JP2010129844A - パターン自動検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査部のテープ部分に所定の張力を付与することができ、またかかるテープ部分への振動の伝達を確実に阻止し、撮像性能を向上させる。
【解決手段】透過光式検査部Ｄにテープ１の厚さ方向に湾曲させる第１の張力付与装置４３と、テープの長手方向に張力を付与する第２の張力付与装置４４を配設する。第１の張力付与装置４３は、テープ１の下面を支持する一対の支持ローラ４６、４７と、テープ１を支持ローラ４６、４７に押し付ける一対の押圧ローラ４８、４９とで構成されている。第２の張力付与装置４４は、テープ１の側縁部をそれぞれ保持する一対のクランプ装置６０、６１と、クランプ装置６０、６１をテープ１の長手方向に移動させてテープ１に張力を付与するシリンダ６４を備えている。さらに、一対の吸着手段６６によってテープ１の下面を吸着保持する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、電子部品の製造工程等で使用されるパターン自動検査装置に関し、特にフィルムキャリアテープに形成されている回路パターンを撮像カメラによって順次撮像し、回路パターンの欠陥を自動的に検査するパターン自動外観検査装置等に用いて好適なパターン自動検査装置に関するものである。

電子部品実装用のフィルムキャリアテープ（以下、テープと称する：Tape Automated Bonding）に形成されている回路パターンを撮像装置によって撮像し基準パターンと比較することにより、パターンの欠陥（例えば、太り、断線、短絡、細り等）を自動的に検査する検査装置としては、例えば特許文献１に開示されたパターン自動検査装置が知られている。

前記特許文献１に記載されているパターン自動検査装置は、本出願人によって出願されたもので、エアダンサーにダンサーローラを組込み、このローラの質量によってテープに所定の張力を付与することにより、薄くて幅が広いテープであってもテープに緩みが生じず、安定かつ確実に走行させることができるようにしている。

特開２００８−１７４３６３号公報

上記した従来のパターン自動検査装置によれば、サンダーローラによってテープに所定の張力を付与しているので、テープの緩みや揺れを抑えることができ、テープを搬送する上できわめて有効な技術といえる。
しかしながら、例えば、装置の巻出しランナー部、バッファー部、巻取りランナー部などでの動作による振動、設置場所の空調装置による風、その他の要因による振動等が検査部のテープに伝わると、微細な検査対象の撮像に悪影響を及ぼすという問題があった。すなわち、検査部のテープ部分に細かな振動が伝わると、テープが弛んだり反ったりして撮像装置の焦点深度から外れ、このため取込み画像が所謂ぶれた状態となって鮮明な画像が得られず、高精細なパターンの検査ができなくなる。

本発明は上記した従来の問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、検査部のテープ部分に所定の張力を付与することができ、またかかるテープ部分への振動の伝達を確実に阻止し、撮像性能を向上させるようにしたパターン自動検査装置を提供することにある。

上記目的を達成するために本発明は、透過光式検査部の撮像位置に配設されテープに形成されているパターンを撮像する透過光式撮像装置と、前記撮像位置に配設され前記テープを厚さ方向に湾曲させる第１の張力付与装置と、この第１の張力付与装置の搬送方向の前後にそれぞれ配設され前記テープに長手方向の張力を付与する一対からなる第２の張力付与装置と、上流側の第２の張力付与装置の上流側と、下流側の第２の張力付与装置の下流側にそれぞれ配設され前記テープのパターン側とは反対側の面を吸着保持する一対からなる吸着手段とを備えたものである。

また、本発明は、上記発明において、前記第１の張力付与装置が、テープ搬送方向に所定の間隔をおいて平行に配設されテープのパターン側とは反対側の面を支持する回転自在な一対の支持ローラと、この支持ローラの搬送方向の前後にそれぞれ上下動自在かつ回転自在に配設されて前記テープを押圧し前記支持ローラに押し付ける一対の押圧ローラとを備えているものである。

また、本発明は、上記発明において、前記第２の張力付与装置が、前記テープの幅方向両端部をそれぞれ保持するクランプ装置と、このクランプ装置を開閉させる第１の駆動源と、前記クランプ装置を前記撮像位置から離間する方向に移動させてテープに長手方向の張力を付与する第２の駆動源を備えているものである。

