JP5113600B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の被着体に貼付された接着シートを正確に切断するとともに、切断された接着シートによって被着体上の接着シートが剥がされたりすることを防止することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記被着体が保持されるテーブルと、被着体の被着面外周からはみ出す大きさの接着シートを貼付する貼付手段と、被着面の大きさに合わせて前記接着シートを切断する切断手段とを備え、
前記テーブルは、被着体を保持する内側テーブルと、この内側テーブルの外側に設けられた外側テーブルとを含み、
前記外側テーブルは、その載置面に前記接着シートを密着保持可能な仮着許容手段を備え、この仮着許容手段での密着保持は、当該仮着許容手段の面方向に働く力に対しては抵抗を持ち、当該面方向以外に働く力に対しては、密着保持されていない状態と変わらない抵抗となる、という構成を採っている。
前記被着体を保持する工程と、
被着体の被着面外周からはみ出す大きさの接着シートを貼付する工程と
仮着許容手段の面方向に働く力に対しては抵抗を持ち、当該面方向以外に働く力に対しては、密着保持されていない状態と変わらない抵抗を有する前記仮着許容手段に前記被着体の被着面外周からはみ出した接着シートを密着保持させる工程と、
被着面の大きさに合わせて前記接着シートを切断する工程とを有する、という方法を採っている。
以後、同様の動作により、接着シートSの貼付、切断を行うことができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 テーブル
12 プレスローラ(貼付手段)
13 切断手段
16 外側テーブル
16A 載置面
17 内側テーブル
22 仮着許容手段
23 検出手段
25 加熱手段
27 リフト手段
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
W1 被着面
Claims (4)
- 常温で充分な接着力を有しない接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置にあって、
前記被着体が保持されるテーブルと、被着体の被着面外周からはみ出す大きさの接着シートを貼付する貼付手段と、被着面の大きさに合わせて前記接着シートを切断する切断手段とを備え、
前記テーブルは、被着体を保持する内側テーブルと、この内側テーブルの外側に設けられた外側テーブルとを含み、
前記外側テーブルは、その載置面に前記接着シートを密着保持可能な仮着許容手段を備え、この仮着許容手段での密着保持は、当該仮着許容手段の面方向に働く力に対しては抵抗を持ち、当該面方向以外に働く力に対しては、密着保持されていない状態と変わらない抵抗となることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記内側テーブルの載置面から突出可能に設けられたリフト手段を含み、このリフト手段は、内側テーブルの載置面から被着体を離遠及び接近移動可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記内側テーブルは、被着体を加熱可能な加熱手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。
- 常温で充分な接着力を有しない接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法にあって、
前記被着体を保持する工程と、
被着体の被着面外周からはみ出す大きさの接着シートを貼付する工程と
仮着許容手段の面方向に働く力に対しては抵抗を持ち、当該面方向以外に働く力に対しては、密着保持されていない状態と変わらない抵抗を有する前記仮着許容手段に前記被着体の被着面外周からはみ出した接着シートを密着保持させる工程と、
被着面の大きさに合わせて前記接着シートを切断する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
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