JP2010281658A - 微粒子計測装置、および微粒子モニタリング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ポータブルタイプとして適しかつ高感度、高効率で微粒子計測を行うことができる微粒子計測装置を提供する。
【解決手段】本発明による微粒子計測装置は、装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により内部所定箇所に捕捉する微粒子捕捉装置１と、上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザ光照射装置３と、上記レーザー光照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置５と、微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子計測のために処理するタイミングとを同期制御する制御装置７と、を含む。
【選択図】図１

Description

本発明は、微粒子計測装置に関するものである。本発明はまた、微粒子計測には至らないが、微粒子をモニタリングすることが可能な微粒子モニタリング装置に関するものである。

微粒子の計測技術としては、粒子による散乱光量に基づいて浮遊微粒子を分級する光散乱式微粒子計測（特許文献１）、静電気力に基づいて微粒子を分級する微分型静電分級（特許文献２）、気流方向の変化に基づいて微粒子を分級する慣性インパクター分級がある（特許文献３）。これら計測技術では微粒子サイズに関する情報を得ることができる。上記分級技術では微粒子サイズに関する情報を得ることはできるが、微粒子の種類等に関する情報を得ることはできない。その課題を解決するものとして例えばラマン分光技術が提案されている。このラマン分光技術では微粒子サイズに加えて、微粒子の種類を特定することができるようになっている。ラマン分光はレーザー光等の単色光を微粒子に照射し、微粒子特有の形態で発生したラマン散乱光を分光器等で検出して微粒子の種類等に関する情報を得る技術である。近年では、ナノテクノロジの発展に伴って、微粒子の計測領域がサブマイクロレベルからナノレベルの領域を必要としているために、より高感度で高効率で微粒子を計測できる技術が求められるようになっている。このような高感度、高効率で微粒子計測を行う装置も実際提案されている。

特開２００５−０６２０５５号公報 特開２００６−１２２８９０号公報 特開２００４−１４４６４７号公報

本件出願人は、このような高感度、高効率で微粒子計測を行うことができると同時に簡易軽量コンパクトでポータブルタイプとして最適とし、かつ、低価格で製造販売可能な装置の開発に鋭意取り組んでいる。そして、これまでの微粒子計測装置では、高感度、高効率で微粒子計測を行うことができる反面、その高感度、高効率化のために装置全体が大型化し、かつ製造販売価格も高価格化せざるを得ないものとなっている。例えば高感度ラマン分光装置では、高感度、高効率化のために、分光検出器、ＣＣＤ素子、液体窒素冷却、等の複雑な機構化と複雑な制御化とにより、装置全体が大型重量化して簡易軽量なポータブルな装置ではない。

なお、簡易である一方、高感度、高効率化を達成するには、サイズがナノレベルの微粒子を簡易に捕捉（トラップ）可能とし、かつ、計測を行うのに必要とする量の微粒子を捕捉確保することも必要となる。

したがって、本発明により解決すべき課題は、簡易軽量コンパクトでポータブルタイプとして最適とし、かつ、低価格で製造可能である一方で、高感度、高効率で微粒子計測を行うことができる微粒子計測装置を提供することである。この場合、本発明は、最適には上記課題のすべてを解決できる微粒子計測装置を提供できることであるが、本発明は、上記課題の少なくとも１つを解決する微粒子計測装置を含むものである。

本発明による微粒子計測装置は、装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により装置内の所定箇所に捕捉するよう回転駆動される微粒子捕捉装置と、上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザー光照射装置と、上記レーザー光の照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置と、微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子計測のために処理するタイミングとを同期制御する制御装置と、を含むことを特徴とするものである。

