JP2010073892A - 半導体ウエハ処理装置及び処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接着シートSが貼付された半導体ウエハWをリングフレームRFの内側に配置し、マウントシートSを介して一体化させるマウント手段11と、リングフレームRFの外周縁から半導体ウエハWの外周縁Weまでの距離Lを検出する検出手段12と、接着シートSに剥離用テープPTを貼付して剥離する剥離手段13と、前記距離Lに基づいて剥離手段13を制御する制御手段15を備え、この制御手段15は、距離Lに基づいて剥離用テープPTの貼付位置を特定し、当該位置に剥離用テープPTを貼付した状態で接着シートSを剥離する制御を行う。
【選択図】図1
Description
前記接着シートの剥離を行うウエハ処理装置としては、例えば、特許文献1に記載されているように、接着シートに帯状の剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを巻き取ることで接着シートを剥離可能とした構成が知られている。
従って、図4(B)に示されるように、前記検出手段100によって検出された接着シートSの外周縁Seを含む領域に対し、剥離用テープPTを押圧ヘッド101で押圧して接着シートSに貼付すると、接着シートSのはみ出した外周縁部分がマウントシートMSに接着してしまい、剥離用テープPTの先端側を保持するチャック部材102とテーブルTとの相対移動によって剥離を行うときに、マウントシートMSが持ち上げられてしまい、これに起因してウエハWを破損させてしまう、という不都合を招来する。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを剥離する際に、ウエハ外周縁からはみ出した接着シートの外周縁部分がマウントシートに接着してしまうことがないように剥離用テープを接着シートに貼付でき、ウエハの損傷要因を回避しつつ接着シートを剥離することのできる半導体ウエハ処理装置及び処理方法を提供することにある。
前記制御手段は、前記距離に基づいて前記剥離用テープの貼付位置を特定して当該位置に剥離用テープを貼付するように剥離手段を制御する、という構成を採っている。
また、ウエハを支持する内側テーブルはアライメント手段に支持されているため、リングフレームに対して所定位置となるようにウエハの位置を調整することができる。従って、リングフレームの位置が所定位置に保たれる限り、剥離用テープの貼付位置を正確に捉えることができる。
更に、検出手段が前記アライメント手段の検出手段を兼用することで装置の小型化と制御の容易化が実現できる。
前記繰出部61は、フレームF2に設けられ剥離用テープPTを支持する支持ローラ66と、モータM2の出力軸に回転可能に接続された駆動ローラ67と、この駆動ローラ67との間に剥離用テープPTを挟み込むピンチローラ68とを備えて構成されている。
また、移載装置91は、反転装置90と同様に、吸着パッド96を備えた平面視略H型のアーム97と、当該アーム97を昇降可能に支持するシリンダ98と、このシリンダ98をY軸方向に沿って移動可能に支持するY軸ロボット99とにより構成されている。
初期位置にあるマウント用テーブル20の外側テーブル21に、図示しない搬送ロボットによってリングフレームRFが載置されると、X及びY方向移動ピン48、49がシリンダ51、52を介して、リングフレームRFの外周縁(本実施形態ではオリエンテーションフラット部)をX及びY方向位置決め板45、46に突き当てる。これにより、リングフレームRFは、所定位置にセットされて吸着保持される。その後、ウエハWが図示しない搬送ロボットによって内側テーブル22に載置される。
剥離用テーブル60にマウント済みウエハWが載置されると、リングフレームRFはマウント用テーブル20上で行われた位置規制と同様の位置規制が行われる。そして、図3に示されるように、剥離用テーブル60が剥離用テープ貼付ユニット59の下方に移動する。このとき、検出手段12によって検出された前記距離Lに基づいて、制御手段15が剥離用テーブル60を停止させる位置を特定する。つまり、図3中押圧ヘッド72の左端位置がリングフレームRFの左端位置から距離L離れた位置で剥離用テーブル60を停止させる。このとき、ウエハWの外周縁Weに形成された面取り部を考慮して、距離Lよりも少し離れた位置に押圧ヘッド72の左端が位置するように制御することが好ましい。この状態で、剥離用テープPTのリード端が保持チャック62によって保持されて所定長さ引き出された後、押圧手段64が下降して剥離用テープPTを接着シートSに溶融接着することとなる。この際、押圧ヘッド72の下端が接する位置は、ウエハWの外周縁Weからはみ出した接着シートS部分を押圧することなく、確実にウエハWの外周縁内に保たれる。従って、接着シートSとマウントシートSとが接着されてしまうような不都合は発生しない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 マウント手段
12 検出手段
13 剥離手段
15 制御手段
18 マウントシート貼付ユニット
20 マウント用テーブル
21 外側テーブル
22 内側テーブル
23 アライメント手段
S 接着シート
PT 剥離用テープ
W 半導体ウエハ
We 外周縁
RF リングフレーム
MS マウントシート
Claims (4)
- 表面に保護用の接着シートが貼付された半導体ウエハの裏面側を上向きにしてリングフレームの内側に配置し、これら半導体ウエハとリングフレームとの上面側にマウントシートを貼付して一体化させるマウント手段と、前記リングフレームの所定位置から半導体ウエハの所定外周縁位置までの距離を検出する検出手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付して接着シートを剥離する剥離手段と、前記検出手段が検出した距離に基づいて前記剥離手段を制御する制御手段とを含み、
前記制御手段は、前記距離に基づいて前記剥離用テープの貼付位置を特定して当該位置に剥離用テープを貼付するように剥離手段を制御することを特徴とする半導体ウエハ処理装置。 - 前記マウント手段は、マウントシート貼付ユニットと、前記リングフレームを支持する外側テーブル及び半導体ウエハを支持する内側テーブルを含むマウント用テーブルと、内側テーブルを支持するとともに前記リングフレームに対する半導体ウエハの位置決めを行うアライメント手段とを備えていることを特徴とする請求項1記載の半導体ウエハ処理装置。
- 前記検出手段が前記アライメント手段の検出手段を兼用することを特徴とする請求項1又は2記載の半導体ウエハ処理装置。
- 表面に保護用の接着シートが貼付された半導体ウエハの裏面側を上向きにしてリングフレームの内側に配置する工程と、
前記リングフレームの所定位置から半導体ウエハの所定外周縁位置までの距離を検出する工程と、
前記半導体ウエハとリングフレームとの上面側にマウントシートを貼付して一体化させる工程と、
前記距離に基づいて前記接着シートに対する剥離用テープの貼付位置を特定し、当該位置に剥離用テープを貼付して接着シートを剥離するする工程と、を有することを特徴とする半導体ウエハ処理方法。
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JP7441734B2 (ja) | 2020-06-05 | 2024-03-01 | リンテック株式会社 | 転写装置および転写方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH08148451A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-06-07 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェーハ自動剥し装置 |
JP2007043047A (ja) * | 2005-03-31 | 2007-02-15 | Nitto Denko Corp | 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 |
JP2008141064A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Lintec Corp | 検査装置及びシート貼付装置 |
JP2008153449A (ja) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
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2008
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