JP2010197088A - Two-axis tilt stage - Google Patents

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<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a two-axis tilt stage that has favorable operability and can save a space. <P>SOLUTION: The two-axis tilt stage 1 includes a base 11, a tilting table 12, a fulcrum 20, and drive parts 30A, 30B. The drive parts 30A, 30B include: linearly moving parts for moving drive elements 33A, 33B forward and backward at different feed pitches per unit amount of the rotation of each knob 32; and tilting blocks 34 for converting, at predetermined conversion rates tanϕ, amounts of the forward and backward movement of the drive elements 33A, 33B into amounts of movement in a rotational direction which are transmitted to the tilting table 12, wherein each of the tilting blocks 34 is arranged so that points of actions q, p of respective reference points are spaced from the rotary axis by mutually different distances, and predetermined feed pitchs are set to mutually-different values corresponding to the ratios of the distances, and thus, adjustment sensitivities of tilt angles in two axial directions of the tilting table 12 are almost the same. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、２軸チルトステージに関する。例えば、干渉計の光学素子の位置調整などに好適に用いることができる２軸チルトステージに関する。   The present invention relates to a two-axis tilt stage. For example, the present invention relates to a biaxial tilt stage that can be suitably used for position adjustment of an optical element of an interferometer.

従来、干渉計の被検体やレンズなどの位置調整や、露光装置のウエハ位置決めなどでは、２軸チルトステージが用いられている。
例えば、特許文献１には、被検体であるガラスディスクを載置する移動ステージをチルトさせるため、移動ステージを保持する正方形板状のチルト基板と、チルト基板に対向して配置された正方形板状のプレートとを備え、プレートの１角にチルト基板を支持するピボット部が形成され、ピボット部が設けられた１角と隣り合い、互いに対角位置をなす２箇所の角部に、それぞれ、プレートとの対向方向に進退可能に設けられた傾き調整つまみが取り付けられ、プレートとチルト基板との間に圧縮ばねが介装されてなるチルトステージが記載されている。
このチルトステージでは、２箇所の傾き調整つまみの進退量を調整することによって、プレートに対するチルト基板の２軸方向の傾斜角を微小変化させることができるようになっている。 Conventionally, a biaxial tilt stage has been used for adjusting the position of a subject or a lens of an interferometer, or positioning a wafer of an exposure apparatus.
For example, in Patent Document 1, in order to tilt a moving stage on which a glass disk as a subject is to be tilted, a square plate-shaped tilt substrate that holds the moving stage, and a square plate shape that is disposed to face the tilt substrate. A pivot portion for supporting the tilt substrate is formed at one corner of the plate, and the plate is disposed at each of the two corner portions adjacent to the corner at which the pivot portion is provided and at diagonal positions. There is described a tilt stage in which a tilt adjustment knob provided so as to be able to advance and retreat in a direction opposite to the head is attached and a compression spring is interposed between the plate and the tilt substrate.
In this tilt stage, the tilt angle in the biaxial direction of the tilt substrate with respect to the plate can be minutely changed by adjusting the advance / retreat amounts of the two tilt adjustment knobs.

特開２００１−９１２３３号公報JP 2001-91233 A

しかしながら、上記のような従来の２軸チルトステージには、以下のような問題があった。
干渉計の被検体やレンズなどの位置調整や、露光装置のウエハ位置決めなど用いる２軸チルトステージでは、ステージ面の２軸方向の傾斜角を高精度に調整する必要がある。このため、調整作業の作業効率を高めるために、良好な操作性を備える必要がある。
特許文献１に記載の技術では、ピボット部と、各傾き調整つまみとが、正方形板状のプレートの３つの角部にそれぞれ設けられ、かつ、傾き調整つまみは、互いに対角位置に設けられる。これにより、各傾き調整つまみの進退量と２軸方向のチルト量とが一致されている。したがって、２軸方向のチルト量の調整感度が一致する点では、良好な操作性を有している。
しかしながら、このような構成では、傾き調整つまみが対角位置に配置されているため、より操作性を向上するために各傾き調整つまみの大きさを大きくしようとすると、傾き調整つまみ同士の距離を離す必要がある。このため、プレートの外形が大きくなり、装置が大型化してしまうという問題がある。この場合、個々の傾き調整つまみの操作性は向上するが、互いのつまみの位置が離れてしまうため、作業効率は悪化してしまう。
特に、特許文献１の装置のように、中心に測定光の光路を有する場合には、傾き調整つまみが光路に干渉しないように、傾き調整つまみをさらに外周側に配置する必要があるため、装置は一層大型化し、作業効率も悪くなってしまう。
傾き調整つまみを対角位置からずらして配置することで、プレートの大きさを低減し、各傾き調整つまみの位置をずらすことも考えられるが、ピボット部に対する距離を変えると、各傾き調整つまみの調整感度が互いに異なるものとなるので、所望の角度にチルトさせる場合に、チルトさせる方向によって、傾斜調整つまみの調整量（回転量）が違ってくるため、操作性が悪化するという問題がある。 However, the conventional biaxial tilt stage as described above has the following problems.
In a biaxial tilt stage used for adjusting the position of a subject or a lens of an interferometer or wafer positioning of an exposure apparatus, it is necessary to adjust the tilt angle of the stage surface in the biaxial direction with high accuracy. For this reason, in order to improve the work efficiency of the adjustment work, it is necessary to have good operability.
In the technique described in Patent Document 1, the pivot portion and each inclination adjustment knob are provided at three corners of a square plate-like plate, and the inclination adjustment knobs are provided at diagonal positions. Thereby, the advance / retreat amount of each tilt adjustment knob and the tilt amount in the biaxial direction are matched. Therefore, it has good operability in that the adjustment sensitivity of the tilt amount in the biaxial direction matches.
However, in such a configuration, since the tilt adjustment knobs are arranged at diagonal positions, to increase the size of each tilt adjustment knob in order to further improve operability, the distance between the tilt adjustment knobs is increased. Need to be separated. For this reason, there exists a problem that the external shape of a plate will become large and an apparatus will enlarge. In this case, the operability of the individual tilt adjustment knobs is improved, but the positions of the knobs are separated from each other, so that the work efficiency is deteriorated.
In particular, when the optical path of the measurement light is provided at the center as in the apparatus of Patent Document 1, the inclination adjustment knob needs to be further arranged on the outer peripheral side so that the inclination adjustment knob does not interfere with the optical path. Will become larger and work efficiency will be worsened.
It is possible to reduce the size of the plate by shifting the tilt adjustment knob from the diagonal position and to shift the position of each tilt adjustment knob. However, if the distance to the pivot is changed, each tilt adjustment knob Since the adjustment sensitivities are different from each other, when tilting to a desired angle, the adjustment amount (rotation amount) of the tilt adjustment knob differs depending on the tilting direction.

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、良好な操作性を有するとともに省スペース化を図ることができる２軸チルトステージを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a biaxial tilt stage that has good operability and can save space.

上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、傾斜の基準面を有する基台と、該基台の前記基準面と反対側に対向して配置された傾斜台と、前記基台と前記傾斜台との間に設けられ前記傾斜台を前記基台に対して回動可能に支持する支点部と、前記傾斜台を前記支点部の中心を通る２つの回動軸回りにそれぞれ回動させて、前記基台に対する前記傾斜台の２軸方向の傾斜角を変化させる２つの傾斜駆動機構とを備える２軸チルトステージであって、前記傾斜駆動機構は、前記基台に設けられ、棒状の駆動子を該駆動子の軸方向に進退させる直動部と、該直動部の進退移動量を調整する調整部と、前記直動部の前記駆動子の先端の進退移動量を、前記回動軸回りの回動方向の移動量に所定の変換比で変換して前記傾斜台に伝達する回動力伝達部とを備え、前記２つの傾斜駆動機構の各回動力伝達部は、前記傾斜台の傾斜角変化の基準位置の状態における回動力の伝達位置である各基準位置作用点が、前記回動軸から互いに異なる距離だけ離間されるように設けられ、
前記２つの傾斜駆動機構は、前記各基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比に応じて、前記各調整部の単位調整量当たりの前記各駆動子の進退移動量、および前記各回動力伝達部の前記各所定の変換比の少なくともいずれかを、互いに異なる値に設定して、前記各調整部による前記傾斜台の２軸方向の傾斜角の調整感度が略同一となるようにした構成とする。
ここで、「２軸方向の傾斜角の調整感度が略同一」とは、調整部の単位調整量に対する傾斜角の変化量の大きさが、２つの傾斜駆動機構の間で略同一であることを意味する。 In order to solve the above-mentioned problem, in the invention according to claim 1, a base having an inclined reference surface, an inclined base disposed opposite to the reference surface of the base, A fulcrum part provided between a base and the tilting table and rotatably supporting the tilting table with respect to the base; and the tilting table around two rotation axes passing through the center of the fulcrum part A two-axis tilt stage, each of which is rotated to change the tilt angle of the tilt base with respect to the base in two axial directions. The tilt drive mechanism is provided on the base. A linear motion part that moves the rod-shaped drive element back and forth in the axial direction of the drive element, an adjustment part that adjusts an advance / retreat movement amount of the linear motion part, and an advance / retreat movement amount of the tip of the drive element of the linear motion part Is converted into a movement amount in the rotation direction around the rotation axis at a predetermined conversion ratio and transmitted to the tilt table. A power transmission unit, and each turning power transmission unit of the two tilt drive mechanisms is configured such that each reference position action point that is a transmission position of the turning power in a reference position state of the tilt angle change of the tilting table is rotated. Provided to be spaced apart from each other by different distances,
The two tilt drive mechanisms are configured so that the forward / backward movement amount of each driver element per unit adjustment amount of each adjustment unit, and each rotation according to the ratio of the distance from the rotation axis of each reference position action point. At least one of the predetermined conversion ratios of the power transmission unit is set to a value different from each other so that the adjustment sensitivity of the tilt angle in the biaxial direction of the tilt table by the respective adjustment units is substantially the same. The configuration.
Here, “the adjustment sensitivity of the inclination angle in the biaxial direction is substantially the same” means that the amount of change in the inclination angle with respect to the unit adjustment amount of the adjustment unit is substantially the same between the two inclination drive mechanisms. Means.

請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の２軸チルトステージにおいて、前記２つの傾斜駆動機構の前記回動力伝達部は、前記駆動子の先端が摺接されるガイド溝を有し、該ガイド溝の延設方向が、前記駆動子の軸方向および前記傾斜台の被傾斜面に対して傾斜された傾斜ブロックからなる構成とする。   According to a second aspect of the present invention, in the biaxial tilt stage according to the first aspect, the turning power transmission portion of the two tilt drive mechanisms has a guide groove with which the tip of the driver is slidably contacted. The extending direction of the guide groove is composed of an inclined block inclined with respect to the axial direction of the driver and the inclined surface of the inclined base.

請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の２軸チルトステージにおいて、前記各傾斜ブロックの前記ガイド溝の延設方向の勾配を互いに等しくすることで、前記各所定の変換比の大きさを一致させるともに、前記２つの傾斜駆動機構における前記調整部の単位調整量当たりの前記駆動子の進退移動量の比率を前記基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させた構成とする。   According to a third aspect of the present invention, in the biaxial tilt stage according to the second aspect, the gradients in the extending direction of the guide grooves of the inclined blocks are made equal to each other, whereby the predetermined conversion ratio is increased. And the ratio of the forward / backward movement amount of the driver per unit adjustment amount of the adjustment unit in the two tilt drive mechanisms is made to match the ratio of the distance from the rotation axis of the reference position action point. The configuration is as follows.

請求項４に記載の発明では、請求項２に記載の２軸チルトステージにおいて、前記各調整部の単位調整量当たりの前記駆動子の進退移動量を一致させるとともに、前記２つの傾斜駆動機構における前記傾斜ブロックの前記ガイド溝の延設方向の勾配の比率を前記基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させた構成とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the biaxial tilt stage according to the second aspect, the forward / backward movement amount of the driver per unit adjustment amount of each of the adjustment units is matched, and the two tilt drive mechanisms The gradient ratio of the inclined block in the extending direction of the guide groove is configured to match the ratio of the distance from the rotation axis of the reference position action point.

請求項５に記載の発明では、請求項１〜４のいずれかに記載の２軸チルトステージにおいて、前記傾斜駆動機構の前記直動部は、前記駆動子が、前記基台および前記傾斜台に挟まれる位置に配置された構成とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the biaxial tilt stage according to any one of the first to fourth aspects, the linearly moving portion of the tilt drive mechanism is configured such that the driver is connected to the base and the tilt base. It is set as the structure arrange | positioned in the position pinched | interposed.

請求項６に記載の発明では、請求項１〜５のいずれかに記載の２軸チルトステージにおいて、前記２つの傾斜駆動機構の前記各調整部は、回転操作によって前記直動部の進退量を調整する回転操作部材を備え、前記２つの傾斜駆動機構の前記各直動部は、前記回転操作部材の単位回転量に応じて、前記駆動子が一定の送りピッチでねじ送りされるねじ送り機構を備える構成とする。   According to a sixth aspect of the present invention, in the biaxial tilt stage according to any one of the first to fifth aspects, the adjustment units of the two tilt drive mechanisms can adjust the advance / retreat amount of the linear motion unit by a rotation operation. A screw feed mechanism including a rotary operation member to be adjusted, wherein each of the linearly moving portions of the two tilt drive mechanisms is screw-fed at a constant feed pitch according to a unit rotation amount of the rotary operation member. It is set as the structure provided with.

