JP2010271280A - 外径測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】繰り返し誤差1μm以下の高精度にて略円柱形状体の外径を測定するのに適した構造をもつ測定装置を提供する。
【解決手段】略円柱形状体である測定対象を両端により支持する支持部と、前記測定対象の軸を中心に前記測定対象を回転させ、前記支持部による前記測定対象の支持をなじませる回転なじみ部と、接触式の変位測定器を前記測定対象の軸方向および該軸方向に直交する方向に移動可能に配置する測定部と、を含み、前記測定部は、前記変位測定器の測定子が前記測定対象の軸方向に直交する方向にストロークするように配置することを特徴とする外径測定装置を提供する。
【選択図】図1
【解決手段】略円柱形状体である測定対象を両端により支持する支持部と、前記測定対象の軸を中心に前記測定対象を回転させ、前記支持部による前記測定対象の支持をなじませる回転なじみ部と、接触式の変位測定器を前記測定対象の軸方向および該軸方向に直交する方向に移動可能に配置する測定部と、を含み、前記測定部は、前記変位測定器の測定子が前記測定対象の軸方向に直交する方向にストロークするように配置することを特徴とする外径測定装置を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、略円柱形状体の外径を測定する装置に関し、とくに繰り返し誤差1μm以下の高精度にて外径を測定する装置に関する。
任意の寸法を、繰り返し誤差1μm以下の高精度にて、接触にて測定する場合は、ダイヤルゲージ、接触式変位センサを用いることが一般的である。ここで、接触式変位センサとは、例えば、非特許文献1に示す高精度接触式デジタルセンサを挙げることができる。
株式会社キーエンス 高精度接触式デジタルセンサ GT2シリーズカタログ 2009年
繰り返し誤差1μm以下の高精度にて任意寸法を測定する際は、使用する計測器の精度以上に、計測対象や計測器を保持する機構の構造による繰り返し精度の向上が測定誤差の減少に欠かせない。しかしながら、測定対象を交換可能とし、かつ作業性の向上を考慮した測定装置の設計では、スライドテーブルや把持機構などの可動部分をどうしても含まなければならず、それら構成要素の可動部による誤差への影響をいかに減らすかが需要であり、かつ容易でない。
また、測定対象が略円柱形状体の外径である場合は、測定における基準位置および測定位置を、面にて取得することが困難であり、繰り返し誤差減少を目的として可動部分の遊びを面接触にて一定条件に落ち着かせることができないという難点がある。
また、使用する計測器にレーザの照射および反射を用いて変位を計測する光学式のセンサを用いた場合は、センサの測定精度が非常に高い一方、測定対象が、平面でなく円弧面や掘り込みなどの複雑な形状を持つものである場合に、測定ポイントが安定しにくく、安定して計測できない欠点がある。
すなわち、本発明の目的は、繰り返し誤差1μm以下の高精度にて略円柱形状体の外径を測定するのに適した構造をもつ測定装置を提供することにある。
また、測定対象が略円柱形状体の外径である場合は、測定における基準位置および測定位置を、面にて取得することが困難であり、繰り返し誤差減少を目的として可動部分の遊びを面接触にて一定条件に落ち着かせることができないという難点がある。
また、使用する計測器にレーザの照射および反射を用いて変位を計測する光学式のセンサを用いた場合は、センサの測定精度が非常に高い一方、測定対象が、平面でなく円弧面や掘り込みなどの複雑な形状を持つものである場合に、測定ポイントが安定しにくく、安定して計測できない欠点がある。
すなわち、本発明の目的は、繰り返し誤差1μm以下の高精度にて略円柱形状体の外径を測定するのに適した構造をもつ測定装置を提供することにある。
第1の観点では、本発明は、略円柱形状体の外径を接触にて測定する装置であり、略円柱形状体である測定対象を両端により支持する支持部と、前記測定対象の軸を中心に前記測定対象を回転させ、前記支持部による前記測定対象の支持をなじませる回転なじみ部と、接触式の変位測定器を前記測定対象の軸方向および該軸方向に直交する方向に移動可能に配置する測定部と、を含み、前記測定部は、前記変位測定器の測定子が前記測定対象の軸方向に直交する方向にストロークするように配置することを特徴とする外径測定装置を提供する。
