する各壁部材は、煉瓦、アルミナボード又はカーボンボード等から成り、断熱性の高い材質である。これに対して仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃは、炉壁１０を構成する各壁部材よりも非常に薄く構成され、路壁１０のように高い断熱性を備えておらず、例えば、薄い断熱ボード、ガラス、石英板又は無機複合材等によって構成することができる。

また、炉本体１は、前記仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃによって、三つの搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３が上下方向に区画されていて、搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３毎に被処理物（ワークＷ）の周囲の雰囲気を調整することができるように構成されている。なお、調整される周囲の雰囲気としては、周囲の温度や処理用ガスの濃度や圧力がある。
このために、本発明の熱処理炉は、仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃによって仕切られた段毎（搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３毎）に炉内環境を調整する調整装置８ａ，８ｂ，８ｃ（図３参照）を備えている。

すなわち、上段の搬送路Ｒ１用（専用）として上段の調整装置８ａが設けられていて、中段の搬送路Ｒ２用（専用）として中段の調整装置８ｂが設けられていて、下段の搬送路Ｒ３用（専用）として下段の調整装置８ｃが設けられている。調整装置８ａ，８ｂ，８ｃそれぞれは同じ構成であり、上段の調整装置８ａを代表して説明する。

温度調整のために、調整装置８ａは、炉内で発熱するヒータ３５ａと、例えば熱電対からなる温度検出器３６ａと、温度検出器３６ａの検出結果に基づいてヒータ３５ａの仕事量を調整する制御装置３７ａとを有している。
ガス濃度の調整のために、調整装置８ａは、炉本体１内の段毎にガスを供給するガス導入部４１と、段毎のガスを排気するガス排気部４２と、ガスの導入及びガスの排気を制御する制御装置３７ａとを有している。
また、圧力の調整のために、炉本体１内の段毎のガスの排気流量を調整するエジェクタ１８と、段毎の圧力を検出する圧力計とを備えている。そして、前記制御装置３７ａが、圧力計の検出結果に基づいてエジェクタ１８による排気流量を段毎で制御する。

このような炉内環境の調整について、具体的に説明する。
ヒータ３５ａ及び例えば熱電対からなる温度検出器３６ａは、上壁１１よりも下方でかつ上段の仕切部材７ａ（部分仕切部２１ａ，２２ａ）よりも上方に設置されていて、それぞれ上段の搬送路Ｒ１における室内温度が、炉外の制御装置３７ａによって調整される。また、中段については、調整装置８ｂが備えているヒータ３５ｂ及び温度検出器３６ｂは、上段の仕切部材７ａよりも下方でかつ中段の仕切部材７ｂよりも上方に設置されていて、それぞれ中段の搬送路Ｒ２における室内温度が、炉外の制御装置３７ｂによって調整される。さらに、下段については、調整装置８ｃが備えているヒータ３５ｃ及び温度検出器３６ｃは、中段の仕切部材７ｂよりも下方でかつ下段の仕切部材７ｃよりも上方に設置されていて、それぞれ下段の搬送路Ｒ３における室内温度が、炉外の制御装置３７ｃによって調整される。なお、下段の搬送部３３の下方にはヒータ３５ｄが更に設置されていて、床面からの放散熱量を補い、下段の搬送路Ｒ３における室内温度を確保するための補助的な機能を有している。

前記調整装置８ａ，８ｂ，８ｃがそれぞれ有している制御装置３７ａは、一つのコンピュータから構成することができ、記憶しているプログラムによって熱処理を実行する機能を備えている。
このように構成した調整装置８ａ，８ｂ，８ｃによれば、搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３毎で、炉内環境を、すなわち被処理物の周囲の温度を調整することができ、搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３毎で、同じ温度となるように制御してもよいし、異なるように制御してもよい。

さらに、図１に示しているように、炉本体１は、搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３それぞれにおいて、前後方向に複数の領域Ａ１，Ａ２・・・Ａ８，Ａ９に区画されていて、領域Ａ１，Ａ２・・・Ａ８，Ａ９毎で被処理物の周囲の雰囲気（処理用ガスの濃度等について）を調整することができるように構成されている。
そして、区画された各領域を順にワークＷが進行し、被処理物は各領域の雰囲気に応じて熱処理が施される。

