JP2010244709A - X-ray tube device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray tube device comprising a submerged cable connection part, the tube device maintaining electrical insulation characteristics for an extended period with stability even if temperature of a cooling liquid and supply voltage are high. <P>SOLUTION: An X-ray tube is incorporated in a housing along with a cooling liquid. An insulation covered cable 54, which is introduced into the housing, is connected to a deflection electrode 51 in the X-ray tube by a submerged cable connection part 61. The submerged cable connection part 61 includes an insulation ceramics 40 constituting a portion of a vacuum enclosure of the X-ray tube, and the insulation ceramics 40 is provided with a tapered hole 67 whose aperture becomes smaller as advances from outside to inside. The tip portion of an insulation cover material 56 of the insulation covered cable 54 is provided with a tapered part 70 whose outside diameter becomes smaller toward the tip end. By inserting the tapered part 70 of the insulation covered cable 54 into the tapered hole 67 of the insulation ceramics 40, the tapered hole 67 and the tapered part 70 tightly come into contact with each other by taper engagement. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、陰極から発生する電子を陽極ターゲットに衝突させてＸ線を発生させるＸ線管装置に関する。   The present invention relates to an X-ray tube apparatus that generates X-rays by colliding electrons generated from a cathode with an anode target.

従来、例えば、Ｘ線ＣＴ装置などでは、陰極の電子発生源から発生する電子を回転する陽極ターゲット、または固定の陽極ターゲットに衝突させ、この陽極ターゲットの電子が衝突して形成されるＸ線焦点からＸ線を発生させるＸ線管を有するＸ線管装置が用いられている。   2. Description of the Related Art Conventionally, for example, in an X-ray CT apparatus, an X-ray focal point formed by colliding electrons generated from a cathode electron generation source with a rotating anode target or a fixed anode target and colliding with the electrons of the anode target. An X-ray tube apparatus having an X-ray tube that generates X-rays from the X-ray tube is used.

このＸ線管装置では、ハウジング内に冷却液とともにＸ線管を内蔵し、冷却液を冷却器との間で循環させてＸ線管を強制的に冷却する構造が採用されている。   This X-ray tube apparatus employs a structure in which an X-ray tube is built in a housing together with a coolant, and the coolant is circulated between the coolers to forcibly cool the X-ray tube.

ハウジング内で冷却液に取り囲まれているＸ線管に電圧を供給するうえで、ケーブル端末の芯線やＸ線管の電圧供給用端子の金属ピンなどの充電部が露出しても良いように、冷却液として絶縁油が選ばれていた。しかし、充電部と接地電位部との距離が短い場合や、絶縁油の温度が高い場合、また長期間に亙ってハウジングの内面にＸ線遮蔽材として貼られている鉛板が絶縁油中に溶出した結果、絶縁油の導電率が高くなってしまった場合に、絶縁油を通じて漏電が生ずる可能性がある。   When supplying voltage to the X-ray tube surrounded by the coolant in the housing, the charging part such as the core wire of the cable terminal and the metal pin of the voltage supply terminal of the X-ray tube may be exposed. Insulating oil was selected as the coolant. However, when the distance between the charging part and the ground potential part is short, or when the temperature of the insulating oil is high, or the lead plate affixed as the X-ray shielding material to the inner surface of the housing for a long time is in the insulating oil. If the conductivity of the insulating oil increases as a result of elution, there is a possibility that electric leakage will occur through the insulating oil.

また、冷却液の冷却性能を高めるためには、絶縁油に代えて不凍液のような水系の冷却液を使用する必要がある（例えば、特許文献１参照。）。その場合には、ケーブル端末の芯線やＸ線管の電圧供給用端子の金属ピンなどの充電部が露出していると、水系の冷却液の導電率が比較的高いため、冷却液を通じて漏電が生じてしまうという問題が生じる。   In order to improve the cooling performance of the coolant, it is necessary to use an aqueous coolant such as an antifreeze instead of the insulating oil (see, for example, Patent Document 1). In that case, if the charging part such as the core wire of the cable terminal or the metal pin of the voltage supply terminal of the X-ray tube is exposed, the electrical conductivity of the water-based coolant is relatively high. A problem arises.

このような冷却液を通じての漏電を防ぐために、充電露出部を樹脂によりモールドすることが知られている。   In order to prevent such electric leakage through the coolant, it is known to mold the charge exposed portion with a resin.

特表２００５−３８８５１号公報JP 2005-38851 A

樹脂によるモールドでは、モールド樹脂と相手部品との界面を経由して使用時間の経過とともに徐々に冷却液が浸透し、やがて冷却液が充電部に到達して漏電が発生してしまう。   In the case of molding with resin, the coolant gradually permeates through the interface between the mold resin and the mating part as the usage time elapses, and eventually the coolant reaches the charged part and causes electric leakage.

モールド樹脂は、一般的にシリコーン樹脂やエポキシ樹脂が使用される。ケーブルの絶縁被覆材は、一般的にクロロプレンゴム、ＥＰゴム、シリコーンゴムなどのゴムや、ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ポリオレフィンなどである。漏電が発生する場所は、これらモールド樹脂と絶縁被覆材との接着界面であり、この接着界面を通じての冷却液の浸透性は絶縁被覆材の処理状態により大きく影響されるため、絶縁被覆材の処理を最適化する必要がある。   As the mold resin, a silicone resin or an epoxy resin is generally used. The cable insulation covering material is generally rubber such as chloroprene rubber, EP rubber, or silicone rubber, polyethylene, chlorinated polyethylene, polyolefin, or the like. The place where electrical leakage occurs is the adhesive interface between these mold resin and insulating coating material, and the permeability of the coolant through this adhesive interface is greatly affected by the processing condition of the insulating coating material. Need to be optimized.

しかしながら、漏電が発生するまでの時間は、冷却液の温度が高いほど、また供給電圧が高いほど短くなるため、絶縁被覆材の処理を最適化した場合でも、使用条件によっては必ずしも満足できる結果が得られるものではなかった。   However, since the time until the electric leakage occurs becomes shorter as the temperature of the coolant is higher and the supply voltage is higher, even if the treatment of the insulating coating material is optimized, the result is not always satisfactory depending on the use conditions. It was not obtained.

