JP2010149028A

JP2010149028A - Coating method and coating machine

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Publication number: JP2010149028A
Application number: JP2008328654A
Authority: JP
Inventors: Kazuyuki Shishino; 和幸獅野; Shinya Izumida; 信也泉田
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2008-12-24
Filing date: 2008-12-24
Publication date: 2010-07-08
Anticipated expiration: 2028-12-24
Also published as: JP5368783B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for applying coating liquid that delays the drying of ink held in an ink jet nozzle tip even in a dry atmosphere, and never causes defect in delivering without deteriorating working efficiency in standing-by suspending coating operations using an ink jet nozzle and a coating machine therefor. <P>SOLUTION: The coating machine that relatively moves an ink jet head 12 having a plurality of ink jet nozzles 13 and coated objects and coats the ink onto the coated objects includes ink tanks 18, 19 that supply the ink to the ink jet nozzles 13, a pressure controlling means 17 that controls the negative pressure of the ink inside the ink jet nozzles 13, and a controlling means that commands the pressure controlling means 13 to generate the pressure of the ink into a negative pressure closer to the atmospheric pressure than the negative pressure in coating if a predetermined signal is inputted after the coating operations. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、塗布対象物にインクを塗布する複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドを塗布対象物に対して相対的に移動させて、塗布対象物にインクを塗布する塗布方法および塗布装置に関する。 The present invention relates to a coating method and a coating apparatus that apply ink to a coating object by moving an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles that apply ink to the coating object relative to the coating object.

最近の情報端末の画像表示技術の進展は目覚ましく、大画面の画像表示機器（ディスプレイ）や、或いは小型の画面であっても非常に高い精細度の画像表示機器が実用化され、製造されている。このような状況の中で、低コストで高品位な画像表示を可能とする画像表示機器に対する要求が強くなってきている。このような要求に応える画像表示機器のキーデバイスとしてカラーフィルタがあり、このカラーフィルタの製造方法及び製造装置にも様々な工夫が取り入れられている。 Recent progress in image display technology for information terminals has been remarkable, and large-screen image display devices (displays) or image display devices with very high definition even for small screens have been put into practical use and manufactured. . Under such circumstances, there is an increasing demand for an image display device that enables high-quality image display at low cost. There is a color filter as a key device of an image display device that meets such a requirement, and various devices have been incorporated into a manufacturing method and a manufacturing apparatus of the color filter.

このようなカラーフィルタの製造方法および製造装置において開発された従来技術の一つに、遮光機能を果たす種々の材料によって基板等にマトリクス状の遮光部を形成し、この遮光部のマス目にコーティング技術を利用してインクを塗布する技術がある。しかし、このような製造方法及び製造装置では、ＲＧＢ３色の着色工程がそれぞれ独立しており、それぞれの着色工程で、遮光などのための非常に高い精度が要求される遮蔽部材（マスク）を必要とした。 One of the conventional techniques developed in such a color filter manufacturing method and manufacturing apparatus is to form a matrix-shaped light-shielding portion on a substrate or the like with various materials having a light-shielding function, and coat the cells of this light-shielding portion. There is a technique for applying ink using this technique. However, in such a manufacturing method and manufacturing apparatus, the RGB three-color coloring processes are independent of each other, and each coloring process requires a shielding member (mask) that requires very high accuracy for light shielding. It was.

このようなカラーフィルタの製造技術は、工数的にも、使用する装置及び部材の点でも、製造コストが高くつくという問題を抱えていた。そこで最近では、このような技術に代わって、インクジェットヘッドを装備した塗布装置を用いて、マトリクス状に遮光部が形成された基板等上にインクジェットヘッドのインクジェットノズルからインクを吐出・塗布してカラーフィルタを製造する方法が提案されている。 Such a color filter manufacturing technique has a problem that the manufacturing cost is high both in terms of man-hours and in terms of equipment and members to be used. Therefore, recently, instead of such a technique, using an application device equipped with an inkjet head, ink is ejected and applied from an inkjet nozzle of the inkjet head onto a substrate or the like on which a light-shielding portion is formed in a matrix. A method for manufacturing a filter has been proposed.

このような塗布装置において、インクジェットノズルを用いた塗布動作を一旦中断して待機している状態、またはノズルから一定時間間隔の間欠吐出による捨て打ち（以後、フラッシングという）しながら待機している状態では、以下のような問題が発生する。まず、雰囲気の乾燥空気によりインクジェットノズル先端部のインクジェットノズル内方に負圧の作用によって保持されているインクは乾燥しやすい。乾燥によってノズル先端部のインクの粘度が上昇（増粘）し、万一インクがインクジェットノズル先端部で乾燥により固着や増粘が発生すると、このインクジェットノズルからはインクが吐出されず、いわゆるドット抜けやノズル欠と言われる問題が引き起こされる。 In such a coating apparatus, a state in which the coating operation using the ink jet nozzle is temporarily interrupted and is in a standby state, or a state in which the nozzle is abandoned by intermittent discharge at regular time intervals (hereinafter referred to as flushing). Then, the following problems occur. First, ink held by the action of negative pressure inside the inkjet nozzle at the tip of the inkjet nozzle by the dry air in the atmosphere is easy to dry. The viscosity of the ink at the tip of the nozzle increases (thickens) due to drying, and if ink sticks or thickens due to drying at the tip of the inkjet nozzle, ink is not ejected from this inkjet nozzle, so-called dot missing And the problem of missing nozzles is caused.

そこで、このインクジェットヘッドのインクジェットノズルにおけるインクの乾燥ならびに目詰まりを防止するため、インクジェットヘッドを使用しないときには、キャップを用いてインクジェットノズルの先端面を封止する構造を有する塗布装置が提案されている（特許文献１、特許文献２を参照）。 Therefore, in order to prevent the ink from drying and clogging in the ink jet nozzle of the ink jet head, there has been proposed a coating apparatus having a structure in which the tip surface of the ink jet nozzle is sealed with a cap when the ink jet head is not used. (See Patent Document 1 and Patent Document 2).