上記第1の観点による外径測定装置では、例えば、図1に示す構成とすることができる。図1は、略円柱形状体の測定対象101の両端を支持部102により挟み込んで固定し、接触式の変位測定器103aが測定対象101の軸方向に移動可能なスライダ103bおよび軸の直交方向に移動可能なスライダ103cおよび103dを介してベース104に固定される測定部103により、測定対象101を挟み込む形で測定対象101の外径を測定する。このとき、スライダ103cは、凸断面の略直方体形状の基準板103eを垂直に立置して、103eの凸部が測定対象101に軽く接するようにバネやゴムなどの弾性体により予圧をかけることで外径測定における基準位置を設定することができる。また、スライダ103dは、スライダ103cの摺動方向と平行に摺動するようスライダ103cに配置し、測定器103aの測定子が測定対象101の軸方向に直交した方向にストロークするように測定器103aを配置し、測定対象101の方向へ測定器103aがスライドする予圧をバネやゴムなどの弾性体で与えることで、測定器103aの測定子を測定対象101に接触させることができる。このとき、スライダ103dは、測定対象101に向かう方向にストッパを設けることで、測定器103aに測定の基準位置を与えて計測を成立させる。また、測定器103aの測定子先端を、例えば基準板103eのような水平断面が垂直方向に同形状である先端にして測定子のストロークと同じ方向にスライドするスライドガイドの上に載置することや、測定器103aの高さを微調整できる機構を追加することにより、測定対象101の外径となる位置の把握を容易にすることもできる。なお、図1では、測定器を1つ用いて基準板を設ける例を示したが、測定器を対向して2つ設けて測定する構造であっても良い。また、測定対象の略円柱形状体とは、表面に模様やネジ山を形成している棒や円筒であってもよく、断面形状についても楕円等の真円ではない形状でもよい。
また、回転なじみ部105は、支持部102が、例えば測定対象101を挟み込むために測定対象101の両端を内挿できる形状でバネやゴムなどの弾性体により測定対象101を挟み込む方向に予圧がかかっている構造である場合、予め規定しておく角度及び回数にて回転摺動することにより、測定対象すなわちワークのセット条件を一定に近づける役目をもつ。例えば、5〜10°の範囲で回転なじみ部105を数回回転させ、予め決めておいた停止位置にて回転を終了することにより、ワークセット条件のばらつきを減らすことができる。また、ワークセット時に限らず、測定部103の測定子をワークに接触させてセットした後に、回転なじみ部105を規定の方法で回転させて規定の位置で停止することにより、測定子のワークへの接触条件を一定に近づけることができる。
上記第1の観点による外径測定装置では、例えば、図1に示す構成とすることができる。図1は、略円柱形状体の測定対象101の両端を支持部102により挟み込んで固定し、接触式の変位測定器103aが測定対象101の軸方向に移動可能なスライダ103bおよび軸の直交方向に移動可能なスライダ103cおよび103dを介してベース104に固定される測定部103により、測定対象101を挟み込む形で測定対象101の外径を測定する。このとき、スライダ103cは、凸断面の略直方体形状の基準板103eを垂直に立置して、103eの凸部が測定対象101に軽く接するようにバネやゴムなどの弾性体により予圧をかけることで外径測定における基準位置を設定することができる。また、スライダ103dは、スライダ103cの摺動方向と平行に摺動するようスライダ103cに配置し、測定器103aの測定子が測定対象101の軸方向に直交した方向にストロークするように測定器103aを配置し、測定対象101の方向へ測定器103aがスライドする予圧をバネやゴムなどの弾性体で与えることで、測定器103aの測定子を測定対象101に接触させることができる。このとき、スライダ103dは、測定対象101に向かう方向にストッパを設けることで、測定器103aに測定の基準位置を与えて計測を成立させる。また、測定器103aの測定子先端を、例えば基準板103eのような水平断面が垂直方向に同形状である先端にして測定子のストロークと同じ方向にスライドするスライドガイドの上に載置することや、測定器103aの高さを微調整できる機構を追加することにより、測定対象101の外径となる位置の把握を容易にすることもできる。なお、図1では、測定器を1つ用いて基準板を設ける例を示したが、測定器を対向して2つ設けて測定する構造であっても良い。また、測定対象の略円柱形状体とは、表面に模様やネジ山を形成している棒や円筒であってもよく、断面形状についても楕円等の真円ではない形状でもよい。
