JP5716149B2 - 加速度センサ - Google Patents
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Description
請求項19の発明は、請求項1乃至18の何れか1項の発明において、センサ部は、可動電極における充実部側と対向する位置に配設された第2の固定電極を備えることを特徴とする。
請求項20の発明は、請求項19の発明において、重り部を内包する枠部と、枠部に形成されて各固定電極に電気的に接続される1対の検出電極とを有し、各検出電極の間、及び各検出電極と枠部との間、及び各検出電極と重り部との間に隙間が設けられたことを特徴とする。
請求項21の発明は、請求項1乃至20の何れか1項の発明において、重り部の重心位置から前記回動軸に下ろした垂線と可動電極の表面とが成す角度が略45度となることを特徴とする。
C1=C0−ΔC …(1)
C2=C0+ΔC …(2)
と表すことができる。
C3=C0−ΔC …(3)
C4=C0+ΔC …(4)
と表すことができる。
C1=C0+ΔC …(5)
C2=C0−ΔC …(6)
と表すことができる。
C3=C0−ΔC …(7)
C4=C0+ΔC …(8)
と表すことができる。
20b,21b 第2の固定電極
4,5 重り部
40,50 充実部
41,51 凹部
4a,5a 可動電極
6a,6b ビーム部
7a,7b ビーム部
Claims (19)
- 一面に開口する凹部と充実部が一体に形成された重り部と、
凹部と充実部とが回動方向に沿って並ぶように重り部を回動自在に支持する1対のビーム部と、
凹部が開口する前記一面と異なる他の一面において凹部と充実部とに跨って設けられた可動電極と、
可動電極における凹部側と対向する位置に配設された第1の固定電極とを有するセンサ部を備え、
1対のビーム部を結ぶ直線を回動軸とした重り部の回動に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量の変化から加速度を検出する加速度センサであって、
ビーム部を重り部の長手方向における略中心から凹部側にずらして配置しており、
前記重り部の固定電極が対向する側と反対側の面と所定の間隔を空けて配置される固定板を有し、固定板の重り部と対向する面には、重り部の付着を防止するための付着防止膜が設けられており、
前記付着防止膜は、固定電極と同時に成形されることを特徴とする加速度センサ。 - 前記重り部に印加された第1の方向の加速度と、第1の方向と直交する第2の方向の加速度とを検出することを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 前記センサ部は、同一のチップに複数形成されることを特徴とする請求項2記載の加速度センサ。
- 前記センサ部が同一のチップに2つ形成され、一方のセンサ部が他方のセンサ部に対して同一平面において180度回転して配置されたことを特徴とする請求項3記載の加速度センサ。
- 前記2つのセンサ部が隣接して配置されたことを特徴とする請求項4記載の加速度センサ。
- 前記センサ部は同一のチップに3つ形成され、2つのセンサ部は、それぞれ残りの1つのセンサ部に対して同一平面において90度及び180度回転して配置されたことを特徴とする請求項3記載の加速度センサ。
- 前記各固定電極の可動電極との対向面、又は可動電極の各固定電極との対向面には突起部が形成されたことを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の加速度センサ。
- 前記突起部は、シリコン又はシリコン酸化膜から形成されたことを特徴とする請求項7記載の加速度センサ。
- 前記突起部は、その表層がカーボン材料から形成されたことを特徴とする請求項7記載の加速度センサ。
- 前記カーボン材料はカーボンナノチューブであることを特徴とする請求項9記載の加速度センサ。
- 前記付着防止膜は、固定電極と同じ材料から形成されたことを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 前記付着防止膜は、半導体製造プロセスを利用して成膜されることを特徴とする請求項1又は11の何れか1項に記載の加速度センサ。
- 前記付着防止膜は、アルミニウム系合金から形成されたことを特徴とする請求項1、11又は12の何れか1項に記載の加速度センサ。
- 前記固定電極と可動電極との間に吸引力を発生させることにより、固定電極と可動電極との間の静電容量の変化を検出することを特徴とする請求項1、11、12又は13の何れか1項に記載の加速度センサ。
- 前記付着防止膜の表面には、有機材料から成る薄膜が設けられたことを特徴とする請求項14記載の加速度センサ。
- 前記薄膜は、ポリイミド薄膜であることを特徴とする請求項15記載の加速度センサ。
- 前記センサ部は、可動電極における充実部側と対向する位置に配設された第2の固定電極を備えることを特徴とする請求項1乃至16の何れか1項に記載の加速度センサ。
- 前記重り部を内包する枠部と、枠部に形成されて各固定電極に電気的に接続される1対の検出電極とを有し、各検出電極の間、及び各検出電極と枠部との間、及び各検出電極と重り部との間に隙間が設けられたことを特徴とする請求項17記載の加速度センサ。
- 前記重り部の重心位置から前記回動軸に下ろした垂線と可動電極の表面とが成す角度が略45度となることを特徴とする請求項1乃至18の何れか1項に記載の加速度センサ。
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FI119299B (fi) * | 2005-06-17 | 2008-09-30 | Vti Technologies Oy | Menetelmä kapasitiivisen kiihtyvyysanturin valmistamiseksi ja kapasitiivinen kiihtyvyysanturi |
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