JP2010171428A - 薄膜ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の導電型を有する材料からなる第1のコンタクト部と、第1のコンタクト部と同一平面に配置され、第2の導電型を有する材料からなる第2のコンタクト部と、第1のコンタクト部と第2のコンタクト部との間に配置されたチャネル部と、チャネル部と近接するように配置されたゲート部と、ゲート部に電気的に接続された電圧源と、を備える薄膜ダイオード。
【選択図】図3
Description
図1は、薄膜PINダイオード(デバイス)10の現在の実例を示している。この例では、PINダイオードは、多結晶シリコン(poly−Si)で構成されているが、非晶質シリコンなど、他の材料も同様に使用可能である。PINダイオード(材料層)は、基板12上に設けられている。基板12上には、p型半導体領域14とn型半導体領域16とが存在している。以下では、適宜、p型領域、n型領域と称する。
バイアスされたゲート部を備えた1.67程度の理想係数を有するPINダイオードは、標準的なTFTの製造プロセスを用いて作製することができる。図3は、本発明の実施の形態に係るゲート部を備えたコプレナー型のPINダイオード(デバイス)の構成の一例を示す断面図である。本実施の形態に係るダイオード30は、図1に示す従来のダイオードに多少は類似したPINダイオードである。PINダイオード(材料層)は、基板32上に形成されている。また、PINダイオード(材料層)は、i型領域38によって隔てられたp型領域34及びn型領域36など、異なる導電型の領域を有している。
例えば、図6は、ダイオード30を用いたピーク検出回路の実施の形態を示している。アノードまたはカソードの容量が、ピーク電圧のときの保持容量(holding capacitance)Ccを都合よく提供する。その結果、このデバイスは、一体化された(integrated)ピーク検出回路を構成する。2種類の容量の一方はゼロではなく、アノードとカソードとの間に存在する寄生容量が最小化される。このため、入力の容量性の負荷(input capacitive loading)は、きわめて小さいままのはずである。このことが、きわめて高い周波数の帯域幅(very high frequency bandwidth)を可能にする。
同様に、他の高周波回路は、本実施の形態に係るPINダイオードをスイッチとして使用することができる。特に、同じ技術分野のトランジスタの適切な動作範囲よりも、高い範囲の周波数で動作させる場合に有用である。図7は、ダイオード30を用いたダイオード高周波スイッチング回路の実施の形態を示している。PINダイオードの寄生接合容量(parasitic junction capacitance)は、PNダイオードと比べて小さい。このため、寄生接合容量を通過する高周波信号の漏れが最小化される。
他の種類の回路でもゲート部を備えたPINダイオードの特徴を利用できる。図8及び図9が、他の回路の用途を示している。図8は、ダイオード30を用いたデュアルスローダイオードスイッチ(dual throw diode switch)の実施の形態を示している。図8に示すように、高周波信号RFIN及び制御信号(CONTROL)が、ダイオード30のゲートに接続される。また、ダイオード30のアノードが接地され、ダイオード30のカソードが電圧源(図示せず)に接続される。この例では、第2の制御信号(2nd CONTROL)が、ダイオード30のカソードに接続される。このように、ゲート部を備えたコプレナー型のPINダイオードであるダイオード30を使用することで、デュアルスロー(双投)のダイオードスイッチを実現できる。
図9は、ゲート部を備えたPINダイオードを用いた「バラクタ(可変容量ダイオード)」の実施の形態を、構造及びその等価回路の両方の形式で図示している。「バラクタ」とは、ダイオードの端子に印加される電圧によってダイオードの容量が制御される可変容量ダイオードである。図9に示すように、バラクタ60は、以下の点では、図3に示すダイオード30と同様の構造を有している。即ち、p型領域64はn型領域66から隔てられ、ゲート72はi型領域(チャネル領域)68に近接するように配置されている。
i型領域の長さにかかわらず、本明細書に記載された実施の形態に係るPINダイオードに関し、同じ製造プロセスを適用することができる。図10〜図15に、ゲート部を備えたコプレナー型のPINダイオード(図3に示すダイオード30)を製造するためのプロセスの一例を示す。
12 基板
14 p型半導体領域
16 n型半導体領域
18 i型領域
30 ダイオード
32 基板
34 p型領域
36 n型領域
38 i型領域
38 材料層
40 ゲート絶縁体層
42 ゲート
44 コンデンサ
46 コンデンサ
48 固定電位(電圧源)
60 バラクタ
64 カソード(p型領域)
66 アノード(n型領域)
68 i型領域
72 ゲート
Claims (4)
- 第1の導電型を有する材料からなる第1のコンタクト部と、
前記第1のコンタクト部と同一平面に配置され、第2の導電型を有する材料からなる第2のコンタクト部と、
前記第1のコンタクト部と第2のコンタクト部との間に配置されたチャネル部と、
前記チャネル部と近接するように配置されたゲート部と、
前記ゲート部に電気的に接続された電圧源と、
を備える薄膜ダイオード。 - 前記第1の導電型を有する材料が、n型ドープの多結晶シリコン、p型ドープの多結晶シリコン及びは非晶質シリコンのいずれか1つを含む請求項1に記載の薄膜ダイオード。
- 前記電圧源が、前記薄膜ダイオードの前記ゲート部を正にバイアスするための正の電圧源、前記薄膜ダイオードの前記ゲートを負にバイアスするための負の電圧源、及び前記薄膜ダイオードのプログラミングを可能にするための両極性の電圧源のいずれか1つをさらに含む請求項1または請求項2に記載の薄膜ダイオード。
- 下記(1)〜(4)のデバイスのいずれか1つとして働くように構成された請求項1に記載の薄膜ダイオード。
(1)ピーク検出回路
電圧入力信号が前記薄膜ダイオードのアノード及びカソードの一方に電気的に接続されると共に、前記カソード及びアノードの一方が前記ゲート部に対して無視し得ない容量を有するように前記ゲート部が正の電圧源または負の電圧源によりバイアスされたピーク検出回路であって、前記ゲート部と前記カソード及びアノードの一方との間の容量を、前記ピーク検出回路の蓄積コンデンサの一部として使用するピーク検出回路
