JP2010203867A - 三次元形状測定方法及び三次元形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 位相シフト法により三次元形状を求める場合において投影部及び撮像部からの距離が既知の位置に基準平板を配して位相の異なる複数の格子縞を投影し、撮像画像から各画素の位相を算出し、算出した位相と既知の距離とから位相−距離関係を算出する。また距離が既知の位置に、距離方向に直交する平面上での2次元座標が既知の基準グリッドを有する基準グリッド平板を配し、基準グリッドに基づいて撮像画像の各画素の二次元座標を算出し、算出した各画素の二次元座標と既知の距離とから距離−二次元座標関係を算出する。実測定時には所定距離の位置に被測定物を配し、位相の異なる複数の格子縞を投影し、撮像画像の各画素の位相を算出し、位相−距離関係に基づいて距離を算出し、距離−二次元座標関係に基づいて画素の二次元座標を算出し、被測定物の三次元形状を求める。
【選択図】図1
Description
白スプレーしたガラス板に格子縞を投影して撮像し、撮像画像各画素の位相Ψ(m,n)を求める。ガラス板をz方向にステップ移動しながら、各座標で位相Ψ(m,n)を計測し、N枚(N=11)の画像から、z(m,n)と位相Ψ(m,n)の関係を、下記式(i)
z(m,n)
=a(m,n)+b(m,n)Ψ(m,n)+c(m,n)Ψ2(m,n) ・(i)
に基づいて最小二乗法で求める。
正弦波状直交格子を印刷して貼ったガラス板を撮像し、撮像画像をフーリエ変換し、格子周期や位相画像を求める。なお、図23は、非特許文献1において用いる座標システムの概略を示しており、CCD(撮像部)は、撮像対象物からの光を撮像レンズを経て受光する。図中、CCDから撮像対象のガラス板への距離方向がzで表され、この距離方向zに対して直交する2つの方向が、それぞれx,yとして表されている。
y=(n−nc)[d+ez] ・・・(iii)
また、レンズの歪による格子縞の撮像歪(撮像位置ずれ)は、フーリエ変換(x方向、y方向の二次元)により位相を求めて、補正している。
図1は、本発明の実施形態に係る三次元形状測定方法及びこの方法を行う測定装置300の概略構成を示している。この三次元形状測定装置300は、被測定物16、基準平板10、基準グリッド平板14を搭載可能なステージ12と、格子縞パターンを測定対象に対して投影する投影部310、測定対象を撮像する撮像部312、後述するキャリブレーション及び実測定処理を行う測定処理部320を有する。測定処理部320は、少なくとも演算部330と、記憶部390を備え、演算部330は、位相算出部340、位相−距離関係算出部350、グリッド−画素座標算出部360、距離−二次元座標関係算出部370、三次元座標算出部380を有する。
次に、上記本実施形態において測定に用いる位相シフト法について説明する。位相シフト法は、図3に示すように、投影部(プロジェクタ)310から、位相の異なる格子縞を被測定物16に投影し、撮像部(カメラ)312で撮像し、得られた格子縞画像の変形量から形状を求める。計測精度は格子縞の投影パターン精度に大きく依存するため、ガラス板やフィルムに描かれた精密な格子を使って投影したり、光干渉により作った格子縞を投影する。
以下、位相シフト法計測原理についてより詳しく説明する。図4のプロジェクタの位置から、位相がπ/2毎異なる正弦波格子縞P(u,v)を順に投影する。投影する正弦波格子縞としては、例えば、図5(a)〜(d)に示すのようなパターンが挙げられる。
・プロジェクタから投射される位相φqの平面(i)
・カメラ撮像素子上の画素qの視線(ii)
の交点である。したがって、例えば全ての画素について、それぞれ、式(3)を用いて位相φを求め、さらに、(i)、(ii)の交点を算出すれば、被測定物の三次元形状が得られる。
(1.高精度計測法概要)
被測定物の形状を精度良く計測するには、
(1)歪のない正弦波パターンを投影、撮像する
(2)平面(i)と直線(ii)の交点を正確に求める
ことが必要である。
投影部310としては、上述の通り一般的なデータプロジェクタが利用可能であるが、データプロジェクタは、プレゼンテーション用に見映えが良くなるように調整されている。よって、このプロジェクタの投影輝度設定値と実際の投影輝度値との関係は、図7に示すように非線形となる。プロジェクタを線形投影するように設定できたとしても、プロジェクタにデータを出力するコンピュータ側のビデオカード出力誤差や、プロジェクタ側のデータ変換誤差・表示デバイス(液晶や、DLP(Digital Light Processing)等)の駆動時の出力誤差などが発生する。
次に、上述のような格子縞を利用した被測定物の三次元形状算出方法と、その際に行う三次元(φ−z,z−x,z−y)キャリブレーションについて説明する。
被測定物の三次元形状は、上述の図6において、プロジェクタおよびカメラのそれぞれの位置、方位(光軸)、レンズの焦点距離、投影素子サイズ、撮像素子サイズなどのパラメータから、幾何学的に算出することができる。