本発明は、このような点に鑑みなされたもので、冷却液の温度や供給電圧が高い場合であっても長期に亙って安定して電気絶縁特性を維持することができる液中ケーブル接続部を有するＸ線管装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and is a submerged cable connection that can stably maintain electrical insulation characteristics over a long period of time even when the temperature and supply voltage of the coolant are high. An object of the present invention is to provide an X-ray tube apparatus having a section.

本発明は、真空外囲器、この真空外囲器内に配置される陰極およびこの陰極から発生する電子が衝撃してＸ線を発生する陽極ターゲットを有するＸ線管と、このＸ線管を冷却液とともに内蔵するハウジングと、前記ハウジング内に導入される絶縁被覆ケーブルと、前記真空外囲器の一部を構成するとともに前記真空外囲器の外側から内側に向かって孔径が細くなるテーパ孔を有する絶縁体、および前記絶縁被覆ケーブルの先端部にその先端方向に向かって外径が細くなるように設けられたテーパ部を備え、そのテーパ部が前記テーパ孔の内面に密着するように挿入されて固定される液中ケーブル接続部とを具備しているものである。   The present invention relates to an X-ray tube having a vacuum envelope, a cathode disposed in the vacuum envelope, an anode target that generates X-rays upon impact of electrons generated from the cathode, and the X-ray tube. A housing built in with the cooling liquid, an insulation-covered cable introduced into the housing, and a tapered hole that forms a part of the vacuum envelope and whose diameter decreases from the outside to the inside of the vacuum envelope And an insulating body having a tapered portion provided at the distal end portion of the insulation-coated cable so that the outer diameter thereof becomes thinner toward the distal end direction, and the tapered portion is inserted so as to be in close contact with the inner surface of the tapered hole. And a submerged cable connection portion to be fixed.

本発明によれば、真空外囲器の一部を構成する絶縁体のテーパ孔に絶縁被覆ケーブルのテーパ部を挿入することにより、これらテーパ孔とテーパ部とがテーパ嵌合して密着するように液中ケーブル接続部を構成したため、冷却液の温度や供給電圧が高い場合であっても長期に亙って安定して液中ケーブル接続部の電気絶縁特性を維持することができ、信頼性の高いＸ線管装置を提供できる。   According to the present invention, by inserting the taper portion of the insulation-coated cable into the taper hole of the insulator that constitutes a part of the vacuum envelope, the taper hole and the taper portion are taper-fitted and closely attached. Since the submerged cable connection part is configured, the electrical insulation characteristics of the submerged cable connection part can be stably maintained over a long period of time even when the coolant temperature and supply voltage are high. High X-ray tube apparatus.

本発明の第１の実施の形態を示すＸ線管装置の液中ケーブル接続部の断面図である。It is sectional drawing of the submerged cable connection part of the X-ray tube apparatus which shows the 1st Embodiment of this invention. 同上Ｘ線管装置の断面図である。It is sectional drawing of an X-ray tube apparatus same as the above. 同上Ｘ線管装置の図２のＡ−Ａ視断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the same X-ray tube apparatus as taken along line AA in FIG. 2. 同上Ｘ線管装置の陰極を示し、(a)は陰極の断面図、(b)は陰極の底面図である。The cathode of the same X-ray tube apparatus is shown, (a) is a sectional view of the cathode, (b) is a bottom view of the cathode. 同上Ｘ線管装置の偏向電極の配置を示す平面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning of the deflection electrode of an X-ray tube apparatus same as the above. 本発明の第２の実施の形態を示すＸ線管装置の液中ケーブル接続部の断面図Ｘ線管装置である。It is sectional drawing X-ray tube apparatus of the submerged cable connection part of the X-ray tube apparatus which shows the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態を示し、Ｘ線管装置の偏向電極の配置を示す平面図である。It is a top view which shows the 3rd Embodiment of this invention and shows arrangement | positioning of the deflection electrode of an X-ray tube apparatus. 本発明の第４の実施の形態を示し、Ｘ線管装置の偏向電極の配置を示す平面図である。It is a top view which shows the 4th Embodiment of this invention and shows arrangement | positioning of the deflection | deviation electrode of an X-ray tube apparatus. 本発明の第５の実施の形態を示し、Ｘ線管装置の偏向電極の配置を示す平面図である。It is a top view which shows the 5th Embodiment of this invention and shows arrangement | positioning of the deflection electrode of an X-ray tube apparatus.

以下、本発明の一実施の形態を、図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１ないし図５に第１の実施の形態を示す。   1 to 5 show a first embodiment.

図２および図３に示すように、回転陽極型のＸ線管装置は、ハウジング11、およびこのハウジング11内に配置された陽極接地型（陽極電位が接地電位）でかつ回転陽極型のＸ線管12を備えている。ハウジング11とＸ線管12との間の空間には例えばグリコール水などの不凍液を含む水系冷却液あるいは絶縁油などの冷却液13が満たされ、この冷却液13をハウジング11に対して図示しないホースで接続された冷却器に循環させて冷却するように構成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the rotary anode type X-ray tube apparatus includes a housing 11 and a grounded anode type (anode potential is ground potential) disposed in the housing 11 and a rotary anode type X-ray. A tube 12 is provided. A space between the housing 11 and the X-ray tube 12 is filled with an aqueous coolant including an antifreeze such as glycol water or a coolant 13 such as insulating oil, and a hose (not shown) is connected to the housing 11 with respect to the housing 11. It is comprised so that it may circulate and cool to the cooler connected by.

Ｘ線管12は、真空外囲器15を備え、この真空外囲器15は、径大部16、この径大部16の上下の径小部17，18を有する円筒状に形成されている。さらに、真空外囲器15の径大部16上には円筒状の陰極収納部19が形成されている。   The X-ray tube 12 includes a vacuum envelope 15, and the vacuum envelope 15 is formed in a cylindrical shape having a large diameter portion 16 and small diameter portions 17 and 18 above and below the large diameter portion 16. . Further, a cylindrical cathode storage portion 19 is formed on the large diameter portion 16 of the vacuum envelope 15.

