JP2010197056A - データ表示装置、データ表示方法およびプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】デバイスの試験用プログラムの修正に伴う試験実行時間の変化を容易に比較することができるデータ表示装置を提供する
【解決手段】デバイスの試験用プログラム毎に計測された実行時間データを格納する実行時間データ格納部と、格納された実行時間データから、基準となる実行時間データと比較対象となる実行時間データの選択を受け付ける操作受付部と、選択された実行時間データについて、比較対象となる実行時間データと基準となる実行時間データとの差分値を表示する実行時間表示制御部とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は半導体デバイスの試験に係り、特に、半導体デバイスの試験に要した時間のデータを表示するデータ表示装置、データ表示方法およびプログラムに関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体デバイスの試験を行なうために半導体試験装置が用いられる。半導体試験装置は、ユーザが作成する試験用プログラムの内容に従って半導体デバイスに試験用信号を印加し、その出力結果を計測することで半導体デバイスの試験を行なう。

一般に、試験用プログラムは、試験対象の半導体デバイスの特性や試験目的等に応じてユーザが修正を繰り返しながら作成していく。試験用プログラムの修正の過程では、試験実行時間を短縮し、効率的に半導体試験装置が運用されるように、試験項目の実行順序、変数の使い回し、パラメータ設定等に関して種々の調整が行なわれる。これらの調整の内容に応じて、半導体デバイス試験の実行時間が左右される。

特開２００１−３３０６５１号公報

試験用プログラムの修正に伴う試験実行時間の変化は、半導体デバイス試験の生産性に大きな影響を与える。このため、試験用プログラム修正の効果を把握できるように試験用プログラムの実行時間を測定し、記録する半導体試験装置が提案されている。

このような半導体試験装置では、例えば、修正された試験用プログラム毎に実行時間を数値で表示したり、グラフ表示したりすること等により、試験用プログラム修正の効果を把握できるようにしている。しかしながら、どの程度効果があったかまでを容易に把握することはできず、詳細な比較を行なうためにはさらに情報を加工する必要があり、ユーザに手間を強いている。

そこで、本発明は、デバイスの試験用プログラムの修正に伴う試験実行時間の変化を容易に比較することができるデータ表示装置、データ表示方法およびプログラムを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の第１の態様であるデータ表示装置は、デバイスの試験用プログラム毎に計測された実行時間データを格納する実行時間データ格納部と、前記格納された実行時間データから、基準となる実行時間データと比較対象となる実行時間データの選択を受け付ける操作受付部と、選択された実行時間データについて、前記比較対象となる実行時間データと前記基準となる実行時間データとの差分値を表示する実行時間表示制御部とを備える。

ここで、前記試験用プログラムは、複数の部分から構成され、前記実行時間表示制御部は、前記部分単位で前記比較対象となる実行時間データと前記基準となる実行時間データとの差分値を表示することができる。

また、前記試験用プログラム毎の差分情報を記録する履歴記録部をさらに備え、前記実行時間表示制御部は、前記基準となる実行時間データに対応する試験用プログラムと前記比較対象となる実行時間データに対応する試験用プログラムとの差分をさらに表示するようにしてもよい。あるいは、前記実行時間表示制御部は、さらに、前記基準となる実行時間データに対する前記比較対象となる実行時間データの割合を表示するようにしてもよい。

上記課題を解決するため、本発明の第２の態様であるデータ表示方法は、デバイスの試験用プログラム毎に計測された実行時間データを格納する実行時間データ格納ステップと、前記格納された実行時間データから、基準となる実行時間データと比較対象となる実行時間データの選択を受け付ける選択受け付けステップと、選択された実行時間データについて、前記比較対象となる実行時間データと前記基準となる実行時間データとの差分値を表示する表示ステップとを有する。

上記課題を解決するため、本発明の第３の態様であるプログラムは、デバイスの試験用プログラム毎に計測された実行時間データを格納する実行時間データ格納部と、前記格納された実行時間データから、基準となる実行時間データと比較対象となる実行時間データの選択を受け付ける操作受付部と、選択された実行時間データについて、前記比較対象となる実行時間データと前記基準となる実行時間データとの差分値を表示する実行時間表示制御部として情報処理装置を機能させる。