また、本発明は、上記発明において、前記透過光式撮像装置と前記第１の張力付与装置とは、一体的に結合されており、パターンの撮像時にテープの長手方向に移動されるものである。

また、本発明は、上記発明において、前記吸着手段が、ケースの開口部を覆う連続気泡の多孔質板からなる吸着板を備え、前記ケースの内部を排気装置によって排気し、テープを前記吸着板に吸着させるものである。

本発明において、テープは第１、第２の張力付与装置の働きにより長手方向および幅方向の張力を付与されることにより被撮像部分が平坦な面を形成する。したがって、被撮像部分は皺や反りや凹凸が発生したりすることがなく、また撮像装置の焦点深度内に位置し、鮮明な画像を得ることができる。

吸着手段は、テープを吸着保持することにより、検査部以外での動作による振動、設置場所の空調装置による風、その他の要因による振動等がテープの被撮像部分に伝わるのを阻止する。したがって、撮像への影響が少なく、撮像性能を一層向上させることができる。また、連続気泡の多孔質板からなる吸着板は、テープを均一に吸着し、テープを損傷することが少ない。

以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明に係るパターン自動検査装置の一実施の形態を示す概略構成図、図２は第２の検査部の詳細な構成図、図３は第１の張力付与装置の斜視図、図４は第２の張力付与装置の斜視図である。本実施の形態は、テープ１に形成されている回路パターン２を電子部品が実装される以前に自動的に検査し、不良品（ＮＧ）の回路パターンに対してはＮＧのマーキングを施するようにしたパターン自動検査装置１０に適用した例を示す。

図３および図４において、前記テープ１は、ポリイミド製の半透明なフィルムからなり、表面にはパターン形成部３が幅方向に二列（一般的には１〜４列）に並べて形成されている。これらのパターン形成部３に検査対象である同一形状からなる多数の微細な回路パターン２が所定のピッチでテープ１の長さ方向に形成されている。一般に回路パターン２は、テープ１のパターン形成部３の銅箔をエッチング処理することにより形成したものである。また、回路パターン２の厚さは８〜３０μｍ、幅はボンディングするインナーリード線部で８〜５０μｍ程度である。そして、テープ１の両側縁部および中央部にはパーフォレーション部５を形成しており、これらのパーフォレーション部５には多数のパーフォレーション６がテープ１の全長にわたって一定のピッチで形成されている。テープ１の幅は３５〜３００ｍｍ程度、厚さは２０〜７５μｍ程度である。回路パターン２の検査項目は、太り、断線、短絡、細り、ピッチずれ、突起、欠け、リード曲がり、ピンホール、導線間比率、最小パターン幅、最小ギャップ幅等である。

図１において、前記パターン自動検査装置１０は、筐体１２を有し、その内部がテープ１の搬送通路１１に沿って７つのセクション、すなわち図１において左から右に向かって巻出しランナー部Ａ、第１の検査部（反射光式検査部）Ｂ、第１のバッファー部Ｃ、第２の検査部（透過光式検査部）Ｄ、第２のバッファー部Ｅ、マーキング部Ｆおよび巻取りランナー部Ｇに分かれている。なお、図１においては、図示を省略したが、筐体１２の各セクションＡ〜Ｇは独立した筐体になっている。これは、セクションＡ、Ｃ、Ｅ〜Ｇでの動作による振動を第１、第２の検査部Ｂ、Ｄに極力伝えないようにするためである。

前記巻出しランナー部Ａ、第１、第２のバッファー部Ｃ、Ｅおよび巻取りランナー部Ｇは、筐体１２の内部下方に設けられ、第１、第２の検査部Ｂ、Ｄおよびマーキング部Ｆは、筐体１２の内部上方に設けられている。また、筐体１２の内部には、装置全体をコンピュータ制御する図示を省略した制御部が組み込まれている。