また、回転なじみ部105は、支持部102が、例えば測定対象101を挟み込むために測定対象101の両端を内挿できる形状でバネやゴムなどの弾性体により測定対象101を挟み込む方向に予圧がかかっている構造である場合、予め規定しておく角度及び回数にて回転摺動することにより、測定対象すなわちワークのセット条件を一定に近づける役目をもつ。例えば、5〜10°の範囲で回転なじみ部105を数回回転させ、予め決めておいた停止位置にて回転を終了することにより、ワークセット条件のばらつきを減らすことができる。また、ワークセット時に限らず、測定部103の測定子をワークに接触させてセットした後に、回転なじみ部105を規定の方法で回転させて規定の位置で停止することにより、測定子のワークへの接触条件を一定に近づけることができる。
第2の観点では、本発明は、第1の観点による外径測定装置において、前記測定対象は、片端の一部が平面取りされており、前記支持部の測定対象を把持する部分の片側が、前記平面取りされた測定対象の片端を挿入し得る形状を成し、かつ、プランジャにより挿入時の遊びを減らす方向に前記測定対象の据わりが規制されることを特徴とする外径測定装置を提供する。
上記第2の観点による外径測定装置では、前記支持部を、例えば、図2に示す構成とすることができる。図2は例として2つの形状を上下に図示しており、上の図は測定対象101の片端形状が1面の平面取りの場合、下の図は平面取りが2面の場合である。上下の図ともに、支持部102は、それぞれの平面取りに合わせて測定対象101を内挿できる形に窪みが形成されており、かつ平面取り部分に該当する箇所にプランジャ102aが埋め込まれている。上図では、2個のプランジャ102aが1平面に埋め込まれ、下図では、1面に1個のプランジャ102aが対角に対向する形で2面に埋め込まれる。プランジャを設けることで、測定対象101が支持部102に接する際に接する条件を一定に近づけることができ、測定における繰り返し精度を向上することができる。なお、この際も、回転なじみ部の回転摺動により、プランジャ102aおよび支持部102が測定対象101の形状になじんで接することに有効となる。また、測定対象101の片端形状は、平面取り形状に限らず星型形状やアーチ形状による面取りにおいても同様の効果が得られると考える。また、測定対象101の両端は、例えば、中心に孔を設けて孔の縁を同芯上で面取りする形状とすれば、支持部102の他方を円錐形状とすることで同芯上に支持できるため、回転なじみによる支持状態のばらつきを容易に軽減することができる。
上記第2の観点による外径測定装置では、前記支持部を、例えば、図2に示す構成とすることができる。図2は例として2つの形状を上下に図示しており、上の図は測定対象101の片端形状が1面の平面取りの場合、下の図は平面取りが2面の場合である。上下の図ともに、支持部102は、それぞれの平面取りに合わせて測定対象101を内挿できる形に窪みが形成されており、かつ平面取り部分に該当する箇所にプランジャ102aが埋め込まれている。上図では、2個のプランジャ102aが1平面に埋め込まれ、下図では、1面に1個のプランジャ102aが対角に対向する形で2面に埋め込まれる。プランジャを設けることで、測定対象101が支持部102に接する際に接する条件を一定に近づけることができ、測定における繰り返し精度を向上することができる。なお、この際も、回転なじみ部の回転摺動により、プランジャ102aおよび支持部102が測定対象101の形状になじんで接することに有効となる。また、測定対象101の片端形状は、平面取り形状に限らず星型形状やアーチ形状による面取りにおいても同様の効果が得られると考える。また、測定対象101の両端は、例えば、中心に孔を設けて孔の縁を同芯上で面取りする形状とすれば、支持部102の他方を円錐形状とすることで同芯上に支持できるため、回転なじみによる支持状態のばらつきを容易に軽減することができる。
第3の観点では、本発明は、第1または第2の観点による外径測定装置において、前記測定部は、2つの変位測定器を対向した方向にて前記測定対象をはさんで配置することを特徴とする外径測定装置を提供する。
