KR102569247B1 - 잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템 - Google Patents

잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템 Download PDF

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좌표계가 표시되어 있는 기판 상의 패턴을 이용하여 잉크의 탄착점을 자동으로 측정 및 보정하는 잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템을 제공한다. 상기 잉크 탄착점 보정 장치는, 기판 상에 위치하는 복수 개의 지점에서 잉크의 탄착점에 대한 정보를 획득하는 인식부; 탄착점에 대한 정보를 기초로 기판 상의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 보정부를 포함하며, 복수 개의 지점에는 좌표계 형태의 좌표 패턴이 형성된다.

Description

잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템 {Apparatus for correcting impact point of ink and system for treating substrate with the apparatus}
본 발명은 잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 장치를 제조하는 데에 이용되는 잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
LCD 패널, PDP 패널, LED 패널 등의 디스플레이 장치를 제조하기 위해 투명 기판 상에 인쇄 공정(예를 들어, RGB 패터닝(RGB patterning))을 수행하는 경우, 잉크젯 헤드 모듈(inkjet head module)을 구비하는 인쇄 장비가 사용될 수 있다.
한국공개특허 제10-2010-0129188호 (공개일: 2010.12.08.)
정확한 R/G/B를 패터닝(Patterning)하기 위해서는 이송 경로 시스템에서 기판 상의 개개의 액적(droplet)의 탄착에 영향을 주는 오차(예를 들어, 병진 오차, 회전 오차 등)를 교정하고 완화하기 위해, 인쇄 장비의 기계적 결점에 대응하기 위한 교정 작업이 필수적으로 필요하다.
기계적 오차를 개선하기 위해서는 글래스(Glass) 위치별 탄착 보정이 필요하다. 종래에는 이를 위해 발수 처리된 글래스 상에 잉크를 탄착한 후, 비전 카메라(Vision Camera)를 통해 잉크 탄착을 매뉴얼로 확인하는 방식을 적용하였다.
그러나, 상기의 방식은 발수 처리된 글래스가 추가로 필요하여 비용 부담이 발생할 수 있다. 또한, 상기의 방식은 작업 시간이 매우 길어 교정 작업을 완료하는 데에 많은 시간이 소요될 수 있으며, 보정값을 수동으로 레시피(Recipe) 보정하기 때문에 패터닝된 제품을 대량 생산하는 데에 부적합할 수 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 좌표계가 표시되어 있는 기판 상의 패턴을 이용하여 잉크의 탄착점을 자동으로 측정 및 보정하는 잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 잉크 탄착점 보정 장치의 일 면(aspect)은, 기판 상에 위치하는 복수 개의 지점에서 잉크의 탄착점에 대한 정보를 획득하는 인식부; 상기 탄착점에 대한 정보를 기초로 상기 기판 상의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 보정부를 포함하며, 상기 복수 개의 지점에는 좌표계 형태의 좌표 패턴이 형성된다.
상기 인식부는 상기 좌표 패턴 상에 잉크 액적이 토출되면, 상기 잉크 액적의 좌표를 인식하여 상기 탄착점에 대한 정보를 획득할 수 있다.
상기 보정부는 상기 탄착점에 대한 정보로 복수 개의 잉크 액적의 좌표가 획득되면, 상기 복수 개의 잉크 액적의 좌표를 기초로 기울기를 산출하며, 상기 기울기를 기초로 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다.
상기 보정부는 상기 탄착점에 대한 정보로 복수 개의 잉크 액적의 좌표가 획득되면, 상기 복수 개의 잉크 액적의 좌표에서 적어도 한 축의 좌표값이 모두 0이 되도록 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다.
상기 보정부는 상기 기판 상에 복수 개의 셀 영역이 있는 경우, 이웃하는 두 개의 셀 영역 간 관계 정보를 기초로 제1 모드 및 제2 모드 중 어느 하나의 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다.
상기 보정부는 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 공통적으로 적용될 패턴 레시피(pattern recipe)를 보정할 때 상기 제1 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하며, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 차등적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 때 상기 제2 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다.
상기 인식부는 상기 보정부가 상기 제1 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 경우, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역의 외곽에 위치하는 복수 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하거나, 상기 보정부가 상기 제2 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 경우, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역의 외곽에 위치하는 복수 개의 지점 및 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역의 사이에 위치하는 적어도 한 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식할 수 있다.
상기 보정부는 상기 관계 정보로 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 동일한 크기를 가지는 어플리케이션이 설치되는지 여부에 대한 정보, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 열적 변형이 있는 어플리케이션이 설치되는지 여부에 대한 정보, 및 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역 사이에 얼라인이 변경되는지 여부에 대한 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용할 수 있다.
상기 복수 개의 지점은 상기 기판 상에서 셀 영역이 형성되지 않은 더미 영역에 형성될 수 있다.
상기 복수 개의 지점은 상기 기판 상에 상기 셀 영역이 형성되기 전에 상기 더미 영역에 형성되거나, 상기 기판 상에 상기 셀 영역이 형성된 후에 상기 더미 영역에 형성되며, 상기 기판 상에 상기 셀 영역이 형성되기 전에 상기 더미 영역에 형성되는 경우, 상기 기판 상에 형성되는 얼라인 마크(Align Mark)를 기초로 상기 더미 영역에 형성될 수 있다.
상기 인식부는 상기 기판 상에서 적어도 한 방향으로 일렬로 배치되는 상기 복수 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하여 상기 탄착점에 대한 정보를 획득할 수 있다.
상기 인식부는 상기 기판 상에서 일 방향으로 일렬로 배치되는 상기 복수 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하는 경우, 외곽에 위치하는 두 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식할 수 있다.
상기 복수 개의 지점은 상기 기판의 이동 방향을 고려하여 선택될 수 있다.
상기 복수 개의 지점은 상기 기판의 이동 방향과 다른 방향으로 배치되어 있는 것으로 선택될 수 있다.
상기 인식부는 상기 기판 상에서 적어도 두 방향으로 일렬로 배치되는 상기 복수 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하며, 상기 보정부는 적어도 두 방향으로 상기 기판 상의 셀 영역에 적용될 패턴 레시피를 보정할 수 있다.
상기 보정부는 상기 기판 상에 잉크를 토출하는 타이밍을 제어하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하거나, 상기 기판 상에 잉크를 토출하는 기기의 위치 또는 자세를 보정하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하거나, 또는 상기 기판의 위치 또는 자세를 보정하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다.
상기 보정부는 상기 기판 상에 RGB를 패터닝하기 전에 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다.
