JP2010179215A - 機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および吐出検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】機能液滴吐出ヘッドの吐出検査を正確に且つ効率よく実施することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法等を提供する。
【解決手段】検査パターンに対応する着弾ドットDの基準着弾位置をマーキングしたアライメントマスクMと、基準着弾位置および着弾ドットDを画像認識する画像認識手段と、を用い、画像認識手段をアライメントマスクMに相対的に臨ませて、基準着弾位置を画像認識する基準位置認識工程S1と、機能液滴吐出ヘッド3を被検査ターゲットに相対的に臨ませて、位置ずれさせながら複数回の検査吐出をして複数組の着弾ドットDを形成する検査吐出工程S2と、画像認識手段を被検査ターゲットに相対的に臨ませて、複数組の着弾ドットDを画像認識する着弾ドット認識工程S3と、画像認識した、基準着弾位置と各着弾ドットDとを比較し、機能液滴吐出ヘッド3の吐出性能を検査する検査工程S4と、を備えた。
【選択図】図8
【解決手段】検査パターンに対応する着弾ドットDの基準着弾位置をマーキングしたアライメントマスクMと、基準着弾位置および着弾ドットDを画像認識する画像認識手段と、を用い、画像認識手段をアライメントマスクMに相対的に臨ませて、基準着弾位置を画像認識する基準位置認識工程S1と、機能液滴吐出ヘッド3を被検査ターゲットに相対的に臨ませて、位置ずれさせながら複数回の検査吐出をして複数組の着弾ドットDを形成する検査吐出工程S2と、画像認識手段を被検査ターゲットに相対的に臨ませて、複数組の着弾ドットDを画像認識する着弾ドット認識工程S3と、画像認識した、基準着弾位置と各着弾ドットDとを比較し、機能液滴吐出ヘッド3の吐出性能を検査する検査工程S4と、を備えた。
【選択図】図8
Description
本発明は、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および吐出検査装置に関する。
従来、液滴吐出ヘッド(機能液滴吐出ヘッド)から被検査物上に吐出されたインク(機能液)の位置ズレを検査するドットずれ検出方法(吐出検査方法)が知られている(特許文献1参照)。この吐出検査方法では、機能液滴吐出ヘッドから、ワークへの描画処理に用いる機能液を吐出し、被検査物上に着弾した機能液の着弾結果をカメラにて撮像し、撮像された画像を画像処理することで機能液の飛行曲がりや着弾位置等を画像認識している。そして、画像処理の結果から機能液滴吐出ヘッドの良否判断を行っている。
このような吐出検査方法では、機能液の増粘等により、本来、良品であるはずの機能液滴吐出ヘッドが、誤って「否」と判断される場合が想定される。すなわち、機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を実施する前に、フラッシング(捨て吐出)等を行ってメニスカスを整えるようにしているが、フラッシングから検査吐出まで時間がかかると、機能液によっては増粘し吐出不良を生ずることがある。しかし、このような軽度の吐出不良でも、「否」となった機能液滴吐出ヘッドは、除材されてノズル面のクリーニング等の回復処理が行われるため、検査に無用な手間と時間がかかる場合が想定された。
本発明は、機能液滴吐出ヘッドの吐出検査を正確に且つ効率よく実施することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および吐出検査装置を提供することを課題とする。
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法は、検査パターンに基づいて、機能液滴吐出ヘッドから検査吐出させて被検査ターゲット上に形成した機能液の着弾ドットにより、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法であって、検査パターンに対応する着弾ドットの基準着弾位置をマーキングしたアライメントマスクと、基準着弾位置および着弾ドットを画像認識する画像認識手段と、を用い、画像認識手段をアライメントマスクに相対的に臨ませて、基準着弾位置を画像認識する基準位置認識工程と、機能液滴吐出ヘッドを被検査ターゲットに相対的に臨ませて、位置ずれさせながら被検査ターゲット上に実施した複数回の検査吐出により、相互に位置ずれした複数組の着弾ドットを形成する検査吐出工程と、画像認識手段を被検査ターゲットに相対的に臨ませて、複数組の着弾ドットを画像認識する着弾ドット認識工程と、画像認識した基準着弾位置と画像認識した複数組の着弾ドットとを比較し、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査工程と、を備えたことを特徴とする。