上記レーザー光の照射により得られる光には反射光以外にも、散乱光等の他の各種光を含むことができる。

本発明においては、装置的には、内部に溶媒と共に取り込んだ微粒子を、微粒子捕捉装置の回転遠心力により当該微粒子捕捉装置内所定箇所に捕捉するというだけの構成であり、微粒子捕捉装置としては簡易軽量でコンパクト化を図れるものである。本発明では、この微粒子捕捉装置の微粒子捕捉形態が従来には無かった画期的なものである。そして、本発明では、レーザー光照射装置と、微粒子検出装置と、を従来と同様に備えるものの、制御装置により、上記微粒子捕捉装置の上記内部所定箇所がレーザー光により照射されるタイミングと、上記微粒子検出装置により微粒子が検出されるタイミングとを同期制御するために、微粒子検出装置での検出波形は、所定箇所に捕捉されている微粒子のみの検出波形とすることができる結果、高感度、高効率で微粒子検出性能に優れた装置を得ることができる。

本発明において、好ましい態様は、上記制御装置により制御された上記タイミングに同期して微粒子検出装置の検出出力を増幅する増幅器を備えることである。この態様では、増幅器出力からは、ノイズレベルよりも微粒子検出レベルを格段に大きく増幅させてＳ／Ｎ（信号／ノイズ）比に優れた微粒子検出出力を得ることができ、微粒子のサイズや質量、もしくは種類をより適確に検出することができるようになる。

本発明において、好ましい態様は、上記微粒子捕捉装置が、内部に微粒子を含む溶媒を取り込める環状空間を有する回転ケースと、この回転ケース内の半径方向外側の所定箇所に半径方向内向きに延びる微粒子捕捉羽根と、を含むことである。この態様では、回転ケースが回転すると、微粒子は回転ケースの内周面上に回転遠心力で集まってくると、微粒子捕捉羽根により効果的に捕捉することができる。特に、高感度、高効率化を達成するうえで必要なサイズがナノレベルの微粒子を簡易に捕捉可能となり、かつ、計測を行うのに必要とする量の微粒子を確保することも必要となる。

この場合、より好ましい態様は、上記態様において、上記回転ケースは、回転可能な環状外側シェルと、回転しない環状内側シェルとを同心に備え、上記微粒子捕捉羽根は、環状外側シェルの内周面に回転方向に放射状で半径方向内向きに延びるようにして設けられ、上記環状外側シェルの内周面と上記微粒子捕捉羽根とで囲む空間を微粒子捕捉空間とすると共に、その微粒子捕捉空間内で上記微粒子捕捉羽根の付け根部分を上記内周面上の所定箇所とすることである。

この態様では、微粒子捕捉羽根が、環状外側シェルの内周面に回転方向に放射状で半径方向内向きに延びるようにして設けられているので、微粒子が回転ケースの内周面上に回転遠心力で集まってくると、微粒子捕捉羽根に、より効果的に捕捉することができる。さらに、環状外側シェルの内周面と上記微粒子捕捉羽根とで囲む空間を微粒子捕捉空間として該空間内に溶媒を吸入する溶媒吸入口と、その溶媒吸入口に対して回転方向上流側で微粒子捕捉空間から溶媒を排出する溶媒排出口とを備えたから、微粒子が計測される環境下で微粒子計測を行う場合、溶媒吸入口と溶媒排出口とからその環境内の溶媒を吸入、排出してより効果的、迅速に微粒子計測を行うことができるようになる。

本発明による微粒子モニタリング装置は、装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により内部所定箇所に捕捉する微粒子捕捉装置と、上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザー光照射装置と、上記レーザー光照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置と、微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子モニタリングのために処理するタイミングとを同期制御する制御装置と、を含むことを特徴とするものである。本発明では、微粒子計測までには至らないまでも、微粒子モニタリングを含むことができる。このモニタリングには検出も含むことができる。

本発明によれば、簡易軽量コンパクトでポータブルタイプとして最適とし、かつ、低価格で製造可能である一方で、高感度、高効率で微粒子計測を行うことができる微粒子計測装置を提供することができる。

