JP2011003887A - チャンバ装置におけるターゲット軌道を計測及び制御する装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この装置は、ターゲット噴射ノズルの位置と角度との内の少なくとも一方を調整するノズル調整機構と、ターゲット軌道を計測することにより、ターゲット軌道に関する軌道情報を取得するターゲット軌道計測部と、軌道情報によって表されるターゲット軌道と所定のターゲット軌道との間の角度偏差に関する値を求めるターゲット軌道角度検出部と、角度偏差に関する値に基づいて、液滴ターゲットが所定のレーザ光照射位置を通過するようにノズル調整機構を制御するノズル調整コントローラとを含む。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の一実施形態に係るターゲット軌道計測及び制御装置が適用される極端紫外光源装置の概要を示す模式図である。図1に示すように、このLPP光源は、ドライバレーザ101と、EUV光発生チャンバ102と、EUV光発生チャンバ102に付随するターゲット送出機構103と、レーザ光集光光学系104とを主要な構成要素として構成される。また、このEUV光発生チャンバ102には、後で詳しく説明するターゲット軌道計測及び制御装置の一部であるノズル調整機構113が設けられている。なお、ターゲット軌道計測及び制御装置とは、ターゲット軌道の計測と制御との両方を行う単一の装置でも良いし、ターゲット軌道計測装置とターゲット軌道制御装置とを通信回線で接続することにより構成される装置でも良い。
EUV光発生チャンバ102は、その内部でEUV光の発生が行われるチャンバである。EUV光発生チャンバ102は、EUV光の吸収を防止するため、真空ポンプ105によって排気されている。また、EUV光発生チャンバ102には、ドライバレーザ101から発生したレーザ光120をEUV光発生チャンバ102内に導入するためのウインドウ106が取り付けられている。さらに、EUV光発生チャンバ102の内部には、ターゲット送出機構103の一部であるターゲット噴射ノズル103aと、ターゲット回収部107と、EUV光集光ミラー108とが配置されている。
初めに、図4に示すステップS1において、ターゲット軌道計測部17が、ターゲット軌道112に関する軌道情報を取得する。最も単純な手法は、ターゲット噴射ノズル103aの噴射口の位置が変化しないものとして、ビデオカメラやCCDカメラ等の2次元撮像装置を用いて取得されるターゲット軌道の画像に基づいて、ターゲット軌道112に関する軌道情報を求めるものである。
XG=D×(I2−I1)/(I1+I2)
光位置センサは、アナログ電圧の演算で光点位置を求めるので、ターゲット軌道の位置を極めて高速にまた高分解能で計測することができる。複数の光位置センサを用いてターゲット軌道の位置を計測する場合には、ターゲット軌道に沿った少なくとも2カ所において、少なくとも2つの光位置センサをそれぞれ設置すれば良い。
図13は、本発明の一実施形態におけるノズル位置調整システム及びターゲット軌道角度調整システムの第2の態様を示すブロック図である。図13には、ターゲット噴射ノズル103aの位置変位とターゲット軌道112の傾きとを計測して、それぞれの偏差を解消するノズル位置調整システム及びターゲット軌道角度調整システムが示されている。
(1)LLP型EUV光源装置が、常時効率良くEUV光を発生することができるかも知れない。
(2)液滴ターゲットの中心部に高精度にレーザ光を集光照射できる可能性が高いので、プラズマ発生位置(EUV光の発光点)から中間集光点(IF)よりも遠くの領域(ファーフィールド)における強度分布が均一になる可能性があり、EUV光のエネルギー安定性が向上するかも知れない。
(3)液滴ターゲットが小径化されても、高精度にレーザ光を液滴ターゲットに照射できる可能性があるため、デブリが減少するかも知れない。
Claims (15)
- ターゲット噴射ノズルから供給される液滴ターゲットに外部ドライバレーザからのドライバレーザ光を照射することにより生成されるプラズマから極端紫外光を発生するチャンバ装置内部のターゲット軌道を計測及び制御する装置であって、
前記ターゲット噴射ノズルの位置と角度との内の少なくとも一方を調整するノズル調整機構と、
前記ターゲット噴射ノズルから供給される液滴ターゲットが形成するターゲット軌道を計測することにより、ターゲット軌道に関する軌道情報を取得するターゲット軌道計測部と、
前記ターゲット軌道計測部によって取得された軌道情報によって表されるターゲット軌道と所定のターゲット軌道との間の角度偏差に関する値を求めるターゲット軌道角度検出部と、