真空外囲器15の径大部16の外周面には、陰極収納部19の位置に対応して、Ｘ線が透過するＸ線透過窓20が取り付けられている。   An X-ray transmission window 20 through which X-rays pass is attached to the outer peripheral surface of the large diameter portion 16 of the vacuum envelope 15 corresponding to the position of the cathode housing portion 19.

また、真空外囲器15内には、真空外囲器15の中心に固定軸23が配置されているとともに、この固定軸23に対して回転可能に支持された回転体24が配置されている。この固定軸23は、回転体24からみて、回転体24の回転中心となる回転軸として構成される。   Further, in the vacuum envelope 15, a fixed shaft 23 is disposed at the center of the vacuum envelope 15, and a rotating body 24 supported so as to be rotatable with respect to the fixed shaft 23 is disposed. . The fixed shaft 23 is configured as a rotating shaft that is the center of rotation of the rotating body 24 when viewed from the rotating body 24.

この回転体24には、径大部16内に回転可能に配置される円板部25、および下部側の径小部18内に回転可能に配置されるロータ部26が形成されている。回転体24の円板部25の上面外周部側は、Ｘ線透過窓20へ向けて対向するように所定の角度で下降傾斜され、この下降傾斜された表面に電子が衝突してＸ線を発生する陽極ターゲット27が設けられている。   The rotating body 24 is formed with a disk portion 25 that is rotatably disposed within the large diameter portion 16 and a rotor portion 26 that is rotatably disposed within the small diameter portion 18 on the lower side. The outer peripheral side of the upper surface of the disk portion 25 of the rotating body 24 is inclined downward at a predetermined angle so as to face the X-ray transmission window 20, and electrons collide with the inclined surface to cause X-rays. A generated anode target 27 is provided.

真空外囲器15の下部側の径小部18の外側には、誘導電磁界を発生してロータ部26を介して回転体24および陽極ターゲット27を回転させるコイル28が配置されている。   A coil 28 that generates an induction electromagnetic field and rotates the rotating body 24 and the anode target 27 via the rotor portion 26 is disposed outside the small-diameter portion 18 on the lower side of the vacuum envelope 15.

また、真空外囲器15の陰極収納部19内には、陽極ターゲット27に対向するように配置された陰極31が収納されている。この陰極31は、図４に示すように、電子を発生する電子発生源としてのフィラメント32、およびこのフィラメント32を支持する陰極支持体33を備えている。   A cathode 31 disposed so as to face the anode target 27 is accommodated in the cathode accommodating portion 19 of the vacuum envelope 15. As shown in FIG. 4, the cathode 31 includes a filament 32 as an electron generation source that generates electrons, and a cathode support 33 that supports the filament 32.

フィラメント32は、小焦点用フィラメント32aと大焦点用フィラメント32bとを備え、それぞれ幅が長い長手方向とこの長手方向に直交する幅が狭い幅方向とを有する形状に形成され、陰極支持体33に対して幅方向に沿った方向に互いに並列に配置されている。フィラメント32の長手方向が陽極ターゲット27の径方向に沿って配置され、幅方向が陽極ターゲット27の回転方向に沿って配置されている。   The filament 32 includes a small-focus filament 32a and a large-focus filament 32b, each formed in a shape having a long longitudinal direction and a narrow width direction perpendicular to the longitudinal direction. On the other hand, they are arranged in parallel in the direction along the width direction. The longitudinal direction of the filament 32 is arranged along the radial direction of the anode target 27, and the width direction is arranged along the rotation direction of the anode target 27.

陰極支持体33は、外周部に陰極キャップ34が設けられており、絶縁体35によって真空外囲器15に支持されている。この絶縁体35の箇所を利用して、陰極31に負の高電圧電位を供給する高電圧電源と接続するための高電圧ケーブルが接続される。   The cathode support 33 is provided with a cathode cap 34 on the outer periphery thereof, and is supported by the vacuum envelope 15 by an insulator 35. A high-voltage cable for connecting to a high-voltage power source that supplies a negative high-voltage potential to the cathode 31 is connected using the location of the insulator 35.

また、図２および図３に示すように、真空外囲器15の陰極収納部19は、上部側が円筒状の周壁部38にて構成され、下部側が環状の反跳電子トラップ構造体39にて構成され、これら周壁部38と反跳電子トラップ構造体39との間が環状の絶縁体としての絶縁セラミックス40にて構成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the cathode housing portion 19 of the vacuum envelope 15 is configured by a cylindrical peripheral wall portion 38 on the upper side and an annular recoil electron trap structure 39 on the lower side. The peripheral wall portion 38 and the recoil electron trap structure 39 are constituted by insulating ceramics 40 as an annular insulator.

反跳電子トラップ構造体39は、陽極ターゲット27からの反跳電子を捕獲するもので、中心部にはフィラメント32から発生する電子を通過させる円形状の開口部41が形成されており、フィラメント32から発生する電子が陽極ターゲット27へ移動する軌道を取り囲むように配置されている。反跳電子トラップ構造体39の陰極31に対向する面は平坦面に形成され、陽極ターゲット27に対向する面は凹面に形成され、外周面は円筒状側面に形成されている。   The recoil electron trap structure 39 captures recoil electrons from the anode target 27, and a circular opening 41 through which electrons generated from the filament 32 pass is formed at the center, and the filament 32 Are arranged so as to surround the trajectory in which the electrons generated from the target move to the anode target 27. The surface of the recoil electron trap structure 39 facing the cathode 31 is formed as a flat surface, the surface facing the anode target 27 is formed as a concave surface, and the outer peripheral surface is formed as a cylindrical side surface.

反跳電子トラップ構造体39は、高熱伝導性材で形成されていることが好ましく、例えば、銅、銅合金、ＧＬＩＤ−ＣＯＰなどの強化銅、モリブデン、モリブデン合金などの金属材料の他、熱伝導率が大きいＳｉＣ、ＡｌＮ、ＢｅＯなどのセラミックス表面を金属薄膜でコーティングしたものを用いてもよい。さらに、図示していないが、反跳電子トラップ構造体39は冷却構造を備えており、この冷却構造としては、例えば、反跳電子トラップ構造体39の内部に冷却液13が循環する冷却液流路が形成され、この冷却液流路の冷却液13を冷却器に循環させて反跳電子トラップ構造体39を冷却するように構成されている。   The recoil electron trap structure 39 is preferably formed of a high thermal conductivity material. For example, in addition to copper, copper alloy, reinforced copper such as GLID-COP, metal material such as molybdenum and molybdenum alloy, thermal conduction A ceramic surface coated with a metal thin film such as SiC, AlN, or BeO having a high rate may be used. Further, although not shown, the recoil electron trap structure 39 has a cooling structure, and for example, a cooling liquid flow in which the coolant 13 circulates inside the recoil electron trap structure 39 is used. A path is formed, and the recoil electron trap structure 39 is cooled by circulating the coolant 13 in the coolant channel to the cooler.

