JP2010504518A - 直接型x線変換に基づく積分検出器に関する漏れ電流及び残留信号の補償 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 検査照射デバイスにおけるセンサの暗電流を除去する方法において、前記暗電流が、以前の照射からの前記センサでの定常状態漏れ電流及び/又は動的な残留信号から生じており、
第1のフェーズにおいて、所定の電圧を前記センサに印加して、暗電流補償デバイスに入力される前記暗電流を検出するステップと、
第2のフェーズにおいて、前記所定の電圧を前記センサで維持すると共に、前記暗電流を放電させるとき前記暗電流補償デバイスが前記第1のフェーズにおいて持っていた状態を前記暗電流補償デバイス内で凍結させるステップとを含む、方法。 - X線照射が実質的にない状態に前記センサを保つと共に、前記第1のフェーズのステップが適用される、請求項1に記載の方法。
- 検査照射のない中間暗フレーム内、又はリセット・フェーズ内で、前記第1のフェーズのステップが適用される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のフェーズが、容量を充電するステップを含み、前記容量の電圧は、前記暗電流を放電させるFETのゲートソース電圧を決定する、請求項1に記載の方法。
- 前記第2のフェーズのステップが、FETが前記第1のフェーズにおいて前記暗電流を放電させるとき持っていたレベルに前記FETのゲートソース電圧を保つステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第2のフェーズのステップが、FETが前記第1のフェーズの間、前記暗電流を放電させるとき持っていたレベルに前記FETのゲートソース電圧を保つべく容量における前記電圧を凍結させるステップを含む、請求項5に記載の方法。
- 積分容量を第2の電圧で充電するステップを更に有し、前記積分容量の1つの端子が、前記暗電流補償回路の入力及び増幅器の入力に接続され、前記積分容量の他の端子は、接地に接続される、請求項1に記載の方法。
- センサの定常状態漏れ電流及び/又は動的な残留信号から生じる暗電流を補償する暗電流補償デバイスであって、
第1のFETであって、ドレインが、前記デバイスの入力に接続され、かつ第1の電流源を介して接地に接続され、ゲートは、第1のスイッチを介して前記デバイスの入力に接続され、及びソースが、第2の電流源を介して電圧源に接続可能である端子に接続される、第1のFETと、
第2のFETであって、ドレインが、接地に接続され、ゲートは、基準電圧に接続可能であり、及びソースが前記第1のFETのソースに接続される、第2のFETと、
容量であって、1つの端子が前記第1のFETのゲートに接続され、及び他の端子は前記電圧源に接続可能である端子に接続される、容量とを有する、暗電流補償デバイス。 - 検査装置において使用される照射デバイスであって、
電圧源と、
請求項8に記載の暗電流補償デバイスと、
センサデバイスであって、1つの端子が、前記電圧源の出力に接続され、及び更なる端子は、前記暗電流補償デバイスの入力に接続される、センサデバイスと、
積分デバイスであって、入力が第3のスイッチを介して前記暗電流補償デバイスの入力に接続される、積分デバイスとを有する、照射デバイス。 - 前記センサデバイスが、直接変換物質層を有し、
個別の積分デバイス及び暗電流補償デバイスは、それぞれのピクセルに対して設けられ、
片側に所定の電圧を印加する金属電極が設けられ、
他の側に前記センサデバイスのピクセルを形成する複数の電極を持つ金属電極が設けられ、前記複数の電極の少なくとも1つが、個別のピクセルのピクセル電子機器に接続可能であり、前記ピクセル電子機器はそれぞれ、個別の積分デバイス及び個別の暗電流補償デバイスを有する、請求項9に記載の照射デバイス。 - 前記センサデバイスがX線放射線を感知することができ、
前記電圧源が、
所定の電圧の電圧源であって、1つの端子は接地に接続され、他の端子が抵抗器を介して前記電圧源の出力に接続される、電圧源と、
容量であって、1つの端子が接地に接続され、他の端子は前記電圧源の出力に接続される、容量とを含み、
前記積分デバイスが、
増幅器であって、入力は前記積分デバイスの入力に接続され、出力がサンプル及びホールド段に接続可能である、増幅器と、
積分容量であって、1つの端子は前記増幅器の入力に接続され、他の端子が接地に接続される、積分容量と、
第2の電圧源であって、1つの端子は接地に接続され、他の端子が第3のスイッチを介して前記積分デバイスの入力に接続される、第2の電圧源とを含む、請求項9又は10に記載の照射デバイス。 - プロセッサにより実行されるとき、請求項1乃至7のいずれかに記載の方法のステップを実行するよう適合されるプログラム。
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