上記第3の観点による外径測定装置では、例えば、図3に示す構成とすることができる。図3は図1における基準板103eを接触式変位測定器103fに置き換えた図である。測定器103fは、図1における基準板103eのときと同様にスライダ103cに固定して設置できるほか、測定対象101を支持する作業性の向上を目的に、103aにおけるスライダ103dの設置と同様にスライダを介して設置して、測定対象101の軸と直交する方向に摺動できるようにしても良い。このとき、測定器103aと103fとは、測定子のストローク方向が一直線上もしくは平行な直線上に対向して配置する。また、例えば図4に示すように表面にネジ山を切っている測定対象101の谷部分の径を測定したい場合に、図1における基準板103eを用いた測定では、ねじ山に測定子が乗り上げる恐れがあるが、本発明は、ねじ山への乗り上げを回避しやすい構造であり、ねじ形状の測定対象に適している特徴がある。
上記第3の観点による外径測定装置では、例えば、図3に示す構成とすることができる。図3は図1における基準板103eを接触式変位測定器103fに置き換えた図である。測定器103fは、図1における基準板103eのときと同様にスライダ103cに固定して設置できるほか、測定対象101を支持する作業性の向上を目的に、103aにおけるスライダ103dの設置と同様にスライダを介して設置して、測定対象101の軸と直交する方向に摺動できるようにしても良い。このとき、測定器103aと103fとは、測定子のストローク方向が一直線上もしくは平行な直線上に対向して配置する。また、例えば図4に示すように表面にネジ山を切っている測定対象101の谷部分の径を測定したい場合に、図1における基準板103eを用いた測定では、ねじ山に測定子が乗り上げる恐れがあるが、本発明は、ねじ山への乗り上げを回避しやすい構造であり、ねじ形状の測定対象に適している特徴がある。
第4の観点では、本発明は、第3の観点による外径測定装置において、前記測定対象がボールねじのねじ軸であり、前記変位測定器の測定子の先端が、前記ボールねじのボール形状に沿う形状であることを特徴とする外径測定装置を提供する。
上記第4の観点による外径測定装置では、図3における測定対象101と測定器103aおよび103fを、例えば、図5に示す構成として実現できる。図5において測定対象101の表面にはボールねじのボールが走るための軌道が彫られており、測定器103aおよび103fの測定子先端は、ボールねじのボール形状に合わせている。これにより、ボールねじのねじ軸の軌道径を、ボールが沿うという一定条件にて計測することができる。
上記第4の観点による外径測定装置では、図3における測定対象101と測定器103aおよび103fを、例えば、図5に示す構成として実現できる。図5において測定対象101の表面にはボールねじのボールが走るための軌道が彫られており、測定器103aおよび103fの測定子先端は、ボールねじのボール形状に合わせている。これにより、ボールねじのねじ軸の軌道径を、ボールが沿うという一定条件にて計測することができる。
第5の観点では、本発明は、第4の観点による外径測定装置において、前記測定部は、前記測定対象の軸上の直下に前記ボールねじのボール形状に沿う形状のプランジャを配置することを特徴とする外径測定装置を提供する。
上記第5の観点による外径測定装置では、例えば、プランジャを、図3で示す103bのスライダと同期して測定対象の軸方向にスライドするように設置し、測定対象の下部にプランジャの先端がボールねじのねじ部分のボール軌道に沿うように押し当てる構成とすることができる。図6および図7に本発明の解説図を示す。図6および図7は、測定対象101、測定器103a、測定器103fおよびプランジャ103gの位置関係を表した図であり、図6が、下方からの視野を模式的に示した図、図7が右側面からの視野を模式的に示した図である。図6では、位置関係がわかりやすいように、プランジャ103gについて先端のボール形状部分のみを示している。また、図7では、位置関係がわかりやすいように、測定対象101については断面を示している。図6に示すように、先端をボールねじのボール形状に沿う形状としたプランジャ103gを測定対象101のボール溝に沿うよう、図3でいうスライダ103bを測定対象101の軸方向にスライドさせて停止し、位置決めをする。