また、図１、図２、図３および図５に示すように、真空外囲器15の陰極収納部19の内部には、フィラメント32から電子が陽極ターゲット27に進行する電子進行方向に見て、フィラメント32と陽極ターゲット27との間に、電子を電子進行方向に対して垂直となる方向に静電偏向させる一対の偏向電極51が配置されている。これら一対の偏向電極51は、周方向に２分割され、それぞれ絶縁セラミックス40に支持され、陽極ターゲット27の径方向に沿って互いに離間して対向するように配置されている。一対の偏向電極51の互いに対向する中央部分には、フィラメント32から陽極ターゲット27へ進行する電子が通過する電子通過部52を構成する半円状の窪み部53が形成されている。   As shown in FIGS. 1, 2, 3, and 5, the inside of the cathode housing portion 19 of the vacuum envelope 15 is viewed in the electron traveling direction in which electrons travel from the filament 32 to the anode target 27. Between the filament 32 and the anode target 27, a pair of deflection electrodes 51 for electrostatically deflecting electrons in a direction perpendicular to the electron traveling direction is disposed. The pair of deflection electrodes 51 are divided into two in the circumferential direction, are respectively supported by the insulating ceramics 40, and are arranged so as to face each other along the radial direction of the anode target 27. A semicircular recess 53 that forms an electron passage 52 through which electrons traveling from the filament 32 to the anode target 27 passes is formed in the center portions of the pair of deflection electrodes 51 facing each other.

図３に示すように、一対の偏向電極51には、偏向電圧を供給する一対の絶縁被覆ケーブル54が電気的に接続されている。一対の絶縁被覆ケーブル54は、ハウジング11を液密に貫通してハウジング11内に導入されており、図示しない偏向電圧供給用電源に接続されている。図１に示すように、絶縁被覆ケーブル54は、導電性を有する芯線55、この芯線55の周囲を絶縁被覆する絶縁被覆材56を有している。絶縁被覆材56は、例えば、ＥＰゴム、シリコーンゴム、ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ポリオレフィンなどが用いられる。   As shown in FIG. 3, a pair of insulation-coated cables 54 that supply a deflection voltage are electrically connected to the pair of deflection electrodes 51. The pair of insulation-coated cables 54 penetrates the housing 11 in a liquid-tight manner and is introduced into the housing 11, and is connected to a deflection voltage supply power source (not shown). As shown in FIG. 1, the insulation-coated cable 54 has a conductive core wire 55 and an insulation coating material 56 that covers the periphery of the core wire 55. As the insulating coating material 56, for example, EP rubber, silicone rubber, polyethylene, chlorinated polyethylene, polyolefin and the like are used.

図１および図３に示すように、一対の絶縁被覆ケーブル54は、一対の液中ケーブル接続部61を介して偏向電極51に電気的に接続されている。この液中ケーブル接続部61は、絶縁セラミックス40、この絶縁セラミックス40に密着して固定される絶縁被覆ケーブル54の先端部、この絶縁被覆ケーブル54を絶縁セラミックス40側に押し付ける押圧機構62、絶縁セラミックス40と絶縁被覆ケーブル54とを接着する接着剤63によって構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 3, the pair of insulation-coated cables 54 is electrically connected to the deflection electrode 51 via a pair of submerged cable connection portions 61. The submerged cable connecting portion 61 includes an insulating ceramic 40, a distal end portion of an insulating coated cable 54 that is fixed in close contact with the insulating ceramic 40, a pressing mechanism 62 that presses the insulating coated cable 54 toward the insulating ceramic 40, and an insulating ceramic. It is constituted by an adhesive 63 that bonds 40 and the insulation-coated cable 54 together.

絶縁セラミックス40は、陽極ターゲット27の径方向に沿った方向を短手方向、陽極ターゲット27の径方向に直交する方向であって回転方向に沿った方向を長手方向とする長方形に形成され、中央部には偏向電極51を取り付ける取付開口64が形成されて配置されている。   The insulating ceramic 40 is formed in a rectangular shape in which the direction along the radial direction of the anode target 27 is the short direction, and the direction perpendicular to the radial direction of the anode target 27 and the direction along the rotational direction is the longitudinal direction. An attachment opening 64 for attaching the deflection electrode 51 is formed and disposed in the part.

絶縁セラミックス40の長手方向の両端部にはケーブル接続部65が延設され、これらケーブル接続部65には絶縁セラミックス40の長手方向を軸方向としてその外端面と取付開口64とに連通開口する孔部66が形成されている。この孔部66は、ケーブル接続部65の外端面に開口しその外側から内側（取付開口64側）に向かって孔径が細くなるテーパ形状に形成されたテーパ孔67、このテーパ孔67の先端と取付開口64とに貫通する貫通孔68を備えている。テーパ孔67には、絶縁被覆ケーブル54の先端部が挿入される。貫通孔68には、絶縁被覆ケーブル54の芯線55が電気的に接続される偏向電極51の端子部69がテーパ孔67内に突出するように配置されている。   Cable connecting portions 65 are extended at both ends in the longitudinal direction of the insulating ceramic 40, and the cable connecting portions 65 have holes that communicate with the outer end surface and the mounting opening 64 with the longitudinal direction of the insulating ceramic 40 as the axial direction. A portion 66 is formed. The hole 66 has a tapered hole 67 that is formed in a tapered shape that opens on the outer end surface of the cable connecting portion 65 and decreases in diameter from the outside toward the inside (mounting opening 64 side). A through hole 68 penetrating the mounting opening 64 is provided. The distal end portion of the insulation-coated cable 54 is inserted into the tapered hole 67. A terminal portion 69 of the deflection electrode 51 to which the core wire 55 of the insulation-coated cable 54 is electrically connected is disposed in the through hole 68 so as to protrude into the tapered hole 67.