상기 잉크 탄착점 보정 장치는, 상기 기판 상에서 잉크가 토출될 지점을 선택하는 선택부를 더 포함할 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 잉크 탄착점 보정 장치의 다른 면은, 기판 상에 위치하는 복수 개의 지점에서 잉크의 탄착점에 대한 정보를 획득하는 인식부; 상기 탄착점에 대한 정보를 기초로 상기 기판 상의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 보정부를 포함하며, 상기 보정부는 상기 기판 상에 복수 개의 셀 영역이 있는 경우, 이웃하는 두 개의 셀 영역 간 관계 정보를 기초로 제1 모드 및 제2 모드 중 어느 하나의 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하되, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 공통적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 때 상기 제1 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하고, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 차등적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 때 상기 제2 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정한다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 시스템의 일 면은, 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 상기 기판 상에 이동 가능하게 설치되는 갠트리 유닛; 상기 갠트리 유닛에 설치되며, 상기 기판 상에 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드 모듈; 및 상기 기판 상에 위치하는 복수 개의 지점에서 잉크의 탄착점에 대한 정보를 획득하는 인식부; 상기 탄착점에 대한 정보를 기초로 상기 기판 상의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 보정부를 포함하며, 상기 복수 개의 지점에는 좌표계 형태의 좌표 패턴이 형성되는 잉크 탄착점 보정 장치를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 기판 처리 시스템의 내부 구조를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 기판 처리 시스템의 내부 구조를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치의 내부 구성을 개략적으로 도시한 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상에 형성되는 복수 개의 잉크 토출 지점의 배치 구조를 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상에 형성되는 복수 개의 잉크 토출 지점의 배치 구조를 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상에 형성되는 복수 개의 잉크 토출 지점의 형성 방법을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상에 형성되는 복수 개의 잉크 토출 지점의 형성 방법을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상의 복수 개의 지점에 설치되는 좌표 패턴의 예시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제3 예시도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제4 예시도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제5 예시도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제6 예시도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제7 예시도이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제8 예시도이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제3 예시도이다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따라 셀 영역의 패터닝에 적용되는 공통 모드를 설명하기 위한 예시도이다.
도 21은 본 발명의 일 실시예에 따라 셀 영역의 패터닝에 적용되는 차동 모드를 설명하기 위한 예시도이다.
도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제4 예시도이다.
도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제5 예시도이다.
도 24는 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치의 내부 구성을 개략적으로 도시한 개념도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
종래에는 인쇄 장비의 기계적 오차를 개선하기 위해 발수 처리된 글래스 상에 잉크를 탄착한 후 비전 카메라를 통해 잉크와 실제 패턴 사이의 거리를 매뉴얼(manual)로 측정하며, 측정 거리를 수동으로 레시피 오프셋(recipe offset) 반영한 후에 인쇄 공정을 수행하였다.
그러나 이와 같은 방식은 발수 처리된 글래스를 별도로 구비해야 하며, 인쇄 공정을 수행하기 전에 상기의 절차를 반복해야 하기 때문에 제품 생산의 효율성이 떨어질 수 있다.
본 발명은 좌표계가 표시되어 있는 기판 상의 패턴을 이용하여 잉크의 탄착점을 자동으로 측정 및 보정하는 잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따른 잉크 탄착점 보정 장치는 별도의 발수 처리 글래스 없이 양산 글래스의 더미 영역에 X 좌표와 Y 좌표가 표시되어 있는 패턴을 이용하여 잉크의 탄착점을 실시간으로 측정 및 보정할 수 있다. 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 작업 시간을 1일 기준 4시간에서 5분으로 단축시킬 수 있어, 설비의 생산성을 향상시키리 수 있다.
둘째, 이송 시스템의 기계적 결점을 자동으로 보정함으로써 제품의 수율을 향상시킬 수 있으며, 양산 중에 탄착점 모니터링을 통해 공정 불량을 사전에 방지할 수 있다.
셋째, 오토 튜닝(Auto Tuning) 기능으로 휴먼 에러(Human error)를 제거할 수 있으며, 이에 따라 설비의 품질을 향상시키는 것이 가능해진다.
이하에서는 도면 등을 참조하여 본 발명을 자세하게 설명하기로 한다. 먼저, 잉크 탄착점 보정 장치를 구비하는 기판 처리 시스템에 대하여 설명한다.
도 1은 기판 처리 시스템의 내부 구조를 개략적으로 보여주는 사시도이며, 도 2는 기판 처리 시스템의 내부 구조를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
기판 처리 시스템은 기판을 처리하는 것이다. 이러한 기판 처리 시스템은 예를 들어, 잉크젯 헤드 모듈을 이용하여 기판 상에 잉크 등을 토출하는 인쇄 장비로 구현될 수 있다. 이하에서는 기판 처리 시스템이 인쇄 장비인 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2에 따르면, 인쇄 장비(100)는 베이스(110), 기판 지지 유닛(120), 갠트리 유닛(130), 갠트리 이동 유닛(140), 잉크젯 헤드 모듈(150), 헤드 이동 유닛(160), 액적 토출량 측정 유닛(170) 및 노즐 검사 유닛(180)을 포함하여 구성될 수 있다.
베이스(110)는 인쇄 장비(100)의 몸체를 구성하는 것이다. 이러한 베이스(110)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 한편, 베이스(110)의 상면에는 기판 지지 유닛(120)이 배치될 수 있다.
기판 지지 유닛(120)은 기판(S)을 지지하는 것이다. 이러한 기판 지지 유닛(120)은 기판(S)이 놓이는 지지판(121)을 구비할 수 있다.
지지판(121)은 기판(S)이 안착되는 것이다. 이러한 지지판(121)은 사각형 형상의 평판일 수 있다. 한편, 지지판(121)의 하면에는 회전 구동 부재(122)가 연결될 수 있다.
회전 구동 부재(122)는 지지판(121)을 회전시키는 것이다. 회전 구동 부재(122)는 이를 위해 회전 모터로 구현될 수 있다. 회전 구동 부재(122)는 지지판(121)에 수직 방향으로 형성되는 회전 중심축을 이용하여 지지판(121)을 회전시킬 수 있다.
지지판(121)이 회전 구동 부재(122)에 의해 회전하게 되면, 기판(S)도 지지판(121)을 따라 회전할 수 있다. 예를 들어, 액적(droplet)이 도포될 기판(S) 상에 형성된 셀의 장변 방향이 제2 방향(20)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(122)는 셀의 장변 방향이 제1 방향(10)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.
직선 구동 부재(123)는 지지판(121) 및 회전 구동 부재(122)를 직선 이동시키는 것이다. 이러한 직선 구동 부재(123)는 지지판(121) 및 회전 구동 부재(122)를 제1 방향(10)으로 직선 이동시킬 수 있다.
직선 구동 부재(123)는 슬라이더(124)와 가이드 부재(125)를 포함할 수 있다. 이 경우, 회전 구동 부재(122)는 슬라이더(124)의 상면에 설치될 수 있다.
가이드 부재(125)는 베이스(110)의 상면 중심부에서 제1 방향(10)을 길이 방향으로 하여 연장될 수 있다. 슬라이더(124)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(124)는 리니어 모터에 의해 가이드 부재(125)를 따라 제1 방향(10)으로 직선 이동될 수 있다.
갠트리 유닛(gantry unit; 130)은 복수 개의 잉크젯 헤드 모듈(150)을 지지하는 것이다. 이러한 갠트리 유닛(130)은 지지판(121)이 이동되는 경로의 상부에 제공될 수 있다.
갠트리 유닛(130)은 베이스(110)의 상면으로부터 상측 방향으로 이격 배치될 수 있다. 또한, 갠트리 유닛(130)은 그 길이 방향이 제2 방향(20)을 향하도록 배치될 수 있다.
갠트리 이동 유닛(140)은 갠트리 유닛(130)을 제1 방향(10)으로 직선 이동시키는 것이다. 이러한 갠트리 이동 유닛(140)은 제1 이동 유닛(141) 및 제2 이동 유닛(142)을 포함할 수 있다.
제1 이동 유닛(141)은 갠트리 유닛(130)의 일단에 제공되며, 제2 이동 유닛(142)은 갠트리 유닛(130)의 타단에 제공될 수 있다. 이 경우, 제1 이동 유닛(141)은 베이스(110)의 일측에 제공되는 제1 가이드 레일(211)을 따라 슬라이딩 이동하며, 제2 이동 유닛(142)은 베이스(110)의 타측에 제공되는 제2 가이드 레일(212)을 따라 슬라이딩 이동하여, 갠트리 유닛(130)를 제1 방향(10)으로 직선 이동시킬 수 있다.