このとき、プランジャ103gは、先端が測定対象101の同軸線上に位置することが望ましい。このとき、測定器103aおよび103fが測定対象101の軸方向へ摺動する範囲を、測定対象101のねじ溝幅内に規制しておくと、測定器103aおよび103fを測定対象101に向けて軽く押し当てたときに、測定器103aおよび103fの先端がねじ溝に沿うように測定器103aおよび103fがスライドする。これにより、測定器103aおよび103fの測定子の先端がねじ山に乗り上げることや、隣のねじ溝に移ることを防ぐことができ、作業性を著しく向上し、測定ミスを防ぐことができる。
上記第5の観点による外径測定装置では、例えば、プランジャを、図3で示す103bのスライダと同期して測定対象の軸方向にスライドするように設置し、測定対象の下部にプランジャの先端がボールねじのねじ部分のボール軌道に沿うように押し当てる構成とすることができる。図6および図7に本発明の解説図を示す。図6および図7は、測定対象101、測定器103a、測定器103fおよびプランジャ103gの位置関係を表した図であり、図6が、下方からの視野を模式的に示した図、図7が右側面からの視野を模式的に示した図である。図6では、位置関係がわかりやすいように、プランジャ103gについて先端のボール形状部分のみを示している。また、図7では、位置関係がわかりやすいように、測定対象101については断面を示している。図6に示すように、先端をボールねじのボール形状に沿う形状としたプランジャ103gを測定対象101のボール溝に沿うよう、図3でいうスライダ103bを測定対象101の軸方向にスライドさせて停止し、位置決めをする。このとき、プランジャ103gは、先端が測定対象101の同軸線上に位置することが望ましい。このとき、測定器103aおよび103fが測定対象101の軸方向へ摺動する範囲を、測定対象101のねじ溝幅内に規制しておくと、測定器103aおよび103fを測定対象101に向けて軽く押し当てたときに、測定器103aおよび103fの先端がねじ溝に沿うように測定器103aおよび103fがスライドする。これにより、測定器103aおよび103fの測定子の先端がねじ山に乗り上げることや、隣のねじ溝に移ることを防ぐことができ、作業性を著しく向上し、測定ミスを防ぐことができる。
第6の観点では、本発明は、第1〜5のいずれかの観点による外径測定装置において、前記測定部の摺動部分に摺動による上下方向の波打ちが少ない有限ストロークタイプのスライドガイドを用いることを特徴とする外径測定装置を提供する。
上記第6の観点による外径測定装置では、前記測定部の摺動部分に、摺動させた際に波打つ摺動軌跡が波打つと、1μm以下の精度での測定では測定に与える影響が大きいため、ぶれが少なく高精度にスライドできる有限ストロークタイプのスライドガイドを用いる。有限ストロークタイプのスライドガイドは、例えば、クロスローラガイドを用いたスライドガイドや、リニアボールスライドを用いることができる。
上記第6の観点による外径測定装置では、前記測定部の摺動部分に、摺動させた際に波打つ摺動軌跡が波打つと、1μm以下の精度での測定では測定に与える影響が大きいため、ぶれが少なく高精度にスライドできる有限ストロークタイプのスライドガイドを用いる。有限ストロークタイプのスライドガイドは、例えば、クロスローラガイドを用いたスライドガイドや、リニアボールスライドを用いることができる。
第7の観点では、本発明は、第1〜6のいずれかの観点による外径測定装置において、前記変位測定器の変位検出部分に磁気センサを用いることを特徴とする外径測定装置を提供する。
上記第7の観点による外径測定装置では、例えば、図8に示す構成とすることができる。図8は、図3において測定器103aおよび103fを、磁界を発生する発磁体103hおよび磁界を電気信号に変換する磁気センサ103iとした場合であり、スライダ103dにより発磁体103hが測定対象101と接触する測定子とともにスライドする。磁気センサ103iは磁界を検出する部分がスライダ103dの固定側に固定されており、スライダ103dがスライドするに伴って移動する発磁体103hによる磁界の変化を捉える。磁気センサ103iが捉えた磁界に応じた電気信号は、予め調べておいたセンサ特性の基準曲線と比較することで変位値に変換することができる。