上記のように、機能液滴吐出ヘッドに軽度の吐出不良が生じた場合、2回目以降の検査吐出により吐出不良が解消することが、経験的に知られている。
この構成によれば、予め複数回の検査吐出による複数組の着弾ドットが被検査ターゲットに形成されているため、複数回分の吐出性能の検査を行うことができる。これにより、複数回分の検査結果を勘案して、機能液滴吐出ヘッドの性能を判断することができる。したがって、例えば、初回の検査吐出による結果が「否」であっても、その他の検査吐出で複数回「良」という結果が出ているのであれば、機能液滴吐出ヘッド以外に問題があると判断することができるため、検査結果の精度を高められると共に、誤った検査結果による機能液滴吐出ヘッドの除材やクリーニング処理等の手間を排除することができる。また、都度、画像認識手段を、アライメントマスクや被検査ターゲットに臨ませるための移動時間を短縮することができる。
この構成によれば、予め複数回の検査吐出による複数組の着弾ドットが被検査ターゲットに形成されているため、複数回分の吐出性能の検査を行うことができる。これにより、複数回分の検査結果を勘案して、機能液滴吐出ヘッドの性能を判断することができる。したがって、例えば、初回の検査吐出による結果が「否」であっても、その他の検査吐出で複数回「良」という結果が出ているのであれば、機能液滴吐出ヘッド以外に問題があると判断することができるため、検査結果の精度を高められると共に、誤った検査結果による機能液滴吐出ヘッドの除材やクリーニング処理等の手間を排除することができる。また、都度、画像認識手段を、アライメントマスクや被検査ターゲットに臨ませるための移動時間を短縮することができる。
この場合、アライメントマスクには、複数組の着弾ドットに対応し、基準着弾位置の複数組が相互に位置ずれしてマーキングされており、基準位置認識工程において、画像認識手段は、複数組の基準着弾位置を画像認識し、検査工程では、複数組の基準着弾位置と複数組の着弾ドットとを対応させて比較することが好ましい。
この構成によれば、各基準着弾位置の情報と各着弾ドットの情報とを各々、比較するだけで高精度な吐出性能検査を行うことができる。このため、比較のための移動量の計算を要せず制御を簡単にすることができると共に、各回の画像認識を同一条件で行うことができる。
また、この場合、検査工程では、複数組の着弾ドットのうちの少なくとも初回の検査吐出により形成した着弾ドットの検査結果が「良」とされた場合、当該検査対象の機能液滴吐出ヘッドを良品と判断することが好ましい。
この構成によれば、初回分の着弾ドットの検査結果が「良」であれば、後の検査吐出による着弾ドットについての検査工程を省略することができる。これにより、吐出性能検査にかかる時間を大幅に短縮することができる。なお、機能液の増粘を考慮すると、初回の検査吐出が最も悪条件での吐出であると考えられるため、初回の検査吐出の結果が「良」であることは、検査対象の良否を判断する上で最も信頼性が高いと考えることができる。
また、この場合、複数回の検査吐出は、少なくとも3回行われ、検査工程では、複数組の着弾ドットのうちの初回の検査吐出により形成した着弾ドットの検査結果が「否」とされた場合であって、初回以降の検査吐出により形成された着弾ドットの検査結果が「良」とされた場合に、当該検査対象の機能液滴吐出ヘッドを良品と判断することが好ましい。
この構成によれば、誤って「否」と判断された機能液滴吐出ヘッドを、正確に良品と判断することができるため、無用なクリーニング処理等を行うことを防止することができる。また、本来「良」である機能液滴吐出ヘッドを、「否」と判断する誤りを防止することができる。
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置は、検査パターンに基づいて、機能液滴吐出ヘッドから検査吐出させて被検査ターゲット上に形成した機能液の着弾ドットにより、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置であって、被検査ターゲットと、検査パターンに対応する着弾ドットの基準着弾位置をマーキングしたアライメントマスクと、基準着弾位置および着弾ドットを画像認識する画像認識手段と、画像認識手段を被検査ターゲットおよびアライメントマスクに相対的に臨ませると共に、機能液滴吐出ヘッドを被検査ターゲットに相対的に臨ませる移動手段と、機能液滴吐出ヘッド、画像認識手段および移動手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドを被検査ターゲットに相対的に臨ませて、位置ずれさせながら被検査ターゲット上に実施した複数回の検査吐出により、相互に位置ずれした複数組の着弾ドットを形成する検査吐出動作と、画像認識手段をアライメントマスクに相対的に臨ませて、基準着弾位置を画像認識する基準位置認識動作と、画像認識手段を被検査ターゲットに相対的に臨ませて、複数組の着弾ドットを画像認識する着弾ドット認識動作と、画像認識した基準着弾位置と画像認識した複数組の着弾ドットとを比較し、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査動作と、を実施することを特徴とする。
