JP2010281658A - 微粒子計測装置、および微粒子モニタリング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ポータブルタイプとして適しかつ高感度、高効率で微粒子計測を行うことができる微粒子計測装置を提供する。
【解決手段】本発明による微粒子計測装置は、装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により内部所定箇所に捕捉する微粒子捕捉装置1と、上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザ光照射装置3と、上記レーザー光照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置5と、微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子計測のために処理するタイミングとを同期制御する制御装置7と、を含む。
【選択図】図1
【解決手段】本発明による微粒子計測装置は、装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により内部所定箇所に捕捉する微粒子捕捉装置1と、上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザ光照射装置3と、上記レーザー光照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置5と、微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子計測のために処理するタイミングとを同期制御する制御装置7と、を含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、微粒子計測装置に関するものである。本発明はまた、微粒子計測には至らないが、微粒子をモニタリングすることが可能な微粒子モニタリング装置に関するものである。
微粒子の計測技術としては、粒子による散乱光量に基づいて浮遊微粒子を分級する光散乱式微粒子計測(特許文献1)、静電気力に基づいて微粒子を分級する微分型静電分級(特許文献2)、気流方向の変化に基づいて微粒子を分級する慣性インパクター分級がある(特許文献3)。これら計測技術では微粒子サイズに関する情報を得ることができる。上記分級技術では微粒子サイズに関する情報を得ることはできるが、微粒子の種類等に関する情報を得ることはできない。その課題を解決するものとして例えばラマン分光技術が提案されている。このラマン分光技術では微粒子サイズに加えて、微粒子の種類を特定することができるようになっている。ラマン分光はレーザー光等の単色光を微粒子に照射し、微粒子特有の形態で発生したラマン散乱光を分光器等で検出して微粒子の種類等に関する情報を得る技術である。近年では、ナノテクノロジの発展に伴って、微粒子の計測領域がサブマイクロレベルからナノレベルの領域を必要としているために、より高感度で高効率で微粒子を計測できる技術が求められるようになっている。このような高感度、高効率で微粒子計測を行う装置も実際提案されている。
本件出願人は、このような高感度、高効率で微粒子計測を行うことができると同時に簡易軽量コンパクトでポータブルタイプとして最適とし、かつ、低価格で製造販売可能な装置の開発に鋭意取り組んでいる。そして、これまでの微粒子計測装置では、高感度、高効率で微粒子計測を行うことができる反面、その高感度、高効率化のために装置全体が大型化し、かつ製造販売価格も高価格化せざるを得ないものとなっている。例えば高感度ラマン分光装置では、高感度、高効率化のために、分光検出器、CCD素子、液体窒素冷却、等の複雑な機構化と複雑な制御化とにより、装置全体が大型重量化して簡易軽量なポータブルな装置ではない。
なお、簡易である一方、高感度、高効率化を達成するには、サイズがナノレベルの微粒子を簡易に捕捉(トラップ)可能とし、かつ、計測を行うのに必要とする量の微粒子を捕捉確保することも必要となる。
したがって、本発明により解決すべき課題は、簡易軽量コンパクトでポータブルタイプとして最適とし、かつ、低価格で製造可能である一方で、高感度、高効率で微粒子計測を行うことができる微粒子計測装置を提供することである。この場合、本発明は、最適には上記課題のすべてを解決できる微粒子計測装置を提供できることであるが、本発明は、上記課題の少なくとも1つを解決する微粒子計測装置を含むものである。