잉크젯 헤드 모듈(150)은 기판(S) 상에 잉크 등과 같은 액적을 토출하는 것이다. 이러한 잉크젯 헤드 모듈(150)은 갠트리 유닛(130)의 측면에 설치되어, 갠트리 유닛(130)에 의해 지지될 수 있다.
잉크젯 헤드 모듈(150)은 헤드 이동 유닛(160)에 의해 갠트리 유닛(130)의 길이 방향, 즉 제2 방향(20)으로 직선 이동할 수 있으며, 제3 방향(30)으로 직선 이동할 수도 있다. 또한, 잉크젯 헤드 모듈(150)은 헤드 이동 유닛(160)에 대해 제3 방향(30)에 나란한 축을 중심으로 회전하는 것도 가능하다.
잉크젯 헤드 모듈(150)은 갠트리 유닛(130) 상에 복수 개 제공될 수 있다. 잉크젯 헤드 모듈(150)은 예를 들어, 제1 헤드 유닛(151), 제2 헤드 유닛(152), 제3 헤드 유닛(153) 등 세 개 제공될 수 있다. 복수 개의 잉크젯 헤드 모듈(150)은 예를 들어, 제2 방향(20)으로 일렬로 나란하게 갠트리 유닛(130)에 결합될 수 있다.
잉크젯 헤드 모듈(150)은 액적을 토출하는 복수 개의 노즐(미도시) 및 복수 개의 노즐이 형성되어 있는 노즐 플레이트(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 잉크젯 헤드 모듈(150)에는 예를 들어, 128개의 노즐 또는 256개의 노즐이 제공될 수 있다.
잉크젯 헤드 모듈(150)에는 복수 개의 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있다. 복수 개의 노즐의 액적 토출량은 압전 소자에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드 모듈(150)을 직선 이동시키는 것이다. 이러한 헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드 모듈(150)의 개수에 대응하여 인쇄 장비(100) 내에 제공될 수 있다. 예를 들어, 잉크젯 헤드 유닛(150)이 제1 헤드 유닛(151), 제2 헤드 유닛(152), 제3 헤드 유닛(153) 등 세 개 제공되는 경우, 헤드 이동 유닛(160)도 세 개 제공될 수 있다.
한편, 헤드 이동 유닛(160)은 단일 개 제공될 수도 있으며, 이 경우 잉크젯 헤드 모듈(150)은 개별적으로 이동하지 않고, 동시에 함께 이동될 수 있다.
액적 토출량 측정 유닛(170)은 잉크젯 헤드 모듈(150)의 액적 토출량을 측정하는 것이다. 이러한 액적 토출량 측정 유닛(170)은 베이스(110) 상의 기판 지지 유닛(120)의 일측에 배치될 수 있다.
액적 토출량 측정 유닛(170)은 잉크젯 헤드 모듈(150)마다 전체 노즐로부터 토출되는 액적량을 측정할 수 있다. 잉크젯 헤드 모듈(150)의 액적 토출량 측정을 통해, 잉크젯 헤드 모듈(150)의 전체 노즐의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 즉, 잉크젯 헤드 모듈(150)의 액적 토출량이 기준치를 벗어나면, 잉크젯 헤드 모듈(150) 중 적어도 하나에 이상이 있음을 알 수 있다.
잉크젯 헤드 모듈(150)은 갠트리 이동 유닛(140) 및 헤드 이동 유닛(160)에 의해 제1 방향(10)과 제2 방향(20)으로 이동되어 액적 토출량 측정 유닛(170)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드 모듈(150)을 제3 방향(30)으로 이동시켜 잉크젯 헤드 모듈(150)과 액적 토출량 측정 유닛(170) 간 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
노즐 검사 유닛(180)은 잉크젯 헤드 모듈(150)에 제공되는 개별 노즐의 이상 유무를 확인하는 것이다. 이러한 노즐 검사 유닛(180)은 예를 들어, 광학 검사를 통해 개별 노즐의 이상 유무를 확인할 수 있다.
노즐 검사 유닛(180)은 액적 토출량 측정 유닛(170)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.
노즐 검사 유닛(180)은 베이스(110) 상의 기판 지지 유닛(120) 일측에 배치될 수 있다. 잉크젯 헤드 모듈(150)은 갠트리 이동 유닛(140)과 헤드 이동 유닛(160)에 의해 제1 방향(10)과 제2 방향(20)으로 이동되어 노즐 검사 유닛(180)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드 모듈(150)을 제3 방향(30)으로 이동시켜 잉크젯 헤드 모듈(150)과 노즐 검사 유닛(180)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
한편, 인쇄 장비(100)는 액적 공급 장치(190)를 더 포함할 수 있다.
액적 공급 장치(190)는 갠트리 유닛(130)의 상부 및 측부에 설치될 수 있다. 이러한 액적 공급 장치(190)는 액적 공급 모듈(191) 및 압력 조절 모듈(192)을 포함할 수 있다.
액적 공급 모듈(191)은 잉크 등의 액체를 잉크젯 헤드 모듈(150)로 공급하는 것이다. 이러한 액적 공급 모듈(191)은 액체를 저장하고 있는 저장 탱크(미도시)로부터 액체를 공급받은 후, 이 액체를 잉크젯 헤드 모듈(150)로 공급할 수 있다.
압력 조절 모듈(192)은 액적 공급 모듈(191)의 압력을 조절하는 것이다. 이러한 압력 조절 모듈(192)은 액적 공급 모듈(191)에 양압 또는 음압을 제공하여 액적 공급 모듈(191)의 압력을 조절할 수 있다.
한편, 액적 공급 모듈(191) 및 압력 조절 모듈(192)은 갠트리 유닛(130)에 결합될 수 있다.
인쇄 장비(100)의 기계적 오차(예를 들어, 병진 오차, 회전 오차 등)를 개선하기 위해서는 기판의 위치별 탄착 보정이 필요하다. 기판 처리 시스템은 이를 위해 잉크 탄착점 보정 장치를 구비할 수 있다.
잉크 탄착점 보정 장치는 인쇄 장비의 기계적 결점에 대응하기 위해 잉크의 탄착점을 자동으로 측정 및 보정할 수 있다. 잉크 탄착 오류는 이송 시스템(예를 들어, 갠트리 유닛(130))의 기계적 결점에 의해 발생될 수 있다. 본 실시예에서는 이송 시스템의 기계적 결점에도 불구하고, 상기의 오차를 보정하여 기판에 대한 프린팅 정밀도를 개선할 수 있다. 잉크 탄착점 보정 장치는 좌표계에서 비직교성 불일치에 대해 교정하기 위해 적용될 수 있다.
이하에서는 잉크 탄착점 보정 장치에 대해 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치의 내부 구성을 개략적으로 도시한 개념도이다.
도 3에 따르면, 잉크 탄착점 보정 장치(300)는 인식부(310), 보정부(320) 및 제어부(330)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 잉크 탄착점 보정 장치(300)는 전원부(340) 및 선택부(350)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 이와 관련해서는 도 24를 참조하여 후술하기로 한다.
인식부(310)는 잉크젯 헤드 모듈(150)에 의해 기판(S)(예를 들어, 디스플레이 장치 제조용 유리 기판(Glass)) 상의 복수 개의 지점에 잉크가 토출되면, 각각의 잉크 토출 지점에서 잉크의 탄착점에 대한 위치 정보를 획득하는 기능을 수행한다. 인식부(310)는 이를 위해 각각의 잉크 토출 지점에서 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다.