(a)レンズの収差だけでなく、局所的歪についても補正することができる。
(b)幾何学計算を行わないので、高速に処理できる。
図13は、本実施形態に係る位相連結方法とz座標方向のキャリブレーション方法を説明している。本実施形態では、図13(a)に示すように、白色セラミック板(拡散平板)10と精密ステージ12を用いたz方向キャリブレーションシステムを用いて、絶対位相の算出と、この絶対位相とz座標との対応関係(式(4))を求める。ここで、計測領域最遠点からセラミック板をプロジェクタ・カメラに近づけるにつれ、撮像画像の位相が増加することを利用して位相連結を行った。
次に、z座標のより正確な算出方法について説明する。実際に計測される格子縞の位相は0〜2πの範囲にあり、絶対位相は分らない。そこで、図14に示すような(a)粗、(b)細、(c)微細の周期の異なる格子縞を用いることで、本実施形態では、z座標をより精度良く算出することができる。なお、z方向の計測範囲(Zmin〜Zmax)にて、図14(a)の粗格子縞における絶対位相は0〜2π、図14(b)の細格子縞は0〜2πB、図14(c)の微細格子縞は0〜2πC(C>B)変化するものとする。
次に、z座標とx座標、z座標とy座標のキャリブレーションについて説明する。概略すると、まず距離zに、z座標方向に直交するx,y座標が分っているグリッド格子(基準グリッド)を置いて撮像し、撮像画像上の、基準グリッド位置に対する撮像画像各画素の相対位置を線形補間により求める。次に、画像上のこの画素の相対位置に基づいて、各画素の距離zにおけるx,y座標を算出する。これの処理を、順次、距離zを変えて実行し、z座標と算出したx,y座標から上述の式(5),式(6)の関係を、最小自乗法を用いて求めた。
次に、上述のキャリブレーション及び測定原理を用いた三次元形状測定方法の具体例についてさらに図面を参照して説明する。
基本システムは、上述の図1の通りであるが、図17に、具体例に係る三次元形状測定装置301のシステム構成を示す。この装置システムでは、図1の投影部310としてデータプロジェクタ314、撮影部312としてカメラ(CCDカメラ)316を採用している。また、図1の測定処理部320として、ビデオボード及び画像入力ボードを備えたコンピュータ322を採用している。なお、コンピュータ322は、CPUなどによって構成され、図1の演算部330の機能を備える演算部332と、図1の記憶部390に相当し、処理に必要なデータ(例えばキャリブレーションデータ)を記憶しておくメモリ343を備える。
格子縞のz方向キャリブレーション例を図18に示す。キャリブレーション間隔Δzは、粗格子縞:5mm、細格子縞と微細格子縞:1mmとした。なお、キャリブレーション範囲を計測領域より±5mm広げ、近似関数の端部での近似式の歪をほとんどなくした。また、キャリブレーション例は、撮像画像の中央画素を近似したものである。
次に、z−x,z−yキャリブレーションに用いたアルゴリズムの例を説明する。もちろん、採用可能なアルゴリズムは、以下の具体例に限定されるものではない。
(s51)市販の画像処理ライブラリMILを用い、グリッド画像からのグリッド中心座標G[s][t],s=0〜50,t=0〜50を求めた。なお、用いる基準グリッド14は、例えばグリッドディストーション図票(エドモンド・オプティクス社製57983−I)は、φ0.5mmの円形ドット(グリッド)が1mm間隔で、51×51個(縦、横)=2,601個描かれた精密格子パターンである。
(s61)撮像画像の座標算出画素(着目画素)qについて、この画素に最も近いグリッドの座標G[s’][t’]を求めた。
次に、上記キャリブレーションを施した後に、細かい凹凸を持つコインを実計測した結果を図21を参照して説明する。
・画像(a)〜(d)のいずれかにおいて輝度値が飽和しているため、計算不可。
・振幅画像の輝度が小さく、誤差が大きい。
(1)位相シフト法による三次元形状計測器を、市販プロジェクタとTVカメラを利用して構成することができた。
(2)以下の2つの手法を組み込むことで高精度化を図ることができた。
(b)撮像画像各画素の視線上の位相と三次元座標の関係を関数に置き換えたレンズ歪除去
(3)精密ステージにセラミック板を載せ、セラミック板の位置を計測した結果、ステージ位置との差(z)は、距離300±15mmにて、平均値:最大25μm、標準偏差:最大28μmと小さく、高精度計測の可能性が見出された。
Claims (8)
- 位相の異なる複数の格子縞を被測定物に投影し、得られた格子縞画像から位相シフト法により、前記被測定物への距離方向座標と、該距離方向座標に直交する二次元座標とで表される三次元形状を求める三次元形状測定方法であり、
投影部及び撮像部からの距離が既知の位置に基準平板を配し、該基準平板に位相の異なる複数の格子縞を投影し、得られた格子縞の撮像画像から、複数の画素の各位相を算出し、前記算出した位相と前記既知の距離とから位相−距離関係を算出し、