絶縁被覆ケーブル54の先端部には、先端方向に向かうに従って絶縁被覆材56の外径が細くなるテーパ形状のテーパ部70が形成されている。絶縁被覆ケーブル54の中心軸に対するテーパ部70の傾斜角度は、テーパ孔67の中心軸に対する傾斜角度と同じか、同等に形成されており、テーパ孔67にテーパ部70を挿入した際にテーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とが密着するように構成されている。芯線55の先端には偏向電極51と圧着して電気的に接続される端子部を設けてもよい。   A tapered portion 70 having a tapered shape in which the outer diameter of the insulation coating material 56 becomes thinner toward the distal direction is formed at the distal end portion of the insulation coating cable 54. The inclination angle of the taper portion 70 with respect to the central axis of the insulation-coated cable 54 is the same as or equivalent to the inclination angle with respect to the central axis of the taper hole 67. When the taper portion 70 is inserted into the taper hole 67, the taper hole The inner surface of 67 and the outer surface of the tapered portion 70 are configured to be in close contact with each other. A terminal portion that is crimped and electrically connected to the deflection electrode 51 may be provided at the tip of the core wire 55.

押圧機構62は、テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とが密着するように押し付けるもので、絶縁被覆ケーブル54の絶縁被覆材56の外面に固定された固定部材71を有し、この固定部材71の周辺部に突出するフランジ部72を挿通する複数のねじ73が絶縁セラミックス40に螺着されている。ねじ73を締め付けてテーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とが密着した状態では、固定部材71は絶縁セラミックス40に接触していない状態にある。   The pressing mechanism 62 presses the inner surface of the tapered hole 67 and the outer surface of the tapered portion 70 so as to be in close contact with each other, and has a fixing member 71 fixed to the outer surface of the insulating coating material 56 of the insulating coating cable 54. A plurality of screws 73 that pass through a flange portion 72 that protrudes from the peripheral portion of the member 71 are screwed to the insulating ceramic 40. When the screw 73 is tightened and the inner surface of the tapered hole 67 and the outer surface of the tapered portion 70 are in close contact, the fixing member 71 is not in contact with the insulating ceramic 40.

接着剤63は、エポキシ樹脂およびシリコーン樹脂のいずれか一方を主成分とし、テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とを接着固定する。テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とのいずれか一方、または両方には、接着剤63を塗布する前に、プライマー処理を施し、接着剤63による接着性を高めている。   The adhesive 63 has either one of an epoxy resin and a silicone resin as a main component, and adheres and fixes the inner surface of the tapered hole 67 and the outer surface of the tapered portion 70. Either or both of the inner surface of the tapered hole 67 and the outer surface of the tapered portion 70 are subjected to a primer treatment before the adhesive 63 is applied, so that the adhesiveness by the adhesive 63 is enhanced.

この液中ケーブル接続部61に接続された一対の絶縁被覆ケーブル54は、陽極ターゲット27の回転方向に対応した方向であって、ハウジング11と真空外囲器15の陰極収納部19との間のスペースが広い方向に配線されている。   The pair of insulation-coated cables 54 connected to the submerged cable connection portion 61 is a direction corresponding to the rotation direction of the anode target 27 and between the housing 11 and the cathode storage portion 19 of the vacuum envelope 15. The space is wired in a wide direction.

そして、偏向電圧供給用電源により、一対の偏向電極51には、フィラメント32の電位Ｖ１と陽極ターゲット27の電位Ｖ２との電位差Ｖ２−Ｖ１をＶとした場合、接地電位に対して＋Ｖ／３から−Ｖ／３の範囲の電位差が与えられる。すなわち、陽極接地型のＸ線管12では、陽極ターゲット27の電位Ｖ２が接地電位であるため、陰極31の電位Ｖ１が例えば−１５０ｋＶであれば、Ｖは１５０ｋＶであり、一対の偏向電極51には接地電位に対して±５０ｋＶの範囲の電位差が与えられる。   Then, when the potential difference V2-V1 between the potential V1 of the filament 32 and the potential V2 of the anode target 27 is V, the power supply for supplying the deflection voltage supplies the pair of deflection electrodes 51 from + V / 3 with respect to the ground potential. A potential difference in the range of −V / 3 is given. That is, in the anode grounded X-ray tube 12, since the potential V2 of the anode target 27 is the ground potential, if the potential V1 of the cathode 31 is, for example, −150 kV, V is 150 kV, and the pair of deflection electrodes 51 Is given a potential difference in the range of ± 50 kV with respect to the ground potential.

一対の偏向電極51に与える電位差のより好ましい範囲は、接地電位に対して＋Ｖ／５から−Ｖ／５の範囲である。この場合には、Ｖが１５０ｋＶであれば、一対の偏向電極51には接地電位に対して±３０ｋＶの範囲の電位差が与えられる。   A more preferable range of the potential difference applied to the pair of deflection electrodes 51 is a range of + V / 5 to −V / 5 with respect to the ground potential. In this case, if V is 150 kV, the pair of deflection electrodes 51 are given a potential difference in the range of ± 30 kV with respect to the ground potential.

なお、この陽極接地型のＸ線管12は、陽極ターゲット27のみならず、反跳電子トラップ構造体39や真空外囲器15の金属部分も接地電位である。   In the anode grounded X-ray tube 12, not only the anode target 27 but also the metal part of the recoil electron trap structure 39 and the vacuum envelope 15 are at the ground potential.

また、図２に示すように、ハウジング11には、真空外囲器15のＸ線透過窓20に対向してＸ線が透過するＸ線透過窓11aが設けられている。   Further, as shown in FIG. 2, the housing 11 is provided with an X-ray transmission window 11 a that transmits X-rays facing the X-ray transmission window 20 of the vacuum envelope 15.

