JP2010147468A - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射ビームを調整する照明システムと、放射ビームの断面にパターンを与えてパターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するサポートと、基板を保持する基板ホルダを備える基板テーブルと、パターン付き放射ビームを基板のターゲット部分に投影する投影システムとを備え、基板テーブルは、基板テーブルと基板ホルダの間の位置及び方向の滑動及びヒステリシスを減少させる、又はなくす。
【選択図】図2
Description
Claims (18)
- 放射ビームを調整する照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを与えてパターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するサポートと、
基板を保持する基板ホルダを備える基板テーブルと、
前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影する投影システムとを備え、
前記基板テーブルが、前記基板ホルダを支持するベアリングを備え、該ベアリングが、前記基板ホルダを前記基板テーブルに対して浮かす、リソグラフィ装置。 - 前記基板ホルダが、複数の位置で前記基板テーブルに固定される、請求項1に記載の装置。
- 前記基板ホルダが、前記基板ホルダの側部にて前記基板テーブルに固定される、請求項2に記載の装置。
- 前記基板ホルダが、前記基板テーブルに対する前記基板ホルダの位置及び方向を測定する1つ又は複数のセンサを含み、前記基板ホルダが、板ばねにより前記基板テーブルに固定される、請求項1に記載の装置。
- 前記センサが容量センサ又は光学エンコーダである、請求項4に記載の装置。
- 前記基板ホルダが、一連の折り曲げた板ばねなどの撓み部により前記基板テーブルに固定される、請求項1に記載の装置。
- 前記ベアリングがガスベアリングである、請求項1に記載の装置。
- 前記ベアリングが撓みベアリングを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記ベアリングがアクティブベアリングを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記アクティブベアリングが1つ又は複数の可変リラクタンス型アクチュエータを備える、請求項9に記載の装置。
- 前記アクティブベアリングが1つ又は複数のローレンツアクチュエータを備える、請求項9に記載の装置。
- ロングストロークムーバに力を加えるロングストロークモジュールと、前記ロングストロークムーバ及び前記基板テーブルの間に力を加えるショートストロークモジュールとを備える基板テーブルドライブをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記ロングストロークモジュールが、前記ロングストロークムーバと前記リソグラフィ装置の残りの部分との間に力を加える、請求項12に記載の装置。
- 前記ロングストロークモジュールが、前記ロングストロークムーバと前記リソグラフィ装置内で動作可能なバランスマスとの間に力を加える、請求項12に記載の装置。
- 装置内で動作可能なオブジェクトテーブルと、
前記オブジェクトテーブル上に提供され、オブジェクトを保持するオブジェクトホルダと、
ロングストロークムーバに力を加えるロングストロークモジュールと、前記ロングストロークムーバ及び前記オブジェクトテーブルの間に力を加えるショートストロークモジュールとを備えるテーブルドライブを備えるオブジェクトホルダ位置決めシステムとを備え、
前記オブジェクトテーブルが、前記オブジェクトホルダを支持するベアリングを備え、該ベアリングが、前記オブジェクトホルダを前記オブジェクトテーブルに対して摩擦のない状態で浮かす、装置。 - オブジェクトテーブルに提供されたオブジェクトホルダによりオブジェクトを保持すること、
オブジェクトテーブルドライブに提供されたショートストロークモジュールにより、ロングストロークムーバ及び前記オブジェクトテーブルの間に力を加えること、
前記オブジェクトテーブルドライブに提供されたロングストロークモジュールにより、前記ロングストロークムーバ及びマシンベースフレーム又はバランスマスの間に力を加えること、
ベアリングにより、前記オブジェクトテーブルに対する前記オブジェクトホルダの浮き状態を維持すること
を含む、デバイス製造方法。 - 放射ビームを調整する照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを与えてパターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するサポートと、
基板を保持する基板ホルダを備える基板テーブルと、
前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影する投影システムとを備え、
前記基板テーブルが、前記基板ホルダを支持する非接触ベアリングを備え、該非接触ベアリングが、前記基板ホルダを前記基板テーブルに対して相対運動させる、リソグラフィ装置。 - 前記非接触ベアリングが、前記基板ホルダの下面により画定された面に対して実質的に直角の方向に沿った、前記基板テーブルに対する前記基板ホルダの相対運動を可能にする、請求項17に記載の装置。
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