JP2010158703A - レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザビームを出射するレーザ光源と、加工対象物を保持するステージと、外部から与えられる制御信号に基づいて、レーザ光源を出射したレーザビームを、ステージに保持された加工対象物上で走査するビーム走査器と、ビーム走査器を介して、ステージに保持された加工対象物の画像を取得する受光装置と、受光装置で取得された加工対象物の画像のデータに基づいて、ステージに保持された加工対象物上にレーザビームを入射させる複数の入射目標位置を設定し、入射目標位置にレーザビームが照射されるようにビーム走査器に制御信号を与える制御装置とを有するレーザ加工装置を提供する。
【選択図】 図1
Description
11 アッテネータ
12 マスク
13 フォーカスレンズ
14 レンズ移動機構
15 ダイクロイックミラー
16 ガルバノスキャナ
17 CCDカメラ
18 制御装置
19a、19b ラインセンサカメラ
20 ハーフミラー
21 折り返しミラー
22 加工テーブル
25a ラインセンサカメラ19aの画界
25b ラインセンサカメラ19bの画界
30 パルスレーザビーム
50 パネル
50a ガラス基板
50b 凹部
50c ITO膜
50x、50y 交点
50z 加工目標線
60 レーザビーム
Claims (9)
- レーザビームを出射するレーザ光源と、
加工対象物を保持するステージと、
外部から与えられる制御信号に基づいて、前記レーザ光源を出射したレーザビームを、前記ステージに保持された加工対象物上で走査するビーム走査器と、
前記ビーム走査器を介して、前記ステージに保持された加工対象物の画像を取得する受光装置と、
前記受光装置で取得された該加工対象物の画像のデータに基づいて、前記ステージに保持された加工対象物上にレーザビームを入射させる複数の入射目標位置を設定し、該入射目標位置にレーザビームが照射されるように前記ビーム走査器に制御信号を与える制御装置と
を有するレーザ加工装置。 - 前記ビーム走査器内において、前記レーザ光源から前記ステージに保持された加工対象物までのレーザビームの経路を逆向きに進行する光が前記受光装置に入射する請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記ステージに保持された加工対象物上にパターンが描画されており、前記制御装置は、前記受光装置が取得した加工対象物の画像を取り込み、該取り込まれた加工対象物の画像より該パターンの位置を計測し、該パターン上にレーザビームを入射させる複数の入射目標位置を設定する請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 前記パターンが第1及び第2のパターンを含んで複数存在し、前記制御装置は、前記第1のパターンの描画された位置の前記加工対象物の画像を取り込みながら、並行的に既に取り込まれた前記加工対象物の画像より前記第2のパターンの位置を計測する請求項3に記載のレーザ加工装置。
- 前記パターンが第1及び第2のパターンを含んで複数存在し、前記制御装置は、取り込まれた前記加工対象物の画像より前記第1のパターンの位置を計測しながら、並行的に既に複数の入射目標位置の設定された前記第2のパターン上の該入射目標位置に、レーザビームが照射されるように前記ビーム走査器に制御信号を与える請求項3に記載のレーザ加工装置。
- (a)ビーム走査器を用いて、受光装置の画界を加工対象物の表面上で走査することにより、該加工対象物の表面に描画されたパターンの画像データを取得する工程と、
(b)前記工程(a)で取得された画像データに基づいて、レーザビームが前記パターンに沿って走査されるように、前記ビーム走査器を制御して加工を行う工程と
を有するレーザ加工方法。 - 前記工程(a)が、(a1)前記パターンの画像を取り込む工程と、(a2)該取り込まれた画像より前記パターンの位置を計測する工程とを含み、前記工程(a1)と前記工程(b)とは並行的に行われない請求項6に記載のレーザ加工方法。
- 前記パターンが第1及び第2のパターンを含んで複数存在し、前記工程(a1)において前記第1のパターンの画像を取り込みながら、並行的に前記工程(a2)において既に画像が取り込まれた前記第2のパターンの位置を計測する請求項7に記載のレーザ加工方法。
- 前記パターンが第1及び第2のパターンを含んで複数存在し、前記工程(a2)において前記第1のパターンの位置を計測しながら、並行的に前記工程(b)において、レーザビームが既に位置の計測された前記第2のパターンに沿って走査されるように、前記ビーム走査器を制御する請求項7に記載のレーザ加工方法。
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JP2009002784A JP2010158703A (ja) | 2009-01-08 | 2009-01-08 | レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法 |
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JP (1) | JP2010158703A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110640328A (zh) * | 2019-10-31 | 2020-01-03 | 潍坊歌尔电子有限公司 | 一种自动镭雕装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63130292A (ja) * | 1986-11-19 | 1988-06-02 | Amada Co Ltd | 画像計測装置 |
JP2005081392A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
JP2008238229A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Fuji Electric Systems Co Ltd | レーザ加工方法および装置 |
-
2009
- 2009-01-08 JP JP2009002784A patent/JP2010158703A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63130292A (ja) * | 1986-11-19 | 1988-06-02 | Amada Co Ltd | 画像計測装置 |
JP2005081392A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
JP2008238229A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Fuji Electric Systems Co Ltd | レーザ加工方法および装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110640328A (zh) * | 2019-10-31 | 2020-01-03 | 潍坊歌尔电子有限公司 | 一种自动镭雕装置 |
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