請求項７に記載の発明では、請求項６に記載の２軸チルトステージにおいて、前記傾斜駆動機構の前記回転操作部材は、前記基台および前記傾斜台の側方に設けられた構成とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the biaxial tilt stage according to the sixth aspect, the rotation operation member of the tilt driving mechanism is provided on a side of the base and the tilt base.

請求項８に記載の発明では、請求項７に記載の２軸チルトステージにおいて、前記基台および前記傾斜台は、略矩形板状の部材からなり、前記２つの傾斜駆動機構の前記直動変換機構の前記駆動子の進退方向が、それぞれ前記基台および前記傾斜台の短辺に略沿う方向に設けられ、前記２つの傾斜駆動機構の前記回転操作部材が、それぞれ前記基台および前記傾斜台の一方の長辺側の側方に設けられた構成とする。   According to an eighth aspect of the present invention, in the biaxial tilt stage according to the seventh aspect, the base and the tilt table are made of a substantially rectangular plate-like member, and the linear motion conversion of the two tilt drive mechanisms. The forward and backward directions of the drive element of the mechanism are provided in directions substantially along the short sides of the base and the tilt base, respectively, and the rotation operation members of the two tilt drive mechanisms are the base and the tilt base, respectively. It is set as the structure provided in the side of one long side.

本発明の２軸チルトステージによれば、回動軸からの距離が互いに異なる位置にそれぞれの回動力伝達部の基準位置作用点が位置するため、基台の形状、大きさや、２つの傾斜駆動機構の配置位置の設定が容易となるとともに、２つの傾斜駆動機構の傾斜角の調整感度が略同一であるため、良好な操作性を有するとともに省スペース化を図ることができるという効果を奏する。   According to the biaxial tilt stage of the present invention, the reference position operating point of each rotational power transmission unit is located at a position where the distances from the rotation axis are different from each other. The arrangement position of the mechanism can be easily set, and the adjustment sensitivity of the inclination angle of the two inclination drive mechanisms is substantially the same, so that it has an effect that it has good operability and can save space.

本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの模式的な平面図である。1 is a schematic plan view of a biaxial tilt stage according to a first embodiment of the present invention. 図１のＡ−Ａ断面図およびＢ−Ｂ断面図である。It is AA sectional drawing and BB sectional drawing of FIG. 本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの回動力伝達部の模式的な斜視図である。It is a typical perspective view of the rotational force transmission part of the biaxial tilt stage which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの一方の傾斜駆動機構の回動軸に直交する断面における模式的な動作説明図である。It is typical operation explanatory drawing in the section which intersects perpendicularly with the axis of rotation of one tilt drive mechanism of the 2 axis tilt stage concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの他方の傾斜駆動機構の回動軸に沿う方向の断面、および回動軸に直交する方向の断面における模式的な動作説明図、である。FIG. 5 is a schematic operation explanatory diagram in a cross section in a direction along the rotation axis of the other tilt drive mechanism of the biaxial tilt stage according to the first embodiment of the present invention, and a cross section in a direction orthogonal to the rotation axis. . 本発明の第２の実施形態に係る２軸チルトステージの模式的な平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view of a biaxial tilt stage according to a second embodiment of the present invention. 図４のＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図である。It is CC sectional drawing and DD sectional drawing of FIG.

以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In all the drawings, even if the embodiments are different, the same or corresponding members are denoted by the same reference numerals, and common description is omitted.

［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージについて説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの模式的な平面図である。図２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ図１のＡ−Ａ断面図およびＢ−Ｂ断面図である。図３は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの回動力伝達部の模式的な斜視図である。 [First Embodiment]
A biaxial tilt stage according to a first embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic plan view of a two-axis tilt stage according to the first embodiment of the present invention. FIGS. 2A and 2B are an AA cross-sectional view and a BB cross-sectional view of FIG. 1, respectively. FIG. 3 is a schematic perspective view of the rotational power transmission unit of the biaxial tilt stage according to the first embodiment of the present invention.

本実施形態の２軸チルトステージ１は、例えば、光学機器の光軸調整、干渉計の光学素子の位置調整や露光装置のウエハの位置決めなどのため、ステージの被傾斜面の２軸方向の傾斜角を高精度に調整する場合に好適となるものである。このような用途では、傾斜角の変化範囲は、例えば、±１°程度の範囲の微小角となっている。
２軸チルトステージ１の概略構成は、図１、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、基台１１、支点部２０、傾斜台１２、駆動部３０Ａ、３０Ｂ（傾斜駆動機構）、およびコイルばね４０からなる。 The biaxial tilt stage 1 of the present embodiment is tilted in the biaxial direction of the inclined surface of the stage, for example, for optical axis adjustment of an optical device, optical element position adjustment of an interferometer, wafer positioning of an exposure apparatus, etc. This is suitable for adjusting the angle with high accuracy. In such an application, the change range of the tilt angle is, for example, a minute angle in a range of about ± 1 °.
As shown in FIGS. 1, 2A, and 2B, the schematic configuration of the biaxial tilt stage 1 includes a base 11, a fulcrum part 20, an inclined base 12, driving units 30A and 30B (inclined driving mechanism), And a coil spring 40.

基台１１は、２軸チルトステージ１の底部を構成するもので、本実施形態では、一例として、矩形の板状部材からなる。基台１１の下面である基準面１１ａは、２軸チルトステージ１の傾斜の基準面を構成するとともに、例えば干渉計等の他の装置への設置面を兼ねている。
基準面１１ａと反対側の上面１１ｂ上には、基台１１の１つの隅部において、傾斜台１２を回動可能に支持するための支点部２０が設けられている。 The base 11 constitutes the bottom of the biaxial tilt stage 1 and is formed of a rectangular plate-like member as an example in the present embodiment. The reference surface 11a which is the lower surface of the base 11 constitutes a reference surface for tilting the two-axis tilt stage 1 and also serves as an installation surface for other devices such as an interferometer.
On an upper surface 11b opposite to the reference surface 11a, a fulcrum portion 20 is provided at one corner of the base 11 so as to rotatably support the inclined table 12.

支点部２０は、図２（ａ）に示すように、良好な真球度を有する鋼球２３、および受け台２２ａ、２２ｂからなる。
受け台２２ａは、下面側が基台１１の上面１１ｂの隅部に固定されている。また、受け溝２２ａの上面側には鋼球２３を一定位置に固定するため、半球状あるいはすり鉢状などの凹部形状からなる受け溝２２ｃを備えている。本実施形態の鋼球２３は受け溝２２ｃに固着され、受け台２２ａと一体化されている。
受け台２２ｂは、例えば、すり鉢状あるいは半球状など、鋼球２３の表面に摺接して鋼球２３の中心Ｏ回りに回動可能とされた凹部形状からなる受け溝２２ｄを備える。
受け溝２２ｄの反対側の面は、後述する傾斜台１２の下面１２ｂに固定されている。そして、受け溝２２ｄは、受け台２２ａと一体化された鋼球２３の中心Ｏ回りに回動可能に係止されている。
以下では、このように受け台２２ａ、２２ｂで挟持された鋼球２３の中心Ｏを、支点部２０の中心Ｏと称する。 As shown in FIG. 2 (a), the fulcrum part 20 is composed of a steel ball 23 having good sphericity and cradles 22a and 22b.
The cradle 22 a has a lower surface side fixed to a corner of the upper surface 11 b of the base 11. In addition, a receiving groove 22c having a concave shape such as a hemispherical shape or a mortar shape is provided on the upper surface side of the receiving groove 22a in order to fix the steel ball 23 at a fixed position. The steel ball 23 of the present embodiment is fixed to the receiving groove 22c and integrated with the receiving base 22a.
The cradle 22b includes, for example, a receiving groove 22d having a concave shape such as a mortar shape or a hemispherical shape that is slidably contacted with the surface of the steel ball 23 and is rotatable around the center O of the steel ball 23.
The opposite surface of the receiving groove 22d is fixed to the lower surface 12b of the tilting table 12 described later. And the receiving groove 22d is latched so that rotation around the center O of the steel ball 23 integrated with the receiving stand 22a is possible.
Hereinafter, the center O of the steel ball 23 sandwiched between the cradles 22 a and 22 b in this way is referred to as the center O of the fulcrum part 20.

傾斜台１２は、基台１１と略同一の大きさを有する矩形の板状部材であり、基台１１の基準面１１ａと反対に対向して配置されている。傾斜台１２および基台１１の大きさは、必ずしも同じである必要はないが、以下では、簡単のため、傾斜台１２が基台１１と同一の大きさを有し、それぞれの平面視の外形が、互いに重なり合うように対向して配置されているものとして説明する。
傾斜台１２の上面は、基台１１の基準面１１ａに対して傾斜させる面である被傾斜面１２ａを構成している。被傾斜面１２ａは、例えば、ミラーなどの光学素子やウエハなどのチルト調整を要する被検体を直接載置できるようになっていてもよいし、例えば、被検体であるレンズなどの光学素子を保持する保持治具などを載置できるようになっていてもよい。このため、被傾斜面１２ａの形状は、平面のみには限定されず、例えば、保持治具などを位置決めしたり固定したりするための適宜の凹凸形状や、ねじ穴等が設けられていてもよい。
被傾斜面１２ａの裏面である下面１２ｂには、受け台２２ａに対向する位置に支点部２０の受け台２２ｂが固定されている。 The inclined base 12 is a rectangular plate-like member having substantially the same size as the base 11, and is disposed opposite to the reference surface 11 a of the base 11. The sizes of the tilting table 12 and the base 11 are not necessarily the same, but in the following, for the sake of simplicity, the tilting table 12 has the same size as the base 11, and the external shape of each plan view However, it demonstrates as what is arrange | positioned facing so that it may mutually overlap.
The upper surface of the tilting table 12 constitutes a tilted surface 12 a that is a surface tilted with respect to the reference surface 11 a of the base 11. The inclined surface 12a may be configured such that an optical element such as a mirror or an object requiring tilt adjustment such as a wafer can be directly placed thereon, or holds an optical element such as a lens as the object. A holding jig or the like may be placed. For this reason, the shape of the inclined surface 12a is not limited to a flat surface. For example, even if an appropriate uneven shape for positioning or fixing a holding jig or the like, a screw hole, or the like is provided. Good.
A cradle 22b of the fulcrum 20 is fixed to the lower surface 12b, which is the back surface of the inclined surface 12a, at a position facing the cradle 22a.

駆動部３０Ａは、支点部２０の中心Ｏを通り、基台１１の基準面１１ａに平行で、基台１１および傾斜台１２の長辺に略平行な直線ＬＹ回りに、基準面１１ａに対する傾斜台１２の傾斜角を変化させるための傾斜駆動機構である。直線ＬＹは、駆動部３０Ａのみによって傾斜台１２の傾斜角を変化させる場合の回動軸である。
本実施形態の駆動部３０Ａは、図２（ａ）に示すように、駆動子３３Ａ、ナット板３１Ａ、つまみ３２（回転操作部材）、および傾斜ブロック３４（回動力伝達部）を備える。
以下では、基準面１１ａに対して被傾斜面１２ａが平行となる位置を中心として、微小な角度±θの範囲で傾斜角を変化させる場合の例で説明する。すなわち、図１、図２（ａ）、（ｂ）に示すような基準面１１ａに対して被傾斜面１２ａが平行となる位置（被傾斜面１２ａの傾斜角が０°）が、傾斜角変化の基準位置である場合の例で説明する。
ただし、これは一例であって、傾斜角変化の基準位置は、０°以外の傾斜角に設定してもよいし、傾斜角変化の基準位置からの傾斜角変化範囲は非対称であってもよい。 Drive unit 30A passes through the center O of the fulcrum portion 20, parallel to the reference plane 11a of the base 11, substantially parallel to the straight line L Y around the long sides of the base 11 and the inclined base 12, inclined with respect to the reference plane 11a This is a tilt drive mechanism for changing the tilt angle of the table 12. The straight line LY is a rotation axis when the tilt angle of the tilt base 12 is changed only by the drive unit 30A.
As shown in FIG. 2A, the drive unit 30A of the present embodiment includes a drive element 33A, a nut plate 31A, a knob 32 (rotation operation member), and an inclined block 34 (rotation power transmission unit).
Hereinafter, an example will be described in which the tilt angle is changed within a minute angle ± θ around the position where the tilted surface 12a is parallel to the reference surface 11a. That is, the position at which the inclined surface 12a is parallel to the reference surface 11a as shown in FIGS. 1, 2A, and 2B (the inclination angle of the inclined surface 12a is 0 °) changes the inclination angle. An example in the case of the reference position will be described.
However, this is only an example, and the reference position of the change in the inclination angle may be set to an inclination angle other than 0 °, and the change range of the inclination angle from the reference position of the change in inclination angle may be asymmetric. .