本発明による微粒子計測装置は、装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により装置内の所定箇所に捕捉するよう回転駆動される微粒子捕捉装置と、上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザー光照射装置と、上記レーザー光の照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置と、微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子計測のために処理するタイミングとを同期制御する制御装置と、を含むことを特徴とするものである。
上記レーザー光の照射により得られる光には反射光以外にも、散乱光等の他の各種光を含むことができる。
本発明においては、装置的には、内部に溶媒と共に取り込んだ微粒子を、微粒子捕捉装置の回転遠心力により当該微粒子捕捉装置内所定箇所に捕捉するというだけの構成であり、微粒子捕捉装置としては簡易軽量でコンパクト化を図れるものである。本発明では、この微粒子捕捉装置の微粒子捕捉形態が従来には無かった画期的なものである。そして、本発明では、レーザー光照射装置と、微粒子検出装置と、を従来と同様に備えるものの、制御装置により、上記微粒子捕捉装置の上記内部所定箇所がレーザー光により照射されるタイミングと、上記微粒子検出装置により微粒子が検出されるタイミングとを同期制御するために、微粒子検出装置での検出波形は、所定箇所に捕捉されている微粒子のみの検出波形とすることができる結果、高感度、高効率で微粒子検出性能に優れた装置を得ることができる。
本発明において、好ましい態様は、上記制御装置により制御された上記タイミングに同期して微粒子検出装置の検出出力を増幅する増幅器を備えることである。この態様では、増幅器出力からは、ノイズレベルよりも微粒子検出レベルを格段に大きく増幅させてS/N(信号/ノイズ)比に優れた微粒子検出出力を得ることができ、微粒子のサイズや質量、もしくは種類をより適確に検出することができるようになる。
本発明において、好ましい態様は、上記微粒子捕捉装置が、内部に微粒子を含む溶媒を取り込める環状空間を有する回転ケースと、この回転ケース内の半径方向外側の所定箇所に半径方向内向きに延びる微粒子捕捉羽根と、を含むことである。この態様では、回転ケースが回転すると、微粒子は回転ケースの内周面上に回転遠心力で集まってくると、微粒子捕捉羽根により効果的に捕捉することができる。特に、高感度、高効率化を達成するうえで必要なサイズがナノレベルの微粒子を簡易に捕捉可能となり、かつ、計測を行うのに必要とする量の微粒子を確保することも必要となる。
この場合、より好ましい態様は、上記態様において、上記回転ケースは、回転可能な環状外側シェルと、回転しない環状内側シェルとを同心に備え、上記微粒子捕捉羽根は、環状外側シェルの内周面に回転方向に放射状で半径方向内向きに延びるようにして設けられ、上記環状外側シェルの内周面と上記微粒子捕捉羽根とで囲む空間を微粒子捕捉空間とすると共に、その微粒子捕捉空間内で上記微粒子捕捉羽根の付け根部分を上記内周面上の所定箇所とすることである。
この態様では、微粒子捕捉羽根が、環状外側シェルの内周面に回転方向に放射状で半径方向内向きに延びるようにして設けられているので、微粒子が回転ケースの内周面上に回転遠心力で集まってくると、微粒子捕捉羽根に、より効果的に捕捉することができる。さらに、環状外側シェルの内周面と上記微粒子捕捉羽根とで囲む空間を微粒子捕捉空間として該空間内に溶媒を吸入する溶媒吸入口と、その溶媒吸入口に対して回転方向上流側で微粒子捕捉空間から溶媒を排出する溶媒排出口とを備えたから、微粒子が計測される環境下で微粒子計測を行う場合、溶媒吸入口と溶媒排出口とからその環境内の溶媒を吸入、排出してより効果的、迅速に微粒子計測を行うことができるようになる。
本発明による微粒子モニタリング装置は、装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により内部所定箇所に捕捉する微粒子捕捉装置と、上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザー光照射装置と、上記レーザー光照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置と、微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子モニタリングのために処理するタイミングとを同期制御する制御装置と、を含むことを特徴とするものである。本発明では、微粒子計測までには至らないまでも、微粒子モニタリングを含むことができる。このモニタリングには検出も含むことができる。
