JP2010267694A - 半導体発光素子およびその製造方法ならびに半導体素子およびその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 146
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 28
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 93
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 27
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 20
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 7
- 150000004767 nitrides Chemical group 0.000 claims description 6
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 133
- 239000010408 film Substances 0.000 description 91
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 38
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 38
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 20
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 20
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 15
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 12
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 10
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 4
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USZGMDQWECZTIQ-UHFFFAOYSA-N [Mg](C1C=CC=C1)C1C=CC=C1 Chemical compound [Mg](C1C=CC=C1)C1C=CC=C1 USZGMDQWECZTIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006703 hydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- PPWWEWQTQCZLMW-UHFFFAOYSA-N magnesium 5-methylcyclopenta-1,3-diene Chemical compound [Mg+2].C[C-]1C=CC=C1.C[C-]1C=CC=C1 PPWWEWQTQCZLMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005987 sulfurization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/40—Materials therefor
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0016—Processes relating to electrodes
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen
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Abstract
【解決手段】発光ダイオード構造を形成する半導体層11に接して、厚さが10nm以下で1原子層以上のNi超薄膜12を真空蒸着法などにより形成し、その上にAg電極13を形成する。半導体層11はn型半導体層、その上の活性層およびその上のp型半導体層を含み、このp型半導体層に接してNi超薄膜12を形成する。
【選択図】図1
Description
1.純Agはもともと酸化や硫化に対して耐性が低く(反応しやすく)、暴露環境からの酸素や硫黄の取り込みに対して容易に影響を受け、反射率の劣化を生じる。特に、電極形成に一般的に用いられる真空蒸着法で形成したAg膜は、膜中に形成される粒界構造などの不完全性があるために、一層劣化が顕著になる。
2.Ag膜は耐熱性が低く、300〜400℃程度の温度の加熱でも、光学特性や電気特性に変動が生じやすい。
3.Agはイオン化しにくい貴金属であるが、後述のように、水分が存在する場合はイオン化し、マイグレーションによりデバイスに不良が生じる。
4.GaN系発光ダイオードは、一般に樹脂封止されるが、樹脂中に含まれている微量な水分や硫黄分が劣化に寄与するケースがしばしば観測されている。
このようなGaN系発光ダイオードにおいては、次のようにしてAg電極102からのAgのマイグレーションが起こる。図12に示すように、Ag電極102と下配線104との間の電位差と周囲の雰囲気中から表面に吸着された水の存在とにより次式のように電離が起こる。
H2 O→H+ +OH-
こうして生成されるAg+ およびOH- はAg電極102においてAgOHを生成して析出する。こうして析出したAgOHは次式のように分解し、Ag電極102でAg2 Oとなり、コロイド状に分散する。
2AgOH=Ag2 O+H2 O
この後に水和反応により
Ag2 O+H2 O=2AgOH
2AgOH=2Ag+ +OH-
となる。
この反応が進むと、Ag+ が下配線104に移動し、Agのデンドライト状の析出が進む。そして、遂には、Ag電極102と下配線104とが短絡してしまい、GaN系発光ダイオードの不良が生じる。
また、図14に示す発光ダイオードにおいては、n型半導体層、活性層およびp型半導体層を含む半導体層301のp型半導体層に接してAg電極302が形成され、このAg電極302上に接続用金属膜303が形成されている。これらのAg電極302および接続用金属膜303の上面および側面の全体を覆うようにバリアメタルからなる保護膜304が形成されている。この保護膜304上に接続用金属膜305が形成されている。半導体層301のn型半導体層に下配線306が形成されている。
そこで、この発明が解決しようとする課題は、寿命が長く、信頼性が高く、低コストで特性も良好な発光ダイオードなどの半導体発光素子およびその製造方法を提供することである。