前記巻出しランナー部Ａには、テープ１を第１の検査部Ｂに供給する巻出し装置１３が設けられている。巻出し装置１３は、前記テープ１がその表面を外側にして巻回された巻出しリール１４と、この巻出しリール１４を間欠的に駆動しテープ１を巻出す駆動用モータ１５と、テープ１を押圧することで張力を付与する回転自在なテンションローラ１６等で構成されている。

前記第１の検査部Ｂは、テープ１に形成されている回路パターン２を光学的に検査するセクションであって、回路パターン２を照射する光源２０と、この光源２０から出射し回路パターン２に当たって反射した反射光を撮像する反射光式のパターン撮像装置２１と、このパターン撮像装置２１によって撮像された回路パターン２の良否を判定する判定部（図示せず）等を備えている。パターン撮像装置２１による回路パターン２の撮像は、巻出しランナー部Ａから第１のバッファー部Ｃまでのテープ１を一時停止させた状態で行われる。判定部は、パターン撮像装置２１によって撮像された回路パターン２の画像を予め記憶している良品パターンと比較することにより、欠陥箇所を割り出しその良否を判する。そして、その結果は、制御部に送られ記憶部に一時記憶される。

さらに、前記第１の検査部Ｂには、同検査部Ｂの下流側に位置してテープ１の幅方向の移動を防止する回転自在なスプロケットローラ２２と、検査部Ｂの上流側に位置しテープ１の搬送時に駆動モータによって駆動されるスプロケットローラ２３と、撮像時にテープ１の被撮像部分Ｓ１を下側から吸着保持する吸着板２４が配設されている。

前記第１のバッファー部Ｃには、テープ１に所定の張力を付与する張力付与機構３０が配設されている。前記張力付与機構３０は、上方が開放するボックス３１と、このボックス３１の開口部付近に回転自在に配設された一対のテープ案内ローラ３２、３３と、前記ボックス３１内に配設されたダンサーローラ３４等で構成されている。

前記ダンサーローラ３４は、それ自身の質量によってテープ案内ローラ３２、３３間のテープ部分１ＡをＵ字状に屈曲させてボックス３１内に垂下させることにより、前記テープ部分１Ａに一定の張力を付与している。すなわち、ダンサーローラ３４は、テープ案内ローラ３２、３３間のテープ部分１Ａの下端部が下面側に略半周にわたって添接されることにより、このテープ部分１Ａによって支持され、ローラ自体の質量によってテープ１自体に弛みがなくなるまで下降してテープ部分１Ａに一定の張力を付与するものである。これによりダンサーローラ３４は、質量がテープ部分１Ａの張力とバランスする高さに保持される。なお、テープ部分１Ａの張力は、ダンサーローラ３４の質量を変えることで容易に調整することができる。

前記第２の検査部Ｄは、前記第１の検査部Ｂとともにテープ１に形成されている回路パターン２を光学的に検査するセクションであって、搬送通路１１を挟んで撮像位置Ｈの下方および上方に互いに対向して配設された光源４１および透過光式のパターン撮像装置４２と、このパターン撮像装置４２によって撮像された回路パターン２の良否を判定する判定部（図示せず）と、図２に示す第１、第２の張力付与装置４３、４４が配設されている。光源４１は、撮像時にテープ１の回路パターン２を下方から照射する。パターン撮像装置４２は、テープ１の幅方向に並設されたラインセンサを備え、撮像時に駆動モータにより光源４１および第１の張力付与装置４３と一体にテープ１の長手方向に移動し、ラインセンサが光源４１から出射しテープ１を透過した透過光を受光することにより回路パターン２を撮像するように構成されている。

図２および図３において、前記第１の張力付与装置４３は、テープ１を厚さ方向に湾曲させることにより長手方向の張力を付与するもので、前記撮像位置Ｈにテープ１の搬送方向に所定の間隔をおいて平行に配設されテープ１の回路パターン２が形成されている面（上面）とは反対側の面（下面）を幅方向全長にわたって支持する一対の支持ローラ４６、４７と、これらの支持ローラ４６、４７の搬送方向の前後にそれぞれずれて配設され前記テープ１の被撮像部分Ｓ２の近傍部Ｓ２’を自重によって上方から押圧し支持ローラ４６、４７に押し付けて下方に湾曲させる一対の押圧ローラ４８、４９とで構成されている。