前記投影部及び前記撮像部からの距離が既知の位置に、前記距離方向に直交する平面上での二次元座標が既知の基準グリッドを有する基準グリッド平板を配し、前記基準グリッドに基づいて撮像画像の複数の画素についての各二次元座標を算出し、前記算出した複数の画素の各二次元座標と前記既知の距離とから距離−二次元座標関係を算出し、
実測定時には、
前記投影部及び前記撮像部から所定距離の位置に前記被測定物を配し、
前記被測定物に前記位相の異なる複数の格子縞を投影して、得られた前記格子縞画像から各画素の位相を算出し、前記位相−距離関係に基づいて、対応画素についての距離を算出し、
前記距離−二次元座標関係に基づいて、前記算出した対応画素についての距離から該画素の二次元座標を算出して、前記被測定物の三次元形状を求めることを特徴とする三次元形状測定方法。 - 請求項1に記載の三次元形状測定方法において、
前記位相−距離関係の算出に際し、前記基準平板に、投影領域内での位相変化が2π以下の周期の格子縞と、位相変化が2πより大きい周期の格子縞とを投影し、前記位相変化が2πより大きい周期の格子縞の投影時に得られる撮像画像の位相から算出した複数の距離座標候補の内、前記2π周期の格子縞の投影時に得られる撮像画像の位相から算出した距離座標に近い候補を、距離の算出結果とすることを特徴とする三次元形状測定方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の三次元形状測定方法において、
前記位相−距離関係の算出に際し、前記基準平板を異なる複数の距離に設定して、各距離においてそれぞれ各画素の位相を算出し、
前記設定する複数の距離の間隔は、対応してそれぞれ算出される位相の位相差が2π未満を満たすように設定されていることを特徴とする三次元形状測定方法。 - 請求項3に記載の三次元形状測定方法において、
前記距離−二次元座標関係の算出に際し、前記基準グリッド平板を異なる複数の距離に設定して、各距離に対応して各画素の二次元座標を算出し、
前記設定する複数の距離の間隔は、各距離に対応する位相の位相差が2π未満を満たすように設定されていることを特徴とする三次元形状測定方法。 - 位相の異なる複数の格子縞を被測定物に投影し、得られた格子縞画像から位相シフト法により、前記被測定物への距離方向座標と該距離方向座標に直交する二次元座標とで表される三次元形状を求める三次元形状測定装置であり、
前記被測定物を所定位置に配置するステージと、
前記ステージに配置された対象に、位相の異なる複数の格子縞を投影する投影部と、
前記ステージに配置された対象を撮像する撮像部と、
撮像画像に基づいて、前記被測定物の三次元形状を求める測定処理部と、を有し、
前記測定処理部は、位相算出部と、位相−距離関係算出部と、画素の二次元座標算出部と、距離−二次元座標関係算出部と、三次元座標算出部と、を有し、
前記位相算出部は、前記投影部及び前記撮像部からの距離が既知の位置に基準平板を配し、該基準平板に位相の異なる複数の格子縞を投影した際に、得られた格子縞の撮像画像から、複数の画素の各位相を算出し、
前記位相−距離関係算出部は、前記算出された位相と前記既知の距離とから位相−距離関係を算出し、
前記画素の二次元座標算出部は、前記投影部及び前記撮像部からの距離が既知の位置に、前記距離方向に直交する平面上での二次元座標が既知の基準グリッドを有する基準グリッド平板を配した際に、前記基準グリッドの二次元座標に基づいて撮像画像の複数の画素についての各二次元座標を算出し、
前記距離−二次元座標関係算出部は、前記算出された複数の画素の各二次元座標と前記既知の距離とから距離−二次元座標関係を算出し、
実測定時において、
前記位相算出部は、前記投影部及び前記撮像部から所定距離の位置に前記被測定物を配し、前記被測定物に前記位相の異なる複数の格子縞を投影して、得られた前記格子縞画像から各画素の位相を算出し、
前記三次元座標算出部は、前記位相−距離関係に基づいて対応画素についての距離を算出し、前記距離−二次元座標関係に基づいて、前記算出した対応画素についての距離から該画素の二次元座標を算出して、前記被測定物の三次元形状を求めることを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項5に記載の三次元形状測定装置において、
前記投影部は、投影領域内での位相変化が2π以下の周期の格子縞と、位相変化が2πより大きい周期の格子縞とを投影可能であり、
前記位相−距離関係の算出に際し、前記投影部は、前記基準平板に、前記投影領域内での位相変化が2π以下の周期の格子縞と、前記位相変化が2πより大きい周期の格子縞とを投影し、
前記位相−距離算出部は、前記位相変化が2πより大きい周期の格子縞の投影時に得られる撮像画像の位相から算出した複数の距離座標候補の内、前記2π周期の格子縞の投影時に得られる撮像画像の位相から算出した距離座標に近い候補を、撮像画像の位相に対応した距離とすることを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項5又は請求項6に記載の三次元形状測定装置において、