本発明によれば、簡易軽量コンパクトでポータブルタイプとして最適とし、かつ、低価格で製造可能である一方で、高感度、高効率で微粒子計測を行うことができる微粒子計測装置を提供することができる。
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係る粒子計測装置を説明する。図1は、本発明の実施の形態にかかる微粒子計測装置の構成を示す。また、図2(a)は図1の微粒子計測装置内の微粒子捕捉装置のA−A線断面構成を示し、図2(b)は図1の微粒子計測装置内の微粒子捕捉装置のB−B線断面構成を示す。さらに、図3は図1の円Cで囲む部分を拡大して示す。
これらの図を参照して、微粒子計測装置は、微粒子捕捉装置1と、レーザ光照射装置3と、微粒子検出装置5と、制御装置7と、を含む。
(微粒子捕捉装置1)
微粒子捕捉装置1は、装置内部に大気等の気体あるいは液体である溶媒と共に微粒子を取り込むと共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により装置内所定箇所に集積して捕捉するものである。そのため、微粒子捕捉装置1は、装置本体9と、回転ケース11と、この回転ケース11内に設けられた複数の微粒子捕捉羽根13と、を含む。
微粒子捕捉装置1は、装置内部に大気等の気体あるいは液体である溶媒と共に微粒子を取り込むと共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により装置内所定箇所に集積して捕捉するものである。そのため、微粒子捕捉装置1は、装置本体9と、回転ケース11と、この回転ケース11内に設けられた複数の微粒子捕捉羽根13と、を含む。
回転ケース11は、内部に微粒子を含む溶媒を取り込める環状空間を有するケースであり、光透過性で回転可能な環状外側シェル11aと、光非透過性かつ非回転固定の環状内側シェル11bとを同心に備える。環状外側シェル11aの内周面と微粒子捕捉羽根13とで囲む空間は微粒子捕捉空間15となっている。
この環状内側シェル11bは、環状外側シェル11aを回転可能に支持するものであり、円筒体11b1と、円形平板11b2とを含む。環状内側シェル11bの円筒体11b1には、該空間15内に溶媒を吸入する溶媒吸入口11cが設けられている。環状内側シェル11bの円形平板11b2には溶媒吸入口11cに対して回転方向上流側で微粒子捕捉空間15内から溶媒を外部排出する溶媒排出口11dが設けられている。環状外側シェル11aと環状内側シェル11bとの間は図示略の密封機構で環状外側シェル11aが回転可能なごとく密封処理が施されている。
微粒子捕捉羽根13は、環状外側シェル11aの内周面に回転方向に放射状で半径方向内向きに延びるようにして当該環状外側シェル11aと一体回転可能に設けられている。微粒子捕捉羽根13は、環状外側シェル13の内周面において好ましくは円周方向略等間隔で複数設けられている。微粒子捕捉羽根13は、微粒子捕捉空間15内でその付け根部分13aを環状外側シェル11a内周面上の所定箇所とする。
微粒子捕捉装置1において、環状外側シェル11aはその上部側にモータ回転軸17が取り付けられている。このモータ回転軸17はモータ19により回転され、これにより、環状外側シェル11aはモータ回転軸17を中心にして回転駆動されるようになっている。
環状外側シェル11aは、モータ19により回転駆動されると、環状内側シェル11bに設けてある媒吸入口11cから微粒子21と共に溶媒を吸入する。微粒子21にはカーボンナノチューブ等のナノサイズの微粒子を含む。モータは例えばステッピングモータで構成することができる。
環状外側シェル11aが回転すると、環状外側シェル11aの回転に伴い、溶媒内の微粒子21は回転遠心力により半径方向外側に移動する。図1では符号t1,t2,t3,t4,…で示すように、溶媒吸入口11cから吸入された溶媒中の微粒子21は、微粒子捕捉羽根13により捕捉され、微粒子捕捉空間15内をその付け根13a方向の狭い空間へと導かれて移動させられる。最終的には微粒子21のほとんどは微粒子捕捉空間15内における微粒子捕捉羽根13の付け根部分13aに蓄積捕捉されるようになる。そして、さらに回転が進むと、その集積されていた微粒子21は、後述する微粒子計測後に溶媒排出口11dから外部へと排出される。また、微粒子21を集積させるのは、上記微粒子計測に必要な量を確保するためである。
微粒子捕捉羽根13の付け根部分13aには、後述するレーザー光を反射させる反射鏡23が設けられている。