支持ローラ４６、４７は、全長にわたって同一外径の棒状体に形成され、端部が搬送通路１１を挟んで対向する左右一対の支持板５０Ａ、５０Ｂに形成した軸孔によって回転自在に軸支されている。支持ローラ４６、４７のテープ１が接触する上側周面は、テープ１の送り基準ラインＪ（図２）よりも上方に位置している。この上側周面の高さは、パターン撮像装置４２の焦点深度と一致している。また、支持ローラ４６、４７の外周面には、反射光による影響を少なくするために艶消し黒色塗料が塗布されている。

前記各押圧ローラ４８、４９は、軸５０、５１と、これらの軸５０、５１の各端部寄りおよび中央部にそれぞれ設けられた３つのローラ５２ａ〜５２ｃ、５３ａ〜５３ｃとからなり、各軸５０、５１の端部が前記支持板５０Ａ、５０Ｂに形成したＵ字状の軸受け溝５４ａ、５４ｂ、５５ａ、５５ｂによってそれぞれ回転自在かつ上下動自在に軸支されている。３つのローラ５２ａ〜５２ｃ、５３ａ〜５３ｃは、テープ１の各パーフォレーション部５に対応するように軸５０、５１にそれぞれ固定されている。

テープ１の押圧ローラ４８、４９によって押圧されている部分、すなわち被撮像部分Ｓ２の近傍部Ｓ２’は、図２および図３に示すように押し下げられて下方に湾曲し、被撮像部部Ｓ２の両端部が幅方向全長にわたって支持ローラ４６、４７の上側周面上側に押し付けられる。このように押圧ローラ４８、４９によってテープ１の被撮像部分Ｓ２の近傍部Ｓ２’を押圧して下方に湾曲させることにより、被撮像部分Ｓ２に長手方向および幅方向の張力が加わるため、被撮像部分Ｓ２はテープ長手方向および幅方向の反り、凹凸が取り除かれて平坦化し、撮像高さ位置に保持される。

前記一対の支持板５０Ａ、５０Ｂは、不図示の連結部材によって前記光源４１およびパターン撮像装置４２に一体に連結されており、回路パターン２の撮像時に駆動モータによってこれらと一体にテープ１の搬送方向に移動され、ラインセンサが回路パターン２をスキャンして撮像するように構成されている。パターン撮像装置４２による回路パターン２の撮像は、上記した反射光式のパターン撮像装置２１と同様に巻出しランナー部Ａから第２のバッファー部Ｅまでのテープ部分を停止させた状態で行われ、その画像が判定部に送られる。判定部は、パターン撮像装置４２によって撮像された回路パターン２の画像と予め記憶している良品パターンと比較することにより、欠陥箇所を割り出しその良否を判定する。そして、その結果は、制御部に送られ記憶部に一時記憶される。

前記第２の張力付与装置４４は、一対からなり図２に示すように前記第１の張力付与装置４３の上流側と下流側に等距離離間して対称的に配設されることにより、テープ１にその長手方向の張力を付与するもので、テープ１の幅方向両端部をそれぞれ保持する一対のクランプ装置６０、６１（図４）と、各クランプ装置６０、６１をそれぞれ開閉させる第１のシリンダ（駆動源）６２、６３と、前記クランプ装置６０、６１を撮像位置Ｈ（図２）からテープ長手方向に離間する方向に移動させてテープ１に長手方向の張力を付与する第２のシリンダ６４、６５とを備えている。各クランプ装置６０、６１は、上下に対向する一対のクランプ片６０ａと６０ｂ、６１ａと６１ｂをそれぞれ備え、上側のクランプ片６０ａ、６１ａが第１のシリンダ６２、６３によってそれぞれ上下動されるように構成されている。また、クランプ装置６０、６１は、テープ１の長手方向に移動自在な取付板７０の上面両端部にそれぞれ配設されている。取付板７０は、テープ１への張力付与時に、第２のシリンダ６４、６５によってテープ１に張力を付与する方向に移動される。