この構成によれば、予め複数回の検査吐出による複数組の着弾ドットが被検査ターゲットに形成されているため、複数回分の吐出性能の検査を行うことができる。これにより、複数回分の検査結果を勘案して、機能液滴吐出ヘッドの性能を判断することができるため、検査結果の精度を高められると共に、誤った検査結果による機能液滴吐出ヘッドの除材やクリーニング処理等の手間を排除することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の画像認識装置(画像認識手段)を用いた機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置について説明する。この吐出検査装置は、カラーフィルタ等を製造する描画装置に搭載する前に、機能液を用いて機能液滴吐出ヘッド(吐出ノズル)の吐出性能を検査するものである。具体的には、複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに組み込んだ状態で、各機能液滴吐出ヘッドから機能液を検査吐出させ、その着弾位置や飛行曲がり等の吐出性能を検査する。まず、吐出検査装置の説明に先立ち、検査対象となるヘッドユニットについて説明する。
図1に示すように、ヘッドユニット1は、サブキャリッジ2と、サブキャリッジ2に搭載した12個の機能液滴吐出ヘッド3と、を備えている。12個の機能液滴吐出ヘッド3は、サブキャリッジ2に対して、6個ずつ左右(副走査方向(X軸方向))に2分されている。R・G・B3種類の機能液滴吐出ヘッド3を1組とし、これを2組組み合わせて、副走査方向に対し平行に配設されると共に、相互に階段状に位置ずれして配設されている。
サブキャリッジ2は、12個の機能液滴吐出ヘッド3を取り付けるための12個の装着開口4が形成された本体プレート5と、本体プレート5の下面に突設され、ヘッドユニット1を後述する吐出検査装置31(図3参照)のアライメントマスクM(図5参照)に対し、位置決めするための基準となる一対の基準ピン(図示省略)と、本体プレート5の両短辺部分に取り付けた左右一対のプレート支持部材6と、一対のプレート支持部材6の上端部に掛け渡され、後述する吐出検査装置31のメインキャリッジ43(図3参照)に取り付けられるヘッド取付けプレート7と、を有している。なお、本体プレート5に対し12個の機能液滴吐出ヘッド3は、上記の一対の基準ピンを基準としアライメントされた状態で組みつけられている。
また、本体プレート5上には、機能液滴吐出ヘッド3に接続される圧力調整弁付きの左右一対の配管接続アッセンブリ8が設けられ、各配管接続アッセンブリ8は、吐出検査装置31の機能液供給ユニット45(いずれも図3参照)に配管接続されている。また、ヘッド取付けプレート7の内側には、機能液滴吐出ヘッド3に接続される中間基板付きの配線接続アッセンブリ(図示省略)が設けられ、各配線接続アッセンブリは、後述する吐出検査装置31の制御コンピューター38に配線接続されている(図3参照)。
図2に示すように、機能液滴吐出ヘッド3は、いわゆる2連のインクジェットヘッドであり、2連の接続針14を有する機能液導入部11と、機能液導入部11に連なる2連のヘッド基板12と、ヘッド基板12の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体13と、を備えている(図2(a)参照)。
機能液導入部11は、一対の接続針14を有しており、上記の配管接続アッセンブリ8を介して機能液供給ユニット45(図3参照)から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体13は、ピエゾ素子等で構成される2連のポンプ部15と、複数の吐出ノズル19が形成されたノズル面17を有するノズルプレート16と、を有している。ノズルプレート16のノズル面17に形成された多数(複数)の吐出ノズル19は、相互に平行且つ半ノズルピッチ分、位置ズレして列設された2列のノズル列18(A列およびB列)を構成しており、各ノズル列18は、等ピッチで並べた180個の吐出ノズル19で構成されている(図2(b)参照)。なお、180個の吐出ノズル19のうち、列端部の各10個の吐出ノズル19は、実際の描画では使用しないダミーノズルとなり、ダミーノズルに挟まれた吐出ノズル19は、有効ノズルとなる。