環状外側シェル11aは、側面視ドーム形状であるが、側面視円筒形状でもよい。
(レーザー光照射装置3)
レーザー光照射装置3は、レーザー光源3aと、集光レンズ3bと、を備え、このレーザー光源3aから単色光であるレーザー光を微粒子捕捉装置1に照射する装置である。レーザ光源3aは、微粒子捕捉装置1の環状外側シェル11aの外側からレーザ光出射口3cを向けた状態で配置され当該環状外側シェル11aに向けて単色光であるレーザ光25を照射することができるようになっている。集光レンズ3bは、装置本体9に設けたレーザ光導入用の窓孔9aに取り付けられている。
レーザー光照射装置3は、レーザー光源3aと、集光レンズ3bと、を備え、このレーザー光源3aから単色光であるレーザー光を微粒子捕捉装置1に照射する装置である。レーザ光源3aは、微粒子捕捉装置1の環状外側シェル11aの外側からレーザ光出射口3cを向けた状態で配置され当該環状外側シェル11aに向けて単色光であるレーザ光25を照射することができるようになっている。集光レンズ3bは、装置本体9に設けたレーザ光導入用の窓孔9aに取り付けられている。
このレーザ光25は、レーザ光導入用窓孔9aを介して、微粒子捕捉装置1を照射する。レーザ光25は、微粒子捕捉装置1における微粒子捕捉羽根13の付け根部分13aを照射すると、その付け根部分13aに蓄積されている微粒子21に反射されて、ラマン散乱する。この場合、微粒子捕捉羽根13の付け根部分13aの背部の反射鏡23により効果的にレーザ光は反射され、反射レーザ光27とされる。ここで、ラマン散乱とは、詳細は周知のため略するが、該微粒子21内で散乱され、入射レーザ光25とは波長が異なるレーザ光として反射される現象である。
(微粒子検出装置5)
微粒子検出装置5は、半透鏡(ビームスプリッタ)29と、回折格子31と、フォトマルチプライヤ等の微粒子検出器33とを備える。
微粒子検出装置5は、半透鏡(ビームスプリッタ)29と、回折格子31と、フォトマルチプライヤ等の微粒子検出器33とを備える。
半透鏡29は、レーザ光源3aと微粒子捕捉装置1の環状外側シェル11aとの間を結ぶ光軸上に対して斜め45度の角度で配置されることで、レーザ光源3aから一方向に照射されるレーザ光25を透過させ、他方向からの上記反射レーザ光27を90度方向に全反射させることができるようになっている。回折格子31は、半透鏡29から反射されたレーザ光35の光軸に対して45度の角度で配置されることで当該レーザ光35を分光すると共に微粒子検出器33方向に反射させる。微粒子検出器33は、分光されてきたレーザ光37から微粒子を分光検出することができるようになっている。
(制御装置7)
制御装置7は、例えばコンピュータ等から構成され、微粒子捕捉装置1の回転制御、レーザー光源3aの駆動制御、微粒子検出器33の検出制御、を行う。制御装置7は、図4および図5を参照して後述するように、微粒子捕捉装置1の環状外側シェル11aにおける微粒子捕捉羽根13の付け根部分13aがレーザー光により照射されるタイミングと、微粒子検出器33により微粒子が検出されるタイミングとを同期制御する。
制御装置7は、例えばコンピュータ等から構成され、微粒子捕捉装置1の回転制御、レーザー光源3aの駆動制御、微粒子検出器33の検出制御、を行う。制御装置7は、図4および図5を参照して後述するように、微粒子捕捉装置1の環状外側シェル11aにおける微粒子捕捉羽根13の付け根部分13aがレーザー光により照射されるタイミングと、微粒子検出器33により微粒子が検出されるタイミングとを同期制御する。
以下、図4および図5を参照して動作を説明する。図4は作用説明に供するもので微粒子捕捉装置の概略平面構成を示し、図5(a)は微粒子検出器33の検出波形、図5(b)は回転ケース11の駆動モータ19の制御波形、図5(c)は図5(a)の検出波形において、ノイズを除去した検出波形をそれぞれ示す。
図4において微粒子捕捉羽根13を説明する。なお、図5(b)で示す駆動モータ19の制御波形に代えて、図示を略するが、例えば微粒子捕捉羽根13あるいは回転ケース11に取り付けたマーカー等にセンサを取り付け、このセンサから得られるセンサ波形でもよい。
図4中、符号t1が記入された近傍の微粒子捕捉羽根13は符号13Aで示し、装置本体9のレーザ光導入用窓孔9aを時刻t1で通過する微粒子捕捉羽根13を示す。符号t2が記入された近傍の微粒子捕捉羽根13は符号13Bで示し、装置本体9のレーザ光導入用窓孔9aを時刻t2で通過する微粒子捕捉羽根13を示す。符号t3が記入された近傍の微粒子捕捉羽根13は符号13Cで示し、装置本体9のレーザ光導入用窓孔9aを時刻t3で通過する微粒子捕捉羽根13を示す。符号t4が記入された近傍の微粒子捕捉羽根13は符号13Dで示し、装置本体9のレーザ光導入用窓孔9aを時刻t4で通過する微粒子捕捉羽根13を示す。