また、前記第２の検査部Ｄには、テープ１を吸着保持する一対の吸着手段６６が配設されている。この吸着手段６６は、上流側の第２の張力付与装置４４の上流側と、下流側の第２の張力付与装置４４の下流側にそれぞれ配設されるもので、テープ１の下面を吸着する吸着板７２と、この吸着板７２が取付けられたケース７３と、このケース７３を上下動させる第３のシリンダ（駆動源）７４と、ケース７３の内部を排気する排気ポンプ７５等で構成されている。

前記吸着板７２は、連続気泡の多孔質板によって形成され、ケース７３の上面開口部を覆うように設けられている。ケース７３は、通常テープ１の送り基準ラインＪ（図２）より下方に待機しており、回路パターン２の撮像時にテープ１が停止すると第３のシリンダ７４の駆動によって前記送り基準ラインＪの高さ位置まで上昇し、吸着板７２をテープ１の下面に接触させるように構成されている。なお、ケース７３は、排気管７６を介して排気ポンプ７５に接続されている。

図１において、さらに前記第２の検査部Ｄの搬送方向の前後には、同検査部Ｄにおけるテープ１の幅方向の移動を防止する回転自在なスプロケットローラ７６と、テープ１の搬送時に駆動モータによって駆動されるスプロケットローラ７７（図２）が配設されている。

図１において、前記第２のバッファー部Ｅには、テープ１に所定の張力を付与する張力付与機構８０が配設されている。この張力付与機構８０は、前記第１のバッファー部Ｃの張力付与機構３０と同一構造であるためその説明を省略する。

前記マーキング部Ｆは、制御部から送られてくるＮＧ信号によってＮＧと判定された回路パターン２に対してパンチングによりＮＧのマーキングを施すセクションであり、マーキング装置９０が設置されている。マーキング装置９０によるＮＧ回路パターン２へのマーキングは、第２のバッファー部Ｅから巻取りランナー部Ｇまでのテープ１を停止させた状態で行われる。また、第１、第２の検査部Ｂ、Ｄにおける回路パターン２の撮像とマーキング部Ｆにおけるマーキングは、同期しておらず個々独立に行われる。

前記マーキング部Ｆの上流側と下流側には、マーキング部Ｆにおけるテープ１の幅方向の移動を防止するための回転自在なスプロケットローラ９１と、テープ１の搬送時に駆動モータによって駆動されるスプロケットローラ９２が配設されている。

前記巻取りランナー部Ｇには、回路パターン２の検査が終了したテープ１を巻取る巻取り装置９５が配設されている。巻取り装置９５は、テープ１を巻取る巻取りリール９６と、この巻取りリール９６を間欠的に駆動してテープ１を巻取りリール９６に巻取らせる駆動用モータ９７と、テープ１に張力を付与する回転自在なテンションローラ９８等で構成されている。

次に、上記構造からなるパターン自動検査装置１０の動作等を説明する。
先ず、制御部に検査対象であるテープ１の品種データを登録する。登録する品種データは、テープ１の幅、回路パターン２のピッチＰ、テープ幅方向のパターン数等である。また、第１、第２の検査部Ｂ、Ｄの撮像動作をテープ１の回路パターン２に応じて設定する。

次に、被検査対象であるテープ１が巻回された巻出しリール１４を巻出しランナー部Ａにセットし、テープ１の先端部を引き出して第１の検査部Ｂ、第１のバッファー部Ｃ、第２の検査部Ｄ、第２のバッファー部Ｅ、マーキング部Ｆおよび巻取りランナー部Ｇに導き、始端を巻取りリール９６に固定する。テープ１の巻取りリール９６に固定された始端から巻出しリール１４までの巻出し部分は、回路パターン２が形成されていない余長部分である。