ヘッド基板12には、2連のコネクター20が設けられており、各コネクター20はフレキシブルフラットケーブル(図示省略)を介して、上記の配線接続アッセンブリ(制御コンピューター38)に接続されている。そして、この制御コンピューター38から出力された駆動波形が各コネクター20を介して各ポンプ部15(圧電素子)に印加されることで、各吐出ノズル19から機能液が吐出される。
次に、図3および図4を参照して、ヘッドユニット1単位で機能液滴吐出ヘッド3(吐出ノズル19)の吐出性能を検査する吐出検査装置31について説明する。吐出検査装置31は、機台32と、機台32上に設けた石定盤33と、石定盤33上の全域に広く載置され、ヘッドユニット1を搭載した描画検査装置34と、機能液滴吐出ヘッド3の機能維持・回復を行うヘッド吸引装置35aおよびヘッドワイピング装置35bを有するメンテナンスユニット35と、上記したヘッドユニット1を描画検査装置34に供給する給材装置(図示省略)と、メンテナンスユニット35および給材装置を支持する共通架台37と、を備えており、チャンバー装置(図示省略)内に収容されている。
また、吐出検査装置31には、装置全体を統括制御する制御コンピューター38が組み込まれており、チャンバー装置の外に配置されている。吐出検査装置31は、給材装置により給材されたヘッドユニット1を描画検査装置34に搭載すると共に、搭載したヘッドユニット1(機能液滴吐出ヘッド3)の吐出検査をすべく、メンテナンスユニット35により機能液滴吐出ヘッド3の機能維持・回復を行いながら、描画検査装置34により検査シートS(被検査ターゲット)上に機能液を吐出し、吐出した機能液の着弾位置や飛行曲がりなどを検査する。
図3に示すように、描画検査装置34は、石定盤33上に載置され、主走査方向(Y軸方向)の移動軸を構成するY軸テーブル41と、Y軸テーブル41を跨いで設置され、副走査方向(X軸方向)の移動軸を構成するX軸テーブル42と、X軸テーブル42上をスライド自在に移動すると共に、ヘッドユニット1を着脱自在に垂設するメインキャリッジ43と、X軸テーブル42上をスライド自在に移動するカメラユニット44と、メインキャリッジ43に搭載され、ヘッドユニット1に機能液を供給する機能液供給ユニット45と、を備えている。この描画検査装置34において、X軸テーブル42およびY軸テーブル41が交わる領域が処理エリアとなっており、上記したカメラユニット44や後述するアンダーカメラ55のキャリブレーションを行うと共に、機能液滴吐出ヘッド3により機能液を検査吐出してその検査を行う。
X軸テーブル42は、一対の走行レール上を走査するX軸リニアモーター(図示省略)を有しており、後述するメインキャリッジ43およびカメラユニット44を個別に副走査方向にスライド自在に搭載している。X軸テーブル42は、石定盤33上に立設した4本の柱に支持されており、Y軸テーブル41を跨いでメンテナンスユニット35の上方に臨む位置まで延在している。X軸テーブル42は、メインキャリッジ43に搭載したヘッドユニット1を、メンテナンスユニット35の直上部に位置するメンテナンスエリアおよび上記の処理エリアの間で、適宜移動させる。また、X軸テーブル42は、カメラユニット44を、処理エリアおよび処理エリアを挟むように対峙する待機エリアの間で、適宜移動させる。
図3および図4に示すように、Y軸テーブル41は、第1Y軸テーブル46と、第1Y軸テーブル46上に配設された第2Y軸テーブル47と、で構成されている。第1Y軸テーブル46は主に後述する基準着弾マークMcや着弾ドットDの撮像の際に、後述するアライメントマスクMおよび一対の検査シートSを微少移動させ、第2Y軸テーブル47は主に後述するアライメントテーブル61および吸着テーブル62を処理エリアに交互に臨ませる。
第1Y軸テーブル46は、主走査方向に延在するよう石定盤33上に直接支持された左右一対のテーブル台51と、一対のテーブル台51上に設けられ、主走査方向に延びる一対の第1ガイドレール52と、一方のテーブル台51上に設けられたY軸リニアモーター53と、Y軸リニアモーター53により第1ガイドレール52上をスライド自在に移動する第1スライダー54と、を備えている。また、一対のテーブル台51の間の石定盤33上には、上記したヘッドユニット1と後述するアライメントマスクMとを位置合わせする際に用いられる2台のアンダーカメラ55が配設されている。このため、第1スライダー54には、各アンダーカメラ55が臨む位置に、第1カメラ開口56が形成されている。
第2Y軸テーブル47は、第1スライダー54上に設けられ、主走査方向に延びる一対の第2ガイドレール57と、一対の第2ガイドレール57の外側に設けられたY軸ロッドレスシリンダー58と、Y軸ロッドレスシリンダー58により第2ガイドレール57上をスライド自在に移動する板状の第2スライダー59と、を備えている。また、第2スライダー59上には、各種基準となるマークが形成されたアライメントマスクMを保持したアライメントテーブル61と、機能液滴吐出ヘッド3により吐出される機能液の着弾面を構成する検査シートSを吸着固定する吸着テーブル62と、が主走査方向(Y軸方向)に隣接して配置されており、アライメントマスクMの表面と検査シートSの表面とは、面一になるよう調整されている。また、第2スライダー59には、第1スライダー54と同様に、下方に臨む上記の2台のアンダーカメラ55によりアライメントマスクMを画像認識すべく、各アンダーカメラ55が臨む位置に、第2カメラ開口63が形成されている。