図１は本発明の実施の形態にかかる微粒子計測装置の構成を示す図である。 図２（ａ）は図１の微粒子計測装置内の微粒子捕捉装置のＡ−Ａ線断面構成を示す図、図２（ｂ）は図１の微粒子計測装置内の微粒子捕捉装置のＢ−Ｂ線断面構成を示す図である。 図３は図１の円Ｃで囲む部分を拡大して示す図である。 図４は作用説明に供するもので微粒子捕捉装置の概略平面構成を示す図である。 図５は図４の作用説明に供するもので、図５（ａ）は分光検出器の検出波形図、図５（ｂ）は回転ケース駆動モータの制御波形図、図５（ｃ）は図５（ａ）の検出波形において、ノイズを除去した検出波形を示す図である。

以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係る粒子計測装置を説明する。図１は、本発明の実施の形態にかかる微粒子計測装置の構成を示す。また、図２（ａ）は図１の微粒子計測装置内の微粒子捕捉装置のＡ−Ａ線断面構成を示し、図２（ｂ）は図１の微粒子計測装置内の微粒子捕捉装置のＢ−Ｂ線断面構成を示す。さらに、図３は図１の円Ｃで囲む部分を拡大して示す。

これらの図を参照して、微粒子計測装置は、微粒子捕捉装置１と、レーザ光照射装置３と、微粒子検出装置５と、制御装置７と、を含む。

（微粒子捕捉装置１）
微粒子捕捉装置１は、装置内部に大気等の気体あるいは液体である溶媒と共に微粒子を取り込むと共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により装置内所定箇所に集積して捕捉するものである。そのため、微粒子捕捉装置１は、装置本体９と、回転ケース１１と、この回転ケース１１内に設けられた複数の微粒子捕捉羽根１３と、を含む。

回転ケース１１は、内部に微粒子を含む溶媒を取り込める環状空間を有するケースであり、光透過性で回転可能な環状外側シェル１１ａと、光非透過性かつ非回転固定の環状内側シェル１１ｂとを同心に備える。環状外側シェル１１ａの内周面と微粒子捕捉羽根１３とで囲む空間は微粒子捕捉空間１５となっている。

この環状内側シェル１１ｂは、環状外側シェル１１ａを回転可能に支持するものであり、円筒体１１ｂ１と、円形平板１１ｂ２とを含む。環状内側シェル１１ｂの円筒体１１ｂ１には、該空間１５内に溶媒を吸入する溶媒吸入口１１ｃが設けられている。環状内側シェル１１ｂの円形平板１１ｂ２には溶媒吸入口１１ｃに対して回転方向上流側で微粒子捕捉空間１５内から溶媒を外部排出する溶媒排出口１１ｄが設けられている。環状外側シェル１１ａと環状内側シェル１１ｂとの間は図示略の密封機構で環状外側シェル１１ａが回転可能なごとく密封処理が施されている。

微粒子捕捉羽根１３は、環状外側シェル１１ａの内周面に回転方向に放射状で半径方向内向きに延びるようにして当該環状外側シェル１１ａと一体回転可能に設けられている。微粒子捕捉羽根１３は、環状外側シェル１３の内周面において好ましくは円周方向略等間隔で複数設けられている。微粒子捕捉羽根１３は、微粒子捕捉空間１５内でその付け根部分１３ａを環状外側シェル１１ａ内周面上の所定箇所とする。

微粒子捕捉装置１において、環状外側シェル１１ａはその上部側にモータ回転軸１７が取り付けられている。このモータ回転軸１７はモータ１９により回転され、これにより、環状外側シェル１１ａはモータ回転軸１７を中心にして回転駆動されるようになっている。

環状外側シェル１１ａは、モータ１９により回転駆動されると、環状内側シェル１１ｂに設けてある媒吸入口１１ｃから微粒子２１と共に溶媒を吸入する。微粒子２１にはカーボンナノチューブ等のナノサイズの微粒子を含む。モータは例えばステッピングモータで構成することができる。