そうして、図２において、Ｘ線撮影時には、Ｘ線管装置において、回転体24および陽極ターゲット27が回転し、陰極31のフィラメント32から発生する電子が陽極ターゲット27に衝突して、フィラメント32の形状に対応したＸ線焦点が形成され、この陽極ターゲット27のＸ線焦点から発生したＸ線が真空外囲器15のＸ線透過窓20およびハウジング11のＸ線透過窓11aを通じて外部へ照射される。   In FIG. 2, at the time of X-ray imaging, in the X-ray tube apparatus, the rotating body 24 and the anode target 27 rotate, and electrons generated from the filament 32 of the cathode 31 collide with the anode target 27, and the filament 32 An X-ray focal point corresponding to the shape of the anode target 27 is formed, and X-rays generated from the X-ray focal point of the anode target 27 are irradiated to the outside through the X-ray transmission window 20 of the vacuum envelope 15 and the X-ray transmission window 11a of the housing 11. Is done.

ここで、Ｘ線焦点とは、実焦点ではなく、実効焦点を意味している。   Here, the X-ray focal point means not an actual focal point but an effective focal point.

陽極ターゲット27からの反跳電子が反跳電子トラップ構造体39で捕獲される。   Recoil electrons from the anode target 27 are captured by the recoil electron trap structure 39.

また、図５に示すように、一対の偏向電極51への偏向電圧の印加にて、一対の偏向電極51間の電子通過部52に偏向電界が発生し、この偏向電界により、フィラメント32から陽極ターゲット27へ向かう電子が陽極ターゲット27の径方向（フィラメント32の長手方向）に偏向され、陽極ターゲット27に形成されるＸ線焦点が陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）に微小移動する。   In addition, as shown in FIG. 5, by applying a deflection voltage to the pair of deflection electrodes 51, a deflection electric field is generated in the electron passage portion 52 between the pair of deflection electrodes 51. Electrons toward the target 27 are deflected in the radial direction of the anode target 27 (longitudinal direction of the filament 32), and the X-ray focal point formed on the anode target 27 is in the radial direction of the anode target 27 (longitudinal direction of the X-ray focal point). Move a little.

このとき、フィラメント32から電子が陽極ターゲット27に進行する電子進行方向に見て、フィラメント32と陽極ターゲット27との間に一対の偏向電極51を配置しているため、フィラメント32と陽極ターゲット27との間で、電子の速度が比較的速くなる空間領域に偏向電界を発生させることができ、Ｘ線焦点の形状やＸ線管12の管電流に影響が出ないようにＸ線焦点位置を偏向移動させることができる。   At this time, since the pair of deflection electrodes 51 are disposed between the filament 32 and the anode target 27 as viewed in the electron traveling direction in which electrons travel from the filament 32 to the anode target 27, the filament 32 and the anode target 27 Can generate a deflection electric field in a spatial region where the velocity of electrons is relatively high, and deflect the X-ray focal point position so that the shape of the X-ray focal point and the tube current of the X-ray tube 12 are not affected. Can be moved.

このように構成されたＸ線管装置では、フィラメント32から電子が陽極ターゲット27に進行する電子進行方向に見て、フィラメント32と陽極ターゲット27との間に一対の偏向電極51を配置することにより、一対の偏向電極51には、Ｖをフィラメント32の電位Ｖ１と陽極ターゲット27の電位Ｖ２との電位差Ｖ２−Ｖ１とした場合、接地電位に対して＋Ｖ／３から−Ｖ／３の範囲、より好ましくは＋Ｖ／５から−Ｖ／５の範囲の電位差を与えれば、電子を偏向させることができるため、陰極31の高電圧電源および高電圧ケーブルとは別の独立した偏向電圧供給用電源および絶縁被覆ケーブルを用いることができるとともに、絶縁被覆ケーブルを偏向電極51に接続するのに耐電性の高い構造が必要なく、接続構造を簡単にでき、したがって、既存の例えばＸ線ＣＴ装置に組み込まれているＸ線管装置のアップグレイドを経済的に実現することができる。   In the X-ray tube apparatus configured as described above, a pair of deflection electrodes 51 are disposed between the filament 32 and the anode target 27 when viewed in the electron traveling direction in which electrons travel from the filament 32 to the anode target 27. In the pair of deflection electrodes 51, when V is a potential difference V2-V1 between the potential V1 of the filament 32 and the potential V2 of the anode target 27, the range is from + V / 3 to -V / 3 with respect to the ground potential. Preferably, if a potential difference in the range of + V / 5 to −V / 5 is applied, electrons can be deflected. Therefore, a high-voltage power supply for the cathode 31 and a power supply for supplying a deflection voltage independent from the high-voltage cable and insulation A covered cable can be used, and a structure with high electric resistance is not required to connect the insulated cable to the deflection electrode 51, and the connection structure can be simplified. Up grade of the X-ray tube device which is incorporated in the line CT apparatus can be economically realized.

一対の偏向電極51に与える電位差が、＋Ｖ／３から−Ｖ／３の範囲を超える場合には、絶縁被覆ケーブルとして太い高電圧ケーブルが必要となり、絶縁被覆ケーブルを接続するのに耐電性の高い構造が必要で、接続構造が大掛かりになる。   When the potential difference applied to the pair of deflection electrodes 51 exceeds the range of + V / 3 to -V / 3, a thick high-voltage cable is required as an insulation-covered cable, and it has high electric resistance to connect the insulation-covered cable. A structure is required, and the connection structure becomes large.

また、液中ケーブル接続部61では、真空外囲器15の一部を構成する絶縁セラミックス40のテーパ孔67に絶縁被覆ケーブル54のテーパ部70を挿入し、押圧機構62の複数のねじ73を絶縁セラミックス40に螺着して締め付け、テーパ孔67にテーパ部70を押し付けることにより、これらテーパ孔67とテーパ部70とがテーパ嵌合して密着するため、冷却液13の温度や供給電圧が高い場合であっても長期に亙って安定して液中ケーブル接続部61の電気絶縁特性を維持することができ、信頼性の高いＸ線管装置を提供できる。   Further, in the submerged cable connection portion 61, the taper portion 70 of the insulation-coated cable 54 is inserted into the taper hole 67 of the insulating ceramic 40 that constitutes a part of the vacuum envelope 15, and the plurality of screws 73 of the pressing mechanism 62 are attached. By screwing and tightening the insulating ceramic 40 and pressing the taper portion 70 against the taper hole 67, the taper hole 67 and the taper portion 70 are brought into a taper fit and are in close contact with each other. Even if it is high, the electrical insulation characteristics of the submerged cable connection 61 can be stably maintained over a long period of time, and a highly reliable X-ray tube apparatus can be provided.

