JP2010102084A - 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャック10の位置を検出し、チャック10の位置の検出結果に基づき、ステージ5,7の移動を制御して、チャック10を位置決めし、チャック10に設けられた受光手段51により、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームを受光する。受光した光ビームから、各光ビーム照射装置20のヘッド部20aの位置ずれを検出する。各光ビーム照射装置20のヘッド部20aの位置ずれの検出結果に基づき、各光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、各光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ供給する。
【選択図】図1
Description
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
10 チャック
11 ゲート
20 光ビーム照射装置
20a ヘッド部
21 レーザー光源ユニット
22 光ファイバー
23 レンズ
24 ミラー
25 DMD(Digital Micromirror Device)
26 投影レンズ
27 DMD駆動回路
31,33 リニアスケール
32,34 エンコーダ
40 レーザー測長系制御装置
41 レーザー光源
42,44 レーザー干渉計
43,45 バーミラー
50 ヘッド位置ずれ検出回路
51 CCDカメラ
60 ステージ駆動回路
70 主制御装置
71 描画制御部
72 メモリ
73 バンド幅設定部
74 中心点座標決定部
75 座標決定部
Claims (8)
- フォトレジストが塗布された基板を保持するチャックと、
前記チャックを移動するステージと、
光ビームを変調する空間的光変調器、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系を含むヘッド部を有する複数の光ビーム照射装置とを備え、
前記ステージにより前記チャックを移動し、前記複数の光ビーム照射装置からの複数の光ビームにより基板を走査して、基板にパターンを描画する露光装置であって、
前記チャックの位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段の検出結果に基づき、前記ステージの移動を制御して、前記チャックを位置決めする制御手段と、
前記チャックに設けられ、前記光ビーム照射装置のヘッド部から照射された光ビームを受光する受光手段と、
前記受光手段により受光した光ビームから、各光ビーム照射装置のヘッド部の位置ずれを検出するヘッド位置ずれ検出手段と、
前記ヘッド位置ずれ検出手段の検出結果に基づき、各光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、各光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する手段とを備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記位置検出手段は、レーザー光を発生する光源と、前記チャックに取り付けられた反射手段と、光源からのレーザー光と反射手段により反射されたレーザー光との干渉を測定する干渉計とを含むレーザー測長系を有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記受光手段を複数備え、
各受光手段は、前記チャックに、各光ビーム照射装置のヘッド部の間隔と同じ間隔で設けられたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。 - フォトレジストが塗布された基板をチャックで保持し、
チャックをステージにより移動し、
光ビームを変調する空間的光変調器、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系を含むヘッド部を有する複数の光ビーム照射装置からの複数の光ビームにより基板を走査して、基板にパターンを描画する露光方法であって、
チャックの位置を検出し、
チャックの位置の検出結果に基づき、ステージの移動を制御して、チャックを位置決めし、
チャックに設けられた受光手段により、光ビーム照射装置のヘッド部から照射された光ビームを受光し、
受光した光ビームから、各光ビーム照射装置のヘッド部の位置ずれを検出し、
各光ビーム照射装置のヘッド部の位置ずれの検出結果に基づき、各光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データの座標を補正し、
補正した座標の描画データを、各光ビーム照射装置の駆動回路へ供給することを特徴とする露光方法。 - レーザー光を発生する光源と、チャックに取り付けられた反射手段と、光源からのレーザー光と反射手段により反射されたレーザー光との干渉を測定する干渉計とを含むレーザー測長系を用いて、チャックの位置を検出することを特徴とする請求項4に記載の露光方法。
- チャックに各光ビーム照射装置のヘッド部の間隔と同じ間隔で設けられた複数の受光手段により、光ビーム照射装置のヘッド部から照射された光ビームを受光することを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の露光方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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---|---|---|---|---|
JP2011237683A (ja) * | 2010-05-12 | 2011-11-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006173470A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 自動補正方法および自動補正装置 |
JP2007003830A (ja) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Fujifilm Holdings Corp | フレームデータ作成装置及び方法並びにプログラム、描画装置 |
JP2008233638A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 描画装置および描画方法 |
Family Cites Families (3)
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---|---|---|---|---|
TWI396225B (zh) * | 2004-07-23 | 2013-05-11 | 尼康股份有限公司 | 成像面測量方法、曝光方法、元件製造方法以及曝光裝置 |
JP2007010736A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Fujifilm Holdings Corp | 画像位置計測装置及び露光装置 |
US7847938B2 (en) * | 2007-10-01 | 2010-12-07 | Maskless Lithography, Inc. | Alignment system for optical lithography |
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006173470A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 自動補正方法および自動補正装置 |
JP2007003830A (ja) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Fujifilm Holdings Corp | フレームデータ作成装置及び方法並びにプログラム、描画装置 |
JP2008233638A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 描画装置および描画方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011237683A (ja) * | 2010-05-12 | 2011-11-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
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