図5に示すように、アライメントマスクMは、透明な石英ガラスで板状に構成され、2台のアンダーカメラ55のキャリブレーション基準となる上下一対のアンダーカメラ基準マークMa(アライメントマスクMの基準マークであって、ヘッドユニット1の基準ピンと同位置)と、2台の撮像カメラ44bのキャリブレーション基準となる左右一対の撮像カメラ基準マークMbと、12個の機能液滴吐出ヘッド3から吐出された機能液の着弾位置の基準となる複数の基準着弾マークMc(基準着弾位置)と、を有している。各基準着弾マークMcは、ヘッドユニット1に搭載された各機能液滴吐出ヘッド3の全ての吐出ノズル19から機能液を吐出したときに、その着弾ドットDが着弾すべき位置(実際には、ヘッドユニット1における各吐出ノズル19の位置)に形成されている。詳細は後述するが、本実施形態では、主走査方向(Y軸方向)に位置ずれしながら各機能液滴吐出ヘッド3から3回の検査吐出を行う。このため、アライメントマスクM上には、全吐出ノズル19からの検査吐出1回分に対応する複数の基準着弾マークMcから成る基準マークグループMGが、それぞれ重ならないように等間隔に位置ずれして、Y軸方向に3組並んで形成されている。
図6に示すように、吸着テーブル62は、その表面にマトリクス状に複数形成された吸着孔(図示省略)に連通する左右一対のエアーチャンバー(図示省略)を内部に有している。吸着テーブル62は、各エアーチャンバー内のエアーを吸引するエアー吸引手段(図示省略)を駆動することにより、吸着テーブル62上に仮セットした一対の検査シートSを吸着固定する。なお、吸着テーブル62には、上記の2台のアンダーカメラ55が臨む位置に、位置決めマーク62bを有する一対の切欠き部62aが形成されており、吸着テーブル62は、各位置決めマーク62bを2台のアンダーカメラ55で撮像した結果を確認しつつ、第2スライダー59に位置決め固定される。
図3に示すように、メインキャリッジ43は、一対の走行レールに掛け渡されたキャリッジフレーム43aと、キャリッジフレーム43aに取り付けられ、ヘッドユニット1を昇降自在に移動させるZ軸テーブル(図示省略)と、Z軸テーブルに垂設され、ヘッドユニット1をθ方向に回転させるθテーブル(図示省略)と、θテーブルに垂設され、ヘッドユニット1を着脱自在に保持するヘッドユニットホルダ(図示省略)と、を有している。
カメラユニット44は、X軸テーブル42に掛け渡されたカメラキャリッジフレーム44aと、カメラキャリッジフレーム44aに垂設されたカメラ支持フレーム(図示省略)と、カメラ支持フレームに取り付けられ、副走査方向に隣接する2台の撮像カメラ44bと、を有しており、この2台の撮像カメラ44bは、上記したアライメントマスクMの複数の基準着弾マークMcおよび検査シートS上に吐出・着弾した機能液の複数の着弾ドットDを撮像する。また、各撮像カメラ44bは、マイクロヘッド等の微調整機構によりX、YおよびZ軸方向に微調整することが可能となっている。なお、撮像カメラ44bは、一定範囲の被写界深度をもつ単焦点レンズを有するカメラであり、また、特に図示しないが、撮像カメラ44bによる撮像時の照明は、落射照明が採用されている。
次に、図6ないし図9を参照して、本実施形態に係る吐出検査装置31(の制御コンピューター38)による機能液滴吐出ヘッド3の吐出検査方法について説明する。この吐出検査方法は、ヘッドユニット1に搭載した12個の機能液滴吐出ヘッド3の吐出着弾位置や飛行曲がりを検査するものであり、カメラユニット44をアライメントマスクM上に臨ませて、アライメントマスクMの基準マークグループMG(複数の基準着弾マークMc)を画像認識する基準位置認識工程S1と、ヘッドユニット1を検査シートS上に臨ませて、相互に位置ずれさせながら計3回にわたり機能液を検査吐出する検査吐出工程S2と、2台の撮像カメラ44bにより検査シートS上に形成された3組から成る複数の着弾ドットDを画像認識する着弾ドット認識工程S3と、取得した複数の基準着弾マークMcと複数の着弾ドットDとの位置を比較して複数の吐出ノズル19の吐出性能を評価する検査工程S4と、を備えている。
なお、基準位置認識工程S1の前工程で、2台の撮像カメラ44bおよび2台のアンダーカメラ55のキャリブレーションが行われるが、このキャリブレーションは、2台の撮像カメラ44bによりアライメントマスクMの一対の撮像カメラ基準マークMbを画像認識すると共に、2台のアンダーカメラ55により一対のアンダーカメラ基準マークMaを画像認識することで行われる。
