JP2005300324A - 被試験対象デバイスの測定データ解析方法、プログラム、および測定データ解析システム - Google Patents

Abstract

【課題】被試験対象デバイスの測定に用いるアプリケーションの選択、その実行時パラメータの設定、測定の実行及び実行結果の表示を含む測定装置の操作環境をわかりやすくする。
【解決手段】測定手段と、表示手段と、入力手段と、記憶手段と、演算および制御を行う演算・制御手段とを備えた半導体測定装置における操作方法であって、表示手段において半導体測定評価用アプリケーションの雛型を入力手段により選択する第１の雛形選択ステップ５０と、表示手段に表示された前記アプリケーションの雛型に関して実行に必要な設定情報を入力手段により設定し５２、該設定情報を記憶手段に保存する設定保存ステップ５３と、アプリケーションを実行するステップ５５と、実行結果と実行結果属性情報とを前記記憶装置に保存し、前記表示装置に表示する第１の表示ステップ５４、５６、５７、５８とを含む。
【選択図】図５

Description

本発明は、半導体の被試験対象デバイスの測定に関わる測定装置の操作環境に関し、特に、被試験対象デバイスの測定において使用される半導体測定評価用アプリケーションの選択、実行時パラメータの設定、実行及びその結果の表示、プログラミングに関する操作について、ユーザが迅速に容易に理解することができる、被試験対象デバイスの測定装置とこれを用いた方法に関する。

従来より、以下の非特許文献１に記載されているようなグラフィックユーザインターフェース（ＧＵＩ）を実装した半導体の被試験対象デバイスの測定装置が市販されている。 しかしながら、上記のような測定装置は、測定や評価や装置の操作等に関する知識をユーザに予め要求してきている。
Agilent New Dimensions in Parametric Analysis カタログ 2001

本発明は、ユーザが被試験対象デバイスに関連する測定技術や評価方法に詳しくない場合であっても所望の測定評価ができるよう支援し、ユーザの誤解により生じる操作ミス等を低減または回避できるようにするためのものである。

本発明は、被試験対象デバイスの測定に用いるアプリケーションの選択、その実行時パラメータの設定、または測定の実行及び実行結果の表示を含む測定装置の操作環境を、多くの技術分野にわたるユーザにとってわかりやすい操作環境として提供し、迅速に容易に被試験対象デバイスの測定や測定後の処理を行うための方法を提供するものである。
また本発明は、上記に加えて被試験対象デバイスの測定のためのプログラムの作成環境を、多くの技術分野にわたるユーザにとってわかりやすい操作環境として提供し、迅速に容易に被試験対象デバイスの測定や測定後の処理を行うための方法を提供するものである。
具体的には、測定手段と、表示手段と、入力手段と、記憶手段と、それらに接続され、演算および制御を行う演算・制御手段とを含む半導体測定装置における操作方法であって、前記表示手段において技術分野別に表示された半導体測定評価用アプリケーションの雛型を前記入力手段により選択する第１の雛形選択ステップと、前記表示手段に表示された前記アプリケーションの雛型に関して実行に必要な設定情報を前記入力手段により設定し、該設定情報を前記記憶手段に保存する設定保存ステップと、前記設定情報が保存されたアプリケーションを実行するステップと、前記設定情報が保存されたアプリケーションを実行して得られた実行結果と実行結果属性情報とを前記記憶装置に保存し、前記表示装置に表示する第１の表示ステップと
を含んでなる操作方法を提供する。

ここで、第１の雛形選択ステップは、選択されたアプリケーションに対応するプログラムの雛形を選択する第２の雛形選択ステップを含む態様や、第２の雛形選択ステップの後に、プログラムの新規作成または既存のプログラムの変更を行うステップをさらに含む態様や、プログラムの新規作成または既存のプログラムの変更を行うステップにおける表示手段への表示は、設定保存ステップにおいて表示手段に表示されるデータ入力フィールドおよび測定回路図情報の表示を含む態様や、設定保存ステップにおいて、データ入力フィールドと測定回路図情報とを表示手段に表示する態様や、設定保存ステップは、実行されるアプリケーションの情報と、該アプリケーションが必要とする実行時の設定情報とを保存することを特徴とする態様や、 設定保存ステップは、ファイル名入力を要求せずに保存を行うことを特徴とする態様や、設定保存ステップは、以前保存した情報を上書きすることなく保存する態様や、設定保存ステップの後に、保存リストを保存時刻順に前記表示手段に表示する保存リスト表示ステップがある態様や、前記保存リストに表示されたものの一つを選択し、その実行の際のアプリケーションと実行時の設定情報を前記表示手段に表示する、第１の実行時設定読み出しステップをさらに含む態様であることが好ましい。