駆動子３３Ａは、先端側に半球状の先端突起３３ｃを有し、後端側の外周部にねじピッチがｄＡの雄ねじ部３３ａが形成された棒状部材である。
ナット板３１Ａは、基台１１の支点部２０からより離れた側の長辺近傍の上面１１ｂ上に、支点部２０と対向する位置に立設された板状の支持部材であり、駆動子３３Ａの雄ねじ部３３ａと螺合する雌ねじ部３１ａが設けられている。
ナット板３１Ａの雌ねじ部３１ａは、基準面１１ａに平行な平面内において、支点部２０の中心Ｏを通り、直線ＬＹと直交する直線ＬＡに、雌ねじ部３１ａの中心軸線が同軸となる位置に設けられている。
本実施形態では、直線ＬＡは、基台１１および傾斜台１２の短辺に略平行な直線となっている。 Driver elements 33A has a hemispherical tip projection 33c on the distal end side, the thread pitch on the outer peripheral portion of the rear side is rod-shaped member which the male screw portion 33a is formed of d A.
The nut plate 31A is a plate-like support member erected on the upper surface 11b in the vicinity of the long side on the side farther from the fulcrum part 20 of the base 11 at a position facing the fulcrum part 20, and the drive element 33A. A female screw portion 31a that is screwed with the male screw portion 33a is provided.
Internal thread portion 31a of the nut plate 31A is in a plane parallel to the reference plane 11a, passes through the center O of the fulcrum portion 20, the straight line L A which is perpendicular to the straight line L Y, a position where the center axis of the internal thread portion 31a is coaxial Is provided.
In the present embodiment, the straight line L A is a straight line substantially parallel to the short side of the base 11 and the inclined base 12.

つまみ３２は、駆動子３３Ａをその中心軸回りに回転させる回転操作を行うため、駆動子３３Ａの先端突起３３ｃと反対側の端部において駆動子３３Ａと固定された円板状の部材である。円板の中心軸は、駆動子３３Ａの中心軸線と同軸に整列されている。   The knob 32 is a disk-like member fixed to the driver 33A at the end opposite to the tip protrusion 33c of the driver 33A in order to perform a rotation operation for rotating the driver 33A around its central axis. The central axis of the disc is aligned coaxially with the central axis of the driver 33A.

このような構成により、つまみ３２を回転させると、ナット板３１Ａに螺合された駆動子３３Ａが回転角に応じて軸方向に螺進される。このため、駆動子３３Ａおよびナット板３１Ａは、駆動子３３Ａを直線ＬＡ上で進退する直動運動を行うねじ送り機構を構成しており、つまみ３２は回転操作部材を構成している。
また、駆動子３３Ａ、およびナット板３１Ａは、基台１１に設けられ、棒状の駆動子３３Ａを駆動子３３Ａの軸方向に進退させる直動部を構成している。
本実施形態では、つまみ３２は駆動子３３Ａに直結されているため、つまみ３２を一回転させると、駆動子３３Ａが、雄ねじ部３３ａのねじピッチｄＡだけ進退するようになっている。以下では、ねじピッチｄＡを駆動部３０Ａの送りピッチｄＡと称する場合がある。 With this configuration, when the knob 32 is rotated, the driver 33A screwed with the nut plate 31A is screwed in the axial direction according to the rotation angle. Therefore, the driver elements 33A and the nut plate 31A is the driver elements 33A constitute a screw feed mechanism for linear movement of forward and backward on the straight line L A, the knob 32 constitute the rotation operating member.
Further, the driver 33A and the nut plate 31A are provided on the base 11, and constitute a linear motion part that moves the rod-like driver 33A forward and backward in the axial direction of the driver 33A.
In this embodiment, since the knob 32 is directly connected to the drive element 33A, when the knob 32 one revolution, the driver elements 33A is adapted to advance and retreat by the thread pitch d A of the male screw portion 33a. In the following, sometimes referred to as thread pitch d A and the feed pitch d A of the drive unit 30A.

傾斜ブロック３４は、図２（ａ）、図３に示すように、外形が直角三角形状の板部材の斜辺部に、ガイド溝として先端突起３３ｃが摺接可能なＶ溝３４ｂを備える部材であり、斜辺に隣接する一辺である固定部３４ａにおいて、傾斜台１２の下面１２ｂに傾斜台１２と一体に固定されている。
Ｖ溝３４ｂは、Ｖ字状の溝内面を構成する１対の摺動面３４ｃが、傾斜ブロック３４の板厚方向の中心面に対して面対称に形成されている。
ここで、１対の摺動面３４ｃの交線３４ｄはＶ溝３４ｂの延設方向を示している。固定部３４ａに対するＶ溝３４ｂの延設方向のなす角をＶ溝３４ｂの傾斜角と称すると、Ｖ溝３４ｂの傾斜角は、角度φとされている。 As shown in FIGS. 2A and 3, the inclined block 34 is a member provided with a V-groove 34 b in which the tip protrusion 33 c can be slidably contacted as a guide groove on the oblique side portion of a plate member having an outer shape of a right triangle. The fixed portion 34a which is one side adjacent to the oblique side is fixed to the lower surface 12b of the inclined table 12 integrally with the inclined table 12.
In the V-groove 34b, a pair of sliding surfaces 34c constituting the inner surface of the V-shaped groove are formed symmetrically with respect to the center plane of the inclined block 34 in the plate thickness direction.
Here, an intersection line 34d of the pair of sliding surfaces 34c indicates the extending direction of the V-groove 34b. When the angle formed by the extending direction of the V groove 34b with respect to the fixed portion 34a is referred to as the inclination angle of the V groove 34b, the inclination angle of the V groove 34b is an angle φ.

駆動部３０Ａにおける傾斜ブロック３４は、図２（ａ）に示すように、傾斜ブロック３４の板厚方向の中心面が、直線ＬＡを含み基準面１１ａに直交する平面上に整列され、Ｖ溝３４ｂが、ナット板３１が設けられた長辺側から支点部２０が設けられた長辺側に向うとともに傾斜台１２側から基台１１側に向かって、角度φだけ傾斜して延ばされている。
また、この傾斜ブロック３４の直線ＬＡに沿う方向の配置位置は、傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向の中央部で駆動子３３Ａの先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂに当接されるように設定されている。この状態で、先端突起３３ｃが各摺動面３４ｃに接する２点を点ｑで表すと、２点ｑと、駆動部３０Ａによる回動軸である直線ＬＹとの距離は、いずれも距離ＤＡに設定されている。
ここで、２点ｑは、傾斜角の基準位置の状態において、先端突起３３ｃの進退に伴って発生する傾斜台１２に対する直線ＬＹ回りの回動力を、傾斜ブロック３４に伝達する伝達位置になっている。本実施形態では、傾斜ブロック３４は、固定部３４ａで傾斜台１２に一体に固定されているので、２点ｑは、直線ＬＹ回りの回動力を傾斜台１２に伝達する伝達位置ともなっている。このため、以下では、２点ｑを基準位置作用点と称する。
ただし、図面では、基準位置作用点ｑを記載するとかえって紛らわしい場合（例えば、図１の場合）には省略し、基準位置作用点ｑに代えて、２点ｑの中点Ｑを図示している。直線ＬＹと基準位置作用点ｑとの間の距離ＤＡは、距離ＯＱに等しい。
このような傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向は、駆動子３３Ａの進退方向、および被傾斜面１２ａに対して角度φだけ傾斜されている。 Inclined block 34 in the drive unit 30A, as shown in FIG. 2 (a), the plate thickness direction center plane of the angle blocks 34 are aligned on a plane perpendicular to the reference plane 11a including a straight line L A, V groove 34b extends from the long side on which the nut plate 31 is provided to the long side on which the fulcrum 20 is provided and is inclined at an angle φ from the inclined base 12 side to the base 11 side. Yes.
The arrangement position of the direction along the straight line L A of the inclined block 34, abutting at the reference position of the tilt angle, the projecting end 33c is V grooves 34b of the driver elements 33A at the center of the extending direction of the V grooves 34b Is set to be. In this state, to represent the two points projecting end 33c is in contact with the sliding surfaces 34c at point q, and the two points q, the distance between the straight line L Y by the driving unit 30A is rotated shaft are both distance D A is set.
Here, two points q is in the state of the reference position of the inclination angle, becomes a straight line L Y around the rotational force with respect to ramp 12 generated with the reciprocating of the projecting end 33c, the transmission position for transmitting the inclined block 34 ing. In the present embodiment, the inclined block 34, because it is integrally fixed to the inclined base 12 in the fixed portion 34a, 2-point q is made with transmitting position for transmitting the linear L Y around the rotational force to the inclined base 12 . Therefore, hereinafter, the two points q are referred to as reference position action points.
However, in the drawing, the reference position action point q is omitted when it is rather confusing (for example, in the case of FIG. 1), and the midpoint Q of the two points q is shown instead of the reference position action point q. . Distance D A between the straight line L Y and the reference position action point q is equal to the distance OQ.
At the reference position of such an inclination angle, the extending direction of the V groove 34b is inclined by an angle φ with respect to the advance / retreat direction of the driver 33A and the inclined surface 12a.

Ｖ溝３４ｂの長さ、および傾斜ブロック３４の下面１２ｂからの高さは、傾斜台１２の傾斜角を傾斜角の基準位置から±θの間で調整する際に駆動子３３Ａの先端突起３３ｃが進退する全範囲内で、先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂと当接可能であり、かつ、傾斜ブロック３４の下端が、基台１１の上面１１ｂに干渉しない寸法に設定されている。   The length of the V-groove 34b and the height from the lower surface 12b of the inclined block 34 are such that the tip protrusion 33c of the driver 33A is adjusted when the inclination angle of the inclination base 12 is adjusted to ± θ from the reference position of the inclination angle. The tip protrusion 33c can be in contact with the V-groove 34b within the entire range of advancement and retraction, and the lower end of the inclined block 34 is set to a size that does not interfere with the upper surface 11b of the base 11.

駆動部３０Ｂは、直線ＬＡ回りに、基準面１１ａに対する傾斜台１２の傾斜角を変化させるための傾斜駆動機構である。直線ＬＡは、駆動部３０Ｂのみによって傾斜角を変化させる場合の回動軸である。
本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、駆動子３３Ｂ、ナット板３１Ｂ、つまみ３２、および傾斜ブロック３４からなる。 Drive unit 30B is in the straight line L A about a tilting drive mechanism for changing the inclination angle of the inclined base 12 with respect to the reference plane 11a. Linear L A is a rotation shaft of the case of changing the angle of inclination only by the driving unit 30B.
In the present embodiment, as shown in FIG. 2B, the driver 33B, the nut plate 31B, the knob 32, and the inclined block 34 are included.

駆動子３３Ｂは、先端側に先端突起３３ｃを有し、後端側の外周部にねじピッチがｄＢの雄ねじ部３３ｂが形成された棒状部材である。
ナット板３１Ｂは、ナット板３１Ａの雌ねじ部３１ａをねじピッチが雄ねじ部３３ｂと螺合する雌ねじ部３１ｂに代えた他は、ナット板３１Ａと同様の形状を有する板状の支持部材である。このナット板３１Ｂは、ナット板３１Ａの立設位置を直線ＬＹに沿う方向に距離ＤＢ（ただし、ＤＢ＞ＤＡ）だけ平行移動した位置の上面１１ｂ上に立設されている。
ナット板３１Ｂの雌ねじ部３１ｂは、図１、図２（ｂ）に示すように、雌ねじ部３１ｂに雄ねじ部３３ｂが螺合された駆動子３３Ｂの中心軸線が、直線ＬＡ、ＬＹを含む平面上で、直線ＬＡと距離ＤＢだけ離間された平行線である直線ＬＢと同軸の位置関係に支持できる位置に設けられている。
なお、特に図示しないが、駆動子３３Ｂの先端側の中間部には、駆動子３３Ｂが、直線ＬＢ上でより安定して進退できるように、駆動子３３Ｂの中心軸線を基台１１から一定の高さに保持するガイド部材を設けておいてもよい。 Driver elements 33B has a projecting end 33c on the distal end side, the thread pitch on the outer peripheral portion of the rear side is rod-shaped member which the male screw portion 33b is formed in d B.
The nut plate 31B is a plate-like support member having the same shape as the nut plate 31A except that the female screw portion 31a of the nut plate 31A is replaced with a female screw portion 31b whose screw pitch is screwed with the male screw portion 33b. The nut plate 31B, the distance in the direction along the upright position of the nut plate 31A in a straight line L Y D B (however, D B> D A) are erected on only the upper surface 11b of the position moved parallel.
As shown in FIGS. 1 and 2B, the female screw portion 31b of the nut plate 31B includes straight lines L A and L Y at the center axis of the driver 33B in which the male screw portion 33b is screwed to the female screw portion 31b. on a plane, it is provided at a position capable of supporting the straight line L B and a position coaxial relationship parallel lines that are spaced apart by the straight line L a and the distance D B.
Although not specifically shown, the intermediate portion of the front end side of the drive element 33B, the driver elements 33B is, as can be more stably forward and backward on the straight line L B, the central axis of the drive element 33B from the base 11 constant You may provide the guide member hold | maintained at this height.

