JP2010222640A - ガスバリアフィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】減圧下で、無機酸化物からなる蒸着材料6を蒸発させ、高分子フィルム基材の少なくとも一面に無機酸化物膜を形成するガスバリアフィルムの製造方法において、前記蒸着材料6の主たる蒸発方向と直交するように前記高分子フィルム基材の蒸着すべき面を配置し、蒸着材料6と高分子フィルム基材との間に、複数の耐熱性平板5を蒸発方向と平行に配置し、蒸着時は、蒸発した無機酸化物粒子が前記耐熱性平板5間を通過して前記高分子フィルム基材に到達することを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。
【選択図】図2
Description
前記蒸着材料の主たる蒸発方向とほぼ直交するように前記高分子フィルム基材の蒸着すべき面を配置し、
前記蒸着材料と高分子フィルム基材との間に、複数の耐熱性平板を前記蒸発方向とほぼ平行に配置し、
蒸着時は、蒸発した無機酸化物粒子が前記耐熱性平板間を通過して前記高分子フィルム基材に到達することを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法である。
請求項2に記載の発明は、前記高分子フィルム基材を連続的に送り出しながら蒸着を行なうことを特徴とする請求項1に記載のガスバリアフィルムの製造方法である。
請求項3に記載の発明は、前記耐熱性平板を800〜1000℃に加熱しながら蒸着を行なうことを特徴とする請求項1または2に記載のガスバリアフィルムの製造方法である。
したがって本発明によれば、外観不良および表面欠陥が抑制され、かつ高いガスバリア性能を有するガスバリアフィルムが製造され得る。
蒸着材料6と高分子フィルム基材との間には、複数の耐熱性平板5が、蒸着材料6の蒸発方向および高分子フィルム基材の送り出し方向とほぼ平行になるように配置されている。なお本明細書において「ほぼ直交」または「ほぼ平行」とは完全な直交または平行方向に対して15°のずれがあってもよい。
図3は、図2の矢印A方向からみた耐熱性平板の図である。図3において、耐熱性平板5は、10枚の平板からなり、それぞれの耐熱性平板は上記のように蒸着材料6の蒸発方向とほぼ平行となるように配置されている。またそれぞれの耐熱性平板の厚みは、なるべく薄く設定するのが好ましい。耐熱性平板5の幅Wは、高分子フィルム基材上の無機酸化物膜の蒸着幅を勘案して適宜決定される。蒸着時は、蒸発した無機酸化物粒子が耐熱性平板5の間を通過して高分子フィルム基材に到達する。
また、耐熱性平板5を800〜1000℃に加熱しながら蒸着を行なう形態によれば、耐熱性平板5を通過する無機酸化物粒子が活性化され、密着力が向上するとともに、膜の緻密化が図れ、優れたバリア性を持つガスバリアフィルムを提供することが出来る。
図2,3で示す装置を使用してガスバリアフィルムを製造した。
減圧チャンバー内で、酸化珪素からなる蒸着材料を蒸発させ、高分子フィルム基材の一面に無機酸化物膜を形成するにあたり、まず、蒸着材料の主たる蒸発方向とほぼ直交するように高分子フィルム基材の面を配置し、かつ、蒸着材料と高分子フィルム基材との間に、複数の耐熱性平板を前記蒸発方向とほぼ平行に配置した。
なお、本実施例で使用した装置の蒸着幅が400mmであるため、耐熱性平板もその幅に対応させた。すなわち、高分子フィルム基材の送り出し方向と平行となるように耐熱性平板の平面を40mm間隔で9枚平行に設置した。耐熱性平板の厚さは5mmとした。また、蒸着材料およびビーム幅についても蒸着幅に合わせて調整することが望ましい。蒸着材料の蒸発が始まった時点で蒸発装置のシャッターを開け、透明な高分子フィルム基材2上に酸化珪素膜が40nmとなるように成膜ロールスピードを調整した。
実施例1において、耐熱性平板をカーボンヒータを用いて800〜1000℃に加熱した。それ以外は実施例1と同様である。
実施例1において、高分子フィルム基材を傾けて蒸着工程を行なった。高分子フィルム基材の蒸着面は、蒸着材料の主たる蒸発方向と直交する方向から30°傾けられている。
実施例2において、耐熱性平板を用いなかったこと以外は、実施例2と同様である。
表2から、耐熱性平板を用いなかった比較例2は、斜入射成分が蒸着されたと考えられ、水蒸気透過性が悪化した。これに対して耐熱性平板を用いた実施例2は、約3gの優れた水蒸気透過性を示した。
また、表3の結果より耐熱性平板を800〜1000℃に加熱することにより、水蒸気透過性がさらに良好となることが分かる。
2:高分子フィルム基材
3:成膜ロール
4:電子ビーム
5:耐熱性平板
6:蒸着材料
7:冷却板
Claims (3)
- 減圧下で、無機酸化物からなる蒸着材料を蒸発させ、高分子フィルム基材の少なくとも一面に無機酸化物膜を形成するガスバリアフィルムの製造方法において、
前記蒸着材料の主たる蒸発方向とほぼ直交するように前記高分子フィルム基材の蒸着すべき面を配置し、
前記蒸着材料と高分子フィルム基材との間に、複数の耐熱性平板を前記蒸発方向とほぼ平行に配置し、
蒸着時は、蒸発した無機酸化物粒子が前記耐熱性平板間を通過して前記高分子フィルム基材に到達することを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。 - 前記高分子フィルム基材を連続的に送り出しながら蒸着を行なうことを特徴とする請求項1に記載のガスバリアフィルムの製造方法。
- 前記耐熱性平板を800〜1000℃に加熱しながら蒸着を行なうことを特徴とする請求項1または2に記載のガスバリアフィルムの製造方法。
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