特許文献１に開示された塗布装置では、インクジェットノズルの先端面を、溶解液が貯留されたキャップ部材で封止することにより、先端部のインクジェットノズル内方に負圧の作用によって保持されているインクが乾燥するのを防止するとともに、固着して目詰まりを起こすのを防止している。 In the coating apparatus disclosed in Patent Document 1, the tip surface of the inkjet nozzle is sealed with a cap member in which a solution is stored, thereby being held by the negative pressure inside the inkjet nozzle at the tip. In addition to preventing the ink from drying, it prevents the ink from sticking and clogging.

また、特許文献２に開示された塗布装置では、インクジェットノズルの先端面を、溶解液が貯留されたキャップ部材で封止するとともに、キャップ部材内部の圧力を上げてインクジェットノズル内に溶解液が充満するように構成することにより、先端部のインクジェットノズル内方に負圧の作用によって保持されているインクが乾燥するのを防止するとともに、固着して目詰まりを起こすのを防止している。そして、インクジェットノズル内に充満した溶解液によりインクジェットノズル内に残留する気泡を追い出し、排除している。
特開２００２−２３４１７４号公報特開２００６−２１２５００号公報 Further, in the coating apparatus disclosed in Patent Document 2, the tip surface of the inkjet nozzle is sealed with a cap member in which a solution is stored, and the pressure inside the cap member is increased to fill the inkjet nozzle with the solution. By doing so, it is possible to prevent the ink held inside the inkjet nozzle inside the tip portion from being dried by the action of negative pressure and to prevent clogging due to adhering. Then, bubbles remaining in the ink jet nozzle are driven out and eliminated by the solution filled in the ink jet nozzle.
JP 2002-234174 A JP 2006-212500 A

従来の特許文献１および２に開示された塗布装置では、いずれも溶解液が貯留されたキャップ部材を用いてインクジェットノズルの先端面を封止することにより、封止された環境の下でインクジェットヘッドの内部が湿潤な状態が維持され、インクジェットノズル内部のインクが乾燥するのを防止するとともに、固着して目詰まりを起こすのを防止している。 In the conventional coating apparatuses disclosed in Patent Documents 1 and 2, the inkjet head is sealed in a sealed environment by sealing the tip surface of the inkjet nozzle using a cap member in which a solution is stored. The inside of the ink jet is maintained in a wet state to prevent the ink inside the ink jet nozzle from drying, and to prevent clogging due to fixation.

しかしながら、このようなキャップ部材を用いる塗布装置では、必然的にキャップ部材やキャップ部材に溶解液を供給する付帯設備が必要となり、また、キャップ部材を塗布作業領域の外部エリアに設置した場合、インクジェットノズルを用いた塗布動作を一旦中断するたびにキャップ部材の設置場所にインクジェットノズルを移動させねばならず、タクトタイムの中でこのような動作を組み込むことになり、作業効率を低下させることになる。 However, a coating apparatus using such a cap member inevitably requires an auxiliary facility for supplying a solution to the cap member or the cap member. In addition, when the cap member is installed in an external area of the coating work area, the inkjet apparatus Each time the coating operation using the nozzle is interrupted, the ink jet nozzle must be moved to the place where the cap member is installed, and this operation is incorporated in the takt time, which reduces work efficiency. .

本発明は、上記のような問題に鑑みて為されたものであり、インクジェットノズルを用いた塗布動作を中断して待機するに際、インクジェットノズル先端部に保持されているインクの乾燥が起こりにくい塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and when the application operation using the inkjet nozzle is interrupted and waits, the ink held at the tip of the inkjet nozzle is unlikely to dry. An object is to provide a coating method and a coating apparatus.

本発明の塗布方法は、複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する方法であって、前記インクジェットノズルに供給する前記インクに第１の負圧をかけて塗布する工程と、前記インクに前記負圧より大気圧に近い第２の負圧をかけて塗布を待機する工程とを有するものである。 The application method of the present invention is a method of applying ink to the application object by relatively moving an ink jet head having a plurality of ink jet nozzles and the application object, and applying the ink to the ink jet nozzle. And applying a first negative pressure, and applying a second negative pressure closer to the atmospheric pressure than the negative pressure to wait for application.

すなわち、本発明は、
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布方法であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給する工程と、
前記インクに第１の負圧をかけて前記塗布対象物に塗布する工程と、
前記インクに前記第１の負圧より大気圧に近い第２の負圧をかけて塗布を待機する工程とを有する塗布方法を提供する。 That is, the present invention
An application method in which an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles and an application target are moved relatively to apply ink to the application target,
Supplying ink to the inkjet nozzle;
Applying a first negative pressure to the ink to be applied to the application object;
And applying a second negative pressure closer to the atmospheric pressure than the first negative pressure to the ink and waiting for the application.

また本発明は、
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布装置であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給するサブタンクと、
前記サブタンクにインクを供給するインク供給手段と、
前記サブタンク内の圧力を測定する圧力センサーと、
前記サブタンク内の圧力を減圧する減圧手段と、
制御部を有し、
前記制御部は、
前記インクジェットヘッドにインクを吐出させる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を上げる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を下げる指示命令とを有し、
前記塗布対象物にインクを塗布する場合には前記サブタンク内の圧力を第１の負圧にし、塗布の待機の場合には第２の負圧に調整する塗布装置を提供するものである。 The present invention also provides
An application device that applies ink to the application object by relatively moving an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles and the application object,
A sub tank for supplying ink to the inkjet nozzle;
Ink supply means for supplying ink to the sub tank;
A pressure sensor for measuring the pressure in the sub tank;
Pressure reducing means for reducing the pressure in the sub tank;
Having a control unit,
The controller is
An instruction command to cause the inkjet head to eject ink;
An instruction command to increase the pressure in the sub-tank;
An instruction command to lower the pressure in the sub-tank,
The present invention provides a coating apparatus that adjusts the pressure in the sub-tank to a first negative pressure when applying ink to the object to be applied, and to a second negative pressure when waiting for application.