駆動部３０Ｂのつまみ３２は、駆動子３３Ｂをその中心軸回りに回転させるため、駆動子３３Ｂの先端突起３３ｃと反対側の端部において、駆動子３３Ｂと固定されている。つまみ３２の円板の中心軸は、駆動子３３Ｂの中心軸線と同軸に整列されている。   The knob 32 of the drive unit 30B is fixed to the drive unit 33B at the end opposite to the tip protrusion 33c of the drive unit 33B in order to rotate the drive unit 33B around its central axis. The central axis of the disc of the knob 32 is aligned coaxially with the central axis of the driver 33B.

このような構成により、つまみ３２を回転させると、ナット板３１Ｂに螺合された駆動子３３Ｂが回転角に応じて軸方向に螺進される。このため、駆動子３３Ｂおよびナット板３１Ｂは、駆動子３３Ｂを直線ＬＢ上で進退する直動運動を行うねじ送り機構を構成しており、つまみ３２は回転操作部材を構成している。
また、駆動子３３Ｂ、およびナット板３１Ｂは、基台１１に設けられ、棒状の駆動子３３Ｂを駆動子３３Ｂの軸方向に進退させる直動部を構成している。
本実施形態では、つまみ３２は駆動子３３Ｂに直結されているため、つまみ３２を一回転させると、駆動子３３Ｂが、雄ねじ部３３ｂのねじピッチｄＢだけ進退するようになっている。以下では、ねじピッチｄＢを駆動部３０Ａの送りピッチｄＢと称する場合がある。 With this configuration, when the knob 32 is rotated, the driver 33B screwed to the nut plate 31B is screwed in the axial direction according to the rotation angle. Therefore, the driver elements 33B and the nut plate 31B is a driver element 33B constitute a screw feed mechanism for linear movement of forward and backward on the straight line L B, knob 32 constitute the rotation operating member.
Further, the driver 33B and the nut plate 31B are provided on the base 11, and constitute a linear motion part that advances and retracts the rod-like driver 33B in the axial direction of the driver 33B.
In the present embodiment, since the knob 32 is directly connected to the drive element 33B, when the knob 32 one revolution, the driver elements 33B is adapted to advance and retreat by the thread pitch d B of the male screw portion 33b. In the following, sometimes referred to as thread pitch d B and the feed pitch d B of the drive unit 30A.

駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４は、図２（ｂ）に示すように、傾斜ブロック３４の板厚方向の中心面が、直線ＬＢを含み基準面１１ａに直交する平面上に整列され、Ｖ溝３４ｂが、ナット板３１が設けられた長辺側から支点部２０が設けられた長辺側に向うとともに傾斜台１２側から基台１１側に向かって、角度φだけ傾斜して延ばされている。
また、この傾斜ブロック３４の直線ＬＢに沿う方向の配置位置は、傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向の中央部で駆動子３３Ｂの先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂに当接されるように設定されている。この状態で、先端突起３３ｃが各摺動面３４ｃに接する２点を点ｐで表すと、２点ｐは、直線ＬＡ回りの回動力を傾斜台１２に伝達する伝達位置であり、２点ｑと同様に、基準位置作用点になっている。基準位置作用点ｐと、駆動部３０Ｂによる回動軸である直線ＬＡとの距離は、いずれも距離ＤＢに設定されている。
ただし、図面では、基準位置作用点ｐを記載するとかえって紛らわしい場合（例えば、図１、図５（ｂ）の場合）には省略し基準位置作用点ｐに代えて、２点ｐの中点Ｐを図示している。直線ＬＡと基準位置作用点ｐとの間の距離ＤＢは、距離ＯＰに等しい。
このような傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向は、駆動子３３Ｂの進退方向、および被傾斜面１２ａに対して角度φだけ傾斜されている。 Angle blocks 34 of the drive unit 30B, as shown in FIG. 2 (b), the plate thickness direction center plane of the angle blocks 34 are aligned on a plane perpendicular to the reference plane 11a including a straight line L B, V groove 34b extends from the long side on which the nut plate 31 is provided to the long side on which the fulcrum 20 is provided and is inclined at an angle φ from the inclined base 12 side to the base 11 side. Yes.
Further, the arrangement position in the direction along the straight line L B of the inclined block 34, abutting at the reference position of the tilt angle, the projecting end 33c is V grooves 34b of the driver elements 33B at the center portion of the extending direction of the V grooves 34b Is set to be. In this state, to represent the two points projecting end 33c is in contact with the sliding surfaces 34c at point p, two points p is the transfer position for transferring the linear L A about the rotational force to the inclined base 12, two points Similar to q, this is the reference position action point. And the reference position action point p, the distance between the straight line L A is a rotation axis by the driving portion 30B is set to any distance D B.
However, in the drawing, when it is confusing to describe the reference position action point p (for example, in the case of FIGS. 1 and 5B), it is omitted, and instead of the reference position action point p, the midpoint P of the two points p Is illustrated. Distance D B between the straight line L A and the reference position action point p is equal to the distance OP.
At the reference position of such an inclination angle, the extending direction of the V-groove 34b is inclined by an angle φ with respect to the advance / retreat direction of the driver 33B and the inclined surface 12a.

Ｖ溝３４ｂの長さ、および傾斜ブロック３４の下面１２ｂからの高さは、傾斜台１２の傾斜角を傾斜角の基準位置から±θの間で調整する際に駆動子３３Ｂの先端突起３３ｃが進退する全範囲内で、先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂと当接可能であり、かつ、傾斜ブロック３４の下端が、基台１１の上面１１ｂに干渉しない寸法に設定されている。   The length of the V-groove 34b and the height from the lower surface 12b of the inclined block 34 are determined so that the tip protrusion 33c of the driver 33B is adjusted when the inclination angle of the inclination base 12 is adjusted within ± θ from the reference position of the inclination angle. The tip protrusion 33c can be in contact with the V-groove 34b within the entire range of advancement and retraction, and the lower end of the inclined block 34 is set to a size that does not interfere with the upper surface 11b of the base 11.

本実施形態では、駆動部３０Ａ、３０Ｂの送りピッチｄＡ、ｄＢは、これら送りピッチのｄＡ、ｄＢの比率が、距離ＤＡ、ＤＢの比率と等しくなる関係、ずなわち、次式（１）を満足する関係に設定している。 In this embodiment, the drive unit 30A, the feed pitch d A of 30B, d B is, d A of the feed pitch, the ratio of d B, the distance D A, the ratio a is equal relation D B, Zunawachi, The relationship satisfying the following equation (1) is set.

ｄＡ／ｄＢ＝ＤＡ／ＤＢ ・・・（１） d A / d B = D A / D B (1)

コイルばね４０は、傾斜台１２を、基台１１との間の隙間が狭くなる方向に、基台１１側に付勢する付勢部材である。本実施形態では、図１、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、基台１１と傾斜台１２との間の空間において、駆動部３０Ａの傾斜ブロック３４と支点部２０との間、および駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４と支点部２０との間に、それぞれ１つずつ配置された引っ張りのコイルばねからなる。
これにより、支点部２０の受け台２２ｂは、常に鋼球２３側に付勢され、各傾斜ブロック３４のＶ溝３４ｂは、駆動子３３Ａ、３３Ｂの先端突起３３ｃに付勢されている。 The coil spring 40 is a biasing member that biases the inclined base 12 toward the base 11 in the direction in which the gap between the base 12 and the base 11 becomes narrow. In the present embodiment, as shown in FIGS. 1, 2A, and 2B, in the space between the base 11 and the inclined base 12, between the inclined block 34 and the fulcrum 20 of the drive unit 30A. , And a tension coil spring arranged one by one between the inclined block 34 and the fulcrum part 20 of the drive part 30B.
As a result, the pedestal 22b of the fulcrum 20 is always urged toward the steel ball 23, and the V-groove 34b of each inclined block 34 is urged by the tip projections 33c of the driver elements 33A and 33B.

次に、２軸チルトステージ１の動作について説明する。
図４は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの一方の傾斜駆動機構の回動軸に直交する断面における模式的な動作説明図である。図５（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの他方の傾斜駆動機構の回動軸に沿う方向の断面における模式的な動作説明図である。図５（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの他方の傾斜駆動機構の回動軸に直交する方向の断面における模式的な動作説明図である。 Next, the operation of the biaxial tilt stage 1 will be described.
FIG. 4 is a schematic operation explanatory diagram in a cross section orthogonal to the rotation axis of one tilt drive mechanism of the two-axis tilt stage according to the first embodiment of the present invention. FIG. 5A is a schematic operation explanatory diagram in a cross section in the direction along the rotation axis of the other tilt drive mechanism of the biaxial tilt stage according to the first embodiment of the present invention. FIG. 5B is a schematic operation explanatory diagram in a cross section in a direction perpendicular to the rotation axis of the other tilt drive mechanism of the biaxial tilt stage according to the first embodiment of the present invention.

傾斜角変化の基準位置の状態から、駆動部３０Ａのつまみ３２を直線ＬＡ回りにΔα（ｒａｄ）だけ回転すると、回転方向に応じて、駆動子３３Ａが雌ねじ部３１ａに沿って螺進され、先端突起３３ｃが、距離ΔＤＡだけ直線ＬＡに沿って進退移動される。ここで、距離ΔＤＡは、次式で表される。 From the state of the reference position of the tilt angle change, when rotating the knob 32 of the driving unit 30A in a straight line L A about by [Delta] [alpha] (rad), in accordance with the rotational direction, the driver elements 33A are screwed along the internal thread portion 31a, The tip protrusion 33c is moved back and forth along the straight line L A by a distance ΔD A. Here, the distance ΔD A is expressed by the following equation.

ΔＤＡ＝ｄＡ・Δα／２π ・・・（２） ΔD A = d A · Δα / 2π (2)

例えば、図４に示すように、先端突起３３ｃが支点部２０の中心Ｏ側に、距離ΔＤＡだけ螺進される場合、傾斜台１２は、コイルばね４０によって、基台１１側に付勢されているので、先端突起３３ｃは、Ｖ溝３４ｂの摺動面３４ｃと作用点ｑ１で摺接しつつ、直線ＬＡに沿って進出される。このとき、先端突起３３ｃを介して駆動子３３Ａの軸方向に作用する付勢力の分力は、雄ねじ部３３ａを雌ねじ部３１ａ側に付勢するため、駆動子３３Ａの進退に伴って、雄ねじ部３３ａは、常に支点部２０と反対側に付勢され、雌ねじ部３１ａとの間のバックラッシを除去する作用を有している。
図４において、点Ｑ１は、各作用点ｑ１の中点を示す。２点鎖線で示す傾斜ブロック３４および駆動子３３Ａは、それぞれ基準位置における傾斜ブロック３４および駆動子３３Ａを示す。 For example, as shown in FIG. 4, the center O side of the projecting end 33c fulcrum portion 20, when the distance [Delta] D A is screwed, inclined base 12 by the coil spring 40 is biased to the base 11 side because it is, the projecting end 33c, while sliding contact with the sliding surface 34c and the action point q 1 of the V-groove 34b, is advanced along a straight line L a. At this time, the component force of the urging force acting in the axial direction of the driver element 33A via the tip protrusion 33c urges the male screw part 33a toward the female screw part 31a. 33a is always urged | biased on the opposite side to the fulcrum part 20, and has the effect | action which removes the backlash between internal thread parts 31a.
In FIG. 4, a point Q 1 indicates the midpoint of each action point q 1 . An inclined block 34 and a driver 33A indicated by a two-dot chain line indicate the inclined block 34 and the driver 33A at the reference position, respectively.

このとき、作用点ｑ１では、駆動子３３Ａから傾斜ブロック３４に駆動力が伝達され、直線ＬＹ回りのモーメントを発生させる。このため、傾斜ブロック３４および傾斜ブロック３４と一体化された傾斜台１２は、図示上方に押し上げられて、直線ＬＹ回りに角度ΔθＡだけ回動される。すなわち、傾斜台１２は角度ΔθＡだけ傾斜される。
傾斜ブロック３４は、傾斜角変化の基準位置の状態では、直線ＬＡに対して角度φだけ傾斜されているので、角度ΔθＡが微小角の場合には、距離ΔＤＡと角度ΔθＡとは、次式の関係を満足する。 At this time, the action point q 1, driving force in the tilt block 34 from the driver elements 33A is transmitted, to generate a linear L Y moments about. Thus, ramp 12 which is integrated with the inclined block 34 and the inclined block 34 is pushed upward in the drawing, it is by an angle [Delta] [theta] A rotation to linear L Y direction. That is, the tilt table 12 is tilted by the angle Δθ A.
Tilt block 34, in the state of the reference position of the tilt angle change, because it is inclined by an angle φ with respect to the straight line L A, when the angle [Delta] [theta] A is very small angle, the distance [Delta] D A and the angle [Delta] [theta] A is Satisfy the relationship of the following formula.

