JP4019783B2

JP4019783B2 - Droplet discharge method and droplet discharge apparatus

Info

Publication number: JP4019783B2
Application number: JP2002128203A
Authority: JP
Inventors: 秀範臼田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-04-30
Filing date: 2002-04-30
Publication date: 2007-12-12
Anticipated expiration: 2022-04-30
Also published as: JP2003320302A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板等のワークに対し、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドにより機能液の吐出を行う液滴吐出方法および液滴吐出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェットプリンタ（カラープリンタ）等では、キャリッジに複数のインクジェットヘッドを搭載し、これに複数色のインクを導入することでカラー印刷を行うが、かかる場合には、同一仕様のインクジェットヘッドを搭載している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）の応用技術では、機能液の吐出対象となるワークによっては、複数種の機能膜等を形成すべく、粘性の異なる複数種の機能液を吐出することが考えられる。例えば、プレパラート上の検体に染色剤を塗布し、これをコーティング材で封止固着させて、カバーグラスを省略するプレパラートの作成技術などでは、機能液滴吐出ヘッドにより検体染色剤（機能液）の吐出とコーティング材（機能液）の吐出とを行う必要がある。かかる場合には、粘性の低い検体染色剤と粘性の高いコーティング材とでは、仕様の異なる機能液滴吐出ヘッドを用いる必要が生じ、単純に考えると、仕様の異なる機能液滴吐出ヘッドを搭載した２台の液滴吐出装置を用いるか、或いは１台の液滴吐出装置に対し機能液滴吐出ヘッド（機能液供給系を含む）を適宜交換して用いる必要がある。
しかし、このようにすると、ワークの他の液滴吐出装置への搬送や、機能液滴吐出ヘッド等の付け替え（交換）に時間を要するため、全体として各ワークに対する液滴吐出処理が極めて煩雑になる。
【０００４】
本発明は、機能液の多彩な液滴吐出を可能とすることによりワーク処理を効率良く行うことができる液滴吐出方法および液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出方法は、マトリクス状の描画エリアを形成したワークに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出方法であって、一体として移動すると共に第１機能液が導入される第１機能液滴吐出ヘッドと、第１機能液を封止する封止性を有すると共に第１機能液と異なる第２機能液が導入される第２機能液滴吐出ヘッドを用い、ワークへの吐出パターンデータに基づいて、各機能液滴吐出ヘッドに且つ複数種の機能液滴吐出ヘッド相互に、機能液を選択的に吐出させ、描画エリアに対し、第１機能液滴吐出ヘッドにより第１機能液の吐出を行った後、これに重ねて、第２機能液滴吐出ヘッドにより前記第２機能液の吐出を行うことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、ワークに対し、仕様が異なる複数種の機能液滴吐出ヘッドを一体として走査し機能液を選択的に吐出させるため、その仕様に基づく機能液の多彩な液滴吐出が可能になる。例えば、１のワークに対し、粘性の異なる機能液の吐出を行う場合、成分の異なる機能液の吐出を行う場合等において、対応する仕様の複数種の機能液滴吐出ヘッドを用いることにより、機能液滴吐出ヘッドの交換等を必要とすることなく、所望の液滴吐出を行うことができる。
また、上記したように、例えば、１のワークに対し、粘性の異なる機能液の吐出を行う場合、成分の異なる機能液の吐出を行う場合等において、対応する複数種の機能液滴吐出ヘッドを用いることにより、機能液滴吐出ヘッドの交換等を必要とすることなく、所望の液滴吐出を行うことができる。
さらに、マトリクス状の描画エリアに吐出した揮発性の機能液を、これに重ねて吐出した封止性の機能液により、時間を経ずして封止することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、マトリクス状の描画エリアを形成したワークに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出装置であって、第１機能液が導入される第１機能液滴吐出ヘッドと、第１機能液を封止する封止性を有すると共に第１機能液と異なる第２機能液が導入される第２機能液滴吐出ヘッドと、複数種の機能液滴吐出ヘッドを搭載した単一のキャリッジと、複数種の機能液滴吐出ヘッドにそれぞれ機能液を供給する機能液供給機構と、キャリッジを介して複数種の機能液滴吐出ヘッドを、ワークに対し相対的に移動させる移動機構と、移動機構に同期させて複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を個々に制御する制御手段とを備え、描画エリアに対し、第１機能液滴吐出ヘッドにより第１機能液の吐出を行った後、これに重ねて、第２機能液滴吐出ヘッドにより第２機能液の吐出を行うことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、仕様が異なる複数種の機能液滴吐出ヘッドを単一のキャリッジに搭載し、これを移動機構により相対的に移動させながら、ワークに対し機能液滴を選択的に吐出するようにしているため、１つのワークに対し、複数種の機能液滴吐出ヘッドによる多彩な液滴吐出が可能になる。
また、上記したように、例えば、１のワークに対し、粘性の異なる機能液で吐出を行う場合、成分の異なる機能液で吐出を行う場合等において、対応する複数種の機能液滴吐出ヘッドを用いることにより、機能液滴吐出ヘッドの交換等を必要とすることなく、所望の液滴吐出を行うことができる。
さらに、マトリクス状の描画エリアに吐出した揮発性の機能液を、これに重ねて吐出した封止性の機能液により、時間を経ずして封止することができる。
【００２９】
この場合、制御手段は、複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出パターンデータを生成するパーソナルコンピュータに接続されていることが、好ましい。
【００３０】
この構成によれば、複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出パターンデータを、パーソナルコンピュータで生成して、これを制御手段に導入するようにしているため、ワークおよび複数種の機能液滴吐出ヘッドに対応して吐出データの生成を容易に行うことができる。
【００３１】
これらの場合、キャリッジに対し各機能液滴吐出ヘッドは、その最外端に位置する基準吐出ノズルを副走査方向における同位置に揃えて搭載されていることが、好ましい。
【００３２】
この構成によれば、複数種の機能液滴吐出ヘッドにおける、制御上の基準点が副走査方向の同位置に揃うため、吐出パターンデータのデータ構成を単純化することができ、且つキャリッジに対し各機能液滴吐出ヘッドを精度良く搭載することができる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置について説明する。インクジェットプリンタのインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴（機能液滴）をドット状に精度良く吐出することができることから、例えば機能液（吐出対象液）に特殊なインクや、発光性或いは感光性の樹脂等を用いることにより、各種部品の製造分野への応用が期待されている。