また、前記第１の表示ステップは、表題、実行番号、実行時刻、注釈、マークのうちの少なくとも１つを実行結果属性リストとして含む態様や、前記マークが、「疑わしいデータ」や、「重要なデータ」や、「捨てて構わないデータ」を示す記号を表示することができるものである態様や、第１の表示ステップにおいて表示される実行結果属性リストは、該リストに表示された各属性のいずれかに着目したソートを行い、その結果を表示することができるものである態様や、前記実行結果属性リストから実行結果を選択し、その実行の際のアプリケーションと実行時の設定情報とを前記表示手段に表示する、第２の実行時設定読み出しステップをさらに含む態様や、第１の表示ステップは、表示手段にグラフプレビューを表示する第２の表示ステップをさらに含む態様であることが好ましい。
さらに、第２の表示ステップにおいて表示されるグラフプレビューは、直前に実行されたアプリケーションの実行結果を表すものである態様や、グラフプレビューは、表示手段に常に表示されている態様であることがより好ましい。

ここで、上記の半導体測定評価用アプリケーションとは、コンピュータに実行させることができる少なくとも１以上のプログラム、またはプログラムの集合物を意味する。
また、上記プログラミング環境によるプログラム構文は、コンピュータによって実行され、例えば、プログラム構文は、流れ図を用いてプログラムを表現したときに、そこに記述される１つのブロックの単位でありうる。このようなプログラム構文を組み合わせたり並べ替えたりすることにより、ユーザが、所望の半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムを構築することができる。

本発明によれば、ユーザが所望する半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムを測定装置において作成することができる。そのため、ユーザが別途に半導体測定評価用アプリケーションを構築または購入して測定装置へと組み込む必要がないので、ユーザが所望する被試験対象デバイスの特性評価を迅速に実行することができる。
また、記憶されている半導体測定評価用アプリケーションがＭＯＳＦＥＴや抵抗などの「デバイス」別に分類されているのではなく、例えばHigh-speed CMOS Logic等の技術分野別に分類されてユーザに提示されているので、特定の専門分野の特性評価を担当するユーザが、その特性評価に関係のない測定評価用アプリケーションを目にすることがない。そのため、ユーザが目的とする測定評価用アプリケーションを迅速に容易に選択することができるので、目的以外の測定評価用アプリケーションを誤って選択する等の不具合を回避することができる。
さらに、ユーザがある半導体測定評価用アプリケーションを選択すると、その半導体測定評価用アプリケーションに関連する技術分野の測定評価用アプリケーションをさらに表示することができる。そのため、ある技術分野を担当するユーザがその技術分野に関連する別の技術分野の測定を行う場合に、予め関連する知識を習得しておく必要性がなくなり、ユーザへの負担が軽減される。
加えて、本発明によれば、作成済みの半導体測定評価用アプリケーションと、アプリケーション作成用の雛型すなわちテンプレートの表示・選択部分を明確に分離したので、ユーザが勘違いして、本来測定用に保存していたアプリケーションや、それに関連するデータを壊してしまうことがない。
加えて、本発明によれば、予め記憶手段に記憶されている測定評価用アプリケーションに対応するプログラムと、ユーザが新たに作成した測定評価用アプリケーションに対応するプログラムとが、同じ形式である。そのため、予め記憶手段に記憶されている測定評価用アプリケーションと同様に、その新たなアプリケーションを他のユーザが容易に共有して利用することができる。従って、ユーザ間での作業効率の向上が期待できる。
また、本発明によれば、半導体測定評価用アプリケーション用のプログラムの作成を、ドラッグアンドドロップ等の簡単なマウス操作によりプログラム構文を所定の場所に移動させることにより行うことができる。そして、このプログラム構文は、少なくとも１つの命令を単位として、例えばアイコンの形式等により、表示部に表示されている。そのため、ユーザは、マウスを操作して所望のプログラム構文を選択してそれを組み合わせていくことにより、測定評価用アプリケーションに対応するプログラムの作成を行うことができる。従って、特別な文法や形式等を事前に習得することなく、ユーザの所望の半導体測定評価用アプリケーションに必要なプログラムを容易に作成することができる。
さらに、本発明によれば、半導体測定評価用アプリケーションの選択や設定を行うための表示と、半導体測定評価用アプリケーションを用いた測定データのグラフ表示とが、同じ画面に提示されている。そのため、半導体測定評価用アプリケーションの設定および修正と、その半導体測定評価用アプリケーションを用いた測定データの検証とを行う場合に、ユーザが画面表示を切り替える必要がない。従って、ある半導体測定評価用アプリケーションの設定をユーザが変更すると、これによって測定データがどのように変化するのかがユーザが直ちに示されるため、ユーザによる半導体測定評価用アプリケーションの改良のためのフィードバックが迅速に容易に行われる。
加えて、本発明によれば、測定データはユーザがファイル名を意識することなく自動的に保存され、実行日時や実行回数の番号などの属性情報と共にリスト表示され、さらにこのリスト上においてソートや条件による絞り込みや日時をキーワードとした検索や、マーク付与などを行う機能が提供されるので、複数の測定データの比較や検討などの作業を円滑に行うことができる。