ΔθＡ＝（ΔＤＡ・ｔａｎφ）／ＤＡ ・・・（３） Δθ A = (ΔD A · tan φ) / D A (3)

このように、駆動部３０Ａの傾斜ブロック３４は、駆動部３０Ａの駆動子３３Ａの先端突起３３ｃの進退移動量である距離ΔＤＡを、回動軸である直線ＬＹ回りの回動方向の移動量であるΔＤＡ・ｔａｎφに変換して傾斜台１２に伝達する回動力伝達部を構成している。ここで、Ｖ溝３４ｂの延設方向の勾配であるｔａｎφは、進退移動量を回動方向の移動量に変換する所定の変換比を構成している。 Thus, the inclined block 34 of the driving unit 30A is the distance [Delta] D A is moved forward and backward of the projecting end 33c of the driver elements 33A of the driver 30A, the movement of the straight line L Y around the turning direction is rotational axis A turning power transmission unit that converts the amount into ΔD A · tan φ and transmits it to the tilt table 12 is configured. Here, tanφ, which is the gradient in the extending direction of the V-groove 34b, constitutes a predetermined conversion ratio for converting the forward / backward movement amount into the rotation direction movement amount.

一方、傾斜角変化の基準位置の状態から、駆動部３０Ｂのつまみ３２を直線ＬＢ回りにΔα（ｒａｄ）だけ回転すると、回転方向に応じて、駆動子３３Ｂが雌ねじ部３１ｂに沿って螺進され、先端突起３３ｃが、距離ΔＤＢだけ直線ＬＢに沿って進退移動される。ここで、距離ΔＤＢは、次式で表される。 On the other hand, from the state of the reference position of the tilt angle change, the knob 32 of the driving unit 30B is rotated to the straight line L B around only [Delta] [alpha] (rad), in accordance with the rotational direction, the driver elements 33B along the female screw portion 31b screwed is, the projecting end 33c is moved back and forth along only the straight line L B distance [Delta] D B. Here, the distance [Delta] D B is expressed by the following equation.

ΔＤＢ＝ｄＢ・Δα／２π ・・・（４） ΔD B = d B · Δα / 2π (4)

例えば、図５（ａ）に示すように、先端突起３３ｃが、直線ＬＹ側に、距離ΔＤＢだけ螺進される場合、傾斜台１２は、コイルばね４０によって、基台１１側に付勢されているので、先端突起３３ｃは、Ｖ溝３４ｂの摺動面３４ｃと作用点ｐ１で摺接しつつ、直線ＬＢに沿って進出される。このとき、先端突起３３ｃを介して駆動子３３Ｂの軸方向に作用する付勢力の分力は、駆動部３０Ａの場合と同様に、雄ねじ部３３ａと雌ねじ部３１ａとの間のバックラッシを除去する作用を有している。
図５（ａ）、（ｂ）において、点Ｐ１は、各作用点ｐ１の中点を示す。２点鎖線で示す傾斜ブロック３４および駆動子３３Ｂは、それぞれ基準位置における傾斜ブロック３４および駆動子３３Ｂを示す。 For example, as shown in FIG. 5 (a), the projecting end 33c is, the straight line L Y side, as screwed distance [Delta] D B, inclined base 12 by the coil spring 40, biases the base 11 side because it is, the projecting end 33c, while sliding contact with the sliding surface 34c and the action point p 1 of the V-groove 34b, is advanced along a straight line L B. At this time, the component force of the urging force acting in the axial direction of the driver 33B via the tip protrusion 33c removes the backlash between the male screw portion 33a and the female screw portion 31a as in the case of the driving portion 30A. have.
5A and 5B, the point P 1 indicates the midpoint of each action point p 1 . An inclined block 34 and a driver 33B indicated by a two-dot chain line indicate the inclined block 34 and the driver 33B at the reference position, respectively.

このとき、作用点ｐ１では、駆動子３３Ｂから傾斜ブロック３４に駆動力が伝達され、直線ＬＡ回りのモーメントを発生させる。このため、傾斜ブロック３４および傾斜ブロック３４と一体化された傾斜台１２は、図５（ｂ）に示すように、図示斜め上方に押し上げられて、直線ＬＡ回りに角度ΔθＢだけ回動される。すなわち、傾斜台１２は角度ΔθＢに傾斜される。
傾斜ブロック３４は、傾斜角変化の基準位置の状態では、直線ＬＹに対して角度φだけ傾斜されているので、角度ΔθＢが微小角の場合には、距離ΔＤＢと角度ΔθＢとは、次式の関係を満足する。 At this time, the operating point p 1, the driving force to the inclined block 34 from the driver elements 33B is transmitted, to generate a linear L A moment about. Thus, ramp 12 which is integrated with the inclined block 34 and angle blocks 34, as shown in FIG. 5 (b), pushed up to the illustrated obliquely upward, is only rotation angle [Delta] [theta] B to the straight line L A around The In other words, ramp 12 is inclined at an angle [Delta] [theta] B.
Tilt block 34, in the state of the reference position of the tilt angle change, because it is inclined by an angle φ with respect to the straight line L Y, if the angle [Delta] [theta] B is small angle, the distance [Delta] D B and the angle [Delta] [theta] B is Satisfy the relationship of the following formula.

ΔθＢ＝（ΔＤＢ・ｔａｎφ）／ＤＢ ・・・（５） Δθ B = (ΔD B · tan φ) / D B (5)

このように、駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４は、駆動部３０Ｂの駆動子３３Ｂの先端突起３３ｃの進退移動量である距離ΔＤＢを、回動軸である直線ＬＹ回りの回動方向の移動量であるΔＤＹ・ｔａｎφに変換して傾斜台１２に伝達する回動力伝達部を構成している。ここで、ｔａｎφは、進退移動量を回動方向の移動量に変換する所定の変換比を構成している。 Thus, the inclined block 34 of the driving unit 30B is a is a forward and backward movement of the projecting end 33c of the driver element 33B of the driving portion 30B distance [Delta] D B, the movement of the straight line L Y around the turning direction is rotational axis It constitutes a turning force transmitting unit that transmits converted to an amount [Delta] D Y · tan [phi in ramp 12. Here, tanφ constitutes a predetermined conversion ratio for converting the forward / backward movement amount into the movement amount in the rotation direction.

上記式（２）〜（５）を用いると、次式が成り立つ。
ΔθＡ＝（ｄＡ／ＤＡ）・（Δα／２π）・ｔａｎφ ・・・（６）
ΔθＢ＝（ｄＢ／ＤＢ）・（Δα／２π）・ｔａｎφ ・・・（７） When the above formulas (2) to (5) are used, the following formula is established.
Δθ A = (d A / D A ) · (Δα / 2π) · tan φ (6)
Δθ B = (d B / D B ) · (Δα / 2π) · tan φ (7)

本実施形態では、上記式（１）が成り立つので、上記式（６）、（７）で表される角度ΔθＡ、ΔθＢは互いに等しくなる。すなわち、つまみ３２の回転量Δαに対する傾斜角変化は、駆動部３０Ａ、３０Ｂとの間で共通となり、単位調整量に対する傾斜角の変化量の大きさである調整感度が同一となる。
このため、操作者は、傾斜台１２の傾斜方向によって、つまみ３２の回転量の大きさを変えることなく傾斜角を変化させることができるので、傾斜方向によって、調整感度が異なる場合に比べて、操作性が向上する。
特に、高精度のチルト調整では、２軸回りの回動量、回動方向を頻繁に切り換えつつ、２軸方向の傾斜角を微動させて調整作業を行うため、各軸方向の調整感度が同一となることで、調整作業が格段に容易となる。 In the present embodiment, since the above equation (1) holds, the angles Δθ A and Δθ B represented by the above equations (6) and (7) are equal to each other. That is, the change in the tilt angle with respect to the rotation amount Δα of the knob 32 is common between the drive units 30A and 30B, and the adjustment sensitivity that is the magnitude of the change amount of the tilt angle with respect to the unit adjustment amount is the same.
For this reason, since the operator can change the inclination angle without changing the magnitude of the rotation amount of the knob 32 depending on the inclination direction of the inclination table 12, compared to the case where the adjustment sensitivity differs depending on the inclination direction, Operability is improved.
In particular, in high-accuracy tilt adjustment, the adjustment work is performed by finely moving the tilt angle in two axes while frequently switching the rotation amount and rotation direction about the two axes, so that the adjustment sensitivity in each axis direction is the same. As a result, the adjustment work becomes much easier.

また、本実施形態では、２つの傾斜駆動機構の間で、それぞれの回動軸と基準位置作用点との間の距離ＤＡ、ＤＢをどのように設定しても、これらの距離ＤＡ、ＤＢに応じて、式（１）を満たすようにねじピッチｄＡ、ｄＢを設定することで、調整感度を同一にできる。このため、駆動部３０Ａ、３０Ｂの配置位置や、基台１１および傾斜台１２の形状や大きさが異なる場合でも、容易に調整感度を同一にすることができる。この結果、チルト調整する被検体の大きさや、２軸チルトステージ１の配置スペースの制約などの用途に合った大きさ、形状の２軸チルトステージ１を構成することができる。 Further, in the present embodiment, between the two inclined drive mechanism, the distance D A between the respective rotational axis and the reference position action point, be set arbitrarily to the D B, these distances D A , depending on D B, by setting the thread pitch d a, a d B so as to satisfy the equation (1) can be adjusted sensitivity to the same. For this reason, even when the arrangement positions of the drive units 30A and 30B and the shapes and sizes of the base 11 and the inclined base 12 are different, the adjustment sensitivity can be easily made the same. As a result, the two-axis tilt stage 1 having a size and shape suitable for applications such as the size of the subject to be tilt-adjusted and restrictions on the arrangement space of the two-axis tilt stage 1 can be configured.

また、本実施形態では、駆動部３０Ａのつまみ３２と駆動部３０Ｂのつまみ３２とは、基台１１および傾斜台１２の一方の長辺側に配置されている。したがって、それぞれのつまみ３２を一方向側から操作することができるため、２つのつまみ３２を異なる方向から操作しなければならない場合に比べて、操作性が向上する。   In the present embodiment, the knob 32 of the drive unit 30 </ b> A and the knob 32 of the drive unit 30 </ b> B are arranged on one long side of the base 11 and the inclined table 12. Therefore, since each knob 32 can be operated from one direction side, the operability is improved as compared with the case where the two knobs 32 must be operated from different directions.

また、本実施形態の２軸チルトステージ１の構成によれば、駆動子３３Ａ、３３Ｂは、いずれも基台１１と傾斜台１２との間に配置されている。このため、基台１１および傾斜台１２の対向方向の装置の厚さを薄くすることができ、対向方向に省スペースな装置とすることができる。
また、つまみ３２が、基台１１および傾斜台１２の側方に設けられているので、つまみ３２が基台１１および傾斜台１２の対向方向に沿って突出される場合に比べて、対向方向の省スペース化を図ることができる。
また、基台１１を、例えば干渉計などの他の装置に取り付ける場合に、取付面である基準面１１ａの裏面側の空間に駆動部３０Ａ、３０Ｂが進出しない構成となっている。したがって、相手装置の取付部との干渉を避けるために、基台１１の大きさを大きくする必要がない。このため、コンパクトで省スペースな装置とすることができる。
また、つまみ３２が相手装置の取付部と干渉しないため、取付状態でのつまみ３２の操作が容易となる。また、操作をより容易にするために、つまみ３２の外径を大きくすることが容易となる。
また、２つのつまみ３２が、基台１１および傾斜台１２の一方の長辺側の側方に設けられているので、同じ側の長辺側に配置されているため、２軸チルトステージ１の平面視の大きさをコンパクトにしつつ、つまみ３２の直径を増大させることができる。このため、省スペースと操作性を両立させることができる。 Further, according to the configuration of the biaxial tilt stage 1 of the present embodiment, the driver elements 33A and 33B are both disposed between the base 11 and the tilt base 12. For this reason, the thickness of the device in the facing direction of the base 11 and the tilting table 12 can be reduced, and the device can be made space-saving in the facing direction.
Further, since the knob 32 is provided on the side of the base 11 and the inclined base 12, compared to the case where the knob 32 protrudes along the opposing direction of the base 11 and the inclined base 12, the opposing direction is increased. Space can be saved.
Further, when the base 11 is attached to another device such as an interferometer, for example, the drive units 30A and 30B do not advance into the space on the back side of the reference surface 11a that is the attachment surface. Therefore, it is not necessary to increase the size of the base 11 in order to avoid interference with the mounting portion of the counterpart device. For this reason, it can be set as a compact and space-saving apparatus.
Further, since the knob 32 does not interfere with the attachment portion of the counterpart device, the operation of the knob 32 in the attached state becomes easy. Further, in order to make the operation easier, it is easy to increase the outer diameter of the knob 32.
In addition, since the two knobs 32 are provided on the side of one long side of the base 11 and the tilting base 12, the two knobs 32 are arranged on the long side of the same side. The diameter of the knob 32 can be increased while reducing the size in plan view. For this reason, both space saving and operability can be achieved.

