JP2011005590A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】砥粒を含んだ流体であるスラリー(2)を用いて研磨を行う研磨装置において、スラリー(2)を供給するスラリー供給源(3)と、研磨を行なう研磨部(13)と、スラリー供給源(3)より研磨部(13)へとスラリー(2)を供給する配管(4、8)と、スラリー(2)を圧送する圧送シリンダ(5)と、配管(4、8)および研磨部(13)の間にて流通を遮断するパーツバルブ(9)と、配管(4、8)内の流体を逆流させる逆流手段(11)とを備え、逆流手段(11)は、パーツバルブ(9)を閉じた状態で配管(4、8)内の流体をスラリー供給源(3)へと逆流させることで、配管(4、8)内のスラリー(2)を配管(4、8)外へ排出することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
以下、本発明を車両用燃料噴射ノズルにおける噴射孔の研磨に用いられる研磨装置に適用した第1実施形態について図1を用いて説明する。図1は、本発明の研磨装置の構成を示す図である。尚、本実施形態の説明における方向は、図1紙面上における上下左右方向と同一であるものとする。
上記実施形態においては、本発明を車両用燃料噴射ノズルの研磨に適用した例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、印刷機のインク噴射ノズルなどの研磨に用いてもよい。
2…スラリー
3…スラリータンク
4…吸引配管
5…圧送シリンダ
6…吸引弁
7…供給弁
8…供給配管
9…パーツバルブ
11…エア送り出し機構
100…被研磨対象
Claims (7)
- 砥粒を含んだ流体であるスラリー(2)を用いて研磨を行う研磨装置であって、
前記スラリー(2)を供給するスラリー供給源(3)と、
前記研磨装置にて研磨される被研磨対象(100)が内部に設置され、設置された前記被研磨対象(100)の研磨を行う研磨部(13)と、
前記スラリー供給源(3)より前記研磨部(13)へと前記スラリー(2)を供給する配管(4、8)と、
前記配管(4、8)に接続され、前記スラリー供給源(3)側より前記スラリー(2)を吸引し、前記研磨部(13)側へと圧送する圧送シリンダ(5)と、
前記配管(4、8)および前記研磨部(13)の間にて流通を遮断するパーツバルブ(9)と、
前記パーツバルブ(9)を開閉させるバルブ開閉手段(200)と、
前記パーツバルブ(9)および前記圧送シリンダ(5)の間に接続され、前記配管(4、8)内の流体を逆流させる逆流手段(11)とを備え、
前記逆流手段(11)は、前記パーツバルブ(9)を閉じた状態で前記配管(4、8)内の流体を前記スラリー供給源(3)へと逆流させることを特徴とする研磨装置。 - 前記逆流手段(11)は、前記パーツバルブ(9)の近傍に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記逆流手段(11)は、前記配管(4、8)内へと空気を送り込むことで前記配管(4、8)内の前記スラリー(2)を逆流させる空気供給機構(11)であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の研磨装置。
- 前記圧送シリンダ(5)は、
前記逆流手段(11)が前記配管(4、8)内の流体を逆流させる前に、前記圧送シリンダ(5)内の前記スラリー(2)を前記圧送シリンダ(5)外へと排出することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の研磨装置。 - 前記研磨部(13)内に前記被研磨対象(100)が設置されていない状態が所定時間継続したか否かを判定する判定手段(S120)と、
前記判定手段(S120)により、前記研磨部(13)内に前記被研磨対象(100)が設置されていない状態が所定時間継続したと判定された場合には、前記パーツバルブ(9)を閉じ、前記逆流手段(11)を作動させる停止手段(S200)とを備えることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の研磨装置。 - 前記研磨部(13)は、
前記配管(4、8)より供給され、前記被研磨対象(100)の研磨に用いられた前記スラリー(2)を回収するスラリー回収皿(14)を備えており、
前記スラリー回収皿(14)には、前記スラリー回収皿(14)にて回収された前記スラリー(2)を前記スラリー供給源(3)へと戻す回収配管(15)が接続されていることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の研磨装置。 - 前記回収配管(15)には、
前記スラリー回収皿(14)より前記スラリー(2)を吸引し、前記スラリータンク(3)へと圧送するポンプである回収ポンプ(16)が接続されていることを特徴とする請求項6に記載の研磨装置。
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JP5218295B2 (ja) | 2013-06-26 |
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