本発明に係る被試験対象デバイスの測定装置１００を図１に示す。ここで、測定装置１００は、各種の半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムを記憶する記憶手段２と、記憶手段２に接続されており、各種の半導体測定評価用アプリケーションを技術分野別に分類して表示し、各種の半導体測定用アプリケーションに対応するプログラムの作成または実行を表示する表示手段３と、各種の半導体測定用アプリケーションから少なくとも１つの半導体測定用アプリケーションと、各種の半導体測定用アプリケーションに対応するプログラムの作成または実行をユーザに選択させるための入力手段４と、入力手段４と記憶手段２とに接続されており、少なくとも１つの半導体測定評価用アプリケーションに基づいて所定の演算及び接続された各種手段の制御を行う演算・制御手段５とを含んでなる。そして、図１に示すように、測定装置１００は、測定手段２００を介して、被試験対象デバイス（ＤＵＴ）１０２に接続できるようになっている。

記憶手段２は、各種の半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムの雛型だけでなく、ユーザが新たに作成した半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムの雛型も記憶することができる。また、後述のように、測定の実行時に使用される半導体測定評価用アプリケーション情報、すなわち、そのパラメータに設定されるデータや、そのアプリケーション内で使用されるプログラム等の実行に必要な様々なデータや情報も記憶することができる。

表示手段３は、半導体測定用アプリケーションに対応するプログラムを作成する場合にはプログラム構文のリストを表示し、プログラムを実行する場合には、前記半導体測定用アプリケーションのパラメータまたは前記半導体測定用アプリケーションにより得られた測定データのリストを表示することができる。つまり、ユーザが選択した半導体測定用アプリケーションについてのどのような作業を行うかを予めユーザに確認させ、その旨を表示するようになっている。

入力手段４は、例えば、キーボードやマウスやタッチパネル等を含みうる。そのため、入力手段４は、表示手段３と一体となる場合もありうる。そして、被試験対象デバイスの特性評価のためのユーザによる操作は、表示手段３に表示される後述するＧＵＩコンポーネント等を通じて、入力手段４を用いて行われる。例えば、入力手段４を用いて、記憶手段２に記憶されている半導体測定評価用アプリケーションの雛型の選択や、選択されたアプリケーションに対応するプログラムの雛形の選択や、そのアプリケーションの実行に必要な設定情報を設定することができる。

次に、表示手段３の詳細を図２に示す。この表示手段３には、ユーザが対象としている技術分野を選択するためのＧＵＩ３０３と、選択された技術分野内に分類されたアプリケーションを選択するためのＧＵＩ３０４と、選択されたアプリケーションの設定を行うためのＧＵＩ３０５と、アプリケーションの実行を開始するためのＧＵＩボタン３０６と、現在のアプリケーション設定をOn Hand Setup ListにブックマークするＧＵＩボタン３０７と、現在On Hand Setup Listに登録されているアプリケーション設定を表示、選択するためのＧＵＩ３０８と、測定結果がヒープされるTest Result ListのＧＵＩ３０９と、Test Result List内の項目をソートやフィルタリングするためのＧＵＩボタン群３１０と、Test Result List内の項目に付けられた注釈３１１と、Test Result List内の項目に付けられたマーク３１２と、測定結果データをプレビューするためのグラフ３１３とが表示されている。
さらに、図２には、本発明の表示手段３に隣接して設置され、前記半導体測定評価用アプリケーションに関連付けることができるハードウェアボタン群３０２も示されている。そして、ハードウェアボタン群３０２のうちの１つを選択することにより、そのボタンに関連付けられている半導体測定評価用アプリケーションを直ちに起動することができる。