今、環状外側シェル11aが回転すると、環状外側シェル11aの回転に伴い、溶媒中の微粒子21は回転遠心力により半径方向外側に移動すると共に、各微粒子捕捉羽根13により捕捉され、その付け根部分13aに集積してくるようになる。
そして、時刻t1では、微粒子捕捉羽根13Aの付け根部分13aが装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向している。この状態では、微粒子捕捉羽根13Aの付け根部分13aの最も狭い空間内に微粒子21が集積している。時刻t2で装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向する微粒子捕捉羽根13Bは図4で示す時刻t1の段階では、その付け根部分13aの空間内に微粒子21がほぼ集積している。また、時刻t3で装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向する微粒子捕捉羽根13Cは図4で示す時刻t1の段階では、その付け根部分13aの空間内に微粒子21の集積は少ない。時刻t4で装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向する微粒子捕捉羽根13Cは図4で示す時刻t1の段階では、その付け根部分13aの空間内に微粒子21の集積はしていない。
以上により、時刻t1では微粒子捕捉羽根13Aの付け根部分13aが装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向している。この状態では、微粒子捕捉羽根13Aの付け根部分13aの最も狭い空間内に微粒子21が集積している。微粒子捕捉羽根13Aの付け根部分13aが装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向すると、この対向したタイミングで微粒子検出器33から検出信号S1が図5(a)の時刻t1で示すように出力される。ここで、この時刻t1前後でも微粒子検出器33から信号が出力されるが、これら信号は検出信号S1とは異なり、ノイズ信号Nとなる。
次の微粒子捕捉羽根13Bの付け根部分13aが時刻t2で装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向すると、この対向したタイミングで微粒子検出器33から検出信号S2が図5(a)の時刻t2で示すように出力される。ここで、この時刻t2前後でも微粒子検出器33から信号が出力されるが、これら信号は検出信号S2とは異なり、ノイズ信号Nとなる。
同様に、微粒子捕捉羽根13C,13Dの付け根部分13aそれぞれが時刻t3,t5で装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向すると、この対向したタイミングそれぞれで微粒子検出器33から検出信号S3,S4が図5(a)の時刻t3,t4で示すように出力される。
このとき、微粒子捕捉羽根13A−13Dそれぞれの付け根部分13aが時刻t1−t4で装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向するようにモータ19の回転を図5(b)で示すモータ制御波形で制御する。C1−C4は、モータ19の制御波形であり、微粒子検出器33からの信号S1−S4それぞれの出力時刻t1−t4と、モータ19の制御波形C1−C4それぞれの制御時刻t1−t4とが対応している。
その結果、制御時刻t1−t4のタイミングで微粒子検出器33出力を同期増幅器41で増幅すると、図5(c)で示すように、この同期増幅器41からは、ノイズ信号Nが実質除去された検出信号S1−S4のみを得ることができる。この同期増幅器41は、微粒子検出装置1の検出出力を微粒子計測のために処理するものであり、その同期増幅タイミングを制御時刻t1−t4のタイミングに同期させる。この同期増幅器41出力により微粒子計測ないし微粒子モニタリングができる。
以上から本実施の形態では、装置的には、内部に溶媒と共に取り込んだ微粒子21を、微粒子捕捉装置1の環状外側シェル11aの回転遠心力により微粒子捕捉羽根13の付け根部分13aの狭い空間に捕捉するという構成であり、微粒子捕捉装置1としては簡易軽量でコンパクト化を図れる。本実施の形態では、制御装置7により、微粒子捕捉羽根13の付け根部分13aが装置本体9のレーザ光導入窓9aに対向しレーザー光25により照射されるタイミングと、微粒子検出装置5により微粒子が検出されるタイミングとを同期制御するために、微粒子捕捉装置1での検出波形は、微粒子のみの検出波形とすることができるので、高感度、高効率で微粒子検出ができる装置を得ることができる。