なお、磁気センサに株式会社マコメ研究所の高精度磁気センサHシリーズを用いた場合は、センサ感度が0.1μmオーダーにて検出可能なため、接触式センサの物理的限界まで測定できる。また、磁気センサは変位の検出部分が非接触であるため、回転対象と接触する測定子の磨耗以外は、半永久的に高精度の性能を維持できる利点がある。また、磁気センサを用いることで、センサ部分が測定対象へ与える押圧を自由に設定することができるようになるため、極めて弱い力で測定子を測定対象に接触させることが可能となり、過度の押圧による測定誤差を減らすことができる。また、磁気センサを用いた場合、発磁体103hは数ミリ角の大きさにて実現することが可能なため、測定子を載置するスライダ103dの大きさを最小限に抑えることができるとともに、発磁体103hよりも大きな寸法の磁気センサのセンサ部分103iをスライダ103dの固定側に設置することで済むので、装置構成を小さく簡単にできる利点がある。
上記第7の観点による外径測定装置では、例えば、図8に示す構成とすることができる。図8は、図3において測定器103aおよび103fを、磁界を発生する発磁体103hおよび磁界を電気信号に変換する磁気センサ103iとした場合であり、スライダ103dにより発磁体103hが測定対象101と接触する測定子とともにスライドする。磁気センサ103iは磁界を検出する部分がスライダ103dの固定側に固定されており、スライダ103dがスライドするに伴って移動する発磁体103hによる磁界の変化を捉える。磁気センサ103iが捉えた磁界に応じた電気信号は、予め調べておいたセンサ特性の基準曲線と比較することで変位値に変換することができる。なお、磁気センサに株式会社マコメ研究所の高精度磁気センサHシリーズを用いた場合は、センサ感度が0.1μmオーダーにて検出可能なため、接触式センサの物理的限界まで測定できる。また、磁気センサは変位の検出部分が非接触であるため、回転対象と接触する測定子の磨耗以外は、半永久的に高精度の性能を維持できる利点がある。また、磁気センサを用いることで、センサ部分が測定対象へ与える押圧を自由に設定することができるようになるため、極めて弱い力で測定子を測定対象に接触させることが可能となり、過度の押圧による測定誤差を減らすことができる。また、磁気センサを用いた場合、発磁体103hは数ミリ角の大きさにて実現することが可能なため、測定子を載置するスライダ103dの大きさを最小限に抑えることができるとともに、発磁体103hよりも大きな寸法の磁気センサのセンサ部分103iをスライダ103dの固定側に設置することで済むので、装置構成を小さく簡単にできる利点がある。
本発明の外径測定装置を用いれば、従来繰り返し精度を出すことが容易でなかった、略円柱形状体の外径の高精度測定にて、容易に誤差1μm以下の高精度測定を実現できる。また、高精度な磁気センサを測定器の変位検出部分に用いる場合、長寿命で高精度な測定ができる。
発明を実施するための形態として、本発明の第5の観点による外径測定装置を実施した例を実施例1に示す。
図9に、実施例1として本発明の第5の観点による外径測定装置を実施した外径測定装置の外観写真を示す。図中の符号は図1〜図7と共通である。
101 略円柱形状体の測定対象
102 支持部
102a プランジャ
103 測定部
103a 接触式の変位測定器
103b 測定対象の軸方向に移動可能なスライダ
103c 測定対象の軸の直交方向に移動可能なスライダ
103d 測定対象の軸の直交方向に移動可能なスライダ
103e 基準板
103f 接触式の変位測定器
103g プランジャ
103h 発磁体
103i 磁気センサ
104 ベース
105 回転なじみ部
102 支持部
102a プランジャ
103 測定部
103a 接触式の変位測定器
103b 測定対象の軸方向に移動可能なスライダ
103c 測定対象の軸の直交方向に移動可能なスライダ
103d 測定対象の軸の直交方向に移動可能なスライダ
103e 基準板
103f 接触式の変位測定器
103g プランジャ
103h 発磁体
103i 磁気センサ
104 ベース
105 回転なじみ部
Claims (7)
- 略円柱形状体の外径を接触にて測定する装置であり、
略円柱形状体である測定対象を両端により支持する支持部と、
前記測定対象の軸を中心に前記測定対象を回転させ、前記支持部による前記測定対象の支持をなじませる回転なじみ部と、