基準位置認識工程S1では、撮像カメラ44bによりアライメントマスクMの基準マークグループMGを構成する複数の基準着弾マークMcを撮像する。具体的には、図7(図5も参照)に示すように、先ず、図示下側に位置した一の基準マークグループMGにおいて、機能液滴吐出ヘッド3の上側のノズル列(A列)18にあたる複数の基準着弾マークMcを、図示左側から図示右側へ移動して撮像する(実際には、着弾ドットD8個単位)。図示右側まで移動しきった後、図示下側へ移動し、下側のノズル列(B列)18にあたる複数の基準着弾マークMcを図示右側から図示左側へ移動して撮像する。今度は、その上側に位置した別組の基準マークグループMGを構成する複数の基準着弾マークMcを撮像する。これを18回繰り返すことで、2台の撮像カメラ44bにより、アライメントマスクMの全ての基準着弾マークMcを撮像する。撮像した全ての基準着弾マークMcの画像データは、制御コンピューター38に記憶され後述する検査工程S4で基準位置として用いられる。
ここで、機能液滴吐出ヘッド3に軽度の吐出不良が生じた場合、2回目以降の検査吐出により吐出不良が解消することが、経験的に知られている。そこで、続く検査吐出工程S2では、ヘッドユニット1と検査シートSとを相対的に位置ずれさせながら合計3回の検査吐出を行い、その結果を効率的に利用することで、検査結果の精度を高めている。
検査吐出工程S2では、先ず、X軸テーブル42と第2Y軸テーブル47とを駆動させ、カメラユニット44に代えてヘッドユニット1を一対の検査シートSの直上に臨ませる。そして、2台のアンダーカメラ55により、サブキャリッジ2に設けられた一対の基準ピンを画像認識し、ヘッドユニット1をアライメントする。その後、全機能液滴吐出ヘッド3の全吐出ノズル19から機能液を吐出させる(第1回検査吐出S21)。すると、検査シートS上に複数の着弾ドットDから成る1組の着弾ドットグループDG(図6参照)が形成される。第1回検査吐出S21が行われた後、第1Y軸テーブル46を駆動させ、検査シートSを、基準マークグループMG同士の位置ずれ分に相当する距離だけ、図6において下方(Y軸方向)に移動させる。そして、2回目の検査吐出が行われる(第2回検査吐出S22)。同様に、Y軸方向への移動の後、3回目の検査吐出が行われる(第3回検査吐出S23)。このようにして、アライメントマスクM上の3組の基準マークグループMGに対応するように、3組の着弾ドットグループDGが検査シートS上に形成される。なお、各検査吐出は、各吐出ノズル19においてワンショットあるいは複数ショットで行う。
続く着弾ドット認識工程S3では、再びX軸テーブル42を駆動させ、ヘッドユニット1に代えてカメラユニット44を一対の検査シートSの直上に臨ませる。そして、基準位置認識工程S1と全く同じ手順で、撮像カメラ44bにより、一対の検査シートSに着弾した全着弾ドットDを撮像し(図7参照)、その画像データを制御コンピューター38に記憶する。
検査工程S4では、基準位置認識工程S1で予め制御コンピューター38に記憶しておいた各基準着弾マークMcの画像データと、着弾ドット認識工程S3で記憶した各着弾ドットDの画像データとを比較して各吐出ノズル19の吐出検査(性能評価)を行う。具体的には、図9に示すように、基準着弾マークMcの画像データと着弾ドットDの画像データとを比較して、着弾ドットDと基準着弾マークMcとが一致した場合(図9(a)参照)、機能液を吐出した吐出ノズル19は、正常に吐出しており「良」と判断される。一方、吐出した機能液が、基準着弾マークMcから外れている場合(図9(b)参照)には飛行曲がりと判断され、着弾ドットDが小さい場合や円形でない場合(図9(c)参照)には不良吐出であり「否」と判断される。さらに、着弾ドットDが無い場合には、不吐出であり、これも「否」と判断される。なお、図9では、判断しやすいように基準着弾マークMcを着弾ドットDよりひと回り大きな円で示している。
検査工程S4では、各回の検査吐出ごと(着弾ドットグループDGごと)に、上記のような性能評価が行われる。その性能評価の結果により、機能液滴吐出ヘッド3(ヘッドユニット1)が良品か、或いは不良品か(良/否)を判断する。具体的には、1回目の検査吐出による着弾ドットグループDGの性能評価(第1検査結果判定S41)を行い、その結果が「良」であった場合には、そのヘッドユニット1は良品であると判断されて検査を終了する。これにより、1回目以降の検査吐出による着弾ドットグループDGについての性能評価を省略できるため、吐出性能検査にかかる時間を大幅に短縮することができる。なお、機能液滴吐出ヘッド3に機能液が導入されてから、1回目の検査吐出までにかかる時間を考えると、機能液の種類によっては増粘し吐出不良を生じる可能性が最も高いと言える。したがって、2回目または3回目の検査吐出と比較して、1回目の検査吐出が最も悪条件での吐出であると考えられるため、初回の検査吐出の結果が「良」であることは、検査対象の良否を判断する上で最も信頼性が高いと言える。
