JP2010231044A - パターン検査装置及びパターン検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】比較基準となるリファレンスパターン画像131における所定の特徴点の位置情報を登録するリファレンスパターン登録処理S1と、検査対象画像132から抽出された輪郭線の位置情報と特徴点の位置情報とに基づいて検査対象画像132に含まれる欠陥候補パターンを探索する欠陥候補パターン探索処理S2と、リファレンスパターン画像131における特徴点に対応した輝度分布情報と欠陥候補パターンにおける特徴点に対応した輝度分布情報とに基づいて、欠陥パターンを検出する欠陥パターン検出処理S3とを行うパターン検査装置である。
【選択図】図1
Description
従来、フォトマスク品質における重要項目として、欠陥・寸法精度・アライメントの3項目が特に重視されており、半導体の微細化が進む現在ではそれぞれの項目を計測するための高精度なフォトマスク専用検査装置が開発され使用されている(例えば特許文献1参照)。
しかしフォトマスクパターンの微細化による高精度化への要求は、前記3項目以外のあらゆる品質項目(パターン形状、パターンデータ保証、耐久性、クリーン度等)が重要視されるようになってきた。特にパターン形状の精度については、直接、LSI回路の精度および性能に関わる。
この違いはマスク上で数十〜数百nm(ナノメートル)程度の大きさであることがほとんどであるが、近年の超LSIの微細化の進展によって、これが半導体回路の特性に影響を与えることが懸念され始めている。すなわち、微細なパターンであるほど、パターン自体に対して前記のパターン形状の違いが相対的に大きくなり、特性値に影響するようになってきたということである。
この欠陥パターン検出処理(S3)では、リファレンスパターン画像131における所定の特徴点に対応した輝度分布情報と欠陥候補パターン探索処理(S2)で探索された欠陥候補パターンにおける所定の特徴点に対応した輝度分布情報とに基づいて、欠陥パターンを検出する処理などが行われる。
まず、パターン検査装置1では、リファレンスパターンの登録処理(図1のステップS1、図2のステップP1)を行う。最初にリファレンスパターンの基準となるSEM画像(リファレンスパターン画像131)を入力して、パターンの輪郭線抽出を実施する(図2のステップP2)。本例では、輪郭線の抽出方法として、本発明者が発明した「輪郭抽出方法及びその装置及びそのプログラム」(特許第04085635号明細書)を用いた。次に、抽出した輪郭線の曲率の変化から特徴点を見つける(図2のステップP3)。本実施例では特徴点を曲率の変化が大きくなるコーナー部分と、各コーナーの中間地点の合計8箇所とし、各特徴点の座標情報を取得した。また、元のSEM画像(リファレンスパターン画像131)において特徴点の位置を中心として法線方向に20個程度の輝度分布データを取得した。リファレンスパターンのSEM画像と特徴点を抽出した結果を図10に示す。
S2・・・欠陥候補パターン探索処理
S3・・・欠陥パターン検出処理
S4・・・重ね合せ比較計測処理
P1・・・リファレンス画像入力
P2・・・輪郭線抽出
P3・・・特徴点抽出
P4・・・特徴点の座標情報取得
P5・・・特徴点の輝度分布データ取得
P6・・・検査画像入力
P7・・・輪郭抽出処理
P8・・・膨張処理
P9・・・パターン探索
P10・・・パターン登録処理
P11・・・リファレンスパターンの特徴点の輝度分布をテンプレート入力
P12・・・欠陥候補パターンの特徴点での輝度分布データを取得
P13・・・相関計算処理
P14・・・欠陥パターンの抽出
1・・・パターン検査装置
11・・・処理装置
12・・・入力装置
13・・・記憶装置
14・・・表示装置
130・・・パターン検査プログラム
131・・・リファレンスパターン画像
132・・・検査対象画像
Claims (8)
- 比較基準となるリファレンスパターン画像における所定の特徴点の位置情報を登録するリファレンスパターン登録手段と、
検査対象画像から抽出された輪郭線の位置情報と前記所定の特徴点の位置情報とに基づいて前記検査対象画像に含まれる欠陥候補パターンを探索する欠陥候補パターン探索手段と、
前記リファレンスパターン画像における前記所定の特徴点に対応した輝度分布情報と前記欠陥候補パターンにおける前記所定の特徴点に対応した輝度分布情報とに基づいて、欠陥パターンを検出する欠陥パターン検出手段と
を備えることを特徴とするパターン検査装置。 - 前記リファレンスパターンと前記欠陥パターンとを重ね合せ表示しその差分を計測する重ね合せ計測手段を
さらに備えることを特徴とする請求項1に記載のパターン検査装置。 - 前記所定の特徴点が、前記リファレンスパターン画像から抽出された輪郭線の曲率変化が比較的大きな位置に対応するものである
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のパターン検査装置。 - 前記輝度分布情報が、前記特徴点における法線方向の輝度分布に基づくものである
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のパターン検査装置。 - 前記欠陥パターン検出手段が、前記リファレンスパターン画像における前記所定の特徴点に対応した輝度分布情報と前記欠陥候補パターンにおける前記所定の特徴点に対応した輝度分布情報との相関係数を計算した結果に基づいて、前記欠陥パターンを検出する
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のパターン検査装置。 - 前記欠陥候補パターン探索手段が、前記検査対象画像から抽出された輪郭線の各座標における有無を示す2値情報と、前記所定の特徴点の位置情報とに基づいて、前記検査対象画像に含まれる欠陥候補パターンを探索する
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のパターン検査装置。 - 前記所定の特徴点が、1つの前記リファレンスパターン画像に対して複数登録されていて、
前記欠陥候補パターン探索手段が、前記検査対象画像に含まれる欠陥候補パターンを探索する際に、その探索処理の対象座標を移動させながら、各前記対象座標において前記特徴点毎に探索処理を行うものであって、1つの前記対象座標においていずれかの前記特徴点で前記検査対象画像から抽出された輪郭線の情報が所定の条件を満たさなかった場合に、他の前記特徴点での探索処理を行わずに、前記探索処理の対象座標を移動させる
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のパターン検査装置。 - 比較基準となるリファレンスパターン画像における所定の特徴点の位置情報を登録するリファレンスパターン登録処理と、
検査対象画像から抽出された輪郭線の位置情報と前記所定の特徴点の位置情報とに基づいて前記検査対象画像に含まれる欠陥候補パターンを探索する欠陥候補パターン探索処理と、
前記リファレンスパターン画像における前記所定の特徴点に対応した輝度分布情報と前記欠陥候補パターンにおける前記所定の特徴点に対応した輝度分布情報とに基づいて、欠陥パターンを検出する欠陥パターン検出処理と
を行うことを特徴とするパターン検査方法。
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