パターン自動検査装置１０による検査のための準備が全て完了すると、スタートボタンをＯＮにする。スタートボタンをＯＮにすると、駆動モータ１５（図１）が駆動して回路パターン２が形成されているテープ部分を巻出しリール１４から間欠的に繰り出して第１の検査部Ｂに導く。回路パターン２が形成されているテープ部分が第１の検査部Ｂに導かれると、スプロケットローラ２３の駆動が停止してこのローラ２３から巻出しリール１４までのテープ部分を停止させ、パターン撮像装置２１によりテープ１の被撮像部分Ｓ１の回路パターン２の撮像が行われる。このとき、テープ１のパターン撮像装置２１によって撮像される被撮像部分Ｓ１は、吸着板２４によって下面が吸着保持されていることにより平坦面を形成しており、反り、凹凸、皺等が取り除かれる。このため、テープ１の被撮像部分Ｓ１の回路パターン２は、パターン撮像装置２１の焦点深度内に位置し、パターン撮像装置２１によって的確に撮像される。パターン撮像装置２１が回路パターン２を撮像すると、その画像信号は判定部に送られる。判定部では、回路パターン２が良品であるか否かを判断し、その結果が制御部に送られて記憶部に一時記憶される。なお、吸着板２４は、第２の張力付与装置４４の吸着板７２と同様に連続気泡の多孔質板からなり、撮像時に図示を省略した排気ポンプによって排気されることによりテープ１の被撮像部分Ｓ１を下方から吸着保持し、撮像が終了すると下方に退避するように構成されている。パターン撮像装置２１により回路パターン２の撮像が終了すると、再びスプロケットローラ２３を駆動させてテープ１を搬送する。

回路パターン２の撮像が終了し第１の検査部Ｂを通過したテープ１は、第１のバッファー部Ｃを経て第２の検査部Ｄに導かれ、被撮像部分Ｓ２が撮像位置Ｈに到達すると再び停止する。テープ１が停止すると、第１、第２の張力付与装置４３、４４によってテープ１にその長手方向の張力を付与する。すなわち、押圧ローラ４８，４９によってテープ１の被撮像部分Ｓ２を支持ローラ４６、４７に押し付けることにより、被撮像部分Ｓ２に長手方向の張力を付与する。また、テープの幅方向全長が支持ローラ４６，４７に押し付けられることにより幅方向の張力が付与される。さらに、一対のクランプ装置６０、６１を第１のシリンダ６２、６３によってそれぞれ駆動してテープ１の各端部を挾持させ、次いで、第２のシリンダ６４、６５を駆動して取付板７０を吸着板７２方向に移動させる。これにより、テープ１の第２の検査部Ｄに停止しているテープ部分に長手方向の張力を付与する。この結果、撮像位置Ｈに位置し一対の支持ローラ４６、４７によって支持されている被撮像部分Ｓ２が平坦面を形成し、長手方向および幅方向の部分的な反り、凹凸等が取り除かれ、パターン撮像装置４２の焦点深度内に保持される。

さらに、吸着手段６６が駆動してテープ１のテープ部分Ｓ３を吸着保持する。すなわち、この吸着保持は、第３のシリンダ７４の駆動によってケース７３を所定の高さまで上昇させて吸着板７２をテープ１の下面に接触させ、この状態で排気ポンプ７５を駆動してケース７３の内部を真空排気すると、吸着板７２がテープ１を吸引して保持する。前記テープ部分Ｓ３は、被撮像部分Ｓ２より上流側においては、上流側のクランプ装置６０、６１とスプロケットローラ７７の間のテープ部分であり、被撮像部分Ｓ２より下流側においては、下流側のクランプ装置６０、６１とスプロケットローラ７６との間のテープ部分である。

このようにテープ部分Ｓ３を吸着保持すると、テープ巻出し部Ａ、第１のバッファー部Ｂ、第２のバッファー部Ｅ、マーキング部Ｆ、巻取り部Ｇなどにおいて発生する微小な振動、その他の振動等が前記テープ部分Ｓ３を通って撮像位置Ｈの被撮像部分Ｓ２に伝達されるのを阻止することができる。このため、被撮像部分Ｓ２が動いたり、弛んだりするおそれがなく、パターン撮像装置４２によって回路パターン２を的確に撮像することができ、高精細なパターンの検査を行なうことができる。

パターン撮像装置４２による回路パターン２の撮像が終了すると、クランプ装置６０、６１によるテープ１のクランプ状態を解除するとともに、吸着手段６６による吸着状態を解除してテープ１を解放し、ケース７３を下方に退避させる。そして、テープ１を再び走行させてマーキング部Ｆに搬送する。テープ１の走行時にケース７３を下方に退避させておくと、吸着板７２がテープ１に接触せず、テープ１の損傷を低減することができる。