しかも、テーパ孔67とテーパ部70との間に接着剤63を介在させるため、テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とを接着剤63により接着固定でき、より確実に、長期に亙って安定して液中ケーブル接続部61の電気絶縁特性を維持することかできる。さらに、テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とのいずれか一方、または両方には、接着剤63を塗布する前に、プライマー処理を施すことにより、接着剤63による接着性を高めることができる。   In addition, since the adhesive 63 is interposed between the taper hole 67 and the taper portion 70, the inner surface of the taper hole 67 and the outer surface of the taper portion 70 can be bonded and fixed with the adhesive 63, and more reliably over a long period of time. Thus, the electrical insulation characteristics of the submerged cable connection 61 can be maintained stably. Furthermore, by applying a primer treatment to either one or both of the inner surface of the tapered hole 67 and the outer surface of the tapered portion 70, the adhesion by the adhesive 63 can be improved. it can.

さらに、液中ケーブル接続部61によって電気絶縁特性を維持することができるため、水系の冷却液13を用い、冷却性能を向上させることができる。   Furthermore, since the electrical insulation characteristics can be maintained by the submerged cable connection 61, the cooling performance can be improved by using the aqueous coolant 13.

次に、図６に第２の実施の形態を示す。   Next, FIG. 6 shows a second embodiment.

第１の実施の形態との違いは、絶縁被覆ケーブル54の絶縁被覆材56の先端部を、その絶縁被覆材56の周囲に外層絶縁被覆材76を形成した２層構造とし、この外層絶縁被覆材76によって先端方向に向かうに従って外径が細くなるテーパ部70が形成されている。   The difference from the first embodiment is that the front end portion of the insulation coating material 56 of the insulation coating cable 54 has a two-layer structure in which an outer insulation coating material 76 is formed around the insulation coating material 56. A taper portion 70 whose outer diameter becomes thinner toward the distal end direction is formed by the material 76.

絶縁被覆材56がＥＰゴムである場合、外層絶縁被覆材76は例えばＥＰゴム、シリコーンゴムなどを採用することができる。または、絶縁被覆材56がシリコーンゴムである場合、外層絶縁被覆材76はＥＰゴム、シリコーンゴムなどを採用することができる。   When the insulating coating material 56 is EP rubber, the outer layer insulating coating material 76 can employ, for example, EP rubber or silicone rubber. Alternatively, when the insulating coating material 56 is silicone rubber, the outer layer insulating coating material 76 may employ EP rubber, silicone rubber, or the like.

この第２の実施の形態のＸ線管装置においても、第１の実施の形態と同様の作用効果が得られる。   In the X-ray tube apparatus according to the second embodiment, the same function and effect as those of the first embodiment can be obtained.

次に、図７に第３の実施の形態を示す。   Next, FIG. 7 shows a third embodiment.

第１の実施の形態との違いは、一対の偏向電極51が対向する方向を、陽極ターゲット27の径方向に対して所定の角度αだけずらして配置している。   The difference from the first embodiment is that the direction in which the pair of deflection electrodes 51 oppose each other is shifted from the radial direction of the anode target 27 by a predetermined angle α.

そして、一対の偏向電極51が発生する偏向電界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に同時に移動することができる。   Then, due to the deflection electric field generated by the pair of deflection electrodes 51, the X-ray focal point can simultaneously move in the radial direction (length direction of the X-ray focal point) and the rotation direction (width direction of the X-ray focal point) of the anode target 27. it can.

角度αは、Ｘ線焦点の陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）への移動距離および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）への移動距離の比に合わせて設定する。   The angle α is set in accordance with the ratio of the movement distance of the anode target 27 in the radial direction (the length direction of the X-ray focus) and the movement distance in the rotation direction (the width direction of the X-ray focus) of the X-ray focus.

Ｘ線焦点を、Ｘ線焦点の長さ方向と幅方向に等しい距離移動させるためには、角度αは陽極ターゲット27の傾斜角に等しくする。   In order to move the X-ray focus by the same distance in the length direction and the width direction of the X-ray focus, the angle α is set equal to the inclination angle of the anode target 27.

次に、図８に第４の実施の形態を示す。   Next, FIG. 8 shows a fourth embodiment.

第１の実施の形態との違いは、一対の偏向電極51が対向する方向を、陽極ターゲット27の径方向に対して９０°ずらして配置している。   The difference from the first embodiment is that the direction in which the pair of deflection electrodes 51 oppose each other is shifted by 90 ° with respect to the radial direction of the anode target 27.

そして、一対の偏向電極51が発生する偏向電界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に移動することができる。   The X-ray focal point can be moved in the rotation direction of the anode target 27 (width direction of the X-ray focal point) by the deflection electric field generated by the pair of deflection electrodes 51.

次に、図９に第５の実施の形態を示す。   Next, FIG. 9 shows a fifth embodiment.

第１の実施の形態との違いは、偏向電極51が、周方向に４分割され、中央の電子通過部52を介して互いに対向する一対の偏向電極51を組みとして２組の電極対51a，51bを設け、一方の電極対51aの一対の偏向電極51が対向する方向を陽極ターゲット27の径方向として配置し、他方の電極対51bの一対の偏向電極51が対向する方向を陽極ターゲット27の径方向に対して９０°ずらして配置している。   The difference from the first embodiment is that the deflection electrode 51 is divided into four in the circumferential direction, and a pair of the deflection electrodes 51 facing each other via the central electron passage 52 is used as a pair. 51b is provided, and the direction in which the pair of deflection electrodes 51 of one electrode pair 51a opposes is arranged as the radial direction of the anode target 27, and the direction in which the pair of deflection electrodes 51 of the other electrode pair 51b opposes They are shifted by 90 ° with respect to the radial direction.