1 微粒子捕捉装置
9 装置本体
11 回転ケース
11a 環状外側シェル
11b 環状内側シェル
13 微粒子捕捉羽根
3 レーザ光照射装置
5 微粒子検出装置
7 制御装置
9 装置本体
11 回転ケース
11a 環状外側シェル
11b 環状内側シェル
13 微粒子捕捉羽根
3 レーザ光照射装置
5 微粒子検出装置
7 制御装置
Claims (5)
- 装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により装置内の所定箇所に捕捉するよう回転駆動される微粒子捕捉装置と、
上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザー光照射装置と、
上記レーザー光の照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置と、
微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子計測のために処理するタイミングとを同期制御する制御装置と、
を含むことを特徴とする微粒子計測装置。 - 上記制御装置により制御された上記タイミングに同期して微粒子検出装置の検出出力を増幅する増幅器を備えた、ことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 上記微粒子捕捉装置が、
内部に微粒子を含む溶媒を取り込める環状空間を有する回転ケースと、
この回転ケース内の半径方向外側の所定箇所に半径方向内向きに延びるように設けられた微粒子捕捉羽根と、
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の装置。 - 上記回転ケースは、回転可能な環状外側シェルと、回転しない環状内側シェルとを同心に備え、
上記微粒子捕捉羽根は、環状外側シェルの内周面に回転方向に放射状で半径方向内向きに延びるようにして設けられ、
上記環状外側シェルの内周面と上記微粒子捕捉羽根とで囲む空間を微粒子捕捉空間とすると共に、その微粒子捕捉空間内で上記微粒子捕捉羽根の付け根部分を上記内周面上の所定箇所とした、ことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により内部所定箇所に捕捉する微粒子捕捉装置と、
上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザー光照射装置と、
上記レーザー光照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置と、
微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子モニタリングのために処理するタイミングとを同期制御する制御装置と、
を含むことを特徴とする微粒子モニタリング装置。
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JP2009134730A JP2010281658A (ja) | 2009-06-04 | 2009-06-04 | 微粒子計測装置、および微粒子モニタリング装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114264634A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种航空煤油在线测量装置 |
-
2009
- 2009-06-04 JP JP2009134730A patent/JP2010281658A/ja active Pending
Cited By (2)
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CN114264634A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种航空煤油在线测量装置 |
CN114264634B (zh) * | 2021-12-24 | 2024-04-16 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种航空煤油在线测量装置 |
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