【００４０】
本実施形態の液滴吐出装置は、仕様の異なる複数種の機能液滴吐出ヘッドを用い、図５に示すように、ワークである基板Ｗにおいて、バンク１０２により形成したマトリクス状の描画エリア１０１の各凹部１０３に、揮発性の第１機能液１０４を吐出すると共に、各凹部１０３に第１機能液１０４を封止すべく描画エリア１０１全体にオーバーコート用の第２機能液１０５を吐出するものである。さらに、第１機能液１０４および第２機能液１０５に吐出不良が生じた場合、不良品として基板Ｗのマーキングエリア１０６に、第３機能液１０７による不良マークを描画するものである。
【００４１】
或いは、図６に示すように、ワークである基板Ｗにおいて、描画エリア１０１の各凹部１０３に２液タイプの発光機能液（或いはカラーフィルタのフィルタ機能液）であるＡ機能液（発光剤）１１１とＢ機能液（硬化剤）１１２とを順次吐出すると共に、上記と同様に、マーキングエリア１０６に第３機能液１０７による不良マークを描画するものである。
【００４２】
図１に示すように、実施形態の液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上に設置した移動機構３であるＸ軸テーブル４およびこれに直交するＹ軸テーブル５と、Ｘ軸テーブル５に移動自在に取り付けたメインキャリッジ６と、メインキャリッジ６に搭載したヘッドユニット７とを備えている。詳細は後述するが、ヘッドユニット７には、サブキャリッジ９を介して、仕様の異なる複数種（３種類）の機能液滴吐出ヘッド１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）が搭載されている。また、ワークである基板Ｗは、Ｙ軸テーブル５に搭載されている。
【００４３】
さらに、液滴吐出装置１には、複数種の機能液滴吐出ヘッド１０に機能液をそれぞれ供給する機能液供給機構１２が組み込まれると共に、上記の移動機構３および複数種の機能液滴吐出ヘッド１０等の駆動を制御する制御手段１３が組み込まれている。そして、制御手段１３には、複数種の機能液滴吐出ヘッド１０の吐出パターンデータを生成するためのパーソナルコンピュータ１４が接続されている。
【００４４】
さらに、図示では省略したが、液滴吐出装置１には、機能液滴吐出ヘッド１０の定期的なフラッシング（全吐出ノズルからの機能液の捨て吐出）を受けるフラッシングユニットや、機能液滴吐出ヘッド１０のノズル面をワイピングするワイピングユニットの他、機能液滴吐出ヘッド１０の機能液吸引および保管を行うクリーニングユニット等が、組み込まれている。
【００４５】
Ｘ軸テーブル４は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ１７駆動のＸ軸スライダ１６を有し、これに上記のメインキャリッジ６を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル５は、Ｙ軸方向の駆動系が構成するモータ１９駆動のＹ軸スライダ１８を有し、これに吸着テーブル等から成るセットテーブル２０を移動自在に搭載して、構成されている。そして、セットテーブル２０上に基板Ｗが位置決め状態でセットされるようになっている。
【００４６】
本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル４による各機能液滴吐出ヘッド１０の移動に同期して各機能液滴吐出ヘッド１０が駆動（機能液滴の選択的吐出）する構成であり、機能液滴吐出ヘッド１０のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル４のＸ軸方向への往復動動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル５による基板のＹ軸方向への往動動作により行われる。そして、上記走査における各機能液滴吐出ヘッド１０の駆動は、上記のパーソナルコンピュータ１４で作成された吐出パターンデータに基づいて行われる。
【００４７】
一方、機能液供給機構１２は、各機能液滴吐出ヘッド１０に対応する３種類のサブタンク２３（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ）を備えると共に、図示では省略した各サブタンク２３に接続された３種類のメインタンク、および各メインタンクの機能液を対応するサブタンク２３に送液する圧力送液装置を備えている。各メインタンクの機能液（図５の基板処理では、第１機能液１０４、第２機能液１０５および第３機能液１０７）は、対応する第１サブタンク２３ａ、第２サブタンク２３ｂおよび第３サブタンク２３ｃにそれぞれ圧力送液される。そして、各サブタンク２３で圧力的に縁切りされた機能液は、それぞれ対応する各機能液滴吐出ヘッド（後述する）１０のポンプ作用により、各機能液滴吐出ヘッド１０に送液される。なお、図示では省略したが、上記の圧力送液装置も上記の制御手段１３により制御される。
【００４８】
図２に示すように、ヘッドユニット７は、ステンレス等の厚板で構成したサブキャリッジ９と、サブキャリッジ９に精度良く位置決め固定した３種類の機能液滴吐出ヘッド１０とで、構成されている。この場合、３種類の機能液滴吐出ヘッド１０は、図示の左側から第１吐出ヘッド、第２吐出ヘッドおよび第３吐出ヘッドから成り、それぞれ最外端に位置する吐出ノズルを基準ノズル２５とし、この３つの基準ノズル２５ａ，２５ｂ，２５ｃが主走査方向に平行な仮想線Ｌ上に並ぶように、整列配置されている。また、サブキャリッジ９の左右中間位置には、位置決め用の一対の基準ピン（マーク）２６，２６が設けられている。
【００４９】
例えば、第１吐出ヘッド１０ａの両ノズル列間の着弾位置の補正（吐出パターンデータの補正）や、第１吐出ヘッド１０ａ、第２吐出ヘッド１０ｂおよび第３吐出ヘッド１０ｃの相互間における着弾位置の補正等において、各基準ノズル２５が位置決め基準となる。また、各吐出ヘッド１０ａ，１０ｂ，１０ｃのサブキャリッジ９への固定も、この基準ノズル２５が位置決め基準となる。一方、ヘッドユニット７の位置決め基準として、一対の基準ピン２６，２６が用いられる。
【００５０】
３種類の機能液滴吐出ヘッド１０は、相互に仕様の異なるものであり、例えば図示左端の第１吐出ヘッド１０ａは、１８０個の吐出ノズルを列設した２本のノズル列を有する仕様のもので構成され、左右中間の第２吐出ヘッド１０ｂは、９６個の吐出ノズルを列設した３本のノズル列を有する仕様のもので構成され、右端の第３吐出ヘッド１０ｃは、３個の吐出ノズルを列設した１本のノズル列を有する仕様のもので構成されている。
【００５１】
この場合、図５の基板処理では、例えば第１吐出ヘッド１０ａに上記した揮発性の第１機能液１０４を導入し、第２吐出ヘッド１０ｂにオーバーコート用の第２機能液１０５を導入し、第３吐出ヘッド１０ｃにマーキング用の第３機能液１０７を導入する。また、第１機能液１０４は比較的粘性が低く、第２機能液１０５は比較的粘性が高いものを用いられる。また、マーキング用の第３機能液１０７は、第２機能液１０５と略同一の粘性を有している。同様に、図６の基板処理では、例えば第１吐出ヘッド１０ａにＡ機能液１１１を導入し、第２吐出ヘッド１０ｂにＢ機能液１１２を導入し、第３吐出ヘッド１０ｃに第３機能液１０７を導入する。
【００５２】
このような３種類の機能液１０４，１０５，１０７とその吐出形態とを考慮し、第１吐出ヘッド１０ａは、単位ノズル当りの機能液滴吐出量が少なく、第２吐出ヘッド１０ｂは、単位ノズル当りの機能液滴吐出量が多く、第３吐出ヘッド１０ｃは、単位ノズル当りの機能液滴吐出量が極端に多い仕様となっている。