本発明の測定装置１００の記憶手段２には、エンドユーザに使用されると想定される多数の半導体測定評価用アプリケーションの雛型が予め記憶されている。これは、最近の半導体技術開発では、関連する多くの技術分野別にユーザが専門分化されており、複数のユーザが各自の担当する技術分野の半導体測定評価用アプリケーションを利用する場合が多い。そのため、記憶手段２に記憶されている半導体測定評価用アプリケーションの雛形の集合は、図２のＧＵＩ３０３に示すように、技術分野別に分類されて表示されている。そのため、特定のユーザが他の技術分野の半導体測定評価用アプリケーションを目にすることがないよう配慮されている。そして、ＧＵＩ３０３において、ユーザが専門とする技術分野に対応する項目のチェックボックスＧＵＩにマークを付けると、その技術分野に属するアプリケーションの雛型がＧＵＩ３０４にリストされる。

ＧＵＩ３０４に示される半導体測定評価用アプリケーションの雛形リストから１つの項目を選択すると、そのアプリケーションを設定するためのＧＵＩが、ＧＵＩ３０５に示す領域に表示される。このＧＵＩには、例えば、半導体測定評価用アプリケーションの実行時のパラメータを設定するための一連の入力フィールドが、半導体測定評価用アプリケーションの内容を説明する文章や図とともに表示されるので、ユーザは、各フィールドに所望の値を入力することにより半導体測定評価用アプリケーションのパラメータを容易に設定することができる。
なお、ＧＵＩ３０５の表示及び入力フィールドの種類や配置は、半導体測定評価用アプリケーション毎に適した形態をとることができる。

そして、ＧＵＩ３０５の領域において設定を終えたユーザは、ＧＵＩ３０６に示されるボタンを押すことによってその測定評価用アプリケーションを用いた測定を開始することができる。ユーザは、所望の結果が得られるまでＧＵＩ３０５に示すエリアにおいて設定した値を修正したり、被試験対象デバイスを交換したり、温度等の測定条件を変更したりしながら測定を繰り返すことができる。このようにして得られた測定データは、プレビュー用グラフ３１３上に折れ線グラフや散布図などの形式によりプロットされるので、測定の途中において測定の不具合の有無やパラメータの値の入力ミス等を知ることができる。また、このプレビュー用グラフを、必要に応じて拡大することもできる。

このようにして得られた測定データは、記憶手段２に全て自動的に保持される。そのとき、その測定評価用アプリケーションの名前や、ユーザが付けた表題や、測定を行った日時や、測定の実行番号を示す値などを、符号３０９のエリアに順次に追加して表示される。なお、符号３０９のエリアに表示されるリストのことを、以降、「実行結果属性リスト」と呼ぶ。
さらに、上記の表示に加えて、例えば測定の終了時などに、符号３１１に示すように、測定結果に関する注釈を測定データに添付することもできる。同様に、測定の終了時などに、測定結果に対して符号３１２に示すような記号すなわちマークを付することもできる。このようなマークの付け方としては、測定終了時に表示されるダイアログボックス中の実行結果属性リストにおいてマークの選択を行うか、または、測定終了後に測定結果リスト上においてマークの部分をユーザがクリックして、マーク選択用のメニューもしくはダイアログを表示する仕方などにより行うことができる。このようなマークには、例えば、「疑わしいデータ」や、「重要なデータ」や、「捨てて構わないデータ」などの表示をダイアログボックスに表示するような仕方により行うことができる。
これによって、ユーザは、実行結果属性リストの所望の行に、短時間でマークを付することができ、このマークに基づいてこのリストから特定の測定データを容易に検索して、そのときの測定評価用アプリケーションの種類および設定やその測定データなどを、符号３０５に示す設定用エリアや、符号３１３に示すグラフプロットエリアなどに容易に呼び出すことができる。以上のように、実行結果属性リストには、実行された測定の表題、実行日時、実行番号、注釈（Remarks)、マークなどを含む。