また、第1検査結果判定S41の結果が「否」であった場合には、2回目の検査吐出による着弾ドットグループDGの性能評価を行う(第2検査結果判定S42)。第2検査結果判定S42の結果が「良」であった場合には、さらに3回目の検査吐出による着弾ドットグループDGの性能評価(第3検査結果判定S43)を行い、その結果も「良」であった場合には、そのヘッドユニット1は良品であると判断される。これにより、誤って「否」と判断された機能液滴吐出ヘッド3(ヘッドユニット1)を、正確に良品と判断することができるため、機能液滴吐出ヘッド3に対して無用な回復処理を行う必要がなく、ヘッドユニット1をメンテナンスユニット35に臨ませる等の手間を排除することができる。
一方、第2検査結果判定S42の結果が「否」であった場合には、そのヘッドユニット1は不良品であると判断されて、メインキャリッジ43から取り外され、新に検査対象となるヘッドユニット1がセットされる(リワーク)。なお、不良品と判断されたヘッドユニット1を取り外す前に、メンテナンスユニット35による機能回復処理(吸引等)を行って、再検査するようにしてもよい。また、取り外されたヘッドユニット1は、洗浄後、不良品となった機能液滴吐出ヘッド3を組み替える(交換)ようにしている。また、第2検査結果判定S42の結果が「良」であったが、第3検査結果判定S43の結果が「否」であった場合にも、同様に不良品と判断され、リワークされる。
なお、本実施形態のアライメントマスクMには、3組の基準マークグループMGが形成されているが、1組の基準マークグループMGのみを形成してもよい。また、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド3の2つのノズル列18(A列、B列)を同時に検査しているが、これを別々に、すなわちA列(B列)について吐出検査を行った後、B列(A列)について行ってもよい。また、基準位置認識工程S1と検査吐出工程S2とは、必ずしも上記の順序で行う必要はなく、検査工程S4の前にいずれもが終了していれば良い。さらに、本実施形態では、検査吐出を全ての吐出ノズル19から行っているが、選択した吐出ノズル19(例えば、実際の描画で使用する有効ノズル)のみ検査吐出を行うようにしてもよい。
なお、他の吐出検査方法(第2実施形態)として、基準位置認識工程S1および着弾ドット認識工程S3を、各回の検査吐出ごとに別々に行ってもよい。この場合、検査吐出工程S2を先に実施して、その後、基準位置認識工程S1および着弾ドット認識工程S3において、第1回検査吐出S21に対応する基準マークグループMGおよび着弾ドットグループDGを撮像する。そして、検査工程S4(第1検査結果判定S41)を実施する。その結果、「良」であれば検査を終了し、「否」であれば、再び基準位置認識工程S1および着弾ドット認識工程S3に戻り、第2回検査吐出S22に対応する各グループMG,DGを撮像し、第2検査結果判定S42を実施する。なお、検査工程S4による性能評価方法は、先述したもの(第1実施形態)と同一であるため説明は省略する。
以上の構成によれば、予め複数回の検査吐出による複数組の着弾ドットDが検査シートSに形成されているため、複数回分の吐出性能の検査を行うことができる。これにより、複数回分の検査結果を勘案して、機能液滴吐出ヘッド3の性能を判断することができるため、検査結果の精度を高められると共に、誤った検査結果による機能液滴吐出ヘッド3の除材やクリーニング処理等の手間を排除することができる。また、都度、カメラユニット44を、アライメントマスクMや検査シートSに臨ませるための移動時間を短縮することができる。
1:ヘッドユニット、3:機能液滴吐出ヘッド、31:吐出検査装置、38:制御コンピューター、41:Y軸テーブル、42:X軸テーブル、44:カメラユニット、M:アライメントマスク、S:検査シート
Claims (5)
- 検査パターンに基づいて、機能液滴吐出ヘッドから検査吐出させて被検査ターゲット上に形成した機能液の着弾ドットにより、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法であって、
前記検査パターンに対応する前記着弾ドットの基準着弾位置をマーキングしたアライメントマスクと、前記基準着弾位置および前記着弾ドットを画像認識する画像認識手段と、を用い、
前記画像認識手段を前記アライメントマスクに相対的に臨ませて、前記基準着弾位置を画像認識する基準位置認識工程と、
前記機能液滴吐出ヘッドを前記被検査ターゲットに相対的に臨ませて、位置ずれさせながら前記被検査ターゲット上に実施した複数回の前記検査吐出により、相互に位置ずれした複数組の前記着弾ドットを形成する検査吐出工程と、
前記画像認識手段を前記被検査ターゲットに相対的に臨ませて、複数組の前記着弾ドットを画像認識する着弾ドット認識工程と、