本発明の塗布方法および塗布装置によれば、インクジェットノズル内のインクは、塗布の待機状態の際に、負圧状態ではあるが、塗布時の負圧よりも大気圧に近い負圧状態に置かれている。そのため、インクジェットノズル内に形成されるメニスカスは、インクジェットノズルの口端から大気の引き込み量が小さくなり、それに伴い大気に接する表面積が減少する。従って、気液界面からの溶剤の蒸発量が減少し、インクの乾燥を長引かせることができるという効果を奏する。 According to the coating method and the coating apparatus of the present invention, the ink in the inkjet nozzle is placed in a negative pressure state that is closer to the atmospheric pressure than the negative pressure during coating, although it is in a negative pressure state during the coating standby state. It is. For this reason, the meniscus formed in the ink jet nozzle has a small amount of air drawn from the mouth end of the ink jet nozzle, and accordingly, the surface area in contact with the air is reduced. Therefore, the evaporation amount of the solvent from the gas-liquid interface is reduced, and there is an effect that the drying of the ink can be prolonged.

本発明のようなバッチ式の塗布装置の場合は、塗布対象物（例えば基板）の交換にはある程度の時間がかかる。その間、塗布装置としては動作しているものの、インクジェットヘッドは一定時間間隔の間欠吐出による捨て打ち（フラッシング）をしながらの待機状態、または、何もしないで待機している状態におかれている。本発明は、これらの待機時間において、インクの乾燥を抑制することができ、次の塗布工程の際にインクジェットノズルの詰まり、すなわち、塗布のドット抜けの発生率を下げることができる。 In the case of a batch-type coating apparatus such as the present invention, it takes a certain amount of time to replace a coating object (for example, a substrate). In the meantime, while operating as a coating apparatus, the ink jet head is in a standby state while being thrown away (flushing) by intermittent discharge at regular time intervals, or in a standby state without doing anything. . The present invention can suppress drying of the ink during these standby times, and can reduce the occurrence rate of clogging of the ink jet nozzle, that is, the missing dot of the coating in the next coating process.

本発明に係る塗布装置の最良の実施形態について、図面を参照して、以下において詳細に説明する。なお、以下において、塗布装置の具体例として、インクを塗布対象物としてのガラス基板に塗布するカラーフィルタ製造装置を例に挙げて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The best embodiment of a coating apparatus according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In the following, as a specific example of the coating apparatus, a color filter manufacturing apparatus that applies ink to a glass substrate as an application target will be described as an example.

図１は、本発明の一実施形態に係る塗布装置１としてのカラーフィルタ製造装置の外観を示す斜視図である。このカラーフィルタ製造装置は、機台２０上に吸着テーブル３（保持ステージ）、塗布ガントリー４、カメラガントリー６が支承されている。保持ステージである吸着テーブル３は、ガラス基板２を吸着保持するものであり、このガラス基板２を所定の位置に位置決めするため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Ｚ軸周りに回転駆動される。 FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a color filter manufacturing apparatus as a coating apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. In this color filter manufacturing apparatus, a suction table 3 (holding stage), a coating gantry 4 and a camera gantry 6 are supported on a machine base 20. The suction table 3 as a holding stage holds the glass substrate 2 by suction, and is driven to rotate around the Z axis by a drive mechanism and a guide mechanism (not shown) in order to position the glass substrate 2 at a predetermined position. .

また、塗布ガントリー４は、インクジェットヘッドバー５を保持するものであり、ガラス基板２の所定位置にインクを塗布するため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって主走査方向（Ｘ方向）に駆動される。また、インクジェットヘッドバー５は塗布ガントリー４の図示しないガイド機構によって副走査方向（Ｙ方向）に駆動される。 The application gantry 4 holds the inkjet head bar 5 and is driven in the main scanning direction (X direction) by a drive mechanism and a guide mechanism (not shown) in order to apply ink to a predetermined position of the glass substrate 2. . The inkjet head bar 5 is driven in the sub-scanning direction (Y direction) by a guide mechanism (not shown) of the coating gantry 4.

カメラガントリー６は、ガラス基板２のアラインメントのためのアラインメントカメラ７、８を保持するとともに、ガラス基板２に供給されたインクを検出するための計測手段であるスキャンカメラ９を保持しており、アラインメント、インクの検出のため、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＸ方向に駆動される。また、アラインメントカメラ７、８及びスキャンカメラ９は、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＹ方向に駆動される。アラインメントカメラ７、８は、ガラス基板２のマーク（図示せず）を検出するものであり、アラインメントカメラ７、８によるマーク検出結果に基づいて吸着テーブル３を回転させ、および／またはＹ方向に移動させることにより、ガラス基板２に対するアラインメントを実行することができる。 The camera gantry 6 holds alignment cameras 7 and 8 for alignment of the glass substrate 2, and also holds a scan camera 9 that is a measuring unit for detecting ink supplied to the glass substrate 2. In order to detect ink, the ink is driven in the X direction by a drive mechanism and a guide mechanism (not shown). The alignment cameras 7 and 8 and the scan camera 9 are driven in the Y direction by a drive mechanism and a guide mechanism (not shown). The alignment cameras 7 and 8 detect marks (not shown) on the glass substrate 2, rotate the suction table 3 based on the mark detection results by the alignment cameras 7 and 8, and / or move in the Y direction. By doing so, alignment to the glass substrate 2 can be executed.

ここで、Ｘ軸、Ｙ軸は、吸着テーブル３により吸着保持されたガラス基板２の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する軸であり、Ｚ軸は、Ｘ軸とＹ軸により規定された平面と直交する軸である。 Here, the X axis and the Y axis are orthogonal axes set so as to define a plane parallel to the upper surface of the glass substrate 2 sucked and held by the suction table 3, and the Z axis is the X axis and the Y axis. Is an axis orthogonal to the plane defined by.

インクジェットヘッドバー５は、各色調のインクを吐出する複数のインクジェットノズル１３を有するインクジェットヘッド１２を整列配置して構成されるものである。インクジェットヘッドバー５は、塗布ガントリー４に保持された状態で、主走査方向（Ｘ方向）、副走査方向（Ｙ方向）およびＺ方向に駆動され、複数のインクジェットノズル１３から各色調のインクを吐出し、ガラス基板２の所定位置に塗布する。 The ink jet head bar 5 is configured by arranging and arranging ink jet heads 12 each having a plurality of ink jet nozzles 13 that eject ink of each color tone. The ink jet head bar 5 is driven in the main scanning direction (X direction), the sub scanning direction (Y direction), and the Z direction while being held by the coating gantry 4, and ejects ink of each color tone from the plurality of ink jet nozzles 13. Then, it is applied to a predetermined position of the glass substrate 2.