인식부(310)는 인식 기능을 하는 비전 카메라(Vision Camera) 등으로 구현될 수 있다. 이때, 제어부(330)는 이러한 인식부(310)의 작동을 제어하는 컴퓨터 장치(또는 컴퓨터 장치 내에 탑재되는 소프트웨어)로 구현될 수 있다. 한편, 인식부(310)는 비전 카메라 및 비전 카메라의 작동을 제어하는 컴퓨터 장치를 포함하는 개념으로 이해될 수도 있다.
기판(S) 상에 형성되는 복수 개의 지점은 기판(S) 상에 RGB를 정확하게 패터닝하기 위한 것이다. 잉크젯 헤드 모듈(150)은 이러한 복수 개의 지점에 잉크를 토출할 수 있다.
복수 개의 지점은 기판(S) 상에서 셀(Cell)이 형성되지 않은 더미 영역(Dummy area)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이 기판(S) 상에 두 개의 셀 영역(411, 412)이 있는 경우, 두 개의 셀 영역(411, 412) 이외의 영역인 더미 영역(420)에 아홉 개의 지점(431 ~ 439)이 형성될 수 있다. 상기에서, 셀 영역(411, 412)은 RGB가 패터닝되는 영역을 말한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상에 형성되는 복수 개의 잉크 토출 지점의 배치 구조를 설명하기 위한 제1 예시도이다.
복수 개의 지점 중 그 일부는 얼라인 마크(Align mark; 440)에 인접하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이 제1 지점(431), 제2 지점(432), 제3 지점(433), 제7 지점(437), 제8 지점(438), 제9 지점(439) 등이 얼라인 마크(440)에 인접하여 형성되며, 제4 지점(434), 제5 지점(435), 제6 지점(436) 등이 얼라인 마크(440)에 인접하여 형성되지 않을 수 있다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 복수 개의 지점 전체가 얼라인 마크(440)에 인접하여 형성되는 것도 가능하다. 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이 제1 지점(431), 제2 지점(432), 제3 지점(433), 제4 지점(434), 제5 지점(435), 제6 지점(436) 등이 얼라인 마크(440)에 인접하여 형성될 수 있다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상에 형성되는 복수 개의 잉크 토출 지점의 배치 구조를 설명하기 위한 제2 예시도이다.
더미 영역(420)에 형성되는 복수 개의 지점은 도 6에 도시된 바와 같이 기판(S) 상에 셀 영역(411, 412)을 형성한 이후에 형성될 수 있다. 이 경우, 복수 개의 지점은 셀 영역(411, 412)에 인접하는 영역 상에 형성될 수 있다. 복수 개의 지점은 얼라인 마크(440)도 고려하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 지점은 셀 영역(411, 412) 및 얼라인 마크(440)에 인접하는 영역 상에 형성될 수 있다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상에 형성되는 복수 개의 잉크 토출 지점의 형성 방법을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 복수 개의 지점은 도 7에 도시된 바와 같이 기판(S) 상에 셀 영역(411, 412)을 형성하기 이전에 형성되는 것도 가능하다. 이 경우, 복수 개의 지점은 얼라인 마크(440)에 인접하는 영역 상에 형성될 수 있다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상에 형성되는 복수 개의 잉크 토출 지점의 형성 방법을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
한편, 도 4 내지 도 7의 예시에서는 기판(S) 상에 두 개의 셀 영역(411, 412)이 형성되는 것으로 설명하였다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 셀 영역은 기판(S) 상에 한 개만 형성되거나, 세 개 이상 형성되는 것도 가능하다.
인식부(310)가 각각의 잉크 토출 지점에서 잉크의 탄착점을 인식하기 위해서는, 잉크젯 헤드 모듈(150)이 기판(S) 상의 각각의 지점에 잉크를 토출해야 한다. 본 실시예에서는 잉크젯 헤드 모듈(150)이 두 개의 셀 영역(411, 412)에 대해 인쇄 공정을 수행하기 전에, 기판(S) 상의 복수 개의 잉크를 토출할 수 있다. 본 실시예에서는 이를 통해 기판의 인쇄 정밀도를 향상시키는 효과를 얻을 수 있다.
인식부(310)는 각각의 잉크 토출 지점에서 잉크의 탄착점을 인식할 때, 각각의 잉크 토출 지점에 설치되어 있는 좌표 패턴을 이용하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다.
좌표 패턴은 X축 좌표값과 Y축 좌표값으로 구성되는 좌표계로 구현될 수 있다. 좌표 패턴은 예를 들어, 도 8에 도시된 바와 같이 직교 좌표계로 구현될 수 있다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상의 복수 개의 지점에 설치되는 좌표 패턴의 예시도이다.
인식부(310)는 기판(S) 상의 복수 개의 지점 중 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 잉크 토출 지점에서 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 이때, 인식부(310)는 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다.
예를 들어, 도 9에 도시된 바와 같이 기판(S) 상에 제1 지점(431) 내지 제9 지점(439)이 형성되어 있는 경우, 인식부(310)는 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 세 개의 지점(제1 지점(431) 내지 제3 지점(433), 또는 제4 지점(434) 내지 제6 지점(436), 또는 제7 지점(437) 내지 제9 지점(439))을 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 인식부(310)는 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 지점 중 일부를 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식하는 것도 가능하다.
예를 들어, 인식부(310)는 도 10에 도시된 바와 같이 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 세 개의 지점 중 외곽에 위치하는 두 개의 지점(제1 지점(431) 및 제3 지점(433), 또는 제4 지점(434) 및 제6 지점(436), 또는 제7 지점(437) 및 제9 지점(439))을 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
인식부(310)는 기판(S) 상의 복수 개의 지점 중 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 잉크 토출 지점에서 잉크의 탄착점을 인식할 수도 있다. 이 경우, 인식부(310)는 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다.
예를 들어, 도 11에 도시된 바와 같이 기판(S) 상에 제1 지점(431) 내지 제9 지점(439)이 형성되어 있는 경우, 인식부(310)는 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 세 개의 지점(제1 지점(431)과 제4 지점(434) 및 제7 지점(437), 또는 제2 지점(432)과 제5 지점(435) 및 제8 지점(438), 또는 제3 지점(433)과 제6 지점(436) 및 제9 지점(439))을 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제3 예시도이다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 인식부(310)는 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 지점 중 일부를 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식하는 것도 가능하다.
예를 들어, 인식부(310)는 도 12에 도시된 바와 같이 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 세 개의 지점 중 외곽에 위치하는 두 개의 지점(제1 지점(431) 및 제7 지점(437), 또는 제2 지점(432) 및 제8 지점(438), 또는 제3 지점(433) 및 제9 지점(439))을 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제4 예시도이다.
인식부(310)는 기판(S) 상의 복수 개의 지점 중 소정 개수의 잉크 토출 지점에서 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 이 경우, 인식부(310)는 기판(S)의 이동 방향을 고려하여 선택되는 잉크 토출 지점에서 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다.
예를 들어, 도 13에 도시된 바와 같이 기판(S)의 이동 방향이 제2 방향(20)인 경우, 인식부(310)는 제2 방향(20)에 대해 수직 방향인 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 복수 개의 지점을 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다.
또한, 인식부(310)는 이동하는 기판(S)의 후단부에 형성되는 복수 개의 지점을 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 즉, 인식부(310)는 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 복수 개의 지점 중 기판(S)의 후단부에 형성되어 있는 세 개의 지점(즉, 제1 지점(431) 내지 제3 지점(433))을 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제5 예시도이다.