【００５３】
一方、制御手段１３は、液滴吐出装置１の構成装置を統括制御すると共にパーソナルコンピュータ１４に接続された制御部３１を有しており、制御部３１は、第１ヘッドドライバ３２を介して第１吐出ヘッド１０ａを駆動し、第２ヘッドドライバ３３を介して第２吐出ヘッド１０ｂを駆動し、第３ヘッドドライバ３４を介して第３吐出ヘッド１０ｃを駆動する。同様に、制御部３１は、Ｘ軸モータドライバ３５を介してＸ軸テーブル４を駆動し、Ｙ軸モータドライバ３６を介してＹ軸テーブル５を駆動する。
【００５４】
例えば、図５の基板処理では、ヘッドユニット７を走査し、第１吐出ヘッド１０ａにより各凹部１０３に第１機能液１０４を吐出し、続いて第２吐出ヘッド１０ｂにより描画エリア１０１に第２機能液１０５をべた塗り様に吐出する。また、図６の基板処理では、ヘッドユニット７の走査において、第１吐出ヘッド１０ａを第２吐出ヘッド１０ｂに先行させ（一方向のみの走査）、第１吐出ヘッド１０ａにより各凹部１０３にＡ機能液１１１を吐出し、その直後に第２吐出ヘッド１０ｂによりＡ機能液１１１上にＢ機能液１１２を吐出する。
【００５５】
なお、マーキング用の第３吐出ヘッド１０ｃは、上記の基板処理の後、図外の基板認識カメラによりドット抜けを画像認識し、その認識結果により適宜駆動するようにしている。第３吐出ヘッド１０ｃによるマーキングは、不良品を仕分けするための画像認識用であり、機能液滴吐出量が極端に多い第３吐出ヘッド１０ｃにより、短時間で描画可能である。
【００５６】
以上のように第１実施形態の液滴吐出装置１では、複数種の機能液を吐出する複数種の機能液吐出ヘッド１０を一体として搭載しているため、基板処理の形態に応じて複数種の機能液を自在に吐出することができる。このため、基板処理を効率良く行うことができる。特に、図５に例示した基板処理では、揮発性の第１機能液１０４が揮発する前にこれを第２機能液１０５で封止することができる。また、図６の例示では、２液タイプの機能液であるＡ機能液１１１とＢ機能液１１２を、時間を経ずして混合することができる。
【００５７】
次に、図３を参照して、本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置１Ａについて説明する。同図に示すように、この液滴吐出装置１Ａでは、複数種の液滴吐出ヘッド１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）がそれぞれサブキャリッジ９（９ａ，９ｂ，９ｃ）に搭載されて複数種のヘッドユニット７（７ａ，７ｂ，７ｃ）を構成しており、この複数種のヘッドユニット７が、機台２上に設けたユニットストッカ４１に横並びにストックされている。
【００５８】
一方、移動機構３は、ヘッドユニット７を把持するユニット把持機構４６を有するＸ軸テーブル４３と、Ｘ軸テーブル４３をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル４４およびＹ軸スライドレール４５とから成る、Ｘ・Ｙテーブルで構成されている。すなわち、移動機構３により、ユニットストッカ４１から任意の１つのヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド１０）７を引き出して、セットテーブル４７上の基板Ｗに液滴吐出を行わせるようになっている。
【００５９】
Ｘ軸テーブル４３は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ５２駆動のＸ軸スライダ５１を有し、これに上記のユニット把持機構４６を移動自在に搭載して、構成されている。Ｙ軸テーブル４４は、Ｙ軸方向の駆動系が構成するモータ５４駆動のＹ軸スライダ５３を有し、これに平行に配設したＹ軸スライドガイド４５と協働して、搭載したＸ軸テーブル４３を両持ちで移動自在に支持し、これを全体としてＹ軸方向に移動させる。一方、セットテーブル４７は、機台２に固定された吸着テーブル等から成り、基板Ｗはこれに位置決め状態で水平にセットされる。
【００６０】
機能液供給機構１２は、第１実施形態と同様に、各機能液滴吐出ヘッド１０に対応する３種類のサブタンク２３（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ）を備えると共に、図示では省略した各サブタンク２３に接続された３種類のメインタンク、および各メインタンクの機能液を対応するサブタンク２３に送液する圧力送液装置を備えている。なお、この場合、各サブタンク２３と各ヘッドユニット（各機能液滴吐出ヘッド１０）７とを接続するチューブ５６は、移動機構３に導入されるヘッドユニット７に追従できるように、その中間部を上側から吊っておくことが好ましい。
【００６１】
また、各ヘッドユニット７は、ステンレス等の厚板で構成したサブキャリッジ９と、サブキャリッジ９に精度良く位置決め固定した機能液滴吐出ヘッド１０とで、構成されている。すなわち、第１ヘッドユニット７ａには上記の第１吐出ヘッド１０ａが搭載され、第２ヘッドユニット７ｂには上記の第２吐出ヘッド１０ｂが搭載され、第３ヘッドユニット７ｃには上記の第３吐出ヘッド１０ｃが搭載されている。
【００６２】
そして、各ヘッドユニット７のサブキャリッジ９には、その端部にユニット把持機構４６が把持するための、正三角形の一対の把持孔５８，５８が形成されている（図４参照）。また、図示しないが、各サブキャリッジ９には、機能液滴吐出ヘッド１０のヘッド基板に連なるコネクタ（雌）が設けられ、このコネクタは、ユニット把持機構４６がサブキャリッジ９を把持したときに、ユニット把持機構４６側のコネクタ（雄）と接続されるようになっている。
【００６３】
ユニットストッカ４１は、３種類のヘッドユニット７を横並びに水平姿勢で支持している。すなわち、各ヘッドユニット７は、上記の把持孔５８を移動機構３側に向けた状態で、ユニットストッカ４１に形成した一対の水平支持部材に両側部を支持されている（図示省略）。また、各ヘッドユニット７の支持位置（高さ）は、描画動作中のヘッドユニット７と同一平面内に位置しており、ヘッドユニット７は、移動機構３により水平に引き出され且つ水平に送り込まれる。
【００６４】
図４に示すように、ユニット把持機構４６は、Ｘ軸テーブル４３に取り付けられたベース部６１と、上記サブキャリッジ９の一対の把持孔５８，５８に嵌合する一対の把持突起６２，６２と、この一対の把持突起６２，６２を立設した昇降プレート６３、昇降プレート６３に対面すると共に一対の把持突起６２，６２が挿通する一対の挿通孔６５，６５を形成した把持受けプレート６４と、把持受けプレート６４に固定され昇降プレート６３を昇降させるソレノイド６６とを備えている。
【００６５】
把持受けプレート６４はベース部６１に固定され、昇降プレート６３はベース部６１に対して上下動自在に支持されている。すなわち、ソレノイド６６により昇降プレート６３は、把持受けプレート６４に対し上下方向に平行移動する。一方、各把持突起６２，６２は、僅かにテーパー形状を為しており、サブキャリッジ９の各把持孔５８，５８に嵌合し、把持孔５８の内面の３点に接触してこれを位置決め状態で把持する。なお、図３に示すように、ソレノイド６６は、ソレノイドドライバ６８を介して制御部３１に接続されている。
【００６６】
移動機構３により、ユニット把持機構４６をユニットストッカ４１のヘッドユニット７の位置まで移動させ、続いてソレノイド６６を励磁させると、昇降プレート６３と共に一対の把持突起６２，６２が上昇する。一対の把持突起６２，６２、サブキャリッジ９の一対の把持孔５８，５８に嵌合し、サブキャリッジ９を把持受けプレート６４に押し付けるようにして、ヘッドユニット７を把持する。また、基板Ｗへの描画が終了し、移動機構３によりヘッドユニット７がユニットストッカ４１に運び込まれると、ソレノイド６６が消磁され、上記と逆の手順でヘッドユニット７に対するユニット把持機構４６の把持状態が解かれる。