図２は、本発明の塗布装置のインク供給および塗布動作の制御に関しての構成を示す。本発明の塗布装置には、図１で示した塗布装置の構成に加え、図２のインク供給および塗布動作の制御が加わる。 FIG. 2 shows a configuration relating to control of ink supply and coating operation of the coating apparatus of the present invention. In addition to the configuration of the coating apparatus shown in FIG. 1, the coating apparatus of the present invention is added with the control of the ink supply and coating operation of FIG.

本発明の塗布装置のインク供給および塗布動作の制御系は、塗布ガントリー４に取り付けられたインクジェットヘッド１２にインクを供給するサブタンク６２と、サブタンク６２にインクを供給するインク供給系と、サブタンク６２の圧力を調整する圧力調整系と、塗布ガントリー４の位置情報を得るための位置センサー１０２と、全体を制御する制御部１００を含む。サブタンクには、圧力および量センサー１０５（以後単に「センサー１０５」と呼ぶ。）を有する。センサー１０５はサブタンク内の圧力とインク量を知る。 The ink supply and application operation control system of the application apparatus of the present invention includes a sub tank 62 that supplies ink to the inkjet head 12 attached to the application gantry 4, an ink supply system that supplies ink to the sub tank 62, and a sub tank 62. A pressure adjustment system for adjusting the pressure, a position sensor 102 for obtaining position information of the coating gantry 4, and a control unit 100 for controlling the whole are included. The sub tank has a pressure and quantity sensor 105 (hereinafter simply referred to as “sensor 105”). The sensor 105 knows the pressure in the sub tank and the ink amount.

インク供給系は、サブタンク６２へ供給するインク量を調整する電磁弁１１４と、電磁弁１１４を介して供給するインクを蓄積するメインタンク６０と、メインタンク６０への圧力を加えるための加圧ポンプ７４と、加圧ポンプ７４によって加えられる高圧エアと大気圧のいずれかを選択する切換弁１１６を含む。メインタンク６０には圧力センサー１０７を有する。 The ink supply system includes an electromagnetic valve 114 that adjusts the amount of ink supplied to the sub-tank 62, a main tank 60 that accumulates ink supplied via the electromagnetic valve 114, and a pressure pump that applies pressure to the main tank 60. 74 and a switching valve 116 for selecting either high-pressure air applied by the pressurizing pump 74 or atmospheric pressure. The main tank 60 has a pressure sensor 107.

また、圧力調整系は、加圧ポンプ７２と、加圧ポンプ７２と大気圧を選択する切換弁１１２と、減圧ポンプ７０と、減圧ポンプ７０と切換弁１１２を切り替える切換弁１１０とを含む。 The pressure adjustment system includes a pressurizing pump 72, a switching valve 112 that selects the pressurizing pump 72 and atmospheric pressure, a decompression pump 70, and a switching valve 110 that switches between the decompression pump 70 and the switching valve 112.

また、制御部１００は、インクジェットヘッド１２、位置センサー１０２、切換弁１１０、１１２、１１６、センサー１０５、圧力センサー１０７、タイマ１０６と接続されている。 The control unit 100 is connected to the inkjet head 12, the position sensor 102, the switching valves 110, 112, 116, the sensor 105, the pressure sensor 107, and the timer 106.

制御部１００は、インクジェットヘッド１２に対してインク吐出指示Ｃｉｋを送る。この信号によってインクジェットヘッドのインクジェットノズルからインクが吐出される。また、制御部１００は、位置センサー１０２からインクジェットヘッドの位置情報Ｄｘｙを得る。この位置情報Ｄｘｙに基づいてインクを吐出させる。 The control unit 100 sends an ink discharge instruction Cik to the inkjet head 12. By this signal, ink is ejected from the inkjet nozzles of the inkjet head. Further, the control unit 100 obtains the position information Dxy of the inkjet head from the position sensor 102. Ink is ejected based on the position information Dxy.

また、制御部１００は、センサー１０５よりサブタンク内の圧力情報Ｄｐｓとインク量Ｄｑｓを得る。サブタンク６２内のインク量が少ない場合は、インク供給系よりインクをサブタンクに供給する。 Further, the control unit 100 obtains pressure information Dps and ink amount Dqs in the sub tank from the sensor 105. When the amount of ink in the sub tank 62 is small, ink is supplied to the sub tank from the ink supply system.

インク供給系では、加圧ポンプ７４と切換弁１１６によって、メインタンク６０内を加圧状態にできる。具体的には、制御部１００が、切換弁１１６に切換弁の駆動指示指令Ｃｓｓを送信し、メインタンク６０内の圧力が所定の圧力になるまで高圧エアをメインタンク６０に導入する。メインタンク内の圧力は圧力センサー１０７からの圧力情報Ｄｐｍによって知る。 In the ink supply system, the inside of the main tank 60 can be pressurized by the pressurizing pump 74 and the switching valve 116. Specifically, the control unit 100 transmits a switching valve drive instruction command Css to the switching valve 116 and introduces high-pressure air into the main tank 60 until the pressure in the main tank 60 reaches a predetermined pressure. The pressure in the main tank is known from the pressure information Dpm from the pressure sensor 107.

次にサブタンク内へインクを注入するために電磁弁１１４を開く。電磁弁１１４は、制御部１００からの電磁弁駆動指示Ｃｖｍによって行われる。 Next, the electromagnetic valve 114 is opened to inject ink into the sub tank. The electromagnetic valve 114 is performed by an electromagnetic valve drive instruction Cvm from the control unit 100.

本発明の塗布装置は、サブタンク内の圧力を調整するために、圧力調整系を有する。圧力調整系には、陰圧源である減圧ポンプ７０と、圧力源である加圧ポンプ７２と、これらを切り替える切換弁１１２と１１０を有する。制御部１００は、サブタンク内を減圧させる場合は、弁操作指示Ｃｖｓを切換弁１１０に送り、サブタンク内からエアを抜く。また、サブタンク内を加圧したい場合は、切換弁１１０と１１２に対してそれぞれ弁操作指示ＣｖｓとＣｖａを送る。 The coating apparatus of the present invention has a pressure adjustment system in order to adjust the pressure in the sub tank. The pressure adjustment system includes a decompression pump 70 that is a negative pressure source, a pressurization pump 72 that is a pressure source, and switching valves 112 and 110 that switch between them. When depressurizing the inside of the sub tank, the control unit 100 sends a valve operation instruction Cvs to the switching valve 110 to extract air from the sub tank. Further, when it is desired to pressurize the sub tank, valve operation instructions Cvs and Cva are sent to the switching valves 110 and 112, respectively.