符号３０９に示す実行結果属性リストから過去の測定データを探す場合には、符号３１０に示すＧＵＩなどを使用することにより、表題順、日時順、実行番号順、注釈順、もしくはマーク順などにより昇順または降順に表示をソートすることができる。また、上記のいくつかの項目中から、所定の条件を満足するものだけを表示または検索することができる。
さらに、実行結果属性リストから探した過去の測定データを選択し、その測定の際の設定情報をＧＵＩ３０５のエリアに呼び出し、そのアプリケーションを再度実行することもできるように構成されている。したがって、既に作成したアプリケーションを再度実行する際には、１）On Hand Steup Listから選択する、２）実行結果属性リストから選択する、の２つの方法がある。

図２の符号３０５に示すエリアにおいてパラメータ等の設定を何回か変更して測定を繰り返した結果、測定に適したパラメータ等の設定がされた場合には、符号３０７に示す“Bookmark” ＧＵＩボタンを操作することによって、その設定内容をそのままOn Hand Setup Listに自動的に登録することができる。そして、このOn Hand Setup Listの内容が、符号３０８に示すエリア内に表示される。これにより、同じ半導体測定評価用アプリケーションのパラメータの設定について、設定の様々なバリエーションを、複数の設定リストとしてこのOn Hand Setup Listに登録することができる。また、ここにリストされる表題は、所望のタイトルに変更可能である。このBookmark ＧＵＩボタンの機能とは、その時の半導体測定評価用アプリケーションのパラメータの設定内容を、ユーザがファイル名を特に意識しなくても保存するもので、いわば、ボタン操作時の全パラメータの設定内容を上書きなしに保存する機能である。さらに、このBookmark ＧＵＩボタンを押すと、このアプリケーション内で使用されるプログラム等の実行に必要な様々なデータや情報もOn Hand Setup Listに保存される。これにより、アプリケーションの雛型と、実行に用いられる設定保存されたアプリケーションとを明確に区別することができる。

符号３０８に示すリストから、任意の個数の半導体測定評価用アプリケーションのための設定をブックマークして登録しておくことができる。そのため、符号３０８に示すリスト上にある任意の項目を、符号３０５に示すエリアに呼び出すことができる。また、将来にわたって同じ操作をする場合であっても、所望の測定評価用アプリケーションを簡単に呼び出すことができ、操作ミスを回避することができる。

また、符号３０８のリストから選択した項目を、符号３０６に示すＧＵＩボタンを操作することにより直ちに実行することもできる。さらに、符号３０８に示すリスト上にある項目のチェックボックスＧＵＩのいくつかにチェックを入れておき、それらを順次に自動的に実行することもできる。

さらに、符号３０８のリスト上にある項目は、符号３０２のハードウェアボタン群と関連付けることができ、ハードウェアボタンを押すことによって、そのハードウェアボタンに関連付けられた半導体測定用アプリケーションに対応するプログラムを起動することもできる。
ここで、符号３０２に示されるハードウェアボタン群と直接に関連付けることができるのは、符号３０８に示すリストのうちの上位にあるいくつかのものであるか、または、そのリスト中においてユーザに選択されたもののうちの上位にあるいくつかのものだけを関連付けるようにすることができる。

また、符号３０２に示されるハードウェアボタン群の数よりも、関連付けたい半導体測定評価用アプリケーションの数の方が多い場合には、ハードウェアボタン群の最後のひとつに「More...」等の機能を自動的に割り当てることもできる。そして、このボタンを押すことにより、「次の所定個分への結びつき」に切り替えて、ハードウェアボタン群を残りのアプリケーションテスト設定に割り当て替える。そして、同様の仕方を、全ての半導体測定評価用アプリケーションとの関連付けができるまで繰り返すようにすることもできる。

次に、図３を参照して、半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムの作成または編集について説明する。ここで、図２に示す表示と図３に示す表示との切り替えは、画面上部にあるメインメニューのメニューバー（図示せず）にあるメニューコマンドから行うことができる。ユーザは、記憶手段に記憶されている半導体測定評価用アプリケーションのプログラムに新たなプログラム構文を追加する等により、ユーザ独自の半導体測定評価用アプリケーションを作成することができる。符号３１４は、ユーザが新たな半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムを作成または編集するためのＧＵＩである。また、符号３１４に示すＧＵＩに隣接して、符号３１５に示すプログラム要素の選択肢の構文のリストを表示することができる。