本実施形態の２軸チルトステージ１は、各傾斜ブロックのガイド溝の延設方向の勾配を互いに等しくすることで、各所定の変換比の大きさを一致させるともに、２つの傾斜駆動機構における調整部の単位調整量当たりの駆動子の進退移動量（送りピッチ）の比率を、基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させた場合の例となっている。
このため、駆動部３０Ａ、３０Ｂにおいて、傾斜ブロック３４を部品共通化することができる。 In the biaxial tilt stage 1 of the present embodiment, the gradients in the extending direction of the guide grooves of the respective inclined blocks are made equal to each other so that the magnitudes of the respective predetermined conversion ratios coincide with each other and the adjustment in the two inclined driving mechanisms is performed. In this example, the ratio of the forward / backward movement amount (feed pitch) of the driver per unit adjustment amount of the unit is made to coincide with the ratio of the distance from the rotation axis of the reference position action point.
For this reason, in the drive units 30A and 30B, the inclined block 34 can be shared.

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係る２軸チルトステージについて説明する。
図６は、本発明の第２の実施形態に係る２軸チルトステージの模式的な平面図である。図７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ図２のＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図である。 [Second Embodiment]
A biaxial tilt stage according to a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 6 is a schematic plan view of a two-axis tilt stage according to the second embodiment of the present invention. 7A and 7B are a CC sectional view and a DD sectional view, respectively, in FIG.

本実施形態の２軸チルトステージ２は、上記第１の実施形態の２軸チルトステージ１と同様に、例えば、光学機器の光軸調整、干渉計の光学素子の位置調整や露光装置のウエハの位置決めなどのため、ステージ面の２軸方向の傾斜角を高精度に調整する場合に好適となるものである。
２軸チルトステージ２の概略構成は、図６、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、上記第１の実施形態の２軸チルトステージ１の駆動部３０Ａ、３０Ｂに代えて、駆動部３０Ｃ、３０Ｄ（傾斜駆動機構）を備える。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。 The biaxial tilt stage 2 of the present embodiment is similar to the biaxial tilt stage 1 of the first embodiment, for example, optical axis adjustment of optical equipment, optical element position adjustment of an interferometer, and wafer of an exposure apparatus. This is suitable for adjusting the tilt angle in the biaxial direction of the stage surface with high accuracy for positioning and the like.
As shown in FIGS. 6, 7A, and 7B, the schematic configuration of the biaxial tilt stage 2 is driven instead of the driving units 30A and 30B of the biaxial tilt stage 1 of the first embodiment. 30C and 30D (inclination drive mechanism) are provided. Hereinafter, a description will be given centering on differences from the first embodiment.

駆動部３０Ｃは、上記第１の実施形態の駆動部３０Ａの駆動子３３Ａ、ナット板３１Ａ、および傾斜ブロック３４に代えて、それぞれ駆動子３３Ｃ、ナット板３１、および傾斜ブロック３４Ｃ（回動力伝達部）を備える。   The drive unit 30C replaces the drive element 33A, the nut plate 31A, and the inclined block 34 of the drive unit 30A of the first embodiment, and the drive element 33C, the nut plate 31, and the inclined block 34C (rotational power transmission unit), respectively. ).

駆動子３３Ｃは、先端側に先端突起３３ｃを有し、後端側の外周部にねじピッチがｄの雄ねじ部３３ｄが形成された棒状部材である。
ナット板３１は、ナット板３１Ａの雄ねじ部３３ａを、駆動子３３Ｃの雄ねじ部３３ｄと螺合する雌ねじ部３１ｄに代えたものである。
駆動部３０Ｃのナット板３１の雌ねじ部３１ｄは、基準面１１ａに平行な平面内において、支点部２０の中心Ｏを通り、直線ＬＹと直交する直線ＬＡに、雌ねじ部３１ｄの中心軸線が同軸となる位置に設けられている。
つまみ３２は、駆動子３３Ｃをその中心軸回りに回転操作を行うため、円板の中心軸は、駆動子３３Ｃの中心軸線と同軸に整列されている。 The driver 33C is a rod-like member having a tip protrusion 33c on the tip end side and having an external thread portion 33d having a screw pitch d on the outer peripheral portion on the rear end side.
The nut plate 31 is obtained by replacing the male screw portion 33a of the nut plate 31A with a female screw portion 31d that is screwed into the male screw portion 33d of the driver 33C.
Internal thread portion 31d of the nut plate 31 of the driving unit 30C, in a plane parallel to the reference plane 11a, passes through the center O of the fulcrum portion 20, the straight line L A which is perpendicular to the straight line L Y, the central axis of the internal thread portion 31d is It is provided at a position that is coaxial.
Since the knob 32 rotates the drive element 33C around its central axis, the central axis of the disk is aligned coaxially with the central axis of the drive element 33C.

このような構成により、つまみ３２を回転させると、ナット板３１Ｃに螺合された駆動子３３Ｃが回転角に応じて軸方向に螺進される。このため、駆動子３３Ｃおよびナット板３１は、駆動子３３Ｃを直線ＬＡ上で進退する直動運動を行うねじ送り機構を構成しており、つまみ３２は回転操作部材を構成している。
また、駆動子３３Ｃ、ナット板３１、およびつまみ３２は、基台１１に設けられ、棒状の駆動子３３Ｃを駆動子３３Ｃの軸方向に進退させる直動部を構成している。
本実施形態では、つまみ３２は駆動子３３Ｃ直結されているため、つまみ３２を一回転させると、駆動子３３Ｃが、雄ねじ部３３ｄのねじピッチｄだけ進退するようになっている。以下では、ねじピッチｄを駆動部３０Ｃの送りピッチｄと称する場合がある。 With this configuration, when the knob 32 is rotated, the driver 33C screwed to the nut plate 31C is screwed in the axial direction according to the rotation angle. Therefore, the driver elements 33C and the nut plate 31, the driver element 33C constitute a screw feed mechanism for linear movement of forward and backward on the straight line L A, the knob 32 constitute the rotation operating member.
The drive element 33C, the nut plate 31, and the knob 32 are provided on the base 11, and constitute a linear motion part that moves the rod-shaped drive element 33C forward and backward in the axial direction of the drive element 33C.
In this embodiment, since the knob 32 is directly connected to the driver 33C, when the knob 32 is rotated once, the driver 33C is advanced and retracted by the screw pitch d of the male screw portion 33d. Hereinafter, the screw pitch d may be referred to as the feed pitch d of the drive unit 30C.

傾斜ブロック３４Ｃは、図７（ａ）に示すように、上記第１の実施形態の駆動部３０Ａの傾斜ブロック３４のＶ溝３４ｂの傾斜角を角度φＣに代えたものであり、駆動部３０Ａの傾斜ブロック３４と同様に、基準位置作用点ｑと、駆動部３０Ｃによる回動軸である直線ＬＹとの距離が、距離ＤＡに設定されている。
このような傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向は、駆動子３３Ｃの進退方向、および被傾斜面１２ａに対して角度φＣだけ傾斜されている。
また、Ｖ溝３４ｂの長さ、および傾斜ブロック３４Ｃの下面１２ｂからの高さは、傾斜台１２の傾斜角を傾斜角の基準位置から±θの間で調整する際に駆動子３３Ｃの先端突起３３ｃが進退する全範囲内で、先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂと当接可能であり、かつ、傾斜ブロック３４Ｃの下端が、基台１１の上面１１ｂに干渉しない寸法に設定されている。 Inclined block 34C, as shown in FIG. 7 (a), it is those obtained by replacing the inclination angle of the V-groove 34b of the inclined block 34 of the drive portion 30A of the first embodiment in the angle phi C, driver 30A the like the angle blocks 34, and the reference position action point q, the distance between the straight line L Y is a pivot shaft by the drive unit 30C is set to a distance D a.
At the reference position of such an inclination angle, the extending direction of the V-groove 34b is inclined by an angle φ C with respect to the forward / backward direction of the driver 33C and the inclined surface 12a.
The length of the V-groove 34b and the height from the lower surface 12b of the inclined block 34C are such that the tip protrusion of the driver 33C is adjusted when the inclination angle of the inclination base 12 is adjusted between ± θ from the reference position of the inclination angle. Within the entire range in which 33c advances and retreats, the tip protrusion 33c can be brought into contact with the V groove 34b, and the lower end of the inclined block 34C is set to a size that does not interfere with the upper surface 11b of the base 11.

駆動部３０Ｄは、上記第１の実施形態の駆動部３０Ｂの駆動子３３Ｂ、ナット板３１Ｂ、および傾斜ブロック３４に代えて、それぞれ駆動子３３Ｄ、ナット板３１、および傾斜ブロック３４Ｄ（回動力伝達部）を備える。   The drive unit 30D replaces the drive unit 33B, the nut plate 31B, and the inclined block 34 of the drive unit 30B of the first embodiment, and the drive unit 33D, the nut plate 31, and the inclined block 34D (rotational power transmission unit), respectively. ).

駆動子３３Ｄは、先端側に先端突起３３ｃを有し、後端側の外周部にねじピッチがｄの雄ねじ部３３ｄが形成された棒状部材であり、駆動子３３Ｃと長さのみが異なる部材である。
駆動部３０Ｄのナット板３１の雌ねじ部３１ｄは、図６、図７（ｂ）に示すように、雌ねじ部３１ｄに雄ねじ部３３ｄが螺合された駆動子３３Ｄの中心軸線が、直線ＬＡ、ＬＹを含む平面上で、直線ＬＡと距離ＤＢだけ離間された平行線である直線ＬＢと同軸の位置関係に支持できる位置に設けられている。
駆動部３０Ｄのつまみ３２は、駆動子３３Ｄをその中心軸回りに回転させるため、円板の中心軸は、駆動子３３Ｄの中心軸線と同軸に整列されている。 The driver 33D is a rod-like member having a tip protrusion 33c on the tip side and having a male screw portion 33d with a screw pitch d on the outer peripheral portion on the rear end side, and is a member that differs only in length from the driver 33C. is there.
As shown in FIGS. 6 and 7B, the female thread portion 31d of the nut plate 31 of the driving portion 30D has a central axis of the driver 33D in which the male thread portion 33d is screwed to the female thread portion 31d, the straight line L A , a plane on containing L Y, is provided in a position that can be supported by the straight line L B and a position coaxial relationship parallel lines that are spaced apart by the straight line L a and the distance D B.
Since the knob 32 of the drive unit 30D rotates the drive element 33D around its central axis, the central axis of the disk is aligned coaxially with the central axis of the drive element 33D.

このような構成により、つまみ３２を回転させると、ナット板３１に螺合された駆動子３３Ｄが回転角に応じて軸方向に螺進される。このため、駆動子３３Ｄおよびナット板３１は、駆動子３３Ｄを直線ＬＢ上で進退する直動運動を行うねじ送り機構を構成しており、つまみ３２は回転操作部材を構成している。
また、駆動子３３Ｄ、ナット板３１、およびつまみ３２は、基台１１に設けられ、棒状の駆動子３３Ｄを駆動子３３Ｄの軸方向に進退させる直動部を構成している。また、駆動子３３Ｄの送りピッチは、駆動子３３Ｄの送りピッチｄに一致している。 With this configuration, when the knob 32 is rotated, the driver 33D screwed to the nut plate 31 is screwed in the axial direction according to the rotation angle. Therefore, the driver elements 33D and nut plate 31 constitutes a screw feed mechanism for linear movement of forward and backward on the straight line L B the driver elements 33D, the knob 32 constitute the rotation operating member.
The driving element 33D, the nut plate 31, and the knob 32 are provided on the base 11, and constitute a linear motion part that moves the rod-shaped driving element 33D forward and backward in the axial direction of the driving element 33D. Further, the feed pitch of the driver element 33D matches the feed pitch d of the driver element 33D.

傾斜ブロック３４Ｄは、図７（ｂ）に示すように、上記第１の実施形態の駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４のＶ溝３４ｂの傾斜角を角度φＤに代えたものであり、駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４と同様に、基準位置作用点ｐと、駆動部３０Ｄによる回動軸である直線ＬＡとの距離が、距離ＤＢに設定されている。
このような傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向は、駆動子３３Ｄの進退方向、および被傾斜面１２ａに対して角度φＤだけ傾斜されている。
また、Ｖ溝３４ｂの長さ、および傾斜ブロック３４Ｄの下面１２ｂからの高さは、傾斜台１２の傾斜角を傾斜角の基準位置から±θの間で調整する際に駆動子３３Ｄの先端突起３３ｃが進退する全範囲内で、先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂと当接可能であり、かつ、傾斜ブロック３４Ｄの下端が、基台１１の上面１１ｂに干渉しない寸法に設定されている。 Inclined block 34D, as shown in FIG. 7 (b), it is those obtained by replacing the inclination angle of the V-groove 34b of the inclined block 34 of the driving portion 30B of the first embodiment in the angle phi D, driving unit 30B the like the angle blocks 34, and the reference position action point p, the distance between the straight line L a is a rotation axis by the driving unit 30D is set to a distance D B.
In the reference position of such inclination, direction of extension of the V groove 34b is inclined by an angle phi D Nitaishite moving direction, and the inclined surface 12a of the driver element 33D.
The length of the V-groove 34b and the height from the lower surface 12b of the inclined block 34D are such that the tip protrusion of the driver 33D is adjusted when the inclination angle of the inclination base 12 is adjusted between ± θ from the reference position of the inclination angle. The tip projection 33c can be brought into contact with the V-groove 34b within the entire range where the 33c advances and retreats, and the lower end of the inclined block 34D is set to a size that does not interfere with the upper surface 11b of the base 11.