인식부(310)는 이상 설명한 바와 같이 기판(S) 상에 형성되어 있는 복수 개의 지점 중 그 일부의 지점을 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 인식부(310)는 기판(S) 상에 형성되는 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식하는 것도 가능하다.
인식부(310)는 기판(S) 상에 형성되는 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 인식하는 경우, 제1 방향(10) 및 제2 방향(20)의 순서로 제1 방향(10) 및 제2 방향(20)을 고려하여 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 인식할 수 있다.
제1 방향(10) 및 제2 방향(20)의 순서로 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 인식하는 경우, 인식부(310)는 예를 들어, 도 14에 도시된 바와 같이 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 세 개의 지점(제1 지점(431) 내지 제3 지점(433))을 차례대로 잉크 토출 지점으로 1차 인식한 후, 제2 방향(20)으로 이동하여 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 다른 세 개의 지점(제4 지점(434) 내지 제6 지점(436))을 차례대로 잉크 토출 지점으로 2차 인식하며, 제2 방향(20)으로 다시 이동하여, 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 또다른 세 개의 지점(제7 지점(437) 내지 제9 지점(439))을 차례대로 잉크 토출 지점으로 최종 인식할 수 있다.
본 실시예에서는 인식부(310)가 제7 지점(437) 내지 제9 지점(439), 제4 지점(434) 내지 제6 지점(436), 및 제1 지점(431) 내지 제3 지점(433)의 순서로 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 인식하는 것도 가능하다. 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제6 예시도이다.
인식부(310)는 기판(S) 상에 형성되는 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 인식하는 경우, 제2 방향(20) 및 제1 방향(10)의 순서로 제1 방향(10) 및 제2 방향(20)을 고려하여 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 인식하는 것도 가능하다.
제2 방향(20) 및 제1 방향(10)의 순서로 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 인식하는 경우, 인식부(310)는 예를 들어, 도 15에 도시된 바와 같이 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 세 개의 지점(제1 지점(431), 제4 지점(434) 및 제7 지점(437))을 차례대로 잉크 토출 지점으로 1차 인식한 후, 제1 방향(10)으로 이동하여 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 다른 세 개의 지점(제2 지점(432), 제5 지점(435) 및 제8 지점(438))을 차례대로 잉크 토출 지점으로 2차 인식하며, 제1 방향(10)으로 다시 이동하여, 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 또다른 세 개의 지점(제3 지점(433), 제6 지점(436) 및 제9 지점(439))을 차례대로 잉크 토출 지점으로 최종 인식할 수 있다.
본 실시예에서는 인식부(310)가 제3 지점(433)과 제6 지점(436) 및 제9 지점(439), 제2 지점(432)과 제5 지점(435) 및 제8 지점(438), 및 제1 지점(431)과 제4 지점(434) 및 제7 지점(437)의 순서로 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 인식하는 것도 가능하다. 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제7 예시도이다.
한편, 인식부(310)는 기판(S) 상에 형성되는 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식하는 경우, 랜덤으로 복수 개의 지점 전체를 잉크 토출 지점으로 하여 잉크의 탄착점을 인식하는 것도 가능하다.
인식부(310)는 이상 설명한 바와 같이 제1 방향(10) 및 제2 방향(20) 중 적어도 하나의 방향으로 이동하여 복수 개의 잉크 토출 지점을 인식할 수 있다. 이하에서는 인식부(310)가 제1 방향(10)으로 이동하여 복수 개의 잉크 토출 지점을 인식하는 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.
인식부(310)는 앞서 설명한 바와 같이 각각의 잉크 토출 지점에 설치되어 있는 좌표 패턴을 이용하여 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 인식부(310)는 잉크젯 헤드 모듈(150)이 잉크 토출 지점에 설치되어 있는 좌표 패턴 상에 잉크를 토출하면, 좌표 패턴 상에서의 잉크 액적의 위치 정보를 토대로 잉크의 탄착점의 위치 정보를 획득할 수 있다.
예를 들어, 도 16의 좌측도에 도시된 바와 같이 좌표 패턴(510) 상에 잉크 액적(520)이 토출된 경우, 인식부(310)는 도 16의 우측도에 도시된 바와 같이 X축 좌표값과 Y축 좌표값이 각각 1인 것으로 잉크의 탄착점을 인식할 수 있다. 이 경우, 인식부(310)는 (1, 1)을 잉크의 탄착점의 위치 정보로 획득할 수 있다. 도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 인식부의 기능을 설명하기 위한 제8 예시도이다.
다시 도 3을 참조하여 설명한다.
보정부(320)는 인식부(310)에 의해 잉크의 탄착점에 대한 위치 정보가 획득되면, 이 정보를 기초로 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 기능을 수행한다. 이때, 보정부(320)는 잉크의 탄착점의 위치 정보를 기초로 실시간으로 및/또는 자동으로 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다.
예를 들어, 제1 지점(431), 제2 지점(432) 및 제3 지점(433)의 좌표 패턴(511, 512, 513) 상에 잉크 액적(521, 522, 523)이 도 17에 도시된 바와 같이 차례대로 토출되어 있는 경우, 인식부(310)는 제1 잉크 액적(521)의 위치 정보, 제2 잉크 액적(522)의 위치 정보 및 제3 잉크 액적(523)의 위치 정보를 각각 (0, 0), (1, 1) 및 (2, 2)로 획득할 수 있다. 그러면, 보정부(320)는 인식부(310)에 의해 획득된 데이터를 선형 분석하여 기울기를 측정하고, 패턴 레시피(Pattern Recipe)를 자동으로 보정하여 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다. 도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
인식부(310)에 의해 획득된 데이터를 선형 분석하여 기울기를 측정하는 경우, 보정부(320)는 도 17에 도시된 바와 같이 제1 잉크 액적(521)의 위치 정보, 제2 잉크 액적(522)의 위치 정보 및 제3 잉크 액적(523)의 위치 정보로 각각 (0, 0), (1, 1) 및 (2, 2)가 획득되면, 도 18에 도시된 바와 같이 좌표 패턴(511, 512, 513) 상에서의 세 개의 잉크 액적(521, 522, 523)의 위치 정보를 연결하는 선분의 기울기를 측정할 수 있다. 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
또한, 패턴 레시피를 자동으로 보정하여 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 경우, 보정부(320)는 도 18에 도시된 바와 같이 좌표 패턴(511, 512, 513) 상에서의 세 개의 잉크 액적(521, 522, 523)의 위치 정보를 연결하는 선분의 기울기가 측정되면, 도 19에 도시된 바와 같이 세 개의 잉크 액적(521, 522, 523)의 위치 정보가 각각 (0, 0), (1, 0) 및 (2, 0)이 되는 선분의 기울기를 가지도록 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다. 보정부(320)는 세 개의 잉크 액적(521, 522, 523)의 위치 정보가 모두 (0, 0)이 되도록 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 것도 가능하다. 도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제3 예시도이다.
보정부(320)는 잉크의 토출 타이밍을 결정하여 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있게 하는 소프트웨어(또는 그러한 소프트웨어를 실행시키는 컴퓨터 장치)로 구현될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 보정부(320)는 컴퓨터 장치의 제어에 따라 결정된 토출 타이밍에 잉크를 토출하는 장치(예를 들어, 젯팅 드라이브(Jetting Drive))로 구현되는 것도 가능하다.
한편, 보정부(320)는 기구물의 위치 및 자세를 제어하여 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 장치(예를 들어, 축 이동 제어부)로 구현되는 것도 가능하다. 이 경우, 보정부(320)는 갠트리 유닛(130) 또는 잉크젯 헤드 모듈(150)의 위치 및 자세를 제어하여 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다. 또한, 보정부(320)는 기판(S)의 위치 및 자세를 제어하여잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 것도 가능하다.