画像認識した前記基準着弾位置と画像認識した複数組の前記着弾ドットとを比較し、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査工程と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。 - 前記アライメントマスクには、複数組の前記着弾ドットに対応し、前記基準着弾位置の複数組が相互に位置ずれしてマーキングされており、
前記基準位置認識工程において、前記画像認識手段は、複数組の前記基準着弾位置を画像認識し、
前記検査工程では、複数組の前記基準着弾位置と複数組の前記着弾ドットとを対応させて比較することを特徴とする請求項1に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。 - 前記検査工程では、複数組の前記着弾ドットのうちの少なくとも初回の前記検査吐出により形成した前記着弾ドットの検査結果が「良」とされた場合、当該検査対象の前記機能液滴吐出ヘッドを良品と判断することを特徴とする請求項1または2に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
- 前記複数回の検査吐出は、少なくとも3回行われ、
前記検査工程では、複数組の前記着弾ドットのうちの初回の検査吐出により形成した前記着弾ドットの検査結果が「否」とされた場合であって、初回以降の検査吐出により形成された前記着弾ドットの検査結果が「良」とされた場合に、当該検査対象の前記機能液滴吐出ヘッドを良品と判断することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。 - 検査パターンに基づいて、機能液滴吐出ヘッドから検査吐出させて被検査ターゲット上に形成した機能液の着弾ドットにより、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置であって、
前記被検査ターゲットと、
前記検査パターンに対応する前記着弾ドットの基準着弾位置をマーキングしたアライメントマスクと、
前記基準着弾位置および前記着弾ドットを画像認識する画像認識手段と、
前記画像認識手段を前記被検査ターゲットおよび前記アライメントマスクに相対的に臨ませると共に、前記機能液滴吐出ヘッドを前記被検査ターゲットに相対的に臨ませる移動手段と、
前記機能液滴吐出ヘッド、前記画像認識手段および前記移動手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記機能液滴吐出ヘッドを前記被検査ターゲットに相対的に臨ませて、位置ずれさせながら前記被検査ターゲット上に実施した複数回の前記検査吐出により、相互に位置ずれした複数組の前記着弾ドットを形成する検査吐出動作と、
前記画像認識手段を前記アライメントマスクに相対的に臨ませて、前記基準着弾位置を画像認識する基準位置認識動作と、
前記画像認識手段を前記被検査ターゲットに相対的に臨ませて、複数組の前記着弾ドットを画像認識する着弾ドット認識動作と、
画像認識した前記基準着弾位置と画像認識した複数組の前記着弾ドットとを比較し、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査動作と、を実施することを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
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JP2009023326A JP2010179215A (ja) | 2009-02-04 | 2009-02-04 | 機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および吐出検査装置 |
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CN103071606A (zh) * | 2013-01-15 | 2013-05-01 | 深圳市阿莱恩斯科技有限公司 | 试点胶装置、点胶机及其点胶方法 |
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2009
- 2009-02-04 JP JP2009023326A patent/JP2010179215A/ja active Pending
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CN103071606B (zh) * | 2013-01-15 | 2015-09-02 | 深圳市阿莱恩斯科技有限公司 | 试点胶装置、点胶机及其点胶方法 |
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