領域Ａ１，Ａ２・・・Ａ８，Ａ９毎で処理用ガスの濃度を調整する処理は、前記調整装置８ａ，８ｂ，８ｃによって実行される。
このために、調整装置８ａ，８ｂ，８ｃそれぞれは、マスフローコントローラとガス温度センサである前記温度検出器とを有し、さらに、図２に示しているように、各段の調整装置８ａ，８ｂ，８ｃそれぞれは、処理用ガスを各領域に供給するガス導入部（ガス導入口）４１ａ、及び、ガスを吸引するガス排気部（ガス排気口）４２ａを更に有している。そして、ガス導入口４１ａ及びガス排気口４２ａは、複数の領域Ａ１，Ａ２・・・Ａ８，Ａ９それぞれに設けられている。

さらに、炉本体１は、前後方向に間隔を有して上段に設けられた複数の部分区画壁４０ａを有している。なお、上壁１１に設けられた前記部分区画壁４０ａ以外に、中段に設けられた部分区画壁４０ｂ、下段に設けられた部分区画壁４０ｃ、及び、底壁１２に設けられた部分区画壁４０ｄを有している。そして、代表して上段について説明すると、前後方向で隣り合う対の部分区画壁４０ａ，４０ａの間が、区画される一つの領域となる。
代表として図２の領域Ａ２に関して説明すると、上流側の部分区画壁４０ａの下流側に前記ガス排気口４２ａが設けられていて、下流側の部分区画壁４０ａの上流側に前記ガス導入口４１ａが設けられている。ガス導入口４１ａから処理用ガスが領域Ａ２に導入され、当該領域Ａ２を通過する被処理物は、この処理用ガスを含んだ雰囲気の中で熱処理される。そして、排ガス及び熱処理されて発生した余剰の処理用ガスは、ガス排気口４２から炉外へ排出される。なお、ガス導入口４１ａ及びガス排出口４２ａは、加熱室９内の領域Ａ２に設置されたパイプ部材に形成されている。

そして領域Ａ２の他の領域においても、同様に構成されていて、領域Ａ１，Ａ２・・・Ａ８，Ａ９それぞれにおける処理用ガスの濃度、処理用ガスの供給量、排出量は、前記調整装置８ａ，８ｂ，８ｃが備えている制御装置３７ａ，３７ｂ，３７ｃの機能によって、領域毎に制御される。すなわち、制御装置３７ａ，３７ｂ，３７ｃは、マスフローコントローラの機能を有し、当該マスフローコントローラと、エジェクタと、圧力計とによって、排出量の制御が行われる。

すなわち、前記ガス排気口４２ａが形成されているパイプ部材は、炉外に設置された排気管１７（図３参照）に接続されていて、この排気管１７は、前記制御装置３７ａ，３７ｂ，３７ｃによって制御されるエジェクタ１８を備えている。エジェクタ１８は路本体１内の段毎のガスの排気流量を調整する機能を有していて、制御装置３７ａ，３７ｂ，３７ｃが、段毎の圧力を検出する圧力計の検出結果に基づいて、エジェクタ１８によって排気流量を調整することにより、炉内の圧力を段毎で制御することができる。また、排気管１７には、排ガス浄化触媒が取り付けられている。

以上の構成により、領域Ａ１，Ａ２・・・Ａ８，Ａ９毎で被処理物の周囲の処理用ガスの濃度等を調整することができる。例えば、領域Ａ１，Ａ２・・・Ａ８，Ａ９毎で、炉内環境を、すなわち被処理物の周囲の処理用ガスの濃度を、同じとなるように制御してもよいし、異なるように制御してもよい。また、前記温度検出器３６ａを領域Ａ１，Ａ２・・・Ａ８，Ａ９毎に設置して、被処理物の周囲の温度を領域毎で制御してもよいし、また、複数の領域を一つのグループとして分け、グループ単位で制御するようにしてもよい。