【００６７】
このように第２実施形態によれば、ユニットストッカ４１にストックされているヘッドユニット７を適宜引き出して、基板Ｗに描画（選択的な液滴吐出）を行うようにしているため、複数種の機能液滴吐出ヘッド１０を用いた多彩な描画が可能になる（図５および６参照）。すなわち、基板処理の形態に応じて複数種の機能液を自在に吐出することができ、複数種の機能液を用いた基板処理を迅速に且つ効率良く行うことができる。
【００６８】
なお、第２実施形態では、ユニット把持機構４６により各ヘッドユニット７を精度良く把持するようにしているが、新たにユニットストッカ４１からヘッドユニット７を導入したときには、図外のヘッド認識カメラにより、上記の基準ピン２６、或いは基準ノズル２５を画像認識して、上記の吐出パターンデータの補正を行うことが好ましい。
【００６９】
ところで、このように構成された第１・第２実施形態の液滴吐出装置１，１Ａは、各種の電気光学装置の製造に用いることが可能である。電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等が考えられる。また、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、上記したプレパラート形成を包含する装置が考えられる。
【００７０】
液晶表示装置や有機ＥＬ装置に用いるカラーフィルタの製造方法や、有機ＥＬ装置の素子部分の製造方法にあって、例えば図６の基板処理方法を応用し、機能液として２液タイプのフィルタ材料や発光材料を吐出することで、乾燥工程を省略することが可能となる。また、プレパラート形成にあっては、図５の基板処理方法を応用し、凹部に検体を投入しておき、機能液として染色剤および透明コーティング材を吐出することで、カバーグラスを省略することができる。
【００７１】
【発明の効果】
本発明の液滴吐出方法および液滴吐出装置によれば、ワークに対し、仕様が異なる複数種の機能液滴吐出ヘッドにより、機能液の多彩な液滴吐出が可能になる。このため、機能液滴吐出ヘッドの交換等を必要とすることなく、所望の液滴吐出が可能となり、ワーク処理を効率良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の平面視模式図である。
【図２】実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドユニットの平面視模式図である。
【図３】第２実施形態に係る液滴吐出装置の平面視模式図である。
【図４】第２実施形態に係る液滴吐出装置のユニット把持機構廻りの斜視図である。
【図５】液滴吐出装置による基板処理の例（１）を示す断面図である。
【図６】液滴吐出装置による基板処理の例（２）を示す断面図である。
【符号の説明】
１（１Ａ）液滴吐出装置３移動機構
４Ｘ軸テーブル５Ｙ軸テーブル
７ヘッドユニット９サブキャリッジ
１０機能液滴吐出ヘッド１２機能液供給機構
１３制御手段１４パーソナルコンピュータ
２５基準ノズル３１制御部
４１ユニットストッカ４３Ｘ軸テーブル
４４Ｙ軸テーブル４６ユニット把持機構
１０１描画エリア１０４第１機能液
１０５第２機能液１０６マーキングエリア
１０７第３機能液１１１Ａ機能液
１１２Ｂ機能液Ｗ基板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention, the workpiece such as a substrate, but about the droplet discharge method and a droplet discharge equipment for performing ejection of functional liquid by the functional liquid droplet ejection heads typified by inkjet heads.
[0002]
[Prior art]
In conventional inkjet printers (color printers), multiple ink-jet heads are mounted on the carriage, and color printing is performed by introducing multiple colors of ink into the carriage. In such cases, an ink-jet head with the same specifications is mounted. is doing.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the applied technology of the inkjet head (functional liquid droplet ejection head), depending on the work to which the functional liquid is to be ejected, plural types of functional liquids having different viscosities may be ejected in order to form plural types of functional films. Can be considered. For example, in a preparation technique for preparing a preparation in which a stain is applied to a specimen on a preparation, and this is sealed and fixed with a coating material, and the cover glass is omitted, the specimen droplet (functional liquid) is collected by a functional droplet discharge head. It is necessary to perform discharge and discharge of the coating material (functional liquid). In such a case, it is necessary to use functional droplet discharge heads with different specifications for the low-viscosity specimen staining agent and the high-viscosity coating material. It is necessary to use two droplet discharge devices, or to replace one droplet discharge device with a functional droplet discharge head (including a functional liquid supply system) as appropriate.
However, in this case, since it takes time to transport the work to another liquid droplet ejection apparatus and to replace (exchange) the functional liquid droplet ejection head, the liquid droplet ejection process for each work as a whole becomes extremely complicated. Become.