環状外側シェル１１ａが回転すると、環状外側シェル１１ａの回転に伴い、溶媒内の微粒子２１は回転遠心力により半径方向外側に移動する。図１では符号ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，…で示すように、溶媒吸入口１１ｃから吸入された溶媒中の微粒子２１は、微粒子捕捉羽根１３により捕捉され、微粒子捕捉空間１５内をその付け根１３ａ方向の狭い空間へと導かれて移動させられる。最終的には微粒子２１のほとんどは微粒子捕捉空間１５内における微粒子捕捉羽根１３の付け根部分１３ａに蓄積捕捉されるようになる。そして、さらに回転が進むと、その集積されていた微粒子２１は、後述する微粒子計測後に溶媒排出口１１ｄから外部へと排出される。また、微粒子２１を集積させるのは、上記微粒子計測に必要な量を確保するためである。

微粒子捕捉羽根１３の付け根部分１３ａには、後述するレーザー光を反射させる反射鏡２３が設けられている。

環状外側シェル１１ａは、側面視ドーム形状であるが、側面視円筒形状でもよい。

（レーザー光照射装置３）
レーザー光照射装置３は、レーザー光源３ａと、集光レンズ３ｂと、を備え、このレーザー光源３ａから単色光であるレーザー光を微粒子捕捉装置１に照射する装置である。レーザ光源３ａは、微粒子捕捉装置１の環状外側シェル１１ａの外側からレーザ光出射口３ｃを向けた状態で配置され当該環状外側シェル１１ａに向けて単色光であるレーザ光２５を照射することができるようになっている。集光レンズ３ｂは、装置本体９に設けたレーザ光導入用の窓孔９ａに取り付けられている。

このレーザ光２５は、レーザ光導入用窓孔９ａを介して、微粒子捕捉装置１を照射する。レーザ光２５は、微粒子捕捉装置１における微粒子捕捉羽根１３の付け根部分１３ａを照射すると、その付け根部分１３ａに蓄積されている微粒子２１に反射されて、ラマン散乱する。この場合、微粒子捕捉羽根１３の付け根部分１３ａの背部の反射鏡２３により効果的にレーザ光は反射され、反射レーザ光２７とされる。ここで、ラマン散乱とは、詳細は周知のため略するが、該微粒子２１内で散乱され、入射レーザ光２５とは波長が異なるレーザ光として反射される現象である。

（微粒子検出装置５）
微粒子検出装置５は、半透鏡（ビームスプリッタ）２９と、回折格子３１と、フォトマルチプライヤ等の微粒子検出器３３とを備える。

半透鏡２９は、レーザ光源３ａと微粒子捕捉装置１の環状外側シェル１１ａとの間を結ぶ光軸上に対して斜め４５度の角度で配置されることで、レーザ光源３ａから一方向に照射されるレーザ光２５を透過させ、他方向からの上記反射レーザ光２７を９０度方向に全反射させることができるようになっている。回折格子３１は、半透鏡２９から反射されたレーザ光３５の光軸に対して４５度の角度で配置されることで当該レーザ光３５を分光すると共に微粒子検出器３３方向に反射させる。微粒子検出器３３は、分光されてきたレーザ光３７から微粒子を分光検出することができるようになっている。

（制御装置７）
制御装置７は、例えばコンピュータ等から構成され、微粒子捕捉装置１の回転制御、レーザー光源３ａの駆動制御、微粒子検出器３３の検出制御、を行う。制御装置７は、図４および図５を参照して後述するように、微粒子捕捉装置１の環状外側シェル１１ａにおける微粒子捕捉羽根１３の付け根部分１３ａがレーザー光により照射されるタイミングと、微粒子検出器３３により微粒子が検出されるタイミングとを同期制御する。

以下、図４および図５を参照して動作を説明する。図４は作用説明に供するもので微粒子捕捉装置の概略平面構成を示し、図５（ａ）は微粒子検出器３３の検出波形、図５（ｂ）は回転ケース１１の駆動モータ１９の制御波形、図５（ｃ）は図５（ａ）の検出波形において、ノイズを除去した検出波形をそれぞれ示す。

