JP2010194832A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】密着性を向上して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室12が設けられた流路形成基板10と、該流路形成基板10に設けられた絶縁体膜55を有する振動板と、該振動板上に設けられた第1電極60、圧電体層70及び第2電極80からなる圧電素子300と、を具備し、前記絶縁体膜55は、酸化ジルコニウム層に酸化ハフニウムが含まれたものである。
【選択図】 図2
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室12が設けられた流路形成基板10と、該流路形成基板10に設けられた絶縁体膜55を有する振動板と、該振動板上に設けられた第1電極60、圧電体層70及び第2電極80からなる圧電素子300と、を具備し、前記絶縁体膜55は、酸化ジルコニウム層に酸化ハフニウムが含まれたものである。
【選択図】 図2
Description
本発明は、振動板と、第1電極、圧電体層及び第2電極を有する圧電素子とを具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置に関する。
液体噴射ヘッド等に用いられる圧電素子は、電気機械変換機能を呈する圧電材料、例えば、結晶化した誘電材料からなる圧電体層を、2つの電極で挟んで構成されたものがある。なお、液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド等がある。このようなインクジェット式記録ヘッドに用いられる圧電素子としては、例えば、下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子のたわみ変形を用いたものが実用化されている。
また、振動板として、圧力発生室側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜と、圧電素子側に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜とを積層したものがある(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、酸化ジルコニウムのみで形成された絶縁体膜を用いると、絶縁体膜とその他の膜との密着性が低く、層間剥離等が生じてしまう虞があるという問題がある。
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに搭載されるアクチュエーター装置に限定されず、例えば、他のデバイスに搭載されるアクチュエーター装置においても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、密着性を向上して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板に設けられた絶縁体膜を有する振動板と、該振動板上に設けられた第1電極、圧電体層及び第2電極からなる圧電素子と、を具備し、前記絶縁体膜は、酸化ジルコニウム層に、酸化ハフニウムが含まれたものであることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、酸化ジルコニウムの絶縁体膜に酸化ハフニウムを含有させることにより、その他の膜との密着力を向上して、耐久性を向上することができる。
かかる態様では、酸化ジルコニウムの絶縁体膜に酸化ハフニウムを含有させることにより、その他の膜との密着力を向上して、耐久性を向上することができる。
ここで、前記酸化ハフニウムが、前記絶縁体膜の前記流路形成基板側に偏析していることが好ましい。これによれば、絶縁体膜と流路形成基板側との密着性を向上することができる。
また、前記振動板が、前記絶縁体膜の前記流路形成基板側に酸化シリコンからなる弾性膜を有することが好ましい。これによれば、弾性膜と絶縁体膜との間に空洞が生じるのを低減して、密着力を向上することができる。
また、流路形成基板がシリコンからなることが好ましい。これによれば、圧力発生室を高精度に且つ高密度に形成することができる。
また、前記圧電体層が、鉛を含むことが好ましい。これによれば、酸化ジルコニウムの絶縁体膜によって、絶縁体膜の圧電素子とは反対側への鉛の拡散を防止することができる。
さらに本発明の他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、耐久性を向上して信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
かかる態様では、耐久性を向上して信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
また、本発明の他の態様は、基板上に設けられた絶縁体膜を有する振動板と、該振動板上に設けられた第1電極、圧電体層及び第2電極からなる圧電素子と、を具備し、前記絶縁体膜は、酸化ジルコニウム層に、酸化ハフニウムが含まれたものであることを特徴とするアクチュエーター装置にある。
かかる態様では、酸化ジルコニウムの絶縁体膜に酸化ハフニウムを含有させることにより、その他の膜との密着力を向上して、耐久性を向上することができる。
かかる態様では、酸化ジルコニウムの絶縁体膜に酸化ハフニウムを含有させることにより、その他の膜との密着力を向上して、耐久性を向上することができる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す要部断面図である。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す要部断面図である。
本実施形態の流路形成基板10は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には酸化シリコンを主成分とする弾性膜50が形成されている。
流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の開口面側には、ノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート20は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等からなる。
一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述のように弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、第1電極60と、圧電体層70と、第2電極80と、が積層形成されて圧電素子300を構成している。ここで、圧電素子300は、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層70から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。
本実施形態では、図1に示すように、第1電極60を複数の圧力発生室12に相対向する領域に亘って連続して設けることで、複数の圧電素子300の共通電極とし、第2電極80及び圧電体層70を各圧電素子300毎に切り分けることで、第2電極80を各圧電素子300の個別電極としている。なお、本実施形態では、第1電極60を圧電素子300の共通電極とし、第2電極80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子300と当該圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエーター装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び第1電極60が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜50を設けずに、絶縁体膜55及び第1電極60のみが振動板として作用するようにしてもよい。
圧電体層70は、第1電極60上に形成される電気機械変換作用を示す圧電材料、特に圧電材料の中でも一般式ABO3で示されるペロブスカイト構造を有する金属酸化物からなる。圧電体層70としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。具体的には、チタン酸鉛(PbTiO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)、ジルコニウム酸鉛(PbZrO3)、チタン酸鉛ランタン((Pb,La),TiO3)、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン((Pb,La)(Zr,Ti)O3)又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛(Pb(Zr,Ti)(Mg,Nb)O3)等を用いることができる。もちろん、本実施形態の圧電体層70は、上記した材料に限定されるものではないが、優れた電気機械変換作用を有する圧電体層70として、鉛を含有するものが挙げられる。