[0004]
The present invention has an object to provide a droplet discharge method and a droplet discharging equipment capable of performing the work process efficiency by allowing a variety of droplet ejection of the functional liquid.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The liquid droplet ejection method of the present invention is a liquid droplet ejection that selectively ejects functional liquid droplets while relatively moving a functional liquid droplet ejection head into which a functional liquid is introduced with respect to a work in which a matrix-like drawing area is formed. A first functional liquid droplet ejection head that moves as a unit and into which a first functional liquid is introduced, and a second function that has a sealing property for sealing the first functional liquid and is different from the first functional liquid Using the second functional liquid droplet ejection head into which the liquid is introduced , based on the ejection pattern data to the workpiece, the functional liquid is selectively applied to each functional liquid droplet ejection head and among the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads. The first functional liquid is ejected to the drawing area by the first functional liquid droplet ejection head, and then the second functional liquid is ejected by the second functional liquid droplet ejection head. It is characterized by.
[0006]
According to this configuration, multiple types of functional liquid droplet ejection heads with different specifications are scanned and the functional liquid is selectively ejected onto the workpiece, so that various functional liquid droplets can be ejected based on the specifications. become. For example, when discharging functional liquids with different viscosities, discharging functional liquids with different components, etc., by using a plurality of types of functional liquid droplet discharge heads with corresponding specifications, Desired droplet ejection can be performed without requiring replacement of the droplet ejection head or the like.
Further, as described above, for example, when discharging functional liquids having different viscosities or discharging functional liquids having different components to one work, a plurality of corresponding functional liquid droplet discharging heads are provided. By using it, it is possible to perform desired droplet discharge without requiring replacement of the functional droplet discharge head.
Furthermore, the volatile functional liquid discharged to the matrix-shaped drawing area can be sealed over time with the sealing functional liquid discharged on top of this.
[0019]
The liquid droplet ejection apparatus of the present invention is a liquid droplet ejection that selectively ejects functional liquid droplets while relatively moving a functional liquid droplet ejection head into which a functional liquid is introduced with respect to a work in which a matrix-like drawing area is formed. A first functional liquid droplet ejection head into which the first functional liquid is introduced and a second functional liquid that has a sealing property for sealing the first functional liquid and is different from the first functional liquid is introduced. A second functional liquid droplet ejection head, a single carriage mounted with a plurality of types of functional liquid droplet ejection heads, a functional liquid supply mechanism for supplying functional liquids to the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads, and a carriage. A moving mechanism that moves the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads relative to the workpiece, and a control unit that individually controls the ejection driving of the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads in synchronization with the movement mechanism. The first functional liquid for the drawing area After the discharge of the first functional liquid by the discharge head, superimposed on this, characterized in that the second functional liquid droplet ejecting heads to eject the second functional liquid.
[0020]
According to this configuration, a plurality of types of functional liquid droplet ejection heads having different specifications are mounted on a single carriage, and functional liquid droplets are selectively ejected onto a work while being relatively moved by a moving mechanism. Therefore, a variety of droplets can be ejected by a plurality of types of functional droplet ejection heads for one workpiece.
Further, as described above, for example, when discharging with one functional fluid having different viscosities or when discharging with functional liquids having different components, a plurality of corresponding functional liquid droplet ejection heads are provided. By using it, it is possible to perform desired droplet discharge without requiring replacement of the functional droplet discharge head.
Furthermore, the volatile functional liquid discharged to the matrix-shaped drawing area can be sealed over time with the sealing functional liquid discharged on top of this.
[0029]
In this case, the control means is preferably connected to a personal computer that generates ejection pattern data of a plurality of types of functional liquid droplet ejection heads.
[0030]
According to this configuration, since the discharge pattern data of a plurality of types of functional droplet discharge heads is generated by the personal computer and introduced into the control means, the workpiece and the plurality of types of functional droplet discharge heads It is possible to easily generate discharge data corresponding to the above.
[0031]
In these cases, it is preferable that each functional liquid droplet ejection head is mounted on the carriage so that the reference ejection nozzle located at the outermost end is aligned at the same position in the sub-scanning direction.
[0032]
According to this configuration, since the control reference points are aligned at the same position in the sub-scanning direction in the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads, the data configuration of the ejection pattern data can be simplified and the carriage can be Each functional liquid droplet ejection head can be mounted with high accuracy.
[0039]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge method, a droplet discharge device, and an electro-optical device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Inkjet heads (functional droplet ejection heads) of inkjet printers can eject minute ink droplets (functional droplets) with high accuracy in the form of dots. By using a light-emitting or photosensitive resin, etc., application to the field of manufacturing various parts is expected.
[0040]
The droplet discharge apparatus according to the present embodiment uses a plurality of types of functional droplet discharge heads having different specifications. As shown in FIG. 5, a matrix-like drawing area 101 formed by a bank 102 is formed on a substrate W as a workpiece. A volatile first functional liquid 104 is discharged into each recess 103, and an overcoat second functional liquid 105 is discharged over the entire drawing area 101 so as to seal the first functional liquid 104 into each recess 103. It is. Further, when a discharge failure occurs in the first functional liquid 104 and the second functional liquid 105, a defective mark due to the third functional liquid 107 is drawn on the marking area 106 of the substrate W as a defective product.
[0041]
Alternatively, as shown in FIG. 6, in the substrate W that is a workpiece, the A functional liquid (light emitting agent) 111 that is a two-liquid type light emitting functional liquid (or a filter functional liquid of a color filter) is provided in each concave portion 103 of the drawing area 101. And B functional liquid (curing agent) 112 are sequentially discharged, and a defective mark is drawn in the marking area 106 by the third functional liquid 107 in the same manner as described above.
[0042]
As shown in FIG. 1, a droplet discharge device 1 according to an embodiment includes a machine base 2, an X-axis table 4 that is a moving mechanism 3 installed on the machine base 2, a Y-axis table 5 that is orthogonal thereto, A main carriage 6 movably attached to the shaft table 5 and a head unit 7 mounted on the main carriage 6 are provided. As will be described in detail later, a plurality of types (three types) of functional liquid droplet ejection heads 10 (10a, 10b, 10c) having different specifications are mounted on the head unit 7 via a sub-carriage 9. Further, the substrate W as a work is mounted on the Y-axis table 5.
[0043]
Further, the liquid droplet ejection apparatus 1 incorporates a functional liquid supply mechanism 12 that supplies functional liquids to a plurality of types of functional liquid droplet ejection heads 10, and the moving mechanism 3 and the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads. A control means 13 for controlling the driving of 10 or the like is incorporated. The control unit 13 is connected to a personal computer 14 for generating ejection pattern data of a plurality of types of functional liquid droplet ejection heads 10.