前記ステージには、前記位相−距離関係の算出に際しては、前記基準平板が設置され、前記距離−二次元座標関係の算出に際しては、前記基準グリッド平板が設置され、
かつ、前記基準平板及び前記基準グリッド基板は、前記ステージによって、前記投影部及び前記撮影部に対してそれぞれ複数の異なる距離位置に設定可能であり、
前記ステージによって前記設定される複数の距離の間隔は、対応してそれぞれ算出される位相の位相差が2π未満を満たすように設定されていることを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載の三次元形状測定方法又は装置において、
被測定物に投影される前記位相の異なる複数の格子縞は、正弦波格子縞であることを特徴とする三次元形状測定方法又は装置。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012202771A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Fujitsu Ltd | 計測対象の3次元表面形状算出方法及び3次元表面形状計測装置 |
WO2013107076A1 (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-25 | 东南大学 | 一种光学三维测量中的自适应窗口傅里叶相位提取法 |
JP2013213769A (ja) * | 2012-04-03 | 2013-10-17 | Canon Inc | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
JP2015087321A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 制御装置、ロボット、制御システム、制御方法、及び制御プログラム |
CN104655050A (zh) * | 2013-11-18 | 2015-05-27 | 精工爱普生株式会社 | 校准方法以及形状测定装置 |
CN104729429A (zh) * | 2015-03-05 | 2015-06-24 | 深圳大学 | 一种远心成像的三维形貌测量***标定方法 |
JP2017126267A (ja) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 株式会社Pfu | 画像処理システム、画像処理方法及びコンピュータプログラム |
JP2017194273A (ja) * | 2016-04-18 | 2017-10-26 | 富士通株式会社 | 表面検査方法、表面検査装置および表面検査プログラム |
JP2017538116A (ja) * | 2014-12-22 | 2017-12-21 | サイバーオプティクス コーポレーション | 三次元計測システムの校正を更新する方法 |
CN108629840A (zh) * | 2018-05-10 | 2018-10-09 | 苏州大学 | 一种建立logo三维轮廓的方法、装置和设备 |
WO2019111837A1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-13 | 株式会社日立ハイテクファインシステムズ | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
CN116182744A (zh) * | 2022-11-16 | 2023-05-30 | 安徽大学 | 一种用于条纹投影三维测量的伽马非线性误差矫正方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3381350B1 (en) * | 2017-03-31 | 2022-02-09 | Nidek Co., Ltd. | Subjective optometry apparatus and subjective optometry program |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1096606A (ja) * | 1996-09-24 | 1998-04-14 | Wakayama Univ | 形状計測方法及び装置 |
JPH11166818A (ja) * | 1997-12-04 | 1999-06-22 | Suzuki Motor Corp | 三次元形状計測装置の校正方法及び校正装置 |
JP2001012925A (ja) * | 1999-04-30 | 2001-01-19 | Nec Corp | 三次元形状計測方法及び装置並びに記録媒体 |
-
2009
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1096606A (ja) * | 1996-09-24 | 1998-04-14 | Wakayama Univ | 形状計測方法及び装置 |