本発明によれば、デバイスの試験用プログラムの修正に伴う試験実行時間の変化を容易に比較することができるデータ表示装置、データ表示方法およびプログラムが提供される。

本実施形態に係る半導体試験装置の構成を示すブロック図である。 試験用プログラムの構成例を示す図である。 実行時間データの構成例を示す図である。 実行時間表示制御部の処理を示すフローチャートである。 実行時間データ選択画面例を示す図である。 実行時間比較画面例を示す図である。 実行時間比較画面の別例を示す図である。

本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る半導体試験装置の構成を示すブロック図である。本図に示すように、半導体デバイス７０の試験を行なう半導体試験装置１０は、データ表示装置１００、制御装置２００、試験処理装置３００を備えている。半導体試験装置１０は、試験用プログラム２２１の内容に従って半導体デバイス７０に対する試験を行なう。ただし、試験対象は、半導体デバイスに限られず、種々のデバイスに対して試験を行なうことができる。

データ表示装置１００は、ユーザが操作を行なう端末装置として機能し、モニタ等の表示部１１１と、キーボード、ポインティングデバイス等の操作受付部１１２とを備えている。また、データ表示装置１００は、ユーザが試験用プログラム２２１の作成、編集処理を行えるようにするためのエディタ機能を提供するプログラム編集処理部１２０と、ユーザが行なった編集の履歴を記録する履歴記録部１３０とを備えている。履歴記録部１３０は、例えば、試験用プログラム２２１をバージョン管理し、試験用プログラム２２１のバージョンが更新される際に、従前のバージョンとの差分を記録することで履歴の記録を行なう。

さらに、データ表示装置１００は、実行時間表示制御部１４０と実行時間データ格納部１５０とを備えている。実行時間データ格納部１５０は、試験用プログラム２２１による半導体デバイス試験の実行時間に関する実行時間データを制御装置２００から取得し、格納する。実行時間表示制御部１４０は、実行時間データ格納部１５０に格納された実行時間データに基づく画面表示を制御する。実行時間表示制御部１４０が行なう具体的な処理については後述する。

制御装置２００は、試験用プログラム２２１を格納するメモリ２２０と、試験用プログラム２２１を実行するプログラム実行部２１０と、プログラム実行部２１０の実行による半導体デバイス試験の実行時間を計測して実行時間データを生成する実行時間計測部２３０とを備えている。プログラム実行部２１０は、例えば、ＣＰＵ等を用いて構成することができる。

図２は、メモリ２２０に格納される試験用プログラム２２１の構成例を示す図である。試験用プログラム２２１は、実際には、所定のプログラム言語で記載されるが、本図では模式的に示すものとする。本図に示すように、試験用プログラム２２１は、階層構造を成しており、「第１試験Ｓｅｇｍｅｎｔ」「第２試験Ｓｅｇｍｅｎｔ」…のように試験種類等に応じたセグメント単位で構成され、各セグメントは「テストセル１−１」「テストセル１−２」…のように試験単位となるセルで構成されるものとする。また、試験用プログラム２２１には、プログラムバージョンを示す情報が含まれている。もちろん、試験用プログラム２２１の構成は本例に限られない。

実行時間計測部２３０は、試験用プログラム２２１で定められたセル単位で実行時間を計測し、実行時間データを生成する。図３は、実行時間データの構成例を示す図である。本図に示すように、実行時間データは、ヘッダ部に実行日時の情報と、プログラムバージョンを示す情報が記録され、本体部に、試験内容ごとに実行時間が記録される。ここで、試験内容ごとの実行時間には、試験用プログラム２２１による半導体デバイス試験実行時間の総合計と、セグメントの合計時間が含まれるものとする。実行時間計測部２３０は、専用に開発されたプログラムを実行すること等により、データ表示装置１００上に構成することができる。