[0044]
Further, although not shown in the drawing, the droplet discharge device 1 includes a flushing unit that receives periodic flushing of the functional droplet discharge head 10 (discarding and discharging functional liquid from all discharge nozzles), and a functional droplet discharge head. In addition to the wiping unit for wiping the 10 nozzle surfaces, a cleaning unit for sucking and storing the functional liquid of the functional liquid droplet ejection head 10 is incorporated.
[0045]
The X-axis table 4 includes an X-axis slider 16 driven by a motor 17 that constitutes a drive system in the X-axis direction, and the main carriage 6 is movably mounted thereon. Similarly, the Y-axis table 5 has a Y-axis slider 18 driven by a motor 19 that constitutes a drive system in the Y-axis direction, and a set table 20 composed of a suction table or the like is movably mounted thereon. ing. The substrate W is set on the set table 20 in a positioned state.
[0046]
In the liquid droplet ejection apparatus 1 of the present embodiment, each functional liquid droplet ejection head 10 is driven (selective ejection of functional liquid droplets) in synchronization with the movement of each functional liquid droplet ejection head 10 by the X-axis table 4. Yes, so-called main scanning of the functional liquid droplet ejection head 10 is performed by a reciprocating motion of the X-axis table 4 in the X-axis direction. Correspondingly, so-called sub-scanning is performed by the forward movement of the substrate in the Y-axis direction by the Y-axis table 5. The driving of each functional liquid droplet ejection head 10 in the scanning is performed based on the ejection pattern data created by the personal computer 14.
[0047]
On the other hand, the functional liquid supply mechanism 12 includes three types of sub tanks 23 (23a, 23b, 23c) corresponding to the respective functional liquid droplet ejection heads 10, and three types of main tanks connected to the respective sub tanks 23 which are omitted in the drawing. A tank and a pressure liquid feeding device for feeding the functional liquid of each main tank to the corresponding sub tank 23 are provided. The functional liquid in each main tank (the first functional liquid 104, the second functional liquid 105, and the third functional liquid 107 in the substrate processing of FIG. 5) corresponds to the corresponding first sub tank 23a, second sub tank 23b, and third sub tank 23c. The pressure is fed to each. Then, the functional liquid pressure-cut in each sub-tank 23 is sent to each functional liquid droplet ejection head 10 by the pump action of the corresponding functional liquid droplet ejection head (described later) 10. Although not shown in the drawing, the pressure feeding device is also controlled by the control means 13.
[0048]
As shown in FIG. 2, the head unit 7 includes a sub-carriage 9 made of a thick plate such as stainless steel, and three types of functional liquid droplet ejection heads 10 that are positioned and fixed with high precision on the sub-carriage 9. . In this case, the three types of functional liquid droplet ejection heads 10 are composed of a first ejection head, a second ejection head, and a third ejection head from the left side in the drawing, and the ejection nozzles positioned at the outermost ends are used as reference nozzles 25, respectively. The three reference nozzles 25a, 25b, and 25c are aligned and arranged so as to be aligned on a virtual line L parallel to the main scanning direction. A pair of reference pins (marks) 26 and 26 for positioning are provided at the left and right intermediate positions of the sub-carriage 9.
[0049]
For example, correction of the landing position between both nozzle rows of the first discharge head 10a (correction of discharge pattern data), and the landing position among the first discharge head 10a, the second discharge head 10b, and the third discharge head 10c. In the correction or the like, each reference nozzle 25 serves as a positioning reference. Also, the reference nozzle 25 serves as a positioning reference for fixing the ejection heads 10a, 10b, and 10c to the sub-carriage 9. On the other hand, a pair of reference pins 26 and 26 are used as a positioning reference for the head unit 7.
[0050]
The three types of functional liquid droplet ejection heads 10 have different specifications from each other. For example, the first ejection head 10a at the left end in the figure has a specification having two nozzle rows in which 180 ejection nozzles are arranged. The second discharge head 10b in the middle of the left and right is configured to have three nozzle rows in which 96 discharge nozzles are arranged, and the third discharge head 10c at the right end has three discharge heads. It has a specification having one nozzle row in which nozzles are arranged.
[0051]
In this case, in the substrate processing of FIG. 5, for example, the volatile first functional liquid 104 described above is introduced into the first ejection head 10a, and the second functional liquid 105 for overcoat is introduced into the second ejection head 10b. A third functional liquid 107 for marking is introduced into the third ejection head 10c. In addition, the first functional liquid 104 has a relatively low viscosity, and the second functional liquid 105 has a relatively high viscosity. Further, the marking third functional liquid 107 has substantially the same viscosity as the second functional liquid 105. Similarly, in the substrate processing of FIG. 6, for example, the A functional liquid 111 is introduced into the first ejection head 10a, the B functional liquid 112 is introduced into the second ejection head 10b, and the third functional liquid 107 is introduced into the third ejection head 10c. Is introduced.
[0052]
Considering these three types of functional liquids 104, 105, 107 and their discharge forms, the first discharge head 10a has a small amount of functional liquid droplet discharge per unit nozzle, and the second discharge head 10b has a unit nozzle The function discharge amount per unit nozzle is large, and the third discharge head 10c has a specification that the function droplet discharge amount per unit nozzle is extremely large.
[0053]
On the other hand, the control unit 13 has a control unit 31 that controls the constituent devices of the droplet discharge device 1 and is connected to the personal computer 14. The control unit 31 is connected to the first head driver 32 via the first head driver 32. The first ejection head 10 a is driven, the second ejection head 10 b is driven via the second head driver 33, and the third ejection head 10 c is driven via the third head driver 34. Similarly, the control unit 31 drives the X-axis table 4 via the X-axis motor driver 35 and drives the Y-axis table 5 via the Y-axis motor driver 36.
[0054]
For example, in the substrate processing of FIG. 5, the head unit 7 is scanned, the first functional liquid 104 is ejected to each recess 103 by the first ejection head 10a, and then the second function is applied to the drawing area 101 by the second ejection head 10b. The liquid 105 is discharged in a solid coating manner. In the substrate processing of FIG. 6, in the scanning of the head unit 7, the first ejection head 10a is preceded by the second ejection head 10b (scanning in only one direction), and the first ejection head 10a causes the A function to be applied to each recess 103. The liquid 111 is discharged, and immediately thereafter, the B functional liquid 112 is discharged onto the A functional liquid 111 by the second discharge head 10b.
[0055]
The third ejection head 10c for marking is configured to recognize a dot missing image by a substrate recognition camera (not shown) after the above substrate processing, and to drive appropriately according to the recognition result. The marking by the third ejection head 10c is for image recognition for sorting out defective products, and can be drawn in a short time by the third ejection head 10c having an extremely large amount of functional liquid droplet ejection.
