JP2010283213A - 基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アモルファスカーボン膜51、SiON膜52,BARC膜53及びフォトレジスト膜54が順に積層されたウエハWを処理する基板処理方法であって、CHF3ガスと、CF3Iガスと、H2ガス及びN2ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、フォトレジスト膜54の開口部55のCD値を縮小しつつ開口部底部のSiON膜をエッチングするシュリンクエッチングステップと、開口部55の側壁面へのデポの堆積を促進させて各CD値のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップと、開口部の内面に薄膜を形成して各開口部の開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップとを1ステップで行う。
【選択図】図4
Description
図2のプロセスモジュール12を用い、チャンバ内圧力を2×10Pa(150mTorr)、ウエハWの温度を60℃、載置台23の励起電力を750W、バイアス電力を300W、シャワーヘッドの直流印加電圧を−300Vとし、処理ガスとしてCHF3ガス200sccm、H2ガス30sccm、N2ガス30sccm、CF3Iガス50sccmを供給して図3のウエハWに対してプラズマエッチング処理を施したところ、処理開始前フォトレジスト膜54のCD値が75〜95nmの範囲でばらついていたウエハWにおいて、SiON膜52に、ほとんどばらつきがなくCD値が31〜32nmの開口部が形成された。
実施例1におけるN2ガスの供給量を60sccmに変更した以外は、実施例1と同様の条件で同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、SiON膜52に、ほとんどばらつきがなくCD値が18nmの開口部が形成された。
実施例1におけるH2ガスの供給量を0sccmとしてH2ガスを供給しなかった以外は、実施例1と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、主として開口幅の縮小作用を発現させることができ、SiON膜52に、CD値が32〜40nmで、ばらつきのある開口部が形成された。
実施例1におけるN2ガスの供給量を0sccmとしてN2ガスを供給しなかった以外は、実施例1と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、主として開口幅のばらつき吸収作用を発現させることができ、SiON膜52にCD値が37〜39nmのばらつきのない開口部が形成された。
実施例1におけるN2ガスの供給量及びH2ガスの供給量をそれぞれ0sccmとしてN2ガス及びH2ガスを供給しなかった以外は、実施例1と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、ウエハWの開口部の開口幅は、ある程度縮小すると共にばらつきが吸収されてCD値が38〜47nmの開口部が形成された。なお、CHF3ガス供給量を増加させることによってある程度CD絶対値が小さくなったが、CD値のばらつき吸収作用及びCD値縮小作用の発現はなりゆきであり、それぞれ単独に制御することはできなかった。
実施例1におけるH2ガスに代えてデポ性ガスであるCHF3ガスを用い、CHF3ガスの添加量を比較例1におけるCHF3ガス供給量よりも40sccmだけ多くした以外は、実施例1と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、処理開始前フォトレジスト膜54のCD値が75〜95nmの範囲でばらついていたウエハWにおいて、SiON膜52に、ほとんどばらつきがなくCD値が31〜32nmの開口部が形成された。
実施例5におけるCHF3ガスの追加添加量を60sccmとした以外は、実施例5と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、SiON膜52に、ほとんどばらつきがなくCD値が23nmの開口部が形成された。
実施例5におけるN2ガスの添加量を0sccmとしてN2ガスを添加しなかった以外は、実施例5と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、主として開口幅のばらつき吸収作用を発現させることができ、SiON膜52に、ほとんどばらつきがなくCD値が34〜39nmの開口部が形成された。
実施例7におけるCHF3ガスの追加添加量を60sccmとした以外は、実施例7と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、主として開口幅のばらつき吸収作用を発現させることができ、SiON膜52に、ほとんどばらつきがなくCD値が30〜32nmの開口部が形成された。
12,13,14 プロセスモジュール
50 シリコン基材
51 アモルファスカーボン膜(下層レジスト膜)
52 SiON膜
53 BARC膜
54 フォトレジスト膜
55 開口部
56 デポ及び保護膜
Claims (15)
- 処理対象層、中間層及びマスク層が順に積層され、前記マスク層が前記中間層の一部を露出させる開口部を有する基板を処理する基板処理方法であって、
デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、水素(H2)ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の側壁面へのデポの堆積を促進させて各開口部の開口幅のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップを1ステップで行うばらつき吸収シュリンクエッチングステップを有することを特徴とする基板処理方法。 - 前記ばらつき吸収シュリンクエッチングステップにおいて、前記開口部の開口幅のばらつきに応じて前記水素(H2)ガスの供給量を制御することを特徴とする請求項1記載の基板処理方法。
- 前記水素(H2)ガスの供給量は、前記異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が25〜65%となるように制御されることを特徴とする請求項2記載の基板処理方法。
- 前記ばらつき吸収シュリンクエッチングステップにおいて、前記水素(H2)ガスに代えてデポ性ガスを適用することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 処理対象層、中間層及びマスク層が順に積層され、前記マスク層が前記中間層の一部を露出させる開口部を有する基板を処理する基板処理方法であって、
デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、窒素(N2)ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の内壁面に薄膜を形成して各開口幅のばらつきを保持したまま開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップとを1ステップで行うばらつき保持シュリンクエッチングステップを有することを特徴とする基板処理方法。 - 前記ばらつき保持シュリンクエッチングステップにおいて、前記開口部の開口幅を縮小させる縮小幅に応じて前記窒素(N2)ガスの供給量を制御することを特徴とする請求項5記載の基板処理方法。
- 前記窒素(N2)ガスの供給量は、前記異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が25〜125%となるように制御されることを特徴とする請求項6記載の基板処理方法。
- 処理対象層、中間層及びマスク層が順に積層され、前記マスク層が前記中間層の一部を露出させる開口部を有する基板を処理する基板処理方法であって、
デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、水素(H2)ガス及び窒素(N2)ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の側壁面へのデポの堆積を促進させて各開口幅のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップと、各開口部の内面に薄膜を形成して各開口部の開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップとを1ステップで行うばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップを有することを特徴とする基板処理方法。 - 前記ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップにおいて、前記開口部の開口幅のばらつきに応じて前記水素(H2)ガスの供給量を制御し、前記開口部の開口幅を縮小させる縮小幅に応じて前記窒素(H2)ガスの供給量を制御することを特徴とする請求項8記載の基板処理方法。
- 前記水素(H2)ガス及び前記窒素(N2)ガスの供給量は、前記異方性エッチングガスの供給量に対する体積比がそれぞれ25〜65%及び25〜125%となるように制御されることを特徴とする請求項9記載の基板処理方法。
- 前記ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップにおいて、前記水素(H2)ガスに代えてデポ性ガスを適用することを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 前記デポ性ガスは、一般式CxHyFz(x、y、zは、0又は正の整数)で表わされるガスであることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 前記デポ性ガスは、CHF3ガスであることを特徴とする請求項12記載の基板処理方法。
- 前記異方性エッチングガスは、臭素(Br)もしくは臭素(Br)よりも原子番号が大きいハロゲン元素又は周期律表第16族元素であって、硫黄(S)もしくは硫黄(S)よりも原子番号が大きい元素を含むガスであることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 前記異方性エッチングガスは、CF3Iガス、CF3Brガス、HIガス又はHBrガスであることを特徴とする請求項14記載の基板処理方法。
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