図４において微粒子捕捉羽根１３を説明する。なお、図５（ｂ）で示す駆動モータ１９の制御波形に代えて、図示を略するが、例えば微粒子捕捉羽根１３あるいは回転ケース１１に取り付けたマーカー等にセンサを取り付け、このセンサから得られるセンサ波形でもよい。

図４中、符号ｔ１が記入された近傍の微粒子捕捉羽根１３は符号１３Ａで示し、装置本体９のレーザ光導入用窓孔９ａを時刻ｔ１で通過する微粒子捕捉羽根１３を示す。符号ｔ２が記入された近傍の微粒子捕捉羽根１３は符号１３Ｂで示し、装置本体９のレーザ光導入用窓孔９ａを時刻ｔ２で通過する微粒子捕捉羽根１３を示す。符号ｔ３が記入された近傍の微粒子捕捉羽根１３は符号１３Ｃで示し、装置本体９のレーザ光導入用窓孔９ａを時刻ｔ３で通過する微粒子捕捉羽根１３を示す。符号ｔ４が記入された近傍の微粒子捕捉羽根１３は符号１３Ｄで示し、装置本体９のレーザ光導入用窓孔９ａを時刻ｔ４で通過する微粒子捕捉羽根１３を示す。

今、環状外側シェル１１ａが回転すると、環状外側シェル１１ａの回転に伴い、溶媒中の微粒子２１は回転遠心力により半径方向外側に移動すると共に、各微粒子捕捉羽根１３により捕捉され、その付け根部分１３ａに集積してくるようになる。

そして、時刻ｔ１では、微粒子捕捉羽根１３Ａの付け根部分１３ａが装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向している。この状態では、微粒子捕捉羽根１３Ａの付け根部分１３ａの最も狭い空間内に微粒子２１が集積している。時刻ｔ２で装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向する微粒子捕捉羽根１３Ｂは図４で示す時刻ｔ１の段階では、その付け根部分１３ａの空間内に微粒子２１がほぼ集積している。また、時刻ｔ３で装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向する微粒子捕捉羽根１３Ｃは図４で示す時刻ｔ１の段階では、その付け根部分１３ａの空間内に微粒子２１の集積は少ない。時刻ｔ４で装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向する微粒子捕捉羽根１３Ｃは図４で示す時刻ｔ１の段階では、その付け根部分１３ａの空間内に微粒子２１の集積はしていない。

以上により、時刻ｔ１では微粒子捕捉羽根１３Ａの付け根部分１３ａが装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向している。この状態では、微粒子捕捉羽根１３Ａの付け根部分１３ａの最も狭い空間内に微粒子２１が集積している。微粒子捕捉羽根１３Ａの付け根部分１３ａが装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向すると、この対向したタイミングで微粒子検出器３３から検出信号Ｓ１が図５（ａ）の時刻ｔ１で示すように出力される。ここで、この時刻ｔ１前後でも微粒子検出器３３から信号が出力されるが、これら信号は検出信号Ｓ１とは異なり、ノイズ信号Ｎとなる。

次の微粒子捕捉羽根１３Ｂの付け根部分１３ａが時刻ｔ２で装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向すると、この対向したタイミングで微粒子検出器３３から検出信号Ｓ２が図５（ａ）の時刻ｔ２で示すように出力される。ここで、この時刻ｔ２前後でも微粒子検出器３３から信号が出力されるが、これら信号は検出信号Ｓ２とは異なり、ノイズ信号Ｎとなる。

同様に、微粒子捕捉羽根１３Ｃ，１３Ｄの付け根部分１３ａそれぞれが時刻ｔ３，ｔ５で装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向すると、この対向したタイミングそれぞれで微粒子検出器３３から検出信号Ｓ３，Ｓ４が図５（ａ）の時刻ｔ３，ｔ４で示すように出力される。

