JP2010541201A - 複数のウェハを取り扱う能力を備えた受渡し機構 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、複数の加工物又は多数の加工物を受け渡すように構成された、加工物受渡しのための方法及び装置を開示する。典型的な実施形態において、本発明の加工物受渡し機構は、複数の加工物又は多数の加工物を受け渡すための多重エンドエフェクタと、1つの加工物を受け渡すための単一エンドエフェクタとを有するロボットアームを有する。1つの態様において、単一エンドエフェクタは、多重エンドエフェクタ内の加工物を取り扱うように構成されていることができる。多重エンドエフェクタは、加工物を側縁から取り扱うように構成されていることができ、単一エンドエフェクタは、加工物を上方又は下方から取り扱うように構成されていることができる。この構成は、一次元の移動においてエンドエフェクタの間の加工物の取扱いを提供し、この場合、エンドエフェクタは互いに対して上下に移動する。
本発明は、製造設備における加工物の流れを改善するための装置及び方法に関する。改善は、対象物搬送移動への別の機能の一体化を含むことができ、ひいては、スループットを改善し、機能を付加し、設置面積を減じる。マイクロエレクトロニクスの製造において半導体加工物を加工する間、種々異なる機器が数百の加工ステップのために使用される。加工物の処理の流れは実質的に連続的であり、ほとんどの工具は一度に1つの加工物に対して働く。本発明は、機器の内部及び製造設備内で加工物の連続した流れを保証する形式での加工物の取扱い又は移動を提供する。
Claims (20)
- 複数の加工物を受け渡すためのロボットアセンブリにおいて、
多数の加工物を支持するための第1の支持部を有する多重エンドエフェクタと、
該多重エンドエフェクタを後退位置と延長位置との間で移動させるように構成された第1の移動機構と、
加工物を支持するための第2の支持部を有する単一エンドエフェクタと、
該単一エンドエフェクタを後退位置と延長位置との間で移動させるように構成された第2の移動機構と、
単一エンドエフェクタを下降位置と複数の上昇位置との間で移動させるように構成された第3の移動機構とが設けられており、
後退位置が、ロボットアセンブリの移動を妨害しないように構成されており、
延長位置が、加工物ステーションに到達しており、
上昇位置が、多数の加工物のうちの1つの加工物にアクセスするために第1の支持部に到達しており、
下降位置が、第1の移動機構の移動を妨害しないように構成されていることを特徴とする、複数の加工物を受け渡すためのロボットアセンブリ。 - 下降位置の近くにおいて加工物を回転させるように構成された回転チャックが設けられていることを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
- 回転チャック上の加工物の識別マークを読み取るように構成されたID読取り機が設けられていることを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
- 第1の支持部が、加工物を側縁から支持しており、第2の支持部が、加工物を底部から支持していることを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
- 第3の移動機構が、単一エンドエフェクタが多重エンドエフェクタの多数の加工物に下方から上方へ順次にアクセスすることができるように構成されていることを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
- ロボットアセンブリを加工物ステーションへ移動させるための第4の移動機構が設けられていることを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
- 単一エンドエフェクタが、多重エンドエフェクタと加工物ステーションとの間で加工物を受け渡すように構成されていることを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
- 複数の加工物を受け渡すためのロボットアセンブリにおいて、
多数の加工物のための第1の支持部を有する第1の移動機構が設けられており、該機構が、複数の加工物を第1の支持部と加工物ステーションとの間で受け渡すように構成されており、
加工物のための第2の支持部を有する第2の移動機構が設けられており、該機構が、加工物を、第1の支持部と加工物ステーションとの間で、第2の支持部を介して受け渡すように構成されていることを特徴とする、複数の加工物を受け渡すためのロボットアセンブリ。 - 第2の移動機構が、加工物を第1の支持部と第2の支持部との間で受け渡すための移動機構と、加工物を第2の支持部と加工物ステーションとの間で受け渡すための移動機構とを有することを特徴とする、請求項8記載のロボットアセンブリ。
- 第2の移動機構が、第1の支持部と加工物ステーションとの間の受渡しの間に加工物を位置合わせするための位置合わせ機構を有することを特徴とする、請求項8記載のロボットアセンブリ。
- 第2の移動機構が、第1の支持部と加工物ステーションとの間の受渡しの間に加工物を識別するためのID読取り機構を有することを特徴とする、請求項8記載のロボットアセンブリ。
- 第1の移動機構が、多数の加工物を回収し、第2の移動機構が、回収された加工物を所定のIDスケジュールに従って分類することを特徴とする、請求項8記載のロボットアセンブリ。
- 第1の移動機構が、多数の加工物を、加工物ステーションから又は加工物ステーションへ受け渡し、第2の移動機構が、回収された加工物を所定の位置合わせマークに従って位置合わせすることを特徴とする、請求項8記載のロボットアセンブリ。
- 複数の加工物を複数の加工物ステーションの間でロボットアセンブリを介して受け渡すための方法において、
多数の加工物をロボットアセンブリと1つの加工物ステーションとの間で同時に受け渡し、
各加工物をロボットアセンブリと複数の加工物ステーションとの間で順次に受け渡すことを特徴とする、複数の加工物を複数の加工物ステーションの間でロボットアセンブリを介して受け渡すための方法。 - 各加工物が、さらに、加工物を位置合わせマークに合わせて位置合わせすることを含むことを特徴とする、請求項41記載の方法。
- 各加工物が、さらに、IDマークを読み取ることによって加工物を識別することを含むことを特徴とする、請求項14記載の方法。
- 多数の加工物を受け渡すことが、加工物を加工物ステーションから回収するか、又は加工物を加工物ステーションに配置することを含むことを特徴とする、請求項14記載の方法。
- 各加工物が、ロボットアセンブリ内の多数の加工物から加工物を回収し、該加工物を加工物ステーションに配置することを含むことを特徴とする、請求項14記載の方法。
- 各加工物が、加工物ステーションから加工物を回収し、該加工物をロボットアセンブリ内の多数の加工物に加えることを含むことを特徴とする、請求項41記載の方法。
- 多数の加工物の各加工物が、加工物を多数の加工物から分類することを含むことを特徴とする、請求項14記載の方法。
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