(2)高周波スイッチ
高周波信号及び制御信号が前記薄膜ダイオードのアノードに接続されて、スイッチされた高周波信号が前記薄膜ダイオードのカソードから出力される高周波スイッチ
(3)デュアルスローダイオードスイッチ
高周波信号及び制御信号が前記薄膜ダイオードの前記ゲート部に接続されると共に、前記薄膜ダイオードのアノードが接地され、前記薄膜ダイオードのカソードが前記電圧源に接続されるデュアルスローダイオードスイッチ
(4)バラクタ
ゲート、アノード及びカソードを含む3つの端子を備え、前記端子に印加される電圧により前記薄膜ダイオードの容量が連続的に調節されるように構成されたバラクタ
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US9224768B2 (en) * | 2013-08-05 | 2015-12-29 | Raytheon Company | Pin diode structure having surface charge suppression |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0425175A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-28 | Canon Inc | ダイオード |
JPH0541520A (ja) * | 1991-08-06 | 1993-02-19 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2001068557A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pinダイオードを含む複合半導体装置、この装置の製造方法及びこの装置を用いた高周波装置 |
JP2002118267A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2002261288A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Hitachi Ltd | 電界効果トランジスタ及びそれを使用した画像晶表示装置 |
JP2003520441A (ja) * | 2000-01-11 | 2003-07-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | チャージポンプ回路 |
JP2006332237A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 昇圧回路およびその駆動方法 |
JP2008113000A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-15 | Samsung Electronics Co Ltd | マクロ及びマイクロ周波数のチューニングが可能な半導体素子及びそれを備えるアンテナと周波数チューニング回路 |
JP2008253075A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tdk Corp | スイッチング電源装置 |
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JP2006060191A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-03-02 | Seiko Epson Corp | 薄膜半導体装置及びその製造方法、電気光学装置、電子機器 |
US20080185596A1 (en) * | 2007-02-02 | 2008-08-07 | Tpo Displays Corp. | System for displaying images |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0425175A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-28 | Canon Inc | ダイオード |
JPH0541520A (ja) * | 1991-08-06 | 1993-02-19 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2001068557A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pinダイオードを含む複合半導体装置、この装置の製造方法及びこの装置を用いた高周波装置 |
JP2003520441A (ja) * | 2000-01-11 | 2003-07-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | チャージポンプ回路 |
JP2002118267A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2002261288A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Hitachi Ltd | 電界効果トランジスタ及びそれを使用した画像晶表示装置 |
JP2006332237A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 昇圧回路およびその駆動方法 |
JP2008113000A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-15 | Samsung Electronics Co Ltd | マクロ及びマイクロ周波数のチューニングが可能な半導体素子及びそれを備えるアンテナと周波数チューニング回路 |
JP2008253075A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tdk Corp | スイッチング電源装置 |
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