JPH11166818A (ja) * | 1997-12-04 | 1999-06-22 | Suzuki Motor Corp | 三次元形状計測装置の校正方法及び校正装置 |
JP2001012925A (ja) * | 1999-04-30 | 2001-01-19 | Nec Corp | 三次元形状計測方法及び装置並びに記録媒体 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012202771A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Fujitsu Ltd | 計測対象の3次元表面形状算出方法及び3次元表面形状計測装置 |
WO2013107076A1 (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-25 | 东南大学 | 一种光学三维测量中的自适应窗口傅里叶相位提取法 |
KR101475382B1 (ko) * | 2012-01-19 | 2014-12-22 | 사우스이스트 유니버시티 | 광학적 3차원 측량의 자기 적응 윈도우 푸리에 위상추출방법 |
JP2013213769A (ja) * | 2012-04-03 | 2013-10-17 | Canon Inc | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
JP2015087321A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 制御装置、ロボット、制御システム、制御方法、及び制御プログラム |
US9441959B2 (en) | 2013-11-18 | 2016-09-13 | Seiko Epson Corporation | Calibration method and shape measuring apparatus |
JP2015099050A (ja) * | 2013-11-18 | 2015-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | キャリブレーション方法、及び形状測定装置 |
CN104655050A (zh) * | 2013-11-18 | 2015-05-27 | 精工爱普生株式会社 | 校准方法以及形状测定装置 |
JP2017538116A (ja) * | 2014-12-22 | 2017-12-21 | サイバーオプティクス コーポレーション | 三次元計測システムの校正を更新する方法 |
CN104729429A (zh) * | 2015-03-05 | 2015-06-24 | 深圳大学 | 一种远心成像的三维形貌测量***标定方法 |
CN104729429B (zh) * | 2015-03-05 | 2017-06-30 | 深圳大学 | 一种远心成像的三维形貌测量***标定方法 |
JP2017126267A (ja) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 株式会社Pfu | 画像処理システム、画像処理方法及びコンピュータプログラム |
JP2017194273A (ja) * | 2016-04-18 | 2017-10-26 | 富士通株式会社 | 表面検査方法、表面検査装置および表面検査プログラム |
WO2019111837A1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-13 | 株式会社日立ハイテクファインシステムズ | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP2019105458A (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-27 | 株式会社日立ハイテクファインシステムズ | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
CN108629840A (zh) * | 2018-05-10 | 2018-10-09 | 苏州大学 | 一种建立logo三维轮廓的方法、装置和设备 |
CN116182744A (zh) * | 2022-11-16 | 2023-05-30 | 安徽大学 | 一种用于条纹投影三维测量的伽马非线性误差矫正方法 |
CN116182744B (zh) * | 2022-11-16 | 2024-06-04 | 安徽大学 | 一种用于条纹投影三维测量的伽马非线性误差矫正方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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