この場合、４つの偏向電極51にそれぞれ接続される４本の絶縁被覆ケーブル54が用いられ、これら絶縁被覆ケーブル54は、絶縁セラミックス40の両端のケーブル接続部65に液中ケーブル接続部61によって２本ずつ接続され、陽極ターゲット27の回転方向に対応した方向であって、ハウジング11と真空外囲器15の陰極収納部19との間のスペースが広い方向に配線されている。   In this case, four insulation-coated cables 54 respectively connected to the four deflection electrodes 51 are used, and these insulation-coated cables 54 are connected to the cable connection portions 65 at both ends of the insulating ceramic 40 by the submerged cable connection portions 61. They are connected one by one and wired in a direction corresponding to the rotation direction of the anode target 27 and in a direction in which the space between the housing 11 and the cathode housing part 19 of the vacuum envelope 15 is wide.

そして、一方の電極対51aの偏向電圧と他方の電極対51bの偏向電圧との比を変えることにより、Ｘ線焦点を陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に自由に偏向させることができる。   Then, by changing the ratio of the deflection voltage of one electrode pair 51a and the deflection voltage of the other electrode pair 51b, the X-ray focal point is changed in the radial direction of the anode target 27 (the length direction of the X-ray focal point) and the rotation direction ( It can be freely deflected in the width direction of the X-ray focal point.

11 ハウジング
12 Ｘ線管
13 冷却液
15 真空外囲器
27 陽極ターゲット
31 陰極
40 絶縁体としての絶縁セラミックス
51 偏向電極
54 絶縁被覆ケーブル
61 液中ケーブル接続部
62 押圧機構
63 接着剤
67 テーパ孔
70 テーパ部 11 Housing
12 X-ray tube
13 Coolant
15 Vacuum envelope
27 Anode target
31 Cathode
40 Insulating ceramics as insulators
51 Deflection electrode
54 Insulated cable
61 Submerged cable connection
62 Pressing mechanism
63 Adhesive
67 Taper hole
70 Taper

Claims (7)

真空外囲器、この真空外囲器内に配置される陰極およびこの陰極から発生する電子が衝撃してＸ線を発生する陽極ターゲットを有するＸ線管と、
このＸ線管を冷却液とともに内蔵するハウジングと、
前記ハウジング内に導入される絶縁被覆ケーブルと、
前記真空外囲器の一部を構成するとともに前記真空外囲器の外側から内側に向かって孔径が細くなるテーパ孔を有する絶縁体、および前記絶縁被覆ケーブルの先端部にその先端方向に向かって外径が細くなるように設けられたテーパ部を備え、そのテーパ部が前記テーパ孔の内面に密着するように挿入されて固定される液中ケーブル接続部と
を具備していることを特徴とするＸ線管装置。 An X-ray tube having a vacuum envelope, a cathode disposed in the vacuum envelope, and an anode target that generates X-rays upon impact of electrons generated from the cathode;
A housing containing the X-ray tube together with the coolant;
An insulation-covered cable introduced into the housing;
An insulator that forms a part of the vacuum envelope and has a tapered hole whose diameter decreases from the outside to the inside of the vacuum envelope, and toward the distal end of the insulating coated cable A submerged cable connecting portion that includes a tapered portion that is provided so that the outer diameter is reduced, and the tapered portion is inserted and fixed so as to be in close contact with the inner surface of the tapered hole. X-ray tube device. 前記液中ケーブル接続部は、前記絶縁被覆ケーブルのテーパ部の外面を前記絶縁体のテーパ孔の内面に密着させるように前記絶縁被覆ケーブルを押し付ける押圧機構を具備している
ことを特徴とする請求項１記載のＸ線管装置。 The submerged cable connection portion includes a pressing mechanism that presses the insulation-coated cable so that the outer surface of the tapered portion of the insulation-coated cable is in close contact with the inner surface of the tapered hole of the insulator. Item 2. The X-ray tube apparatus according to Item 1. 前記液中ケーブル接続部は、前記絶縁被覆ケーブルのテーパ部の外面と前記絶縁体のテーパ孔の内面とを接着剤により接着固定している
ことを特徴とする請求項１または２記載のＸ線管装置。 3. The X-ray according to claim 1, wherein the submerged cable connection portion adheres and fixes an outer surface of the tapered portion of the insulation-coated cable and an inner surface of the tapered hole of the insulator with an adhesive. Tube equipment. 前記接着剤は、エポキシ樹脂およびシリコーン樹脂のいずれか一方を主成分とする
ことを特徴とする請求項３記載のＸ線管装置。 The X-ray tube apparatus according to claim 3, wherein the adhesive includes one of an epoxy resin and a silicone resin as a main component. 前記液中ケーブル接続部は、前記絶縁被覆ケーブルのテーパ部の外面と前記絶縁体のテーパ孔の内面との少なくともいずれか一方にプライマー処理を施している
ことを特徴とする請求項３または４記載のＸ線管装置。 The said submerged cable connection part has performed the primer process to at least any one of the outer surface of the taper part of the said insulation coating cable, and the inner surface of the taper hole of the said insulator. X-ray tube device. 前記冷却液は、水系である
ことを特徴とする請求項１ないし５いずれか一記載のＸ線管装置。 The X-ray tube apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the coolant is aqueous. 前記陰極から電子が前記陽極ターゲットに進行する電子進行方向に見て、少なくとも前記陰極と前記陽極ターゲットとの間に配置され、Ｖを前記陰極の電位Ｖ１と前記陽極ターゲットの電位Ｖ２との電位差Ｖ２−Ｖ１とした場合、接地電位に対して＋Ｖ／３から−Ｖ／３の範囲の電位差が与えられ、前記電子を偏向させる少なくとも一対の偏向電極を具備し、
これら一対の偏向電極への偏向電圧を、前記液中ケーブル接続部を介して接続される前記絶縁被覆ケーブルにより供給する
ことを特徴とする請求項１ないし６いずれか一記載のＸ線管装置。 As viewed in the electron traveling direction in which electrons travel from the cathode to the anode target, the electrons are disposed at least between the cathode and the anode target, and V is a potential difference V2 between the cathode potential V1 and the anode target potential V2. In the case of −V1, a potential difference in the range of + V / 3 to −V / 3 is given to the ground potential, and at least a pair of deflection electrodes for deflecting the electrons is provided.
The X-ray tube apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein a deflection voltage to the pair of deflection electrodes is supplied by the insulation-coated cable connected via the submerged cable connection portion.

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