図２において、代表して上段に関して説明すると、一つの領域（例えば領域Ａ２）に設けられたガス導入口４１ａと、当該一つの領域の隣りにある他の領域（領域Ａ３）に設けられたガス導入口４１ａとは、これら領域（領域Ａ２，Ａ３）を区画する一つの部分区画壁４０ａを挟んで背中合わせ（隣り合わせ）の状態として設置されている。
さらに、一つの領域（例えば領域Ａ２）に設けられたガス排出口４２ａと、当該一つの領域の隣りにある他の領域（領域Ａ１）に設けられたガス排出口４２ａとは、これら領域（領域Ａ２，Ａ１）を区画する一つの部分区画壁４０ａを挟んで背中合わせ（隣り合わせ）の状態として設置されている。
このようなガス導入口４１ａ及びガス排出口４２ａの配置及び区画壁４０ａの構成により、隣り合う領域間でガスの移動を防止することができ、領域毎の雰囲気を異ならせることが可能となる。また、ガスが混ざり合うことを防止できる。
さらに、図２において、ガス導入口４１ａとガス排出口４２ａとのワーク搬送面に対する高さが異なっており、この構成によれば、領域毎の分離をより確実に行えるとともに、導入後のガスをより確実に捕捉して滞留時間を少なくし迅速に排出することができる。

以上の実施形態の炉本体１によれば、図３において、ワークＷと仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃ（左右の部分仕切部）とが左右方向に並んだ構成となり、これら仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃが用いられ、かつ、ワークＷの一部であるトレイの底壁及び側壁と協働して、加熱室９を上下方向に三段に仕切ることができ、ガスが上下方向に流れることを抑制している。
そして、各段で、ワークＷと左右の部分仕切部とが左右方向に並んだ構成となるので、仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃを加熱室９内に設けても炉本体１を低く構成することが可能となる。

次に、本発明の熱処理炉の第二の実施形態を説明する。本実施形態では、ワークＷの種類が前記トレイを含むワークとは異なる場合、又は、ワークＷが搬送方向に間隔をもって搬送される場合に適用される。つまり、平面視において部分的に設けられた仕切部材では、上下段の分離に適さない場合に、第二の実施形態が有効である。
図４は、第二の実施形態の熱処理炉が備えている炉本体１の横断面図である。本実施形態と図３の第一の実施形態とでは、仕切部材の構成以外は、同じである。

すなわち、図４において、この熱処理炉は、上下方向に複数段（二段）設けられた仕切部材１０７ａ，１０７ｂを備えていて、これら仕切部材１０７ａ，１０７ｂそれぞれは、搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３に存在するワークＷよりも上方及び下方の内の少なくとも一方に設けられ、加熱室９を上下方向にほぼ完全に区画している仕切板からなる。すなわち、上段の搬送路Ｒ１と中段の搬送路Ｒ２との間に、第一の仕切板２５ａが設けられていて、中段の搬送路Ｒ２と下段の搬送路Ｒ３との間に、第二の仕切板２５ｂが設けられている。

これら仕切板２５ａ，２５ｂは、炉本体１の左側壁１３ａから右側壁１３ｂにわたって左右方向に設けられていて、さらに、炉本体１の前壁１４から後壁１５にわたって前後方向に設けられていて、仕切板２５ａ，２５ｂは、平面的に見て加熱室９の内周輪郭をほぼ完全に区画し得る形状を有している。
この仕切１０７ａ，１０７ｂによれば、加熱室９を搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３毎に、つまり上下方向に三段に仕切ることができ、上下の搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができる。

以上の前記各実施形態の熱処理炉によれば、ハースローラからなる搬送部３１，３２，３３が単一の加熱室９に上下方向三段に分かれて設けられていて、当該搬送部３１，３２，３３によって各段でワークＷを水平方向に搬送する構成が得られる。このため、加熱室９の上下方向の三段でワークＷを搬送しながら処理することができる。
そして、仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃ（１０７ａ，１０７ｂ）が、単一の加熱室９を搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３毎に上下方向の三段に仕切ることから、三段の搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができる。
そして、仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃ（１０７ａ，１０７ｂ）によって加熱室９が上下方向に仕切られていても、調整装置８ａ，８ｂ，８ｃは、炉内環境を段毎に調整するので、各段で被処理物に対して所望の熱処理を行うことが可能となる。この結果、所望の品質を有する被処理物を大量に得ることができる。

また、搬送路が複数段設けられているので、多くのワークＷを処理することができ、しかも、断熱性を有する厚い壁部材は、炉本体１を構成する外壁部材として利用されているのみであり、築造コストの低減が可能となる。なお、仮に、一段の炉本体を三段（複数段）積みにすると、段毎に炉床と炉天井との断熱材を有する構成となるために、断熱層が厚くなり、炉本体全体が巨大となってしまう。また、一段炉の炉本体を三段（複数段）積みにすると、熱放散面積が多くなり、エネルギコストが増すという問題点がある。
しかし、本発明によれば、断熱性が高く厚い中間壁部材が段毎に存在していないので、炉本体１の巨大化を防ぐことができ、また、一段炉の炉本体を三段（複数段）積みにする構成よりも熱放散面積が少なくなることから、前記問題点の発生を防ぐことが可能である。