本実施形態では、傾斜ブロック３４Ｃ、３４ＤのＶ溝３４ｂの傾斜角の角度φＣ、φＤは、Ｖ溝３４ｂの延設方向の勾配であるｔａｎφＣ、ｔａｎφＤの比率が、距離ＤＡ、ＤＢの比率に等しくなる関係、ずなわち、次式（８）を満足する関係に設定している。
ここで、勾配ｔａｎφＣ、ｔａｎφＤは、進退移動量を回動方向の移動量に変換する所定の変換比を構成している。 In the present embodiment, the inclined block 34C, the angle of inclination of the V-groove 34b of 34D φ C, φ D is, tan [phi C is the slope of the extending direction of the V grooves 34b, the ratio of tan [phi D, the distance D A, ratio equal relationship D B, Zunawachi, are set in a relationship that satisfies the following equation (8).
Here, the gradients tan φ C and tan φ D constitute a predetermined conversion ratio for converting the forward / backward movement amount into the rotation direction movement amount.

ｔａｎφＣ／ｔａｎφＤ＝ＤＡ／ＤＢ ・・・（８） tanφ C / tanφ D = D A / D B (8)

次に、２軸チルトステージ２の動作について説明する。
２軸チルトステージ２は、上記に説明したように、駆動部３０Ｃ、３０Ｄの送りピッチがそれぞれねじピッチｄであり、傾斜ブロック３４Ｃ、３４Ｄにおける傾斜ブロック３４の傾斜角が角度φＣ、φＤである点が上記第１の実施形態の２軸チルトステージ１と異なり、基準位置作用点と各回動軸との距離の関係は２軸チルトステージ１と同様である。
したがって、２軸チルトステージ２は、駆動部３０Ｃ、３０Ｄの各つまみ３２を回転させることで、２軸チルトステージ１と同様に、傾斜台１２の２軸方向の傾斜角を変化させることができる（図４、図５（ａ）、（ｂ）参照）。
ただし、各つまみ３２をΔαだけ回転したときの、駆動子３３Ｃ、３３Ｄの進退移動の距離ΔＤＡ、ΔＤＢは、次式で表される。 Next, the operation of the biaxial tilt stage 2 will be described.
As described above, in the biaxial tilt stage 2, the feed pitches of the drive units 30C and 30D are the screw pitch d, and the inclination angles of the inclination blocks 34 in the inclination blocks 34C and 34D are the angles φ C and φ D , respectively. In some respects, unlike the biaxial tilt stage 1 of the first embodiment, the relationship between the reference position action point and each rotation axis is the same as that of the biaxial tilt stage 1.
Therefore, the biaxial tilt stage 2 can change the tilt angle of the tilt base 12 in the biaxial direction by rotating the knobs 32 of the drive units 30C and 30D, similarly to the biaxial tilt stage 1. (Refer FIG. 4, FIG. 5 (a), (b)).
However, the distances ΔD A and ΔD B of the forward and backward movements of the driver elements 33C and 33D when the knobs 32 are rotated by Δα are expressed by the following equations.

ΔＤＡ＝ΔＤＢ＝ｄ・Δα／２π ・・・（９） ΔD A = ΔD B = d · Δα / 2π (9)

また、角度ΔθＡ、ΔθＢが微小角の場合には、距離ΔＤＡ、ΔＤＢと角度ΔθＡ、ΔθＢとは、それぞれ次式の関係を満足する。 When the angles Δθ A and Δθ B are small angles, the distances ΔD A and ΔD B and the angles Δθ A and Δθ B satisfy the relationship of the following expressions, respectively.

ΔθＡ＝（ΔＤＡ・ｔａｎφＣ）／ＤＡ ・・・（１０）
ΔθＢ＝（ΔＤＢ・ｔａｎφＤ）／ＤＢ ・・・（１１） Δθ A = (ΔD A · tan φ C ) / D A (10)
Δθ B = (ΔD B · tan φ D ) / D B (11)

上記式（９）〜（１１）を用いると、次式が成り立つ。
ΔθＡ＝（ｄ／ＤＡ）・（Δα／２π）・ｔａｎφＣ ・・・（１２）
ΔθＢ＝（ｄ／ＤＢ）・（Δα／２π）・ｔａｎφＤ ・・・（１３） When the above equations (9) to (11) are used, the following equation is established.
Δθ A = (d / D A ) · (Δα / 2π) · tan φ C (12)
Δθ B = (d / D B ) · (Δα / 2π) · tan φ D (13)

本実施形態では、上記式（８）が成り立つので、上記式（１２）、（１３）で表される角度ΔθＡとΔθＢとは等しくなる。すなわち、つまみ３２の回転量Δαに対する傾斜角変化は、駆動部３０Ｃ、３０Ｄとの間で共通となり、単位調整量に対する傾斜角の変化量の大きさである調整感度が同一となる。
このため、操作者は、上記第１の実施形態と同様に、傾斜台１２の傾斜方向によって、つまみ３２の回転量の大きさを変えることなく傾斜角を変化させることができるので、傾斜方向によって、調整感度が異なる場合に比べて、操作性が向上する。
特に、高精度のチルト調整では、２軸回りの回動方向を頻繁に切り換えつつ、傾斜角の微動を試行錯誤しながら調整作業を行うため、調整作業が格段に容易となる。 In the present embodiment, since the above equation (8) is established, the angles Δθ A and Δθ B represented by the above equations (12) and (13) are equal. That is, the change in the tilt angle with respect to the rotation amount Δα of the knob 32 is common between the drive units 30C and 30D, and the adjustment sensitivity that is the magnitude of the change amount of the tilt angle with respect to the unit adjustment amount is the same.
For this reason, the operator can change the inclination angle without changing the amount of rotation of the knob 32 according to the inclination direction of the inclination table 12 as in the first embodiment. As compared with the case where the adjustment sensitivity is different, the operability is improved.
In particular, in the highly accurate tilt adjustment, the adjustment work is greatly facilitated because the adjustment work is performed while frequently changing the rotation direction around the two axes and performing fine adjustment of the tilt angle by trial and error.

また、本実施形態では、２つの傾斜駆動機構の間で、それぞれの回動軸と基準位置作用点との間の距離ＤＡ、ＤＢをどのように設定しても、これらの距離ＤＡ、ＤＢに応じて、式（８）を満たすように、回動力伝達部の変換比に相当するＶ溝３４ｂの勾配ｔａｎφＣ、ｔａｎφＤを設定することで、調整感度を同一にできる。このため、駆動部３０Ｃ、３０Ｃの配置位置や、基台１１および傾斜台１２の形状や大きさが異なる場合でも、容易に調整感度を同一にすることができる。この結果、チルト調整する被検体の大きさや、２軸チルトステージ２の配置スペースの制約などの用途に合った大きさ、形状の２軸チルトステージ２を構成することができる。 Further, in the present embodiment, between the two inclined drive mechanism, the distance D A between the respective rotational axis and the reference position action point, be set arbitrarily to the D B, these distances D A , depending on D B, to satisfy equation (8), by setting the gradient tan [phi C, tan [phi D of the V-groove 34b corresponding to the conversion ratio of the turning force transmitting portion, it can be adjusted sensitivity to the same. For this reason, even when the arrangement positions of the drive units 30C and 30C and the shapes and sizes of the base 11 and the inclined base 12 are different, the adjustment sensitivity can be easily made the same. As a result, the two-axis tilt stage 2 having a size and shape suitable for applications such as the size of the subject to be tilt-adjusted and the restriction on the arrangement space of the two-axis tilt stage 2 can be configured.

また、本実施形態では、基台１１および傾斜台１２に対する、駆動部３０Ｃ、３０Ｄ、およびつまみ３２の位置関係は、上記第１の実施形態とまったく同様なので、上記第１の実施形態とまったく同様に、操作性が向上し、しかも省スペースな装置とすることができる。   Further, in the present embodiment, the positional relationship of the drive units 30C, 30D and the knob 32 with respect to the base 11 and the tilt base 12 is exactly the same as in the first embodiment, and is therefore exactly the same as in the first embodiment. In addition, operability is improved and a space-saving device can be provided.

本実施形態の２軸チルトステージ２は、各調整部の単位調整量当たりの駆動子の進退量を一致させるとともに、２つの傾斜駆動機構における傾斜ブロックのガイド溝の延設方向の勾配の比率を、基準位置作用点の回動軸からの距離の比率に一致させた場合の例となっている。
このため、駆動部３０Ｃ、３０Ｄの直動部に用いるねじピッチが共通であるため、基準位置作用点の回動軸から距離の比率ＤＡ／ＤＢが種々変化された場合でも、雄ねじ部３３ｄ、雌ねじ部３１のねじピッチとして、例えば、メートルねじなどの汎用的なねじピッチを採用することができるので、安価な構成とすることができる。 The biaxial tilt stage 2 of the present embodiment matches the advance / retreat amount of the driver per unit adjustment amount of each adjustment unit, and sets the ratio of the gradient in the extending direction of the guide groove of the inclined block in the two inclined drive mechanisms. This is an example in which the ratio of the distance from the rotation axis of the reference position action point is matched.
For this reason, since the screw pitch used for the linear motion part of the drive parts 30C and 30D is common, even when the ratio D A / D B of the distance from the rotation axis of the reference position action point is variously changed, the male screw part 33d As the thread pitch of the female thread portion 31, for example, a general-purpose thread pitch such as a metric thread can be adopted, so that an inexpensive configuration can be achieved.

なお、上記の説明では、回動力伝達部が傾斜ブロックからなる場合の例で説明した。このような構成では、簡素な構成でありながら、所定の変換比や駆動子の進退方向などの設定が容易となる。
ただし、駆動子の進退移動量を、傾斜台を回動軸回りの回動方向の移動量に所定の変換比で変換し傾斜台に伝達することができれば、回動力伝達部は傾斜ブロックに限定されるものではない。
例えば、従節が傾斜台に連結または摺接されて作用点（基準位置作用点）を構成し、原節が駆動子の先端に連結されたリンク伝達機構などを基台に設けた構成としてもよい。 In addition, in said description, it demonstrated by the example in case a turning force transmission part consists of an inclination block. With such a configuration, it is easy to set a predetermined conversion ratio, a forward / backward direction of the driver, and the like, though it is a simple configuration.
However, if the amount of forward / backward movement of the driver can be converted to the amount of movement of the tilting table around the rotation axis with a predetermined conversion ratio and transmitted to the tilting table, the rotational power transmission unit is limited to the tilting block. Is not to be done.
For example, a structure in which a follower is connected or slidably contacted with an inclined base to form an action point (reference position action point), and a link transmission mechanism or the like in which an original clause is connected to the tip of a driver is provided on the base. Good.

また、上記の説明では、２つの調整駆動機構の調整感度が同一である場合の例で説明したが、調整の操作性には大きな支障がない場合には、２つの傾斜駆動機構の間でわずかに調整感度が異なっていてもよい。このため、調整感度は略同一であればよい。   In the above description, the example in which the adjustment sensitivities of the two adjustment drive mechanisms are the same has been described. However, in the case where there is no major problem in the operability of adjustment, there is a slight difference between the two inclination drive mechanisms. The adjustment sensitivity may be different. For this reason, adjustment sensitivity should just be substantially the same.

また、上記の説明では、直動部は、回転操作部材を手動で回転させる場合の例で説明したが、回転操作部材は、例えば、モータなどによって駆動される構成としてもよい。   In the above description, the linear motion unit is described as an example in which the rotation operation member is manually rotated. However, the rotation operation member may be configured to be driven by a motor or the like, for example.

また、上記の説明では、ねじ送り機構は、ナット板に設けられた雌ねじ部に駆動子の雄ねじ部が螺合された構成として説明したが、駆動子を螺進させるねじ機構が内蔵されたマイクロメータヘッドなどをナット板の位置に固定した構成としてもよい。   In the above description, the screw feeding mechanism has been described as a configuration in which the male screw portion of the driver is screwed into the female screw portion provided on the nut plate. It is good also as a structure which fixed the meter head etc. to the position of the nut board.