한편, 보정부(320)가 젯팅 드라이브, 축 이동 제어부 등으로 구현되는 경우, 제어부(330)가 소프트웨어 또는 그러한 소프트웨어를 실행시키는 컴퓨터 장치로 구현될 수 있다. 그러나, 본 실시예가 이에 한정되지 않고, 보정부(320)가 젯팅 드라이브, 축 이동 제어부 등 뿐만 아니라 그들을 제어하는(즉, 잉크의 토출 타이밍을 결정하여 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있게 하는) 소프트웨어까지 포괄하는 것도 가능하다.
앞서 설명한 바와 같이, 기판(S) 상에는 한 개의 셀 영역이 형성될 수 있지만, 복수 개의 셀 영역이 형성될 수도 있다. 이하에서는 기판(S) 상에 복수 개의 셀 영역이 형성되는 경우, 보정부(320)가 어떻게 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는지에 대하여 설명한다.
이하에서는 기판(S) 상에 두 개의 셀 영역 즉, 제1 셀 영역(411) 및 제2 셀 영역(412)이 형성되어 있고, 제1 방향(10)으로 제1 지점(431), 제2 지점(432) 및 제3 지점(433)이 잉크 토출 지점으로 형성되어 있는 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.
상기에서, 제1 지점(431)은 제2 셀 영역(412)의 외곽 즉, 기판(S)의 일 경계부와 제2 셀 영역(412) 사이에 형성되는 잉크 토출 지점을 의미한다. 또한, 제2 지점(432)은 제1 셀 영역(411)과 제2 셀 영역(412) 사이에 형성되는 잉크 토출 지점을 의미하며, 제3 지점(433)은 제1 셀 영역(412)의 외곽 즉, 기판(S)의 타 경계부와 제1 셀 영역(411) 사이에 형성되는 잉크 토출 지점을 의미한다.
보정부(320)는 공통 모드와 차동 모드 중 어떠한 모드가 두 개의 셀 영역(411, 412)에 적용되는지 여부를 토대로 잉크 토출 지점의 위치를 보정할 수 있다.
공통 모드는 글래스 프린팅 모드(Glass Printing Mode)를 의미한다. 기판(S) 상에 제1 셀 영역(411) 및 제2 셀 영역(412)이 형성되어 있고, 두 개의 셀 영역(411, 412)에 공통 모드가 적용되는 경우, 제1 셀 영역(411) 및 제2 셀 영역(412)은 동일한 방식으로 RGB가 패터닝될 수 있다. 공통 모드는 예를 들어, 도 20에 도시된 바와 같이 제1 셀 영역(411) 및 제2 셀 영역(412)에 동일한 크기의 패널이 형성될 때 적용될 수 있다. 도 20은 본 발명의 일 실시예에 따라 셀 영역의 패터닝에 적용되는 공통 모드를 설명하기 위한 예시도이다.
차동 모드는 셀(Cell)별 프린팅 모드를 의미한다. 기판(S) 상에 제1 셀 영역(411) 및 제2 셀 영역(412)이 형성되어 있고, 두 개의 셀 영역(411, 412)에 차동 모드가 적용되는 경우, 제1 셀 영역(411) 및 제2 셀 영역(412)은 서로 다른 방식으로 RGB가 패터닝될 수 있다. 차동 모드는 예를 들어, 도 21에 도시된 바와 같이 제1 셀 영역(411) 및 제2 셀 영역(412)에 서로 다른 크기의 패널이 형성될 때 적용될 수 있다. 도 21은 본 발명의 일 실시예에 따라 셀 영역의 패터닝에 적용되는 차동 모드를 설명하기 위한 예시도이다.
차동 모드는 도 21의 예시에서 보는 바와 같이 어느 하나의 셀 영역에 비해 다른 하나의 셀 영역에 대면적 어플리케이션이 적용되는 경우 고려될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 차동 모드는 두 개의 셀 영역 중 적어도 하나의 셀 영역에 변형이 많은 어플리케이션(예를 들어, 열적 변형이 큰 어플리케이션)이 적용되는 경우에 고려될 수도 있으며, 두 개의 셀 영역 사이에 얼라인이 바뀌는 등 일부 변화가 있는 경우에도 고려될 수 있다.
보정부(320)는 두 개의 셀 영역(411, 412)에 공통 모드가 적용되는 경우, 두 개의 셀 영역(411, 412)의 외곽에 형성되어 있는 복수 개의 잉크 토출 지점에서의 잉크 액적의 위치 정보를 토대로 두 개의 셀 영역(411, 412)에 공통적으로 적용될 패턴 레시피를 자동으로 및/또는 실시간으로 보정할 수 있다.
예를 들어, 제1 지점(431)에 탄착된 제1 잉크 액적(521)의 위치 정보가 (0, 0)이고, 제2 지점(432)에 탄착된 제2 잉크 액적(522)의 위치 정보가 (1, 1)이며, 제3 지점(433)에 탄착된 제3 잉크 액적(523)의 위치 정보가 (2, 2)인 경우, 보정부(320)는 제1 잉크 액적(521)의 위치 정보 및 제3 잉크 액적(523)의 위치 정보를 토대로 각각의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하여, 두 개의 셀 영역(411, 412)에 공통적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 수 있다.
즉, 보정부(320)는 도 22에 도시된 바와 같이 제1 잉크 액적(521)의 위치 정보 및 제3 잉크 액적(523)의 위치 정보가 각각 (0, 0) 및 (2, 0)이 되는 선분의 기울기를 가지도록 각각의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하여, 두 개의 셀 영역(411, 412)에 공통적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 수 있다. 도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제4 예시도이다.
보정부(320)는 두 개의 셀 영역(411, 412)에 차동 모드가 적용되는 경우, 두 개의 셀 영역(411, 412)의 외곽 및 두 개의 셀 영역(411, 412)의 사이에 형성되어 있는 복수 개의 잉크 토출 지점에서의 잉크 액적의 위치 정보를 토대로 두 개의 셀 영역(411, 412)에 차등적으로 적용될 패턴 레시피를 자동으로 및/또는 실시간으로 보정할 수 있다.
예를 들어, 제1 지점(431)에 탄착된 제1 잉크 액적(521)의 위치 정보가 (0, 0)이고, 제2 지점(432)에 탄착된 제2 잉크 액적(522)의 위치 정보가 (1, 1)이며, 제3 지점(433)에 탄착된 제3 잉크 액적(523)의 위치 정보가 (2, 1.5)인 경우, 보정부(320)는 제1 잉크 액적(521)의 위치 정보, 제2 잉크 액적(522)의 위치 정보 및 제3 잉크 액적(523)의 위치 정보를 토대로 각각의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하여, 두 개의 셀 영역(411, 412)에 차등적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 수 있다.
즉, 보정부(320)는 도 23에 도시된 바와 같이 제1 잉크 액적(521)의 위치 정보 및 제2 잉크 액적(522)의 위치 정보가 각각 (0, 0) 및 (1, 0)이 되는 선분의 기울기를 가지도록 각각의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하여, 제2 셀 영역(412)에 적용될 패턴 레시피를 1차 보정하고, 제2 잉크 액적(522)의 위치 정보 및 제3 잉크 액적(523)의 위치 정보가 각각 (1, 0) 및 (2, 0)이 되는 선분의 기울기를 가지도록 각각의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하여, 제1 셀 영역(411)에 적용될 패턴 레시피를 2차 보정할 수 있다. 도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치를 구성하는 보정부의 기능을 설명하기 위한 제5 예시도이다.