試験処理装置３００は、試験用プログラム２２１を実行するプログラム実行部２１０の制御に基づいて半導体デバイス７０に対する試験を行なう。具体的には、プログラム実行部２１０の指示に従って、信号発生器３１０が半導体デバイス７０に対して電圧、電流、信号波形等を印加し、計測器３２０が半導体デバイス７０からの出力信号を入力して種々の計測を行なう。さらに、図示しない他の機能部が必要に応じて各種試験を行なうようにしてもよい。

次に、実行時間表示制御部１４０が行なう処理について図４のフローチャートを参照して説明する。なお、半導体試験装置１０は、複数のバージョンの試験用プログラム２２１を用いて半導体デバイス７０に対する試験をすでに行なっており、実行時間データ格納部１５０には、複数の実行時間データが格納されているものとする。また、履歴記録部１３０には、ユーザによる試験用プログラム２２１の編集履歴が記録されているものとする。

まず、実行時間表示制御部１４０は、ユーザからの指示に基づいて、実行時間データリストの表示を行なう（Ｓ１０１）。実行時間データリストの表示は、例えば、図５に示すような実行時間データ選択画面５１０を用いて行なうことができる。実行時間データ選択画面５１０には、例えば、実行日時、プログラムバージョン、実行時間の総合計が表示される。実行時間表示制御部１４０は、実行時間データ格納部１５０に格納された実行時間データを参照することで実行時間データ選択画面５１０を作成する。実行時間データリストは、実行日時、プログラムバージョン、実行時間の総合計等の情報に基づいてソートして表示できるようにすることが望ましい。

実行時間データ選択画面５１０には、各実行時間データに対して選択用領域５１１および実行時間データを比較表示するための「比較表示」ボタン５１２が設けられている。ユーザは、比較したい実行時間データの選択用領域５１１を選択して、「比較表示」ボタン５１２をクリックすることで、実行時間データの比較画面を表示させることができる。

すなわち、実行時間表示制御部１４０は、実行時間データ選択画面５１０で基準となる実行時間データと比較対象となる実行時間データとをユーザから受け付けると（Ｓ１０２）、実行時間データ格納部１５０から該当する実行時間データを取得し、比較データを算出する（Ｓ１０３）。ここで、比較データは、実行時間の差分とする。これにより、実行時間がどの程度変化したかを直接的に把握することができるようになる。また、本実施形態では、より実行日時の早い実行時間データを基準とし、実行日時の遅い実行時間データを比較対象とするが、ユーザから基準となる実行時間データの指定を受け付けるようにしてもよい。さらには、比較対象とする実行時間データは複数としてもよい。

そして、実行時間表示制御部１４０は、実行時間比較画面を生成して、表示部１１１に表示する（Ｓ１０４）。図６は、実行時間比較画面の一例を示す図である。本図に示すように実行時間比較画面５２０は、基準となる実行時間データのセグメント単位の実行時間をグラフ表示する領域５２１と、比較対象となる実行時間データのセグメント単位の実行時間をグラフ表示する領域５２２とを備えている。いずれの領域にも実行日時とプログラムのバージョン情報が表示され、ユーザが表示されている実行時間データを識別しやすいようになっている。

また、実行時間比較画面５２０には、基準となる実行時間と比較対象となる実行時間との差分をセグメント毎にグラフ表示する領域５２３が設けられている。この領域５２３を参照することにより、ユーザは、試験用プログラム２２１のバージョン変更により、実行時間がどの程度変化したかを視覚的に把握することができるようになる。

さらに、実行時間比較画面５２０には、「比率表示」ボタン５２４、「セル表示」ボタン５２５、「プログラム差分」ボタン５２６が設けられており、ユーザが試験用プログラム２２１のバージョン変更による実行時間の変化を容易に分析できるようになっている。

すなわち、「比率表示」ボタン５２４をクリックすることで、実行時間の差分表示を比率表示に変えることができる。比率表示では、例えば、基準となる実行時間データに対して３０％実行時間が短くなったというような情報を視覚的に把握することができるようになる。