この発明が解決しようとする課題は、より一般的には、寿命が長く、信頼性が高く、低コストで特性も良好な半導体素子およびその製造方法を提供することである。
発光素子構造を形成する半導体層に接して、厚さが10nm以下で1原子層以上のニッケル薄膜を形成する工程と、
上記ニッケル薄膜上に銀電極を形成する工程と
を有する半導体発光素子の製造方法である。
発光素子構造を形成する半導体層と、
上記半導体層に接した、厚さが10nm以下で1原子層以上のニッケル薄膜と、
上記ニッケル薄膜上の銀電極と
を有する半導体発光素子である。
素子構造を形成する半導体層に接して、厚さが10nm以下で1原子層以上のニッケル薄膜を形成する工程と、
上記ニッケル薄膜上に銀電極を形成する工程と
を有する半導体素子の製造方法である。
素子構造を形成する半導体層と、
上記半導体層に接した、厚さが10nm以下で1原子層以上のニッケル薄膜と、
上記ニッケル薄膜上の銀電極と
を有する半導体素子である。
これらの半導体素子およびその製造方法の発明においては、上記の半導体発光素子およびその製造方法の発明に関連して説明したことが成立する。
1.第1の実施の形態(発光ダイオードおよびその製造方法)
2.第2の実施の形態(発光ダイオードおよびその製造方法)
[発光ダイオードおよびその製造方法]
図1は第1の実施の形態による発光ダイオードを示す。
まず、図示省略した所定の基板上に半導体層11をエピタキシャル成長させる。この半導体層11は、例えば、有機金属化学気相成長(MOCVD)法、分子線エピタキシャル成長(MBE)法などの従来公知の各種の方法によりエピタキシャル成長させることができる。
次に、この所定の平面形状を有する半導体層11が形成された基板表面にリソグラフィーにより所定の平面形状を有するレジストパターン(図示せず)を形成する。次に、基板全面に例えば真空蒸着法やスパッタリング法などによりNi超薄膜12、Ag電極13および接続用金属膜14を順次形成する。次に、このレジストパターンを、その上に形成されたNi超薄膜12、Ag電極13および接続用金属膜14とともに除去する(リフトオフ)。
次に、半導体層11のn型半導体層に下配線15を形成する。
以上により、目的とする発光ダイオードが製造される。こうして製造されたGaN系発光ダイオードは、用途に応じて、単体素子として用いてもよいし、他の基板と貼り合わせたり、転写したり、配線接続を行ったりすることができる。
GaN系発光ダイオードを以下のようにして製造した。
まず、例えば主面がC+面で厚さが430μmのサファイア基板を用意し、サーマルクリーニングを行うことなどによりその表面を清浄化する。
次に、このサファイア基板上に、例えばMOCVD法により、まず例えば500℃程度の低温で例えば厚さが1μmのGaNバッファ層(図示せず)を成長させ、その後1000℃程度まで昇温して結晶化する。
次に、レジストパターン(図示せず)をマスクとして、例えばCl2 系のガスをエッチングガスに用いた反応性イオンエッチング(RIE)により、半導体層11をエッチングした後、レジストパターンを除去する。
次に、サファイア基板の裏面側から例えばエキシマーレーザなどによるレーザビームを照射してサファイア基板とn型GaN層との界面のアブレーションを行うことによりサファイア基板を剥離する。
この後、支持基板および接着剤を除去する。
以上により、目的とするGaN系発光ダイオードが完成する。
図4〜図6から分かるように、10時間を超えるエージングを行ってもGaN系発光ダイオードの特性はほとんど変化していない。これは、半導体層11とAg電極13との間に形成したNi超薄膜12によりAg電極13からのAgのマイグレーションが抑制されていることによるものである。
比較例として図7に示すような構造およびサイズを有するGaN系発光ダイオードを製造した。図7に示すように、半導体層は、n型GaNクラッド層、Ga1-x Inx N/Ga1-y Iny N MQW構造を有する活性層(x=0.18)およびp型GaNクラッド層からなる厚さ約0.8μmで幅および奥行きの長さがそれぞれ14μmである。この半導体層上に厚さ100nmのAg電極および厚さ50nmのPt膜を順次形成した。これらのAg電極およびPt膜の幅および奥行きの長さはそれぞれ10μmである。
図8から分かるように、エージング開始後短時間で発光ダイオードは特性不良となっている。これは、半導体層とAg電極とが直接接触していることにより、Ag電極からのAg原子のマイグレーションが起こり、半導体層を突き抜けたり、半導体層の表面を移動したりすることによるものと考えられる。
この発光ダイオードは、発光ダイオードディスプレイ、発光ダイオードバックライト、発光ダイオード照明装置などの各種の電子機器に用いて好適なものである。
[発光ダイオードおよびその製造方法]
第2の実施の形態による発光ダイオードにおいては、発光ダイオード構造を形成する半導体層11に接してNi超薄膜12が設けられ、その上に中間金属層を介してAg電極13および接続用金属膜14が順次設けられている。この中間金属層は、 例えば、パラジウム(Pd)、銅(Cu)、白金(Pt)、金(Au)などの金属から選ばれた一種または二種以上の金属からなり、単層膜であっても多層膜であってもよい。この中間金属層の厚さは特に限定されず、必要に応じて選ばれるが、使用する金属との兼ね合いで、Ag電極13の反射性能を損なわないように十分に薄くするのが好ましく、例えば1nm以上10nm以下に選ばれる。
この第2の実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様な利点を得ることができる。
例えば、上述の実施の形態および実施例において挙げた数値、構造、構成、形状、材料などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれらと異なる数値、構造、構成、形状、材料などを用いてもよい。
また、必要に応じて、上述の実施の形態による発光ダイオードにおいて、従来公知の金属からなる保護膜(カバーメタル)を併用してもよい。こうすることで、発光ダイオードの信頼性のより一層の向上を図ることができる。
Claims (14)
- 発光素子構造を形成する半導体層に接して、厚さが10nm以下で1原子層以上のニッケル薄膜を形成する工程と、
上記ニッケル薄膜上に銀電極を形成する工程と
を有する半導体発光素子の製造方法。 - 上記ニッケル薄膜の厚さが2nm以下である請求項1記載の半導体発光素子の製造方法。
- 上記ニッケル薄膜の厚さが1nm以下である請求項2記載の半導体発光素子の製造方法。
- 上記半導体層は窒化物系III−V族化合物半導体層である請求項1記載の半導体発光素子の製造方法。