보정부(320)가 공통 모드 및 차동 모드 중 어느 하나의 모드를 이용하여 잉크 토출 지점의 위치를 보정하면, 어플리케이션 변경에 따른 MMG(Multi Model Glass)에 대응하는 것이 가능해질 수 있다. 여기서, MMG는 두 개의 셀 영역(411, 412)에 서로 다른 크기의 패널(예를 들어, 65인치 패널과 55인치 패널)이 생산되는 경우를 말한다.
본 실시예는 양산 글래스의 더미 영역에 좌표 패턴을 이용하면 되기 때문에, 양산 중간에도 언제든지 레시피 보정이 가능한 잇점이 있다. 예를 들어, 카세트 단위(예를 들어, 20개 글래스)마다, 첫번째 글래스에서는 이러한 레시피 체크 및 보정이 가능하다는 장점이 있다.
상기에서는 기판(S) 상에 두 개의 셀 영역이 형성되는 경우, 보정부(320)가 어떻게 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는지에 대하여 설명하였다. 그런데, 본 실시예에서 기판(S) 상에는 세 개 이상의 셀 영역이 형성될 수도 있다.
이와 같은 경우에는, 이웃하는 두 개의 셀 영역을 제1 셀 영역(411) 및 제2 셀 영역(412)으로 하고, 이웃하는 두 개의 셀 영역의 외곽 및 이웃하는 두 개의 셀 영역 사이에 형성되는 잉크 토출 지점을 제1 지점(431) 내지 제3 지점(433)으로 하여, 보정부(320)가 공통 모드와 차동 모드 중 어느 하나의 모드에 따라 이웃하는 두 개의 셀 영역에 공통적으로 적용될 패턴 레시피를 보정하거나, 이웃하는 두 개의 셀 영역에 차등적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 수 있다.
보정부(320)는 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 복수 개의 잉크 토출 지점에 대한 정보를 기초로 기판(S) 상에 형성되어 있는 셀 영역의 패턴 레시피를 X축 방향으로 보정할 수 있다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 보정부(320)는 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 복수 개의 잉크 토출 지점에 대한 정보를 기초로 기판(S) 상에 형성되어 있는 셀 영역의 패턴 레시피를 Y축 방향으로 보정하는 것도 가능하다.
또한, 보정부(320)는 제1 방향(10)으로 일렬로 배치되어 있는 복수 개의 잉크 토출 지점에 대한 정보 및 제2 방향(20)으로 일렬로 배치되어 있는 복수 개의 잉크 토출 지점에 대한 정보를 기초로 기판(S) 상에 형성되어 있는 셀 영역의 패턴 레시피를 X축 방향으로 보정할 뿐만 아니라, Y축 방향 및 θ축(기울기) 방향으로도 보정할 수 있다.
다시 도 3을 참조하여 설명한다.
제어부(330)는 잉크 탄착점 보정 장치(300)를 구성하는 인식부(310) 및 보정부(320)의 전체 작동을 제어하는 기능을 한다. 이러한 제어부(330)는 컴퓨터 장치(또는 컴퓨터 장치 내에 탑재되는 소프트웨어)로 구현될 수 있다.
본 실시예에서는 잉크 탄착점 보정 장치(300)가 컴퓨터 장치로 구현될 수도 있다. 이 경우, 인식부(310)는 비전 카메라를 제어할 수 있는 소프트웨어로 컴퓨터 장치 내에 탑재될 수 있으며, 보정부(320)는 젯팅 드라이브, 축 이동 제어부 등을 제어할 수 있는 소프트웨어로 컴퓨터 장치 내에 탑재될 수 있다.
잉크 탄착점 보정 장치(300)는 도 24에 도시된 바와 같이 전원부(340) 및 선택부(350)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 도 24는 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크 탄착점 보정 장치의 내부 구성을 개략적으로 도시한 개념도이다.
전원부(340)는 잉크 탄착점 보정 장치(300)를 구성하는 각각의 모듈에 전원을 공급하는 기능을 수행한다.
선택부(350)는 기판(S) 상에서 잉크가 토출되는 잉크 토출 지점을 선택하는 기능을 수행한다. 선택부(350)에 의해 잉크 토출 지점이 선택되면, 갠트리 유닛(130)은 잉크젯 헤드 모듈(150)이 기판(S) 상의 선택된 지점에 위치하도록 베이스(110) 상에서 이동할 수 있으며, 잉크젯 헤드 모듈(150)은 해당 지점에 잉크를 토출할 수 있다. 그러면, 인식부(310) 및 보정부(320)는 선택부(350)에 의해 선택된 잉크 토출 지점을 대상으로 하여 전술하여 설명한 기능을 수행할 수 있다.
선택부(350)는 기판(S) 상에서 복수 개의 잉크 토출 지점을 선택할 수 있다. 이때, 잉크젯 헤드 모듈(150)은 기판(S) 상의 각각의 잉크 토출 지점(즉, 제1 지점 내지 제n 지점(여기서, n은 2 이상의 자연수))에 도달할 때마다 해당 지점에 잉크를 토출할 수 있다.
선택부(350)는 컴퓨터 장치 내에 탑재되는 소프트웨어로 구현될 수 있다. 또는, 선택부(350)는 소프트웨어를 실행하는 컴퓨터 장치일 수 있다.