また、「セル表示」ボタン５２４をクリックすることで、セグメント単位の比較結果をセル単位に変えることができる。これにより、試験用プログラム２２１の試験実行単位で実行時間の変化を把握することができるようになる。また、総合計時間の比較結果を表示したり、試験用プログラム２２１中に計測ポイントを記録して、計測ポイント単位で実行時間の比較結果を表示できるようにしてもよい。

ユーザは「プログラム差分」３２６をクリックして、比較結果領域５２３のグラフを指示することで、グラフに対応するセグメントあるいはセルにおける試験用プログラム２２１のバージョン間の相違点を表示させることができる。

例えば、図７に示すように、セル単位で比較結果のグラフが表示されている状態で、「プログラム差分」ボタン５２６をクリックして、「テストセル１−１」に対応するグラフを指示すると、基準となる試験用プログラム２２１のバージョン「Ｄｄ２」と、比較対象の試験用プログラム２２１のバージョン「Ｄｄ４」との「テストセル１−１」における相違点が小画面５２８に表示される。小画面５２８の表示内容は、履歴記録部１３０を参照することで作成することができる。これにより、ユーザは、実行時間の変化が試験用プログラム２２１のどのような修正に起因するものであるかを容易に把握することができるようになる。

以上説明したように、本実施形態によれば、半導体デバイスの試験用プログラムの修正に伴う試験実行時間の変化を容易に比較することができる半導体試験装置が提供される。

１０…半導体試験装置
７０…半導体デバイス
１００…データ表示装置
１１１…表示部
１１２…操作受付部
１２０…プログラム編集処理部
１３０…履歴記録部
１４０…実行時間表示制御部
１５０…実行時間データ格納部
２００…制御装置
２１０…プログラム実行部
２２０…メモリ
２２１…試験用プログラム
２３０…実行時間計測部
３００…試験処理装置
３１０…信号発生器
３２０…計測器

Claims (6)

1. デバイスの試験用プログラム毎に計測された実行時間データを格納する実行時間データ格納部と、
   前記格納された実行時間データから、基準となる実行時間データと比較対象となる実行時間データの選択を受け付ける操作受付部と、
   選択された実行時間データについて、前記比較対象となる実行時間データと前記基準となる実行時間データとの差分値を表示する実行時間表示制御部とを備えたことを特徴とするデータ表示装置。
2. 請求項１に記載のデータ表示装置であって、
   前記試験用プログラムは、複数の部分から構成され、
   前記実行時間表示制御部は、前記部分単位で前記比較対象となる実行時間データと前記基準となる実行時間データとの差分値を表示することを特徴とするデータ表示装置。
3. 請求項１に記載のデータ表示装置であって、
   前記試験用プログラム毎の差分情報を記録する履歴記録部をさらに備え、
   前記実行時間表示制御部は、前記基準となる実行時間データに対応する試験用プログラムと、前記比較対象となる実行時間データに対応する試験用プログラムとの差分をさらに表示することを特徴とするデータ表示装置。
4. 請求項１に記載のデータ表示装置であって、
   前記実行時間表示制御部は、さらに、前記基準となる実行時間データに対する前記比較対象となる実行時間データの割合を表示することを特徴とするデータ表示装置。
5. デバイスの試験用プログラム毎に計測された実行時間データを格納する実行時間データ格納ステップと、
   前記格納された実行時間データから、基準となる実行時間データと比較対象となる実行時間データの選択を受け付ける選択受け付けステップと、
   選択された実行時間データについて、前記比較対象となる実行時間データと前記基準となる実行時間データとの差分値を表示する表示ステップとを有することを特徴とするデータ表示方法。
6. デバイスの試験用プログラム毎に計測された実行時間データを格納する実行時間データ格納部と、
   前記格納された実行時間データから、基準となる実行時間データと比較対象となる実行時間データの選択を受け付ける操作受付部と、
   選択された実行時間データについて、前記比較対象となる実行時間データと前記基準となる実行時間データとの差分値を表示する実行時間表示制御部として情報処理装置を機能させるコンピュータプログラム。