また、本発明の熱処理装置は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。例えば、前記実施形態では、ハースローラからなる搬送部を三段設けた場合を説明したが、二段又は四段以上であってもよい。
前記各搬送路ではワークが三列となって搬送される場合を説明したが、一列であってもよい。前記実施形態では、ヒータは、ワークの上方及び下方に設けられている場合を説明したが、さらに側方に設けられていてもよい。
図１では、パージ室を有する中間装置３，５を有している場合を説明したが、これら中間装置３，５を省略することで、本発明の熱処理炉を大気雰囲気炉とすることもできる。
また、被処理物としては、金属部材、粉体、金属板、硝子板、その他の基板等があり、これにトレイを使用するか否か、更にワークの間隔をあけるか否かの搬送上の要求が加わるが、これらの要求に柔軟に対応すべく、前記第一及び第二の実施形態から適宜最適の選択が可能である。
また、前記実施形態では、調整装置８ａ，８ｂ，８ｃが備えている制御装置３７ａ，３７ｂ，３７ｃが、炉内の温度及びガス雰囲気の双方の制御を行う場合を説明したが、それぞれ異なる制御装置によって行ってもよい。

１：炉本体、 ７ａ，７ｂ，７ｃ：仕切部材、 １０７ａ，１０７ｂ：仕切部材、 ８ａ，８ｂ，８ｃ：調整装置、 ９：加熱室、 １０：炉壁、 １８：エジェクタ、 ２１ａ，２２ａ：部分仕切部、 ２１ｂ，２２ｂ：部分仕切部、 ２１ｃ，２２ｃ：部分仕切部、 ２５ａ，２５ｂ：仕切板、 ３１：上段の搬送部、 ３２：中段の搬送部、 ３３：下段の搬送部、 ３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ：ヒータ、 ３６ａ，３６ｂ，３６ｃ：温度検出器、 ３７ａ，３７ｂ，３７ｃ：制御装置、 ４１ａ，４１ｂ，４１ｃ：ガス導入口（ガス導入部）、 ４２ａ，４２ｂ，４２ｃ：ガス排気口（ガス排気部）、 Ｒ１：上段の搬送路、 Ｒ２：中段の搬送路、 Ｒ３：下段の搬送路、 Ｗ：ワーク

Claims (6)

1. 断熱性を有する炉壁に囲まれることにより炉内に単一の加熱室が形成されている炉本体と、
   前記単一の加熱室に上下方向に複数段設けられ各段でワークを水平方向に搬送する搬送部と、
   前記搬送部によって前記ワークが搬送される搬送路毎に前記加熱室を上下方向複数段に仕切る仕切部材と、
   前記仕切部材によって仕切られた段毎に炉内環境を調整する調整装置と、
   を備えていることを特徴とする熱処理炉。
2. 前記仕切部材は、前記ワークの搬送方向に直交する前記ワークの左右側方それぞれに配置され、当該ワークが両者の間を通過する左右の部分仕切部からなる請求項１に記載の熱処理炉。
3. 前記仕切部材は、前記搬送路に存在する前記ワークよりも上方及び下方の内の少なくとも一方に設けられ、前記加熱室を上下方向にほぼ完全に区画している仕切板からなる請求項１に記載の熱処理炉。
4. 前記調整装置は、前記路本体内のガスを段毎で加熱するヒータと、当該段毎の温度を検出する温度検出器と、前記温度検出器の検出結果に基づいて前記ヒータを段毎で制御する制御装置とを有している請求項１〜３のいずれか一項に記載の熱処理炉。
5. 前記調整装置は、前記路本体内の段毎にガスを供給するガス導入部と、当該各段のガスを排気するガス排気部と、前記ガス導入部からのガスの導入及び前記ガス排気部からのガスの排気を制御する制御装置とを有している請求項１〜４のいずれか一項に記載の熱処理炉。
6. 前記調整装置は、前記路本体内の段毎のガスの排気流量を調整するエジェクタと、当該段毎の圧力を検出する圧力計とを更に備え、前記制御装置は、前記圧力計の検出結果に基づいて前記エジェクタを前記段毎で制御する請求項５に記載の熱処理炉。

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