切換弁１１２および１１６において、符号７９は、大気導入口である。切換弁１１２および１１６を大気導入口７９にすることによって、メインタンクおよびサブタンク内の圧力は大気圧に戻り、所定以上の圧力になることを回避する。 In the switching valves 112 and 116, reference numeral 79 is an air inlet. By using the switching valves 112 and 116 as the air introduction port 79, the pressure in the main tank and the sub tank returns to the atmospheric pressure and avoids the pressure exceeding a predetermined level.

加圧ポンプ７４によって圧縮されたエアは、切換弁１１６を開くことでメインタンク６０に導入される。メインタンク６０内は大気に対して正圧となる。この時のメインタンク内の圧力は圧力センサー１０７によって検知され圧力情報Ｄｐｍとして制御部１００に送られる。制御部１００は、切換弁１１６を操作指示Ｃｓｓによって開閉し、メインタンク６０内を所定の圧力に保つことができる。 The air compressed by the pressurizing pump 74 is introduced into the main tank 60 by opening the switching valve 116. The main tank 60 has a positive pressure with respect to the atmosphere. The pressure in the main tank at this time is detected by the pressure sensor 107 and sent to the control unit 100 as pressure information Dpm. The control unit 100 can open and close the switching valve 116 according to the operation instruction Css to keep the inside of the main tank 60 at a predetermined pressure.

電磁弁１１４が操作指示Ｃｖｍによって開かれると、メインタンク６０内のインクがサブタンク６２内に注入される。このとき、減圧ポンプ７０が接続された切換弁１１０を操作指示Ｃｖｓで開き、サブタンク６２内を大気圧に対して負圧にすれば、よりスムースにインクの導入が可能である。 When the electromagnetic valve 114 is opened by the operation instruction Cvm, the ink in the main tank 60 is injected into the sub tank 62. At this time, if the switching valve 110 to which the decompression pump 70 is connected is opened by the operation instruction Cvs and the inside of the sub tank 62 is set to a negative pressure with respect to the atmospheric pressure, the ink can be introduced more smoothly.

制御部１００は、サブタンク６２内のインクの量を、センサー１０５のインク量情報Ｄｑｓによって知る。そこでサブタンク６２内のインク量が適正な量になったら、電磁弁１１４を閉じる。 The control unit 100 knows the amount of ink in the sub tank 62 from the ink amount information Dqs of the sensor 105. Therefore, when the ink amount in the sub tank 62 becomes an appropriate amount, the electromagnetic valve 114 is closed.

次にインクジェットヘッドを用いた塗布について説明する。図３にはインクジェットヘッドノズル１３の断面を示す。図３（ａ）を参照して、通常インクジェットヘッドで塗布を行う際には、インクジェットノズル１３中のインクには若干の負圧をかけて、インクと大気の気液界面にメニスカス６３を作る。微小なノズルから液滴状にしたインクを飛ばすためである。 Next, application using an inkjet head will be described. FIG. 3 shows a cross section of the inkjet head nozzle 13. Referring to FIG. 3A, when coating is performed with a normal inkjet head, a slight negative pressure is applied to the ink in the inkjet nozzle 13 to create a meniscus 63 at the gas-liquid interface between the ink and the atmosphere. This is because ink droplets are ejected from minute nozzles.

再度図２を参照する。そのため、サブタンク６２内は大気圧に対して所定の負圧状態に保つ必要がある。制御部１００は、センサー１０５からの圧力情報Ｄｐｓをモニタしながら、圧力が所定値より高い場合は、切換弁１１０を減圧ポンプ側に接続しサブタンク内の圧力を減圧する。また、サブタンク内の圧力が低すぎる場合は、切換弁１１０を切換弁１１２側にしたうえで、大気圧口７９若しくは加圧ポンプ７２を選択し、サブタンク内の圧力を上昇させる。 Refer to FIG. 2 again. Therefore, it is necessary to keep the inside of the sub tank 62 at a predetermined negative pressure with respect to the atmospheric pressure. When the pressure is higher than a predetermined value while monitoring the pressure information Dps from the sensor 105, the control unit 100 reduces the pressure in the sub tank by connecting the switching valve 110 to the pressure reducing pump side. If the pressure in the sub tank is too low, the switching valve 110 is set to the switching valve 112 side, and the atmospheric pressure port 79 or the pressurizing pump 72 is selected to increase the pressure in the sub tank.

再度図３を参照して、塗布状態のインクジェットノズルでは、インクと大気の気液界面に所定のメニスカスを作る必要がある。しかし、このメニスカスは大気圧より負圧になっているので、インクジェットノズル口からの引き込み量６５が大きく、気液界面の表面積が大きい。従って、このままの状態で放置されると、インク中の溶媒が蒸発し、ノズルが詰まるといった不良状態が発生する。 Referring to FIG. 3 again, in the applied inkjet nozzle, it is necessary to create a predetermined meniscus at the gas-liquid interface between the ink and the atmosphere. However, since this meniscus is at a negative pressure from the atmospheric pressure, the pull-in amount 65 from the inkjet nozzle port is large, and the surface area of the gas-liquid interface is large. Therefore, if left as it is, the solvent in the ink evaporates and the nozzle is clogged.

そこで、塗布を待機する状態になった場合は、フラッシングを行なっていても、サブタンク内を大気圧に近い第２の負圧にする。これによりインクジェットノズル内のインクの気液界面のメニスカスの引き込み量６６が小さくなり、気液界面の表面積が減少し、インク中の溶媒の蒸発を低減することができる。すなわち、より乾きにくくなる。従って、ノズル詰まりといった不良状態の発生を低減することができる。 Therefore, when the application is put into a standby state, the second negative pressure close to the atmospheric pressure is set in the sub tank even if flushing is performed. As a result, the amount of meniscus drawing 66 at the gas-liquid interface of the ink jet nozzle is reduced, the surface area of the gas-liquid interface is reduced, and evaporation of the solvent in the ink can be reduced. That is, it becomes more difficult to dry. Therefore, it is possible to reduce the occurrence of a defective state such as nozzle clogging.