[0056]
As described above, in the droplet discharge device 1 according to the first embodiment, a plurality of types of functional liquid discharge heads 10 that discharge a plurality of types of functional liquids are integrally mounted. The functional liquid can be discharged freely. For this reason, substrate processing can be performed efficiently. In particular, in the substrate processing illustrated in FIG. 5, the volatile first functional liquid 104 can be sealed with the second functional liquid 105 before the volatile first functional liquid 104 is volatilized. Moreover, in the illustration of FIG. 6, the A functional liquid 111 and the B functional liquid 112 which are two liquid type functional liquids can be mixed over time.
[0057]
Next, with reference to FIG. 3, a droplet discharge apparatus 1A according to a second embodiment of the present invention will be described. As shown in the figure, in this droplet discharge apparatus 1A, a plurality of types of droplet discharge heads 10 (10a, 10b, 10c) are mounted on a sub-carriage 9 (9a, 9b, 9c), respectively, and a plurality of types of heads. The unit 7 (7a, 7b, 7c) is configured, and the plurality of types of head units 7 are stocked side by side in a unit stocker 41 provided on the machine base 2.
[0058]
On the other hand, the moving mechanism 3 includes an X-axis table 43 having a unit gripping mechanism 46 that grips the head unit 7, a Y-axis table 44 that moves the X-axis table 43 in the Y-axis direction, and a Y-axis slide rail 45. It consists of an XY table. That is, any one head unit (functional liquid droplet ejection head 10) 7 is pulled out from the unit stocker 41 by the moving mechanism 3, and droplets are ejected onto the substrate W on the set table 47.
[0059]
The X-axis table 43 includes an X-axis slider 51 driven by a motor 52 that constitutes a drive system in the X-axis direction, and is configured by mounting the unit gripping mechanism 46 movably thereon. The Y-axis table 44 has a Y-axis slider 53 driven by a motor 54 that constitutes a drive system in the Y-axis direction, and is mounted in cooperation with a Y-axis slide guide 45 disposed in parallel therewith. 43 is supported movably by both ends, and is moved in the Y-axis direction as a whole. On the other hand, the set table 47 is composed of a suction table or the like fixed to the machine base 2, and the substrate W is set horizontally in a positioning state.
[0060]
Similar to the first embodiment, the functional liquid supply mechanism 12 includes three types of sub tanks 23 (23a, 23b, 23c) corresponding to the respective functional liquid droplet ejection heads 10 and is connected to the sub tanks 23 that are omitted in the drawing. There are provided three types of main tanks and a pressure liquid feeding device for feeding the functional liquid of each main tank to the corresponding sub tank 23. In this case, the tube 56 connecting each sub-tank 23 and each head unit (each functional liquid droplet ejection head 10) 7 has an intermediate portion so that it can follow the head unit 7 introduced into the moving mechanism 3. It is preferable to hang from the upper side.
[0061]
Each head unit 7 includes a sub-carriage 9 made of a thick plate such as stainless steel, and a functional liquid droplet ejection head 10 that is positioned and fixed on the sub-carriage 9 with high accuracy. That is, the first discharge head 10a is mounted on the first head unit 7a, the second discharge head 10b is mounted on the second head unit 7b, and the third discharge unit 10c is mounted on the third head unit 7c. A head 10c is mounted.
[0062]
The sub-carriage 9 of each head unit 7 is formed with a pair of regular triangular gripping holes 58 and 58 for the unit gripping mechanism 46 to grip at the end thereof (see FIG. 4). Although not shown, each sub-carriage 9 is provided with a connector (female) connected to the head substrate of the functional liquid droplet ejection head 10, and this connector is used when the unit gripping mechanism 46 grips the sub-carriage 9. The unit is connected to a connector (male) on the unit gripping mechanism 46 side.
[0063]
The unit stocker 41 supports three types of head units 7 in a horizontal and horizontal posture. That is, each head unit 7 is supported on both sides by a pair of horizontal support members formed in the unit stocker 41 with the above-described gripping hole 58 facing the moving mechanism 3 (not shown). Further, the support position (height) of each head unit 7 is located in the same plane as the head unit 7 during the drawing operation, and the head unit 7 is pulled out horizontally by the moving mechanism 3 and is fed in horizontally. .
[0064]
As shown in FIG. 4, the unit gripping mechanism 46 includes a base portion 61 attached to the X-axis table 43, and a pair of gripping protrusions 62 and 62 that fit into the pair of gripping holes 58 and 58 of the sub-carriage 9. A lifting plate 63 erected with the pair of gripping projections 62, 62, a grip receiving plate 64 facing the lifting plate 63 and having a pair of insertion holes 65, 65 through which the pair of gripping projections 62, 62 are inserted, And a solenoid 66 that is fixed to the grip receiving plate 64 and moves the lifting plate 63 up and down.
[0065]
The grip receiving plate 64 is fixed to the base portion 61, and the elevating plate 63 is supported so as to be movable up and down with respect to the base portion 61. That is, the lifting plate 63 is moved parallel to the grip receiving plate 64 in the vertical direction by the solenoid 66. On the other hand, each of the gripping protrusions 62 and 62 has a slightly tapered shape. The gripping projections 62 and 62 are fitted into the gripping holes 58 and 58 of the sub-carriage 9 and contact the three points on the inner surface of the gripping hole 58 to position them. Grip in the state. As shown in FIG. 3, the solenoid 66 is connected to the control unit 31 via a solenoid driver 68.
[0066]
When the unit gripping mechanism 46 is moved to the position of the head unit 7 of the unit stocker 41 by the moving mechanism 3 and then the solenoid 66 is excited, the pair of gripping protrusions 62 and 62 rise together with the lift plate 63. The head unit 7 is gripped by fitting into the pair of gripping protrusions 62 and 62 and the pair of gripping holes 58 and 58 of the subcarriage 9 and pressing the subcarriage 9 against the gripping receiving plate 64. When drawing on the substrate W is completed and the head unit 7 is carried to the unit stocker 41 by the moving mechanism 3, the solenoid 66 is demagnetized, and the gripping state of the unit gripping mechanism 46 with respect to the head unit 7 in the reverse procedure to the above. Is solved.
[0067]
As described above, according to the second embodiment, since the head unit 7 stocked in the unit stocker 41 is appropriately drawn and drawn (selective droplet discharge) on the substrate W, a plurality of types of head units 7 are drawn. Various drawing using the functional droplet discharge head 10 is possible (see FIGS. 5 and 6). That is, a plurality of types of functional liquids can be freely discharged according to the form of substrate processing, and a substrate processing using a plurality of types of functional liquids can be performed quickly and efficiently.