このとき、微粒子捕捉羽根１３Ａ−１３Ｄそれぞれの付け根部分１３ａが時刻ｔ１−ｔ４で装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向するようにモータ１９の回転を図５（ｂ）で示すモータ制御波形で制御する。Ｃ１−Ｃ４は、モータ１９の制御波形であり、微粒子検出器３３からの信号Ｓ１−Ｓ４それぞれの出力時刻ｔ１−ｔ４と、モータ１９の制御波形Ｃ１−Ｃ４それぞれの制御時刻ｔ１−ｔ４とが対応している。

その結果、制御時刻ｔ１−ｔ４のタイミングで微粒子検出器３３出力を同期増幅器４１で増幅すると、図５（ｃ）で示すように、この同期増幅器４１からは、ノイズ信号Ｎが実質除去された検出信号Ｓ１−Ｓ４のみを得ることができる。この同期増幅器４１は、微粒子検出装置１の検出出力を微粒子計測のために処理するものであり、その同期増幅タイミングを制御時刻ｔ１−ｔ４のタイミングに同期させる。この同期増幅器４１出力により微粒子計測ないし微粒子モニタリングができる。

以上から本実施の形態では、装置的には、内部に溶媒と共に取り込んだ微粒子２１を、微粒子捕捉装置１の環状外側シェル１１ａの回転遠心力により微粒子捕捉羽根１３の付け根部分１３ａの狭い空間に捕捉するという構成であり、微粒子捕捉装置１としては簡易軽量でコンパクト化を図れる。本実施の形態では、制御装置７により、微粒子捕捉羽根１３の付け根部分１３ａが装置本体９のレーザ光導入窓９ａに対向しレーザー光２５により照射されるタイミングと、微粒子検出装置５により微粒子が検出されるタイミングとを同期制御するために、微粒子捕捉装置１での検出波形は、微粒子のみの検出波形とすることができるので、高感度、高効率で微粒子検出ができる装置を得ることができる。

１ 微粒子捕捉装置
９ 装置本体
１１ 回転ケース
１１ａ 環状外側シェル
１１ｂ 環状内側シェル
１３ 微粒子捕捉羽根
３ レーザ光照射装置
５ 微粒子検出装置
７ 制御装置

Claims (5)

1. 装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により装置内の所定箇所に捕捉するよう回転駆動される微粒子捕捉装置と、
   上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザー光照射装置と、
   上記レーザー光の照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置と、
   微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子計測のために処理するタイミングとを同期制御する制御装置と、
   を含むことを特徴とする微粒子計測装置。
2. 上記制御装置により制御された上記タイミングに同期して微粒子検出装置の検出出力を増幅する増幅器を備えた、ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 上記微粒子捕捉装置が、
   内部に微粒子を含む溶媒を取り込める環状空間を有する回転ケースと、
   この回転ケース内の半径方向外側の所定箇所に半径方向内向きに延びるように設けられた微粒子捕捉羽根と、
   を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
4. 上記回転ケースは、回転可能な環状外側シェルと、回転しない環状内側シェルとを同心に備え、
   上記微粒子捕捉羽根は、環状外側シェルの内周面に回転方向に放射状で半径方向内向きに延びるようにして設けられ、
   上記環状外側シェルの内周面と上記微粒子捕捉羽根とで囲む空間を微粒子捕捉空間とすると共に、その微粒子捕捉空間内で上記微粒子捕捉羽根の付け根部分を上記内周面上の所定箇所とした、ことを特徴とする請求項３に記載の装置。
5. 装置内部に溶媒と共に微粒子を取り込めると共に、この取り込んだ溶媒内の微粒子を回転遠心力により内部所定箇所に捕捉する微粒子捕捉装置と、
   上記微粒子捕捉装置にレーザー光を照射するレーザー光照射装置と、
   上記レーザー光照射により得られる光から微粒子を分光検出する微粒子検出装置と、
   微粒子捕捉装置の上記所定箇所がレーザー光により照射される位置に当該微粒子捕捉装置が回転駆動されるタイミングと、上記微粒子検出装置の検出出力を微粒子モニタリングのために処理するタイミングとを同期制御する制御装置と、
   を含むことを特徴とする微粒子モニタリング装置。

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