ここで、図３に示すProgram Flowのタブは、ApplicationTestのタブよりも上になるように操作すると、Program Flowのタブ内のリストが表示される。そして、ドラッグアンドドロップ等のマウス操作により、このタブ内にある少なくとも１つのプログラム構文をユーザに選択させて、符号３１６に示すプログラムの編集エリアへと移動できるようにしている。ここでは、各プログラム構文は、アイコンの形式で表示手段の画面上に表示されている。

次に、既存の半導体測定評価用アプリケーションに、ユーザが新たに作成したプログラムを組み込む仕方を説明する。ユーザは、符号３１５に示すプログラム構文のテンプレートの集合から所望のプログラム構文を選択して、マウス操作により、符号３１６に示されるプログラム編集エリア内の所定の位置に選択されたプログラム構文の移動させることにより、プログラミングを行う。
ここで、図３は、図２の符号３０４に示される記憶手段に予め記憶されている半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムではなく、アプリケーションに対応する新たなプログラムを作成している様子を示していることに注意されたい。ここで、符号３１５において（「ＢＬＯＣＫ」で示される）選択されているアイコンは、符号３１６にあるIF-ELSE構文とは特につながっていない。ユーザによるプログラム構文の追加は、符号３１５に示す選択されたアイコンをマウスのドラッグアンドドロップやコピー＆ペースト等の操作によって、符号３１６のプログラム編集エリアへと移動させることによって行うことができる。

同様に、プログラム内において既存の半導体測定評価用アプリケーションを呼び出したい場合には、図３の符号３１５に示す「Program Flow」のタブよりも、図４の符号３１７に示すように、半導体測定評価用アプリケーション選択用のタブ（Application Test）が画面において前面にくるように切り替えればよい。
ここで、符号３１７に示すリストは、符号３０３および符号３０４のリストと同じ構成になっているので、記憶手段に予め記憶されている半導体測定評価用アプリケーションを選択するのと同様に、ユーザが新たに作成された半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムを容易に呼び出すことができる。
また、図３の点線３３２に示されるプログラミング環境での該当測定モジュールの表示（この例では、一種のサブルーチンである測定モジュールMOS Gate Coxのプログラミング環境での表示）と、図２の点線３３０に示される実行時パラメータの設定画面（MOS Gate Coxのパラメータ設定の画面）とを、同様な形式で画面に表示することができる。そのため、ユーザは、半導体測定評価用アプリケーションを実行するのと同様に半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムを作成することができる。

最後に、図５を参照して、測定装置１００を用いた被試験対象デバイスの測定データ解析方法の概略を説明する。
まず、ステップ５０において、ユーザがアプリケーションの雛型を選択する。次に、ステップ５１において、選択された雛型に基づく初期設定値による設定の表示を行う。そして、ステップ５２において、実行時の設定入力を行う。ここで、ステップ５２は、以下に説明するステップ５３〜５９のそれぞれに互いにリンクしており、互いに行き来することができる。ここで、ステップ５３では、設定の保存とその表示を行う。ステップ５５では、測定の実行を行う。ステップ５４では、直前に行われた測定結果の記憶と表示を行う。ステップ５６では、以前に保存した実行結果を選択して、設定情報を表示する。ステップ５７では、測定結果をソートして表示する。ステップ５８では、以前に保存した設定を選択して表示する。ステップ５９では、プログラム作成または変更を行う。なお、ステップ５１からステップ５９への矢印に示すように、ステップ５９には、ステップ５２を介さずに移行することができる。
ここで、アプリケーションを実行した結果や設定情報等を表示手段３に表示するときにグラフプレビューを用いてこの実行結果や設定情報を表示手段３に表示することができる。なお、このグラフプレビューは、直前に実行されたアプリケーションの実行結果を表すだけでなく、それ以前に実行されたアプリケーションの実行結果を表すこともできる。また、このようなグラフプレビューは、表示手段３に常に表示させておくこともできる。そして、ステップ５２において、終了操作を選択した場合には、ステップ６０にて操作が終了する。
このように、本発明によれば、アプリケーションの作成および実行や、これに伴うプログラムの作成および編集を連続的にスムーズに行うことができる。
なお、上記に説明したステップは、コンピュータに読み取り可能なプログラムを用いて自動的に実行することができる。

以上、本発明の実施例を説明したが、上記の実施例は例示目的であることを理解されたい。例えば、Bookmarkで保存されるパラメータなどの情報の内容は、該当アプリケーションの全情報でなくても、必要不可欠な一部の情報だけとすることも可能である。