また、上記の説明では、傾斜角変化の基準位置の状態で、直動部の進退方向が、基台および傾斜台の対向方向と直交する方向とされた場合の例で説明したが、基台および傾斜台の対向方向側のスペースに余裕がある場合には、直動部の進退方向は、対向方向に沿う方向としてもよい。
例えば、上記第１の実施形態の構成において、傾斜ブロック３４の傾斜角φ＝０のＶ溝３４ｂを有する構成とし、駆動子３３Ａ、３３Ｂが、傾斜角の基準位置の状態において傾斜台１２と直交する方向に進退するように配置してもよい。この場合でも、上記式（１）を満足させることで、２つの傾斜駆動機構の調整感度を一致させることができる。この変形例の場合、傾斜ブロック３４は、所定の変換比が１である回動力伝達部を構成している。 In the above description, in the state of the reference position for the change in the inclination angle, the linear movement part has been described as an example in which the advancing / retreating direction is a direction orthogonal to the opposing direction of the base and the tilting base. In addition, when the space on the opposite direction side of the tilting table has a margin, the advancing / retreating direction of the linear motion portion may be a direction along the opposite direction.
For example, in the configuration of the first embodiment, the inclined block 34 has the V groove 34b having the inclination angle φ = 0, and the drive elements 33A and 33B are orthogonal to the inclination table 12 in the reference position of the inclination angle. You may arrange | position so that it may advance / retreat to the direction to do. Even in this case, the adjustment sensitivities of the two tilt drive mechanisms can be matched by satisfying the above formula (1). In the case of this modification, the inclined block 34 constitutes a rotating power transmission unit having a predetermined conversion ratio of 1.

また、上記の説明では、基台および傾斜台の形状は、一例として矩形板状として説明したが、基台および傾斜台は、これらの間に設けられる２つの傾斜駆動機構の各基準位置作用点が、各回動軸から異なる距離に設けることができる大きさや形状を有していれば、矩形板状には限定されない。例えば、正方形板、円板などであってもよい。   In the above description, the shape of the base and the tilting table is described as a rectangular plate as an example. However, the base and the tilting table are the reference position operating points of the two tilting drive mechanisms provided between them. However, it is not limited to the rectangular plate shape as long as it has a size and shape that can be provided at different distances from the respective rotation axes. For example, it may be a square plate or a disc.

また、上記実施形態で説明したすべての構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせて実施することができる。
例えば、上記第１および第２の実施形態を組み合わせて、２つの傾斜駆動機構が、各基準位置作用点の回動軸からの距離の比に応じて、各調整部の単位調整量当たりの駆動子の進退移動量、および各回動力伝達部の各所定の変換比を、それぞれ互いに異なる値に設定することで、傾斜台の２軸方向の傾斜角の調整感度が略同一となるようにした構成としてもよい。 Moreover, all the components described in the above embodiment can be implemented in appropriate combination within the scope of the technical idea of the present invention.
For example, by combining the first and second embodiments, the two tilt drive mechanisms can drive each adjustment unit per unit adjustment amount according to the ratio of the distance from the rotation axis of each reference position action point. A configuration in which the adjustment sensitivity of the tilt angle in the biaxial direction of the tilt base is made substantially the same by setting the amount of advance / retreat movement of the child and each predetermined conversion ratio of each power transmission unit to different values. It is good.

１、２ ２軸チルトステージ
１１ 基台
１１ａ 基準面（傾斜の基準面）
１２ 傾斜台
２０ 支点部
３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ 駆動部（傾斜駆動機構）
３１、３１Ｃ、３１Ｄ ナット板（直動部）
３２ つまみ（回転操作部材）
３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄ 駆動子（直動部）
３４、３４Ｃ、３４Ｄ 傾斜ブロック（回動力伝達部）
３４ｂ Ｖ溝
ｄ、ｄＡ、ｄＢ ねじピッチ
ＤＡ、ＤＢ 距離（基準位置作用点の回動軸からの距離）
ＬＡ、ＬＹ 直線（回動軸）
ｐ、ｑ 基準位置作用点
ｐ１、ｑ１ 作用点（回動力の伝達位置）
Ｏ 中心
４０ コイルばね 1, 2 2-axis tilt stage 11 Base 11a Reference plane (inclination reference plane)
12 tilting table 20 fulcrum part 30A, 30B, 30C, 30D drive part (tilt drive mechanism)
31, 31C, 31D Nut plate (linear motion part)
32 Knob (Rotation operation member)
33A, 33B, 33C, 33D Driver (linear motion part)
34, 34C, 34D Tilting block (rotational power transmission part)
34b V grooves d, d A, d B thread pitch D A, D B distance (distance from the rotational axis of the reference position action point)
L A , L Y straight line (rotating axis)
p, q reference position action point p 1 , q 1 action point (transmission power transmission position)
O center 40 coil spring

Claims (8)

傾斜の基準面を有する基台と、該基台の前記基準面と反対側に対向して配置された傾斜台と、前記基台と前記傾斜台との間に設けられ前記傾斜台を前記基台に対して回動可能に支持する支点部と、前記傾斜台を前記支点部の中心を通る２つの回動軸回りにそれぞれ回動させて、前記基台に対する前記傾斜台の２軸方向の傾斜角を変化させる２つの傾斜駆動機構とを備える２軸チルトステージであって、
前記傾斜駆動機構は、
前記基台に設けられ、棒状の駆動子を該駆動子の軸方向に進退させる直動部と、
該直動部の進退移動量を調整する調整部と、
前記直動部の前記駆動子の先端の進退移動量を、前記回動軸回りの回動方向の移動量に所定の変換比で変換して前記傾斜台に伝達する回動力伝達部とを備え、
前記２つの傾斜駆動機構の各回動力伝達部は、
前記傾斜台の傾斜角変化の基準位置の状態における回動力の伝達位置である各基準位置作用点が、前記回動軸から互いに異なる距離だけ離間されるように設けられ、
前記２つの傾斜駆動機構は、
前記各基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比に応じて、前記各調整部の単位調整量当たりの前記各駆動子の進退移動量、および前記各回動力伝達部の前記各所定の変換比の少なくともいずれかを、互いに異なる値に設定して、前記各調整部による前記傾斜台の２軸方向の傾斜角の調整感度が略同一となるようにしたことを特徴とする２軸チルトステージ。 A base having an inclined reference surface; an inclined base disposed opposite to the reference surface of the base; and the inclined base provided between the base and the inclined base. A fulcrum portion that is pivotally supported with respect to a table, and the tilt table is rotated about two rotation axes that pass through the center of the fulcrum portion, respectively, so A two-axis tilt stage comprising two tilt drive mechanisms for changing the tilt angle,
The tilt drive mechanism is
A linear motion part provided on the base for moving the rod-shaped driver in the axial direction of the driver;
An adjustment unit for adjusting the amount of forward / backward movement of the linear motion unit;
A rotating power transmission unit that converts a forward / backward movement amount of the tip of the driver of the linear motion part into a movement amount in a rotation direction around the rotation shaft at a predetermined conversion ratio and transmits the converted amount to the tilting table; ,
Each turning power transmission part of the two tilt drive mechanisms is
Each reference position action point that is a transmission position of the rotational force in the state of the reference position of the tilt angle change of the tilt table is provided so as to be separated from the rotating shaft by a different distance from each other,
The two tilt drive mechanisms are:
According to the ratio of the distance from the rotation axis of each reference position action point, the forward / backward movement amount of each driver element per unit adjustment amount of each adjustment unit, and each predetermined power of each turning power transmission unit A biaxial tilt characterized in that at least one of the conversion ratios is set to a value different from each other, and the adjustment sensitivity of the tilt angle in the biaxial direction of the tilt base by the respective adjusting units is substantially the same. stage. 前記２つの傾斜駆動機構の前記回動力伝達部は、
前記駆動子の先端が摺接されるガイド溝を有し、該ガイド溝の延設方向が、前記駆動子の軸方向および前記傾斜台の被傾斜面に対して傾斜された傾斜ブロックからなることを特徴とする請求項１に記載の２軸チルトステージ。 The torque transmission unit of the two tilt drive mechanisms is
The driving element has a guide groove with which the tip of the driving element is slidably contacted, and the extending direction of the guide groove is an inclined block inclined with respect to the axial direction of the driving element and the inclined surface of the inclined base. The biaxial tilt stage according to claim 1. 前記各傾斜ブロックの前記ガイド溝の延設方向の勾配を互いに等しくすることで、前記各所定の変換比の大きさを一致させるともに、
前記２つの傾斜駆動機構における前記調整部の単位調整量当たりの前記駆動子の進退移動量の比率を前記基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させたことを特徴とする請求項２に記載の２軸チルトステージ。 By making the gradients in the extending direction of the guide grooves of the inclined blocks equal to each other, the magnitudes of the predetermined conversion ratios are matched,
The ratio of the forward / backward movement amount of the driver per unit adjustment amount of the adjustment unit in the two tilt drive mechanisms is made to coincide with the ratio of the distance from the rotation axis of the reference position action point. The biaxial tilt stage according to claim 2. 前記各調整部の単位調整量当たりの前記駆動子の進退移動量を一致させるとともに、
前記２つの傾斜駆動機構における前記傾斜ブロックの前記ガイド溝の延設方向の勾配の比率を前記基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させたことを特徴とする請求項２に記載の２軸チルトステージ。 While making the amount of advancement and retreat movement of the driver per unit adjustment amount of each adjustment unit coincide,
3. The gradient ratio in the extending direction of the guide groove of the inclined block in the two inclined drive mechanisms is made to coincide with the ratio of the distance from the rotation axis of the reference position action point. A two-axis tilt stage described in 1. 前記傾斜駆動機構の前記直動部は、
前記駆動子が、前記基台および前記傾斜台に挟まれる位置に配置されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の２軸チルトステージ。 The linear motion portion of the tilt drive mechanism is
5. The biaxial tilt stage according to claim 1, wherein the driving element is disposed at a position sandwiched between the base and the tilting table. 前記２つの傾斜駆動機構の前記各調整部は、
回転操作によって前記直動部の進退量を調整する回転操作部材を備え、
前記２つの傾斜駆動機構の前記各直動部は、
前記回転操作部材の単位回転量に応じて、前記駆動子が一定の送りピッチでねじ送りされるねじ送り機構を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の２軸チルトステージ。 Each adjusting portion of the two tilt drive mechanisms is
A rotation operation member that adjusts the amount of advancement and retraction of the linear motion part by a rotation operation;
The linear motion parts of the two tilt drive mechanisms are
The biaxial tilt stage according to any one of claims 1 to 5, further comprising a screw feed mechanism in which the driver is screwed at a constant feed pitch in accordance with a unit rotation amount of the rotary operation member. . 前記傾斜駆動機構の前記回転操作部材は、
前記基台および前記傾斜台の側方に設けられたことを特徴とする請求項６に記載の２軸チルトステージ。 The rotation operation member of the tilt drive mechanism is
The biaxial tilt stage according to claim 6, wherein the biaxial tilt stage is provided on a side of the base and the tilt base. 前記基台および前記傾斜台は、略矩形板状の部材からなり、
前記２つの傾斜駆動機構の前記直動変換機構の前記駆動子の進退方向が、それぞれ前記基台および前記傾斜台の短辺に略沿う方向に設けられ、
前記２つの傾斜駆動機構の前記回転操作部材が、それぞれ前記基台および前記傾斜台の一方の長辺側の側方に設けられたことを特徴とする請求項７に記載の２軸チルトステージ。 The base and the inclined base are made of a substantially rectangular plate-shaped member,
The forward and backward directions of the driver of the linear motion conversion mechanism of the two tilt drive mechanisms are provided in directions substantially along the short sides of the base and the tilt base, respectively.
8. The biaxial tilt stage according to claim 7, wherein the rotation operation members of the two tilt drive mechanisms are respectively provided on the long sides of one of the base and the tilt table.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012148386A (en) * 2011-01-21 2012-08-09 Disco Corp Machining apparatus
KR101234343B1 (en) * 2012-05-22 2013-03-15 주식회사 재원 Tilt stage
JP2020085105A (en) * 2018-11-22 2020-06-04 親和パッケージ株式会社 Rotary support structure and support base for heavy load transportation
WO2021066238A1 (en) * 2019-09-30 2021-04-08 나윤성 Movable abrasive machine for machining chock liner for windlass
CN114871807A (en) * 2022-06-10 2022-08-09 星威国际家居股份有限公司 Seat multi-angle automatic drilling and tapping machine and multi-angle swinging tool clamp thereof

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012148386A (en) * 2011-01-21 2012-08-09 Disco Corp Machining apparatus
KR101234343B1 (en) * 2012-05-22 2013-03-15 주식회사 재원 Tilt stage
JP2020085105A (en) * 2018-11-22 2020-06-04 親和パッケージ株式会社 Rotary support structure and support base for heavy load transportation
JP7142909B2 (en) 2018-11-22 2022-09-28 親和パッケージ株式会社 Rotating support structure and support platform for transporting heavy objects
WO2021066238A1 (en) * 2019-09-30 2021-04-08 나윤성 Movable abrasive machine for machining chock liner for windlass
CN114871807A (en) * 2022-06-10 2022-08-09 星威国际家居股份有限公司 Seat multi-angle automatic drilling and tapping machine and multi-angle swinging tool clamp thereof
CN114871807B (en) * 2022-06-10 2022-11-18 星威国际家居股份有限公司 Automatic drilling and tapping machine of seat multi-angle and multi-angle swing frock clamp thereof

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