- 上記半導体層はn型半導体層、活性層およびp型半導体層を含み、上記p型半導体層に接して上記ニッケル薄膜を形成する請求項1記載の半導体発光素子の製造方法。
- 上記半導体発光素子は発光ダイオードである請求項1記載の半導体発光素子の製造方法。
- 発光素子構造を形成する半導体層と、
上記半導体層に接した、厚さが10nm以下で1原子層以上のニッケル薄膜と、
上記ニッケル薄膜上の銀電極と
を有する半導体発光素子。 - 上記ニッケル薄膜の厚さが2nm以下である請求項7記載の半導体発光素子。
- 上記ニッケル薄膜の厚さが1nm以下である請求項8記載の半導体発光素子。
- 上記半導体層は窒化物系III−V族化合物半導体層である請求項7記載の半導体発光素子。
- 上記半導体層はn型半導体層、活性層およびp型半導体層を含み、上記p型半導体層に接して上記ニッケル薄膜が形成されている請求項7記載の半導体発光素子。
- 上記半導体発光素子は発光ダイオードである請求項7記載の半導体発光素子。
- 素子構造を形成する半導体層に接して、厚さが10nm以下で1原子層以上のニッケル薄膜を形成する工程と、
上記ニッケル薄膜上に銀電極を形成する工程と
を有する半導体素子の製造方法。 - 素子構造を形成する半導体層と、
上記半導体層に接した、厚さが10nm以下で1原子層以上のニッケル薄膜と、
上記ニッケル薄膜上の銀電極と
を有する半導体素子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009116266A JP2010267694A (ja) | 2009-05-13 | 2009-05-13 | 半導体発光素子およびその製造方法ならびに半導体素子およびその製造方法 |
US12/770,967 US20100289053A1 (en) | 2009-05-13 | 2010-04-30 | Semiconductor light emitting element and method of manufacturing the same, and semiconductor element and method of manufacturing the same |
CN201010173311XA CN101887937A (zh) | 2009-05-13 | 2010-05-06 | 半导体发光元件及其制造方法、半导体元件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009116266A JP2010267694A (ja) | 2009-05-13 | 2009-05-13 | 半導体発光素子およびその製造方法ならびに半導体素子およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010267694A true JP2010267694A (ja) | 2010-11-25 |
Family
ID=43067791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009116266A Pending JP2010267694A (ja) | 2009-05-13 | 2009-05-13 | 半導体発光素子およびその製造方法ならびに半導体素子およびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100289053A1 (ja) |
JP (1) | JP2010267694A (ja) |
CN (1) | CN101887937A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101477048B1 (ko) * | 2013-07-01 | 2014-12-29 | 원광대학교산학협력단 | 광 결정 발광소자 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102956791B (zh) * | 2011-08-18 | 2015-04-29 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管封装结构 |
WO2019204748A1 (en) * | 2018-04-20 | 2019-10-24 | Glo Ab | Subpixel light emitting diodes for direct view display and methods of making the same |
CN111129256A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-05-08 | 广东德力光电有限公司 | 一种基于银镜的倒装高压芯片及其制作方法 |
CN116334546B (zh) * | 2023-05-26 | 2023-10-20 | 江西兆驰半导体有限公司 | 一种电子束蒸镀超薄Ni金属的方法及倒装LED芯片 |
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Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005191530A (ja) * | 2003-12-03 | 2005-07-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 発光装置 |
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CN102779918B (zh) * | 2007-02-01 | 2015-09-02 | 日亚化学工业株式会社 | 半导体发光元件 |
JP2009059933A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Toshiba Corp | 半導体発光素子 |
-
2009
- 2009-05-13 JP JP2009116266A patent/JP2010267694A/ja active Pending
-
2010
- 2010-04-30 US US12/770,967 patent/US20100289053A1/en not_active Abandoned
- 2010-05-06 CN CN201010173311XA patent/CN101887937A/zh active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100289053A1 (en) | 2010-11-18 |
CN101887937A (zh) | 2010-11-17 |
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