JP2010210417A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一対のビーム部6a,6b及び7a,7bで回動自在に支持された重り部4,5に凹部11,13が形成されている。そして、凹部11,13の内壁面及び底壁面と結合され且つ互いに交差する複数(2つ)の補強壁16が凹部11,13内に設けられ、しかも、複数の補強壁16が互いに交差している。故に、x軸方向、y軸方向、z軸方向のあらゆる方向から加わる応力に対して重り部4,5の凹部11,13が形成された部分の変形を抑制することができる。
【選択図】図1
Description
C1=C0−ΔC …(1)
C2=C0+ΔC …(2)
と表すことができる。
C3=C0−ΔC …(3)
C4=C0+ΔC …(4)
と表すことができる。
C1=C0+ΔC …(5)
C2=C0−ΔC …(6)
と表すことができる。
C3=C0−ΔC …(7)
C4=C0+ΔC …(8)
と表すことができる。
4,5 重り部
4a,5a 可動電極
6a,6b ビーム部
7a,7b ビーム部
11,13 凹部
12,14 充実部
16 補強壁
20a,21a 第1の固定電極
20b,21b 第2の固定電極
Claims (5)
- 一面に開口する凹部と凹部を除く充実部が一体に形成された重り部と、前記凹部と充実部が回動方向に沿って並ぶように重り部を回動軸の回りに回動自在に支持するビーム部と、凹部が開口する前記一面と異なる他の一面において凹部と充実部に跨って設けられた可動電極と、可動電極における凹部側と対向する位置に配設された第1の固定電極と、可動電極における充実部側と対向する位置に配設された第2の固定電極と、凹部内に設けられて凹部の内壁面及び底壁面と結合され且つ互いに交差する複数の補強壁とを備えたことを特徴とする加速度センサ。
- 凹部は開口面の法線方向から見て平面視四角形以上の多角形形状に形成され、複数の補強壁は、開口面の法線方向から見てそれぞれ対角線上に配置されていることを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 凹部は開口面の法線方向から見て平面視四角形以上の多角形形状に形成され、複数の補強壁は、凹部の頂角と交わらない位置で内壁面と結合されていることを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 複数の補強壁は、凹部の頂角よりも大きな角度で互いに交差することを特徴とする請求項3記載の加速度センサ。
- 凹部は開口面の法線方向から見て平面視四角形に形成され、複数の補強壁は、開口面の法線方向から見て直交することを特徴とする請求項3記載の加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009056942A JP2010210417A (ja) | 2009-03-10 | 2009-03-10 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009056942A JP2010210417A (ja) | 2009-03-10 | 2009-03-10 | 加速度センサ |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2010210417A true JP2010210417A (ja) | 2010-09-24 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2009
- 2009-03-10 JP JP2009056942A patent/JP2010210417A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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