ここで、サブタンク内の圧力は大気圧に対して負圧状態には保たれる。すなわち、大気状態で塗布の待機を行うわけではない。ノズル内が大気圧になると、インクの自重によりインクジェットノズルからインクが垂れ落ちる場合もあり、待機状態のサブタンク内のインクにかかる圧力は塗布時に設定される負圧の４０〜９０％程度の圧力が好ましく、より好ましくは６０〜８０％の圧力が好ましい。 Here, the pressure in the sub-tank is maintained in a negative pressure state with respect to the atmospheric pressure. That is, the application is not waited for in the atmospheric state. When the pressure in the nozzle reaches atmospheric pressure, the ink may droop from the inkjet nozzle due to its own weight, and the pressure applied to the ink in the sub-tank in the standby state is about 40 to 90% of the negative pressure set at the time of application. Preferably, a pressure of 60 to 80% is more preferable.

図４には、このように動作する本発明の塗布装置の塗布処理のフローを示す。本発明の塗布装置がスタートすると（Ｓ１００）、塗布前準備（Ｓ１０２）を行う。塗布前準備とは、メインタンクからインクをサブタンクに注入したり、メインタンク、サブタンク内の圧力を所定の圧力に調整する作業である。 FIG. 4 shows a flow of coating processing of the coating apparatus of the present invention that operates in this way. When the coating apparatus of the present invention is started (S100), preparation before coating (S102) is performed. Preparation before application is an operation of injecting ink from the main tank into the sub tank or adjusting the pressure in the main tank or the sub tank to a predetermined pressure.

塗布前作業が終了するとヘッド待機状態に入る（Ｓ１０４）。ヘッド待機状態は、インクジェットヘッドの待機状態に関する処理判断を行う状態であり、塗布装置全体はヘッド待機状態とは関係なく進む。なお、ヘッド待機状態中の処理については、図５を用いて後に説明する。 When the pre-application operation is completed, the head standby state is entered (S104). The head standby state is a state in which processing determination relating to the standby state of the inkjet head is performed, and the entire coating apparatus proceeds regardless of the head standby state. The processing in the head standby state will be described later with reference to FIG.

次に塗布対象物をステージにセットする（Ｓ１０６）。この処理は特に限定されることはなく、塗布装置自体が行ってもよいし、人の手で行ってもよいし、他のロボットなどが行ってもよい。塗布対象物がステージにセットされたら、ヘッド準備状態に入る（Ｓ１０８）。 Next, the application object is set on the stage (S106). This process is not particularly limited, and may be performed by the coating apparatus itself, by a human hand, or by another robot. When the application object is set on the stage, the head preparation state is entered (S108).

ヘッド準備状態（Ｓ１０８）は、インクジェットヘッドが塗布できる状態になったら、塗布を開始してもよいという状態である。この状態になると、制御部１００にインクジェットヘッド始動のコマンドが入力される。 The head preparation state (S108) is a state in which application may be started when the ink jet head is ready for application. In this state, an ink jet head start command is input to the control unit 100.

このコマンドは、塗布装置自体が塗布対象物の状態を検知して発してもよいし、人の手によってスイッチなどが押されることで制御部１００に入力されてもよい。 This command may be issued when the coating apparatus itself detects the state of the object to be coated, or may be input to the control unit 100 by pressing a switch or the like with a human hand.

インクジェットヘッド開始のコマンドが入力されると、制御部１００はインクジェットヘッドを塗布可能な状態にし、塗布処理を開始する（Ｓ１１０）。塗布処理は、あらかじめ決められた手順に従って塗布対象物にインクを塗布してゆく。ここでは塗布終了判断（１１２）によって塗布処理が終了したか否かを判断するとしたが、決められた処理が終了すれば塗布終了としてもよい。 When an inkjet head start command is input, the control unit 100 makes the inkjet head ready for application and starts application processing (S110). In the application process, ink is applied to the object to be applied according to a predetermined procedure. Here, it is determined whether or not the coating process is ended by the coating end determination (112). However, the application may be ended when the determined process is ended.

次に塗布装置自体を終了するか否かを判断する（Ｓ１１６）。これは塗布対象物の有無で決めてもよいし、あらかじめ塗布回数を決めておき、その回数が終了したかで判断してもよい。また人によって終了か否かを判断してもよい。終了でなければ（Ｓ１１４のＮ分岐）、ヘッド待機状態（Ｓ１０４）に戻る。 Next, it is determined whether or not the coating apparatus itself is terminated (S116). This may be determined based on the presence / absence of an object to be applied, or may be determined based on whether the number of times of application has been determined in advance. Further, it may be determined by a person whether or not the process is ended. If not finished (N branch of S114), the process returns to the head standby state (S104).

図５には、ヘッド待機状態（Ｓ１０４）の処理の一例を示す。インクジェットヘッドが待機状態になったら（Ｓ２００）、まず時計から現在時刻を記録する（Ｓ２０２）。待機時間を積算するためである。これは制御部１００が図５の時計１０６から時刻情報を取得することで実現できる。 FIG. 5 shows an example of processing in the head standby state (S104). When the inkjet head enters a standby state (S200), the current time is first recorded from the clock (S202). This is because the waiting time is integrated. This can be realized by the control unit 100 obtaining time information from the clock 106 in FIG.

次にインクジェットヘッドが所定位置に設置されたか否かを判断する（Ｓ２０４）。インクジェットヘッドは塗布ガントリー４に配設されており、塗布ガントリーのＸおよびＹ方向の動きによって可動範囲内の任意の位置に移動できる。そこで、あらかじめインクジェットヘッドの待機場所が塗布装置に設けられている場合がある。ステップＳ２０４の判断は、そのような位置にインクジェットヘッドが配置されたら、直ちにステップＳ２１０以下の処理を行うことを意味する。なお、インクジェットヘッドが所定の位置に来たか否かについては、位置センサー１０２からの位置情報Ｄｘｙに基づいて制御部１００が判断する。 Next, it is determined whether or not the ink jet head is installed at a predetermined position (S204). The ink-jet head is disposed in the coating gantry 4 and can be moved to any position within the movable range by movement of the coating gantry in the X and Y directions. Therefore, there is a case where a standby area for the inkjet head is provided in advance in the coating apparatus. The determination in step S204 means that if the ink jet head is placed at such a position, the processing in step S210 and subsequent steps is immediately performed. Note that the control unit 100 determines whether or not the inkjet head has come to a predetermined position based on the position information Dxy from the position sensor 102.