接触式の変位測定器を前記測定対象の軸方向および該軸方向に直交する方向に移動可能に配置する測定部と、を含み、
前記測定部は、前記変位測定器の測定子が前記測定対象の軸方向に直交する方向にストロークするように配置することを特徴とする外径測定装置。 - 請求項1に記載の外径測定装置において、前記測定対象は、片端の一部が平面取りされており、前記支持部の測定対象を把持する部分の片側が、前記平面取りされた測定対象の片端を挿入し得る形状を成し、かつ、プランジャにより挿入時の遊びを減らす方向に前記測定対象の据わりが規制されることを特徴とする外径測定装置。
- 請求項1または請求項2に記載の外径測定装置において、前記測定部は、2つの変位測定器を対向した方向にて前記測定対象をはさんで配置することを特徴とする外径測定装置。
- 請求項3に記載の外径測定装置において、前記測定対象がボールねじのねじ軸であり、前記変位測定器の測定子の先端が、前記ボールねじのボール形状に沿う形状であることを特徴とする外径測定装置。
- 請求項4に記載の外径測定装置において、前記測定部は、前記測定対象の軸上の直下に前記ボールねじのボール形状に沿う形状のプランジャを配置することを特徴とする外径測定装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の外径測定装置において、前記測定部の摺動部分に摺動による上下方向の波打ちが少ない有限ストロークタイプのスライドガイドを用いることを特徴とする外径測定装置。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の外径測定装置において、前記変位測定器の変位検出部分に磁気センサを用いることを特徴とする外径測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009125574A JP2010271280A (ja) | 2009-05-25 | 2009-05-25 | 外径測定装置 |
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ID=43419406
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JP (1) | JP2010271280A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101561127B1 (ko) | 2015-03-18 | 2015-10-19 | 한국지질자원연구원 | 원주형 시편의 직경 및 길이 측정장치 |
KR101769675B1 (ko) | 2015-09-07 | 2017-08-18 | 장천덕 | 트리캘리퍼스 |
CN108489446A (zh) * | 2018-05-24 | 2018-09-04 | 庄明磊 | 一种小型钢铁用圆柱度检测装置 |
CN108917543A (zh) * | 2018-07-19 | 2018-11-30 | 江苏力乐汽车部件股份有限公司 | 大齿盘外圆直径检测机 |
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EP3795939A1 (de) * | 2019-09-23 | 2021-03-24 | Teufelberger Fiber Rope GmbH | Messvorrichtung zum messen eines durchmessers eines seilförmigen messguts |
-
2009
- 2009-05-25 JP JP2009125574A patent/JP2010271280A/ja active Pending
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WO2021058296A1 (de) * | 2019-09-23 | 2021-04-01 | Teufelberger Fiber Robe Gmbh | Messvorrichtung zum messen eines durchmessers eines seilförmigen messguts |
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