이상 도 3 내지 도 24를 참조하여 본 발명의 다양한 실시 형태에 따른 잉크 탄착점 보정 장치(300)에 대하여 설명하였다. 잉크 탄착점 보정 장치(300)는 좌표계가 표시되어 있는 기판 상의 패턴을 이용하여 잉크의 탄착점을 실시간으로/자동으로 측정 및 보정하는 것이다. 이러한 잉크 탄착점 보정 장치(300)는 잉크젯(Ink-jet) 설비를 비롯한 다양한 패턴 프린팅(Pattern Printing) 설비에 적용될 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 인쇄 장비 110: 베이스
130: 갠트리 유닛 150: 잉크젯 헤드 모듈
300: 잉크 탄착점 보정 장치 310: 인식부
320: 보정부 350: 선택부
411, 412: 셀 영역 420: 더미 영역
431 ~ 439: 잉크 토출 지점 440: 얼라인 마크
450: 기판의 이동 방향 510: 좌표 패턴
520: 잉크 액적 S: 기판

Claims (20)

  1. 기판 상에 위치하는 복수 개의 지점에서 잉크의 탄착점에 대한 정보를 획득하는 인식부; 및
    상기 탄착점에 대한 정보를 기초로 상기 기판 상의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 보정부를 포함하며,
    상기 복수 개의 지점에는 좌표계 형태의 좌표 패턴이 형성되고,
    상기 보정부는 상기 기판 상에 복수 개의 셀 영역이 있는 경우, 이웃하는 두 개의 셀 영역 간 관계 정보를 기초로 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하되, 상기 관계 정보로 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 동일한 크기를 가지는 어플리케이션이 설치되는지 여부에 대한 정보, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 열적 변형이 있는 어플리케이션이 설치되는지 여부에 대한 정보, 및 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역 사이에 얼라인이 변경되는지 여부에 대한 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 인식부는 상기 좌표 패턴 상에 잉크 액적이 토출되면, 상기 잉크 액적의 좌표를 인식하여 상기 탄착점에 대한 정보를 획득하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 보정부는 상기 탄착점에 대한 정보로 복수 개의 잉크 액적의 좌표가 획득되면, 상기 복수 개의 잉크 액적의 좌표를 연결하는 선분의 기울기를 산출하며, 상기 기울기를 기초로 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 보정부는 상기 탄착점에 대한 정보로 복수 개의 잉크 액적의 좌표가 획득되면, 상기 복수 개의 잉크 액적의 좌표에서 적어도 한 축의 좌표값이 모두 0이 되도록 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 보정부는 상기 기판 상에 복수 개의 셀 영역이 있는 경우, 이웃하는 두 개의 셀 영역 간 관계 정보를 기초로 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역을 동일한 방식으로 프린팅하는 제1 모드 및 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역을 서로 다른 방식으로 프린팅하는 제2 모드 중 어느 하나의 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 보정부는 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 공통적으로 적용될 패턴 레시피(pattern recipe)를 보정할 때 상기 제1 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하거나,
    상기 인식부는 상기 보정부가 상기 제1 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 경우, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역의 외곽에 위치하는 복수 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 보정부는 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 차등적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 때 상기 제2 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하거나,
    상기 인식부는 상기 보정부가 상기 제2 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 경우, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역의 외곽에 위치하는 복수 개의 지점 및 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역의 사이에 위치하는 적어도 한 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 기판 상에 위치하는 복수 개의 지점에서 잉크의 탄착점에 대한 정보를 획득하는 인식부; 및
    상기 탄착점에 대한 정보를 기초로 상기 기판 상의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 보정부를 포함하며,
    상기 복수 개의 지점에는 좌표계 형태의 좌표 패턴이 형성되고,
    상기 복수 개의 지점은 상기 기판 상에서 셀 영역이 형성되지 않은 더미 영역에 형성되고,
    상기 복수 개의 지점은 상기 기판 상에 상기 셀 영역이 형성되기 전에 상기 더미 영역에 형성되거나, 상기 기판 상에 상기 셀 영역이 형성된 후에 상기 더미 영역에 형성되며,
    상기 기판 상에 상기 셀 영역이 형성되기 전에 상기 더미 영역에 형성되는 경우, 상기 기판 상에 형성되는 얼라인 마크(Align Mark)를 기초로 상기 더미 영역에 형성되는 잉크 탄착점 보정 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 인식부는 상기 기판 상에서 적어도 한 방향으로 일렬로 배치되는 상기 복수 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하여 상기 탄착점에 대한 정보를 획득하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 인식부는 상기 기판 상에서 일 방향으로 일렬로 배치되는 상기 복수 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하는 경우, 일렬로 배치되는 상기 복수 개의 지점 중에서 바깥쪽에 위치하는 두 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 잉크 토출 지점은 상기 기판의 이동 방향을 고려하여 선택되는 잉크 탄착점 보정 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 잉크 토출 지점은 상기 기판의 이동 방향과 다른 방향으로 배치되어 있는 것으로 선택되는 잉크 탄착점 보정 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 인식부는 상기 기판 상에서 적어도 두 방향으로 일렬로 배치되는 상기 복수 개의 지점에서 상기 탄착점을 인식하며,
    상기 보정부는 적어도 두 방향으로 상기 기판 상의 셀 영역에 적용될 패턴 레시피를 보정하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 보정부는 상기 기판 상에 잉크를 토출하는 타이밍을 제어하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하거나, 상기 기판 상에 잉크를 토출하는 기기의 위치 또는 자세를 보정하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하거나, 또는 상기 기판의 위치 또는 자세를 보정하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 보정부는 상기 기판 상에 RGB를 패터닝하기 전에 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상에서 잉크가 토출될 지점을 선택하는 선택부를 더 포함하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  19. 기판 상에 위치하는 복수 개의 지점에서 잉크의 탄착점에 대한 정보를 획득하는 인식부; 및
    상기 탄착점에 대한 정보를 기초로 상기 기판 상의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 보정부를 포함하며,
    상기 보정부는 상기 기판 상에 복수 개의 셀 영역이 있는 경우, 이웃하는 두 개의 셀 영역 간 관계 정보를 기초로 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역을 동일한 방식으로 프린팅하는 제1 모드 및 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역을 서로 다른 방식으로 프린팅하는 제2 모드 중 어느 하나의 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하되,
    상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 공통적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 때 상기 제1 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하고,
    상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 차등적으로 적용될 패턴 레시피를 보정할 때 상기 제2 모드를 이용하여 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하고,
    상기 관계 정보로 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 동일한 크기를 가지는 어플리케이션이 설치되는지 여부에 대한 정보, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 열적 변형이 있는 어플리케이션이 설치되는지 여부에 대한 정보, 및 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역 사이에 얼라인이 변경되는지 여부에 대한 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하는 잉크 탄착점 보정 장치.
  20. 기판을 지지하는 기판 지지 유닛;
    상기 기판 상에 이동 가능하게 설치되는 갠트리 유닛;
    상기 갠트리 유닛에 설치되며, 상기 기판 상에 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드 모듈; 및
    상기 기판 상에 위치하는 복수 개의 지점에서 잉크의 탄착점에 대한 정보를 획득하는 인식부; 상기 탄착점에 대한 정보를 기초로 상기 기판 상의 잉크 토출 지점의 위치를 보정하는 보정부를 포함하며, 상기 복수 개의 지점에는 좌표계 형태의 좌표 패턴이 형성되는 잉크 탄착점 보정 장치를 포함하며,
    상기 보정부는 상기 기판 상에 복수 개의 셀 영역이 있는 경우, 이웃하는 두 개의 셀 영역 간 관계 정보를 기초로 상기 잉크 토출 지점의 위치를 보정하되, 상기 관계 정보로 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 동일한 크기를 가지는 어플리케이션이 설치되는지 여부에 대한 정보, 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역에 열적 변형이 있는 어플리케이션이 설치되는지 여부에 대한 정보, 및 상기 이웃하는 두 개의 셀 영역 사이에 얼라인이 변경되는지 여부에 대한 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하는 기판 처리 시스템.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003276170A (ja) 2002-03-22 2003-09-30 Olympus Optical Co Ltd 画像記録装置および記録ヘッドの角度ずれ検出方法
JP2018143976A (ja) * 2017-03-07 2018-09-20 東京エレクトロン株式会社 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5238004A (en) * 1975-08-18 1977-03-24 Kubota Ltd Method of producing composite board made of woody plywood and asbestos cement board
JPH05238004A (ja) 1992-02-26 1993-09-17 Canon Inc 記録方法及び装置及びその記録物
JPH08139949A (ja) * 1994-11-07 1996-05-31 Ricoh Co Ltd カラー画像入力装置
JP3982502B2 (ja) * 2004-01-15 2007-09-26 セイコーエプソン株式会社 描画装置
US7611217B2 (en) * 2005-09-29 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Methods and systems for inkjet drop positioning
JP2011008228A (ja) 2009-05-28 2011-01-13 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置の制御方法、液滴吐出装置
KR20100131263A (ko) * 2009-06-05 2010-12-15 삼성전자주식회사 잉크젯 프린팅 방법
US9168774B2 (en) * 2012-01-06 2015-10-27 Zih Corp. Tri-state detector for detecting types of light
JP6185410B2 (ja) * 2014-03-11 2017-08-23 パナソニック株式会社 液滴吐出装置の吐出口検査方法、液滴吐出装置の検査方法およびデバイスの製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003276170A (ja) 2002-03-22 2003-09-30 Olympus Optical Co Ltd 画像記録装置および記録ヘッドの角度ずれ検出方法
JP2018143976A (ja) * 2017-03-07 2018-09-20 東京エレクトロン株式会社 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体

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