ステップＳ２１０は、サブタンク内の圧力を上昇させる処理である。このときの圧力上昇により塗布時の圧力（負圧）よりは大気圧に近い第２の負圧に設定する。具体的には、サブタンクの圧力をセンサー１０５からの圧力情報Ｄｐｓによって知り、切換弁１１０と切換弁１１２を操作指示ＣｖｓおよびＣｖａで切り替えてサブタンク１０５内の圧力を所定の圧力に設定する。 Step S210 is a process of increasing the pressure in the sub tank. Due to the pressure increase at this time, the second negative pressure is set closer to the atmospheric pressure than the pressure during application (negative pressure). Specifically, the pressure in the sub tank 105 is known from the pressure information Dps from the sensor 105, and the switching valve 110 and the switching valve 112 are switched by operation instructions Cvs and Cva to set the pressure in the sub tank 105 to a predetermined pressure.

サブタンク１０５内の圧力が所定の値になったら、フラッシング開始しコマンド待ちに入るか、または何もせずにコマンド待ちに入る。（Ｓ２１２）。ここでコマンドとは、インクジェットヘッド始動のコマンドである。このコマンドが入力されたら（Ｓ２１２のＹ分岐）、サブタンク内の圧力を塗布時の圧力まで下げ（Ｓ２１４）、メインルーチンに戻る（Ｓ２１６）。 When the pressure in the sub tank 105 reaches a predetermined value, flushing is started and the command is waited, or the command is waited without doing anything. (S212). Here, the command is a command for starting the inkjet head. When this command is input (Y branch of S212), the pressure in the sub tank is reduced to the pressure at the time of application (S214), and the process returns to the main routine (S216).

また、待機状態の圧力上昇（Ｓ２１０）は、インクジェットヘッドが所定の位置に移動するだけでなく、他の要因（イベント）によって状態を変化させてもよい。ステップＳ２０６はそのようなイベントの例示の１つである。ここでは所定時間が経過したか否かの判断を行う。もし、このステップＳ１０４から始める待機処理に入って、所定時間が経過すれば、インクジェットヘッドの位置に関わらず、サブタンクの圧力上昇処理（Ｓ２１０）に移ってもよい（Ｓ２０６のＹ分岐）。 Further, the pressure increase (S210) in the standby state may be changed not only by the ink jet head moving to a predetermined position but also by other factors (events). Step S206 is one example of such an event. Here, it is determined whether or not a predetermined time has elapsed. If a predetermined time elapses after entering the standby process starting from step S104, the process may proceed to the sub tank pressure increase process (S210) regardless of the position of the inkjet head (Y branch of S206).

所定時間の経過がない場合は（Ｓ２０６のＮ分岐）、コマンド待ちを判断し（Ｓ２０８）、コマンドがまだ受けていない場合は（Ｓ２０８のＮ分岐）ステップＳ２０４に戻る。コマンドを受けた場合は（Ｓ２０８のＹ分岐）サブタンク内の圧力を下げて、処理をメインルーチンに戻す（Ｓ２１６）。 If the predetermined time has not elapsed (N branch of S206), it is determined whether to wait for a command (S208). If no command has been received (N branch of S208), the process returns to step S204. If a command is received (Y branch of S208), the pressure in the sub-tank is lowered and the process returns to the main routine (S216).

以上の処理により、インクジェットヘッドが所定の場所に移動されるか、塗布の待機中に所定の時間が経過したかによって、サブタンク内の圧力は大気圧より負圧ではあるが、塗布時の負圧より大気圧に近い負圧状態に設定しなおされる。これによってインクジェットノズルの詰まりの発生率を低下させることができる。 Depending on whether the inkjet head has been moved to a predetermined location or a predetermined time has elapsed while waiting for application by the above processing, the pressure in the sub-tank is more negative than atmospheric pressure, but negative pressure during application The negative pressure state closer to the atmospheric pressure is reset. As a result, the occurrence rate of clogging of the inkjet nozzles can be reduced.

実際のインクジェットヘッドを用いて、サブタンク内の圧力によるインクジェットヘッドの目詰まりの程度を確認した。用いたインクジェットヘッドは、幅３４ｍｍにインクジェットノズルが２５６個設けられたものを用いた。インクジェットヘッドには上記の実施の形態で説明したサブタンクおよび制御部などが結合されている。 Using an actual ink jet head, the degree of clogging of the ink jet head due to the pressure in the sub tank was confirmed. The ink jet head used was a head provided with 256 ink jet nozzles having a width of 34 mm. The sub-tank, the control unit, and the like described in the above embodiment are coupled to the inkjet head.

確認は以下のようにして行った。 The confirmation was performed as follows.

まず、インクジェットヘッドのインクジェットノズルからインクを多量に出させ、面に残ったインク液滴を溶剤に浸した布でふき取った。サブタンクからインクジェットヘッドまでの配管をインクで満たすためである。 First, a large amount of ink was ejected from the inkjet nozzles of the inkjet head, and ink droplets remaining on the surface were wiped off with a cloth dipped in a solvent. This is because the piping from the sub tank to the inkjet head is filled with ink.

次に、サブタンク内を塗布時の圧力まで負圧にした。この圧力は大気圧に対して−１．４ｋＰａである。そして、１分間全インクジェットノズルからインクを吐出させた。 Next, the inside of the sub tank was set to a negative pressure up to the pressure at the time of application. This pressure is -1.4 kPa with respect to atmospheric pressure. And ink was discharged from all the inkjet nozzles for 1 minute.