本発明に係る測定装置１００の概略ブロック図である。 本発明に係る測定装置１００の表示手段３に出力される具体的な表示を示す概略図である。 本発明に係る測定装置１００の表示手段３において、半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムの作成が選択された場合を示す概略図である。 本発明に係る測定装置１００の表示手段３において、半導体測定評価用アプリケーションに対応するプログラムの実行が選択された場合を示す概略図である。 本発明に係る測定装置１００を用いた測定方法を示すフローチャートである。

符号の説明

２ 記憶手段
３ 表示手段
４ 入力手段
５ 演算・制御手段
１００ 測定器
１０２ ＤＵＴ
２００ インターフェイス

Claims (17)

1. 測定手段と、表示手段と、入力手段と、記憶手段と、それらに接続され、演算および制御を行う演算・制御手段とを含む半導体測定装置における操作方法であって、
   前記表示手段において技術分野別に表示された半導体測定評価用アプリケーションの雛型を前記入力手段により選択する第１の雛形選択ステップと、
   前記表示手段に表示された前記アプリケーションの雛型に関して実行に必要な設定情報を前記入力手段により設定し、該設定情報を前記記憶手段に保存する設定保存ステップと、
   前記設定情報が保存されたアプリケーションを実行するステップと、
   前記設定情報が保存されたアプリケーションを実行して得られた実行結果と実行結果属性情報とを前記記憶装置に保存し、前記表示装置に表示する第１の表示ステップと
   を含んでなる操作方法。
2. 前記第１の雛形選択ステップは、選択されたアプリケーションに対応するプログラムの雛形を選択する第２の雛形選択ステップを含む請求項１に記載の操作方法。
3. 前記第２の雛形選択ステップの後に、プログラムの新規作成または既存のプログラムの変更を行うステップをさらに含む請求項２に記載の操作方法。
4. 前記プログラムの新規作成または既存のプログラムの変更を行うステップにおける前記表示手段への表示は、前記設定保存ステップにおいて前記表示手段に表示されるデータ入力フィールドおよび測定回路図情報の表示を含むことを特徴とする請求項３に記載の操作方法。
5. 前記設定保存ステップにおいて、データ入力フィールドと測定回路図情報とを前記表示手段に表示することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の操作方法。
6. 前記設定保存ステップは、実行されるアプリケーションの情報と、該アプリケーションが必要とする実行時の設定情報とを保存することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の方法。
7. 前記設定保存ステップは、ファイル名入力を要求せずに保存を行うことを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の操作方法。
8. 前記設定保存ステップは、以前保存した情報を上書きすることなく保存することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の操作方法。
9. 前記設定保存ステップの後に、保存リストを保存時刻順に前記表示手段に表示する保存リスト表示ステップがあることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の操作方法。
10. 前記保存リストに表示されたものの一つを選択し、その実行の際のアプリケーションと実行時の設定情報を前記表示手段に表示する、第１の実行時設定読み出しステップをさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の操作方法。
11. 前記第１の表示ステップは、表題、実行番号、実行時刻、注釈、マークのうちの少なくとも１つを実行結果属性リストとして含むことを特徴とする請求項１から１０に記載の操作方法。
12. 前記マークとは、「疑わしいデータ」や、「重要なデータ」や、「捨てて構わないデータ」を示す記号を表示することができるものである請求項１１に記載の操作方法。
13. 前記第１の表示ステップにおいて表示される実行結果属性リストは、該リストに表示された各属性のいずれかに着目したソートを行い、その結果を表示することができるものである請求項１から１２のいずれかに記載の操作方法。
14. 前記実行結果属性リストから実行結果を選択し、その実行の際のアプリケーションと実行時の設定情報とを前記表示手段に表示する、第２の実行時設定読み出しステップをさらに含む請求項１から１３のいずれかに記載の操作方法。
15. 前記第１の表示ステップは、前記表示手段にグラフプレビューを表示する第２の表示ステップをさらに含む請求項１から１４のいずれかに記載の操作方法。
16. 前記第２の表示ステップにおいて表示されるグラフプレビューは、直前に実行されたアプリケーションの実行結果を表すものであることを特徴とする請求項１５に記載の操作方法。
17. 前記グラフプレビューは、前記表示手段に常に表示されていることを特徴とする請求項１５または１６に記載の操作方法。

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