前記ターゲット軌道角度検出部によって求められた角度偏差に関する値に基づいて、液滴ターゲットが所定の位置を通過するように前記ノズル調整機構を制御するノズル調整コントローラと、
を具備する装置。 - 前記ターゲット噴射ノズルの位置変位を計測する変位計をさらに具備し、
前記ノズル調整コントローラが、前記変位計の出力信号に基づいて、前記ターゲット噴射ノズルの位置を基準位置に一致させるように前記ノズル調整機構を制御する、請求項1記載の装置。 - 前記ターゲット軌道計測部が、前記ターゲット噴射ノズルの先端中央部の位置と共にターゲット軌道を計測することにより、ターゲット軌道に関する軌道情報を取得し、
ターゲット軌道角度検出部が、前記ターゲット噴射ノズルの先端中央部の位置を基準点として、前記ターゲット軌道計測部によって取得された軌道情報によって表されるターゲット軌道と所定のターゲット軌道との間の角度偏差に関する値を求める、請求項1記載の装置。 - 前記ノズル調整機構が、前記ターゲット噴射ノズルの位置を調整するノズル位置調整機構と、前記ターゲット噴射ノズルの角度を調整するノズル角度調整機構とを含み、
前記ノズル調整コントローラが、前記ターゲット軌道角度検出部によって求められた角度偏差を解消するように前記ノズル位置調整機構及び前記ノズル角度調整機構を制御する、請求項1〜3のいずれか1項記載の装置。 - 前記ノズル調整機構が、前記ターゲット噴射ノズルの位置を調整するノズル位置調整機構と、前記ターゲット噴射ノズルの角度を調整するノズル角度調整機構とを含み、
前記ノズル調整コントローラが、前記ターゲット噴射ノズルの位置を基準位置に一致させるように前記ノズル位置調整機構を制御すると共に、前記ターゲット軌道角度検出部によって求められた角度偏差を解消するように前記ノズル角度調整機構を制御する、請求項1〜3のいずれか1項記載の装置。 - 前記ターゲット噴射ノズルから供給される液滴ターゲットにディテクタレーザ光を照射するディテクタレーザと、
液滴ターゲット間を通過するディテクタレーザ光又は液滴ターゲットによって反射されるディテクタレーザ光を検出する受光素子と、
前記受光素子から供給される検出信号に基づいて、液滴ターゲットが所定の位置を通過するタイミングを検知して、前記ドライバレーザのトリガタイミングを調整するトリガ信号を前記ドライバレーザに送出するトリガタイミング調整部と、
をさらに具備する、請求項1〜5のいずれか1項記載の装置。 - 前記ターゲット軌道計測部が、少なくとも2つの撮像装置を含み、少なくとも2つの方向における液滴ターゲットの画像を取得してターゲット軌道に関する軌道情報を取得する、請求項1〜6のいずれか1項記載の装置。
- 前記2つの撮像装置が、互いに直交する2つの方向における液滴ターゲットの画像を取得する、請求項7記載の装置。
- 前記ノズル調整機構が、前記ターゲット噴射ノズルの角度を、互いに直交する第1の回転軸及び第2の回転軸の回りに調整し、
前記2つの撮像装置が、前記第1及び第2の回転軸とそれぞれ平行な2つの方向における液滴ターゲットの画像を取得する、請求項8記載の装置。 - 前記ターゲット軌道計測部が、1次元ラインセンサを含む、請求項1〜6のいずれか1項記載の装置。
- 前記ターゲット軌道計測部が、少なくとも2つの1次元ラインセンサを含み、ターゲット軌道に沿った少なくとも2カ所においてターゲット軌道の位置を計測する、請求項10記載の装置。
- 前記ターゲット軌道計測部が、光位置センサを含む、請求項1〜6のいずれか1項記載の装置。
- 前記ターゲット軌道計測部が、少なくとも2つの光位置センサを含み、ターゲット軌道に沿った少なくとも2カ所においてターゲット軌道の位置を計測する、請求項12記載の装置。
- 前記ターゲット軌道計測部が、撮像対象を照明する撮像用光源を含む、請求項7〜13のいずれか1項記載の装置。
- ターゲット噴射ノズルから供給される液滴ターゲットに外部ドライバレーザからのドライバレーザ光を照射することにより生成されるプラズマから極端紫外光を発生するチャンバ装置内部のターゲット軌道を計測及び制御する方法であって、
前記ターゲット噴射ノズルから供給される液滴ターゲットが形成するターゲット軌道を計測することにより、ターゲット軌道に関する軌道情報を取得するステップ(a)と、
ステップ(a)において取得された軌道情報によって表されるターゲット軌道と所定のターゲット軌道との間の角度偏差に関する値を求めるステップ(b)と、
ステップ(b)において求められた角度偏差に関する値に基づいて、液滴ターゲットが所定の位置を通過するように前記ターゲット噴射ノズルの位置と角度との内の少なくとも一方を調整するステップ(c)と、
を具備する方法。
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