圧電体層70の厚さについては、製造工程でクラックが発生しない程度に厚さを抑え、且つ十分な変位特性を呈する程度に厚く形成する。圧電体層70は、1〜5μm前後の厚さが好ましい。なお、圧電体層70の形成方法は、本実施形態では、金属有機物を溶媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体層70を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いて圧電体層70を形成した。なお、圧電体層70の形成方法は、特に限定されず、例えば、MOD(Metal-Organic Decomposition)法、スパッタリング法又はレーザーアブレーション法等のPVD(Physical Vapor Deposition)法等を用いてもよい。
絶縁体膜55は、主成分としての酸化ジルコニウム層に酸化ハフニウムが含有されたものである。本実施形態では、図2に示すように、絶縁体膜55の酸化ハフニウムは、酸化ジルコニウム層の厚み方向において全体的に含まれているが、弾性膜50側に偏析している(偏析領域56)。このように酸化ハフニウムを弾性膜50側に偏析させることで、酸化シリコンからなる弾性膜50と絶縁体膜55との密着性を向上し、層間剥離が生じるのを低減することができる。ちなみに、例えば、酸化ジルコニウムのみからなる絶縁体膜55を用いた場合、弾性膜50と絶縁体膜55との間に空洞が生じて密着力が低下してしまう虞がある。また、酸化ジルコニウムのみからなる絶縁体膜55は脆弱なため、衝撃によって壊れ易いが、本実施形態のように主成分としての酸化ジルコニウムと、酸化ハフニウムとを含有する絶縁体膜55は衝撃に強く破壊され難い。したがって、本実施形態の絶縁体膜55を用いることで、圧電素子300を長期駆動した際の信頼性を向上することができる。もちろん、酸化ハフニウムを弾性膜50側に偏析しなくても、絶縁体膜55に酸化ハフニウムが含有されることで、弾性膜50及び第1電極60との密着力が向上される。
また、絶縁体膜55の弾性膜50側に酸化ハフニウムを偏析させることで、第1電極60側に酸化ハフニウムがほとんど存在しなくなる。これにより、絶縁体膜55に含まれる酸化ジルコニウムが第1電極60側に主に存在することとなり、圧電体層70に含まれる鉛等の成分が、絶縁体膜55内及び絶縁体膜55よりも流路形成基板10側に拡散するのを低減することができる。
なお、酸化ハフニウムの含有量は、1〜3重量%程度が好ましい。
なお、酸化ハフニウムの含有量は、1〜3重量%程度が好ましい。
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部のインクタンク等の液体貯留手段から圧力発生室12内にインクを取り込み、駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの第1電極60と第2電極80との間に電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、第1電極60及び圧電体層70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。
(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、流路形成基板10としてシリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、SOI基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、流路形成基板10としてシリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、SOI基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。
また、これらのインクジェット式記録ヘッドIは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図3は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
図3に示すインクジェット式記録装置IIにおいて、インクジェット式記録ヘッドIを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
また、上述したインクジェット式記録装置IIでは、インクジェット式記録ヘッドI(ヘッドユニット1A、1B)がキャリッジ3に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドIが固定されて、紙等の記録シートSを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
また、上述した実施形態1では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(電界放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置IIを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
さらに、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに搭載されるアクチュエーター装置に限られず、他の装置に搭載されるアクチュエーター装置にも適用することができる。
I インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 II インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 10 流路形成基板(基板)、 12 圧力発生室、 20 ノズルプレート、 21 ノズル開口、 50 弾性膜、 55 絶縁体膜、 56 偏析領域、 60 第1電極、 70 圧電体層、 80 第2電極、 300 圧電素子
Claims (7)
- ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
該流路形成基板に設けられた絶縁体膜を有する振動板と、
該振動板上に設けられた第1電極、圧電体層及び第2電極からなる圧電素子と、を具備し、
前記絶縁体膜は、酸化ジルコニウム層に、酸化ハフニウムが含まれたものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記酸化ハフニウムが、前記絶縁体膜の前記流路形成基板側に偏析していることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
- 前記振動板が、前記絶縁体膜の前記流路形成基板側に酸化シリコンからなる弾性膜を有することを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。
- 流路形成基板がシリコンからなることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層が、鉛を含むことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 基板上に設けられた絶縁体膜を有する振動板と、
該振動板上に設けられた第1電極、圧電体層及び第2電極からなる圧電素子と、を具備し、
前記絶縁体膜は、酸化ジルコニウム層に、酸化ハフニウムが含まれたものであることを特徴とするアクチュエーター装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009041562A JP2010194832A (ja) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009041562A Pending JP2010194832A (ja) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 |
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Country | Link |
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2009
- 2009-02-24 JP JP2009041562A patent/JP2010194832A/ja active Pending
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