[0068]
In the second embodiment, each head unit 7 is accurately gripped by the unit gripping mechanism 46. However, when the head unit 7 is newly introduced from the unit stocker 41, the head recognition camera (not shown) It is preferable to correct the ejection pattern data by recognizing an image of the reference pin 26 or the reference nozzle 25.
[0069]
Incidentally, the droplet discharge devices 1 and 1A of the first and second embodiments configured as described above can be used for manufacturing various electro-optical devices. Examples of the electro-optical device include a liquid crystal display device, an organic EL device, an FED device, a PDP device, and an electrophoretic display device. Further, as an electro-optical device, in addition to metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation, an apparatus including the above-described preparation formation can be considered.
[0070]
In a manufacturing method of a color filter used for a liquid crystal display device or an organic EL device, or a manufacturing method of an element part of an organic EL device, for example, the substrate processing method of FIG. By discharging the light emitting material, the drying step can be omitted. In preparation of the preparation, the substrate processing method of FIG. 5 is applied, the specimen is put in the recess, and the stain and the transparent coating material are discharged as the functional liquid, so that the cover glass can be omitted. it can.
[0071]
【The invention's effect】
According to the droplet ejection method and the droplet ejection apparatus of the present invention, it is possible to eject various functional liquid droplets with respect to a workpiece by using a plurality of types of functional droplet ejection heads having different specifications. For this reason, it is possible to eject desired droplets without requiring replacement of the functional droplet ejection head, and work processing can be performed efficiently.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic plan view of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view of the head unit of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 3 is a schematic plan view of a droplet discharge device according to a second embodiment.
FIG. 4 is a perspective view around a unit gripping mechanism of a droplet discharge device according to a second embodiment.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example (1) of substrate processing by a droplet discharge device.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example (2) of substrate processing by a droplet discharge device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 (1A) Droplet discharge apparatus 3 Movement mechanism 4 X-axis table 5 Y-axis table 7 Head unit 9 Subcarriage 10 Function droplet discharge head 12 Function liquid supply mechanism 13 Control means 14 Personal computer 25 Reference nozzle 31 Control part 41 Unit Stocker 43 X-axis table 44 Y-axis table 46 Unit gripping mechanism 101 Drawing area 104 First function liquid 105 Second function liquid 106 Marking area 107 Third function liquid 111 A function liquid 112 B function liquid W Substrate

Claims

マトリクス状の描画エリアを形成したワークに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出方法であって、
一体として移動すると共に第１機能液が導入される第１機能液滴吐出ヘッドと、前記第１機能液を封止する封止性を有すると共に前記第１機能液と異なる第２機能液が導入される第２機能液滴吐出ヘッドを用い、
前記ワークへの吐出パターンデータに基づいて、前記各機能液滴吐出ヘッドに且つ前記複数種の機能液滴吐出ヘッド相互に、前記機能液を選択的に吐出させ、
前記描画エリアに対し、前記第１機能液滴吐出ヘッドにより前記第１機能液の吐出を行った後、これに重ねて、前記第２機能液滴吐出ヘッドにより前記第２機能液の吐出を行うことを特徴とする液滴吐出方法。 A liquid droplet ejection method for selectively ejecting functional liquid droplets while relatively moving a functional liquid droplet ejection head into which a functional liquid is introduced with respect to a work in which a matrix-shaped drawing area is formed ,
A first functional liquid droplet ejection head that moves as a unit and into which the first functional liquid is introduced, and a second functional liquid that has a sealing property for sealing the first functional liquid and is different from the first functional liquid are introduced. Using the second function droplet discharge head
Based on the discharge pattern data to the workpiece, the functional liquid is selectively discharged to each of the functional liquid droplet discharge heads and to the plurality of types of functional liquid droplet discharge heads .
After the first functional liquid discharge head discharges the first functional liquid onto the drawing area, the second functional liquid is discharged by the second functional liquid droplet discharge head. A droplet discharge method characterized by the above.

マトリクス状の描画エリアを形成したワークに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出装置であって、
第１機能液が導入される第１機能液滴吐出ヘッドと、
前記第１機能液を封止する封止性を有すると共に前記第１機能液と異なる第２機能液が導入される第２機能液滴吐出ヘッドと、
前記複数種の機能液滴吐出ヘッドを搭載した単一のキャリッジと、
前記複数種の機能液滴吐出ヘッドにそれぞれ機能液を供給する機能液供給機構と、
前記キャリッジを介して前記複数種の機能液滴吐出ヘッドを、前記ワークに対し相対的に移動させる移動機構と、
前記移動機構に同期させて前記複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を個々に制御する制御手段とを備え、
前記描画エリアに対し、前記第１機能液滴吐出ヘッドにより前記第１機能液の吐出を行った後、これに重ねて、前記第２機能液滴吐出ヘッドにより前記第２機能液の吐出を行うことを特徴とする液滴吐出装置。 A liquid droplet ejection apparatus that selectively ejects functional liquid droplets while relatively moving a functional liquid droplet ejection head into which a functional liquid is introduced with respect to a work in which a matrix-shaped drawing area is formed ,
A first functional liquid droplet ejection head into which the first functional liquid is introduced ;
A second functional liquid droplet ejection head having a sealing property for sealing the first functional liquid and into which a second functional liquid different from the first functional liquid is introduced;
A single carriage mounted with the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads;
A functional liquid supply mechanism for supplying a functional liquid to each of the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads;
A moving mechanism for moving the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads relative to the workpiece via the carriage;
Control means for individually controlling the ejection drive of the plurality of types of functional liquid droplet ejection heads in synchronization with the moving mechanism;
After the first functional liquid discharge head discharges the first functional liquid onto the drawing area, the second functional liquid is discharged by the second functional liquid droplet discharge head. A droplet discharge apparatus characterized by the above.

前記制御手段は、複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出パターンデータを生成するパーソナルコンピュータに接続されていることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。The droplet discharge apparatus according to claim 2 , wherein the control unit is connected to a personal computer that generates discharge pattern data of a plurality of types of functional droplet discharge heads.

前記キャリッジに対し前記各機能液滴吐出ヘッドは、その最外端に位置する基準吐出ノズルを副走査方向における同位置に揃えて搭載されていることを特徴とする請求項２または３に記載の液滴吐出装置。4. The functional droplet ejection head according to claim 2 or 3 , wherein each functional droplet ejection head is mounted on the carriage with reference ejection nozzles positioned at the outermost ends thereof aligned at the same position in the sub-scanning direction. Droplet discharge device.