マーキング部Ｆは、判定部によって不良品と判定された回路パターン２に対してマーキング装置９０によってマーキングする。そして、マーキング部Ｆを通過したテープ１は、巻取りランナー部Ｇに導かれ、巻取りリール９６に巻取られる。パターン自動検査装置１０による回路パターン２の検査が終了すると、巻取りリール９６に巻取られたテープ１は、巻取りリール９６とともに巻取りランナー部Ｇから取り外され、次工程に搬送される。

なお、上記した実施の形態においては、フィルムキャリアテープ１の回路パターン２を検査するパターン自動検査装置１０に適用した例を示したが、本発明はこれに何ら特定されるものではなく、ＬＣＤ、ＡＳＩＣ、μＢＧＡ、ＣＳＰ等の被検査物のパターン検査にも用いることができる。

また、上記した実施の形態においては、反射光式の第１の検査部Ｂと、透過光式の第２の検査部Ｄとを設けた例を示したが、本発明はこれに限らず透過光式の検査部Ｄのみを備えたものであってもよい。

本発明に係るパターン自動検査装置の一実施の形態を示す概略構成図である。 第２の検査部の詳細な構成図である。 第１の張力付与装置の斜視図である。 第２の張力付与装置の斜視図である。

符号の説明

１…テープ、２…回路パターン、１０…パターン自動検査装置、１１…搬送通路、４１…光源、４２…パターン撮像装置、４３…第１の張力付与装置、４４…第２の張力付与装置、４６、４７…支持ローラ、４８、４９…押圧ローラ、６０、６１…クランプ装置、６２、６３…第１の駆動源、６４、６５…第２の駆動源、６６…吸着手段、７２…吸着板、７３…ケース、７４…第３の駆動源、７５…排気ポンプ、Ｄ…透過光式検査部、Ｈ…撮像位置、Ｓ１、Ｓ２…被撮像部分。

Claims (5)

1. 透過光式検査部の撮像位置に配設されテープに形成されているパターンを撮像する透過光式撮像装置と、前記撮像位置に配設され前記テープを厚さ方向に湾曲させる第１の張力付与装置と、この第１の張力付与装置の搬送方向の前後にそれぞれ配設され前記テープに長手方向の張力を付与する一対からなる第２の張力付与装置と、上流側の第２の張力付与装置の上流側と、下流側の第２の張力付与装置の下流側にそれぞれ配設され前記テープのパターン側とは反対側の面を吸着保持する一対からなる吸着手段とを備えたパターン自動検査装置。
2. 請求項１記載のパターン自動検査装置において、
   前記第１の張力付与装置は、テープ搬送方向に所定の間隔をおいて平行に配設されテープのパターン側とは反対側の面を支持する回転自在な一対の支持ローラと、この支持ローラの搬送方向の前後にそれぞれ上下動自在かつ回転自在に配設されて前記テープを押圧し前記支持ローラに押し付ける一対の押圧ローラとを備えているパターン自動検査装置。
3. 請求項１または２記載のパターン自動検査装置において、
   前記第２の張力付与装置は、前記テープの幅方向両端部をそれぞれ保持するクランプ装置と、このクランプ装置を開閉させる第１の駆動源と、前記クランプ装置を前記撮像位置から離間する方向に移動させてテープに長手方向の張力を付与する第２の駆動源とを備えているパターン自動検査装置。
4. 請求項１、２、３のうちのいずれか一項記載のパターン自動検査装置において、
   前記透過光式撮像装置と前記第１の張力付与装置とは、一体的に結合されており、パターンの撮像時にテープの長手方向に移動されるパターン自動検査装置。
5. 請求項１、２、３、４のうちのいずれか一項記載のパターン自動検査装置において、
   前記吸着手段は、ケースの開口部を覆う連続気泡の多孔質板からなる吸着板を備え、前記ケースの内部を排気装置によって排気し、テープを前記吸着板に吸着させるパターン自動検査装置。

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