次に、インクの吐出を止めてから、サブタンク内を所定の圧力にした。この圧力が待機時の圧力である。そして、所定時間経過後に再度全てのインクジェットヘッドからインクを吐出させ、２５６個のインクジェットノズルのうち、１ノズルでもインクが吐出しない状態が発生するまでの時間（ノズル欠発生時間）を調べた。 Next, after the ink discharge was stopped, the inside of the sub tank was brought to a predetermined pressure. This pressure is the standby pressure. Then, after a predetermined time had elapsed, ink was again ejected from all the inkjet heads, and the time until no ink was ejected from any of the 256 inkjet nozzles (nozzle missing occurrence time) was examined.

図６に待機時の圧力（横軸）とノズル欠発生時間（縦軸）の関係を示す。塗布時の圧力（−１．４ｋＰａ）では、ノズル欠発生時間は１８０秒であったのが、その約４０％の圧力（−０．６Ｐａ）では、２９０秒になった。これは、２９０秒の間、塗布を待機していても、次の塗布の際にすべてのインクジェットノズルからインクが吐出されることを示している。 FIG. 6 shows the relationship between the standby pressure (horizontal axis) and the missing nozzle occurrence time (vertical axis). At the time of application (-1.4 kPa), the nozzle missing occurrence time was 180 seconds, but at about 40% of the pressure (-0.6 Pa), it was 290 seconds. This indicates that ink is ejected from all of the inkjet nozzles during the next application even if the application is on standby for 290 seconds.

本発明に係る塗布装置の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the coating device which concerns on this invention. 本発明に係る塗布装置の制御に関する構成を示す図である。It is a figure which shows the structure regarding control of the coating device which concerns on this invention. インクジェットヘッドノズルの中のインクと大気の気液界面の状態を示す図である。It is a figure which shows the state of the gas-liquid interface of the ink in an inkjet head nozzle, and air | atmosphere. 本発明に係る塗布装置の処理フローを示す図である。It is a figure which shows the processing flow of the coating device which concerns on this invention. 本発明に係るインクジェットヘッドの待機状態のフローを示す図である。It is a figure which shows the flow of the standby state of the inkjet head which concerns on this invention. 塗布装置の圧力調整手段によるインクの乾燥抑制・防止効果を示す負圧と吐出不良発生までの時間との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the negative pressure which shows the drying suppression and prevention effect of the ink by the pressure adjustment means of a coating device, and the time until discharge defect generation.

符号の説明Explanation of symbols

１塗布装置
２ガラス基板（塗布対象物）
３吸着テーブル（保持ステージ）
４塗布ガントリー
５インクジェットヘッドバー
６カメラガントリー
７，８アラインメントカメラ
９スキャンカメラ（計測手段）
１０インクジェットヘッドユニット
１１インクジェットヘッドモジュール
１２インクジェットヘッド
１３インクジェットノズル
１５吐出位置制御部
１６吐出圧制御部
１７圧力制御部
２０機台
６０メインタンク
６２サブタンク
７０減圧ポンプ
７２、７４加圧ポンプ
１００制御部
１０２位置センサー
１０５圧力およびインク量センサー
１１０切換弁
１１２切換弁
１１６切換弁 1 Coating device 2 Glass substrate (Coating object)
3 Suction table (holding stage)
4 Coating gantry 5 Inkjet head bar 6 Camera gantry 7, 8 Alignment camera 9 Scan camera (measuring means)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inkjet head unit 11 Inkjet head module 12 Inkjet head 13 Inkjet nozzle 15 Discharge position control part 16 Discharge pressure control part 17 Pressure control part 20 Machine stand 60 Main tank 62 Sub tank 70 Decompression pump 72, 74 Pressure pump 100 Control part 102 Position Sensor 105 Pressure and ink amount sensor 110 Switching valve 112 Switching valve 116 Switching valve

Claims

複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布方法であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給する工程と、
前記インクに第１の負圧をかけて前記塗布対象物に塗布する工程と、
前記第１の負圧より大気圧に近い第２の負圧をかけて塗布を待機する工程とを有する塗布方法。 An application method in which an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles and an application target are moved relatively to apply ink to the application target,
Supplying ink to the inkjet nozzle;
Applying a first negative pressure to the ink to be applied to the application object;
Applying the second negative pressure closer to the atmospheric pressure than the first negative pressure and waiting for the application.

前記第２の負圧は、前記第１の負圧の４０％〜９０％の範囲の値である請求項１に記載の塗布方法。 The coating method according to claim 1, wherein the second negative pressure is a value in a range of 40% to 90% of the first negative pressure.

前記塗布を待機する工程は、前記インクジェットノズルから一定時間間隔でインクを間欠吐出する工程である請求項１に記載された塗布方法。 The coating method according to claim 1, wherein the step of waiting for the coating is a step of intermittently discharging ink from the inkjet nozzles at regular time intervals.

複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布装置であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給するサブタンクと、
前記サブタンクにインクを供給するインク供給手段と、
前記サブタンク内の圧力を測定する圧力センサーと、
前記サブタンク内の圧力を減圧する減圧手段と、
制御部を有し、
前記制御部は、
前記インクジェットヘッドにインクを吐出させる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を上げる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を下げる指示命令とを有し、
前記塗布対象物にインクを塗布する場合には前記サブタンク内の圧力を第１の負圧にし、塗布の待機の場合には第２の負圧に調整する塗布装置。 An application device that applies ink to the application object by relatively moving an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles and the application object,
A sub tank for supplying ink to the inkjet nozzle;
Ink supply means for supplying ink to the sub tank;
A pressure sensor for measuring the pressure in the sub tank;
Pressure reducing means for reducing the pressure in the sub tank;
Having a control unit,
The controller is
An instruction command to cause the inkjet head to eject ink;
An instruction command to increase the pressure in the sub-tank;
An instruction command to lower the pressure in the sub-tank,
An application device that adjusts the pressure in the sub-tank to a first negative pressure when applying ink to the application object, and to a second negative pressure when waiting for application.

前記第２の負圧は前記第１の負圧の４０％〜９０％の範囲のである請求項４に記載された塗布装置。 The coating apparatus according to claim 4, wherein the second negative pressure is in a range of 40% to 90% of the first negative pressure.

前記塗布の待機では、ノズルから一定時間間隔でインクを間欠吐出する請求項４に記載された塗布装置。 5. The coating apparatus according to claim 4, wherein in the standby for coating, ink is intermittently ejected from the nozzle at regular time intervals.