JP2010073840A - 固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】信号電荷の転送ゲートに縦型ゲート構造を採用した固体撮像素子において、信号電荷の転送能力の向上と耐圧性の向上を両立させる。
【解決手段】半導体基板1と、半導体基板1に形成されたフォトダイオード2と、フォトダイオード2上に位置して半導体基板1に形成されたトレンチ3と、少なくともトレンチ3の側壁面を覆う状態で形成されたゲート絶縁膜5と、トレンチ5を埋め込む状態で形成されたゲート電極6とを備える固体撮像素子の構成として、トレンチ3の側壁面を覆うゲート絶縁膜5の物理的な膜厚を、トレンチ3の上部よりも下部の方が厚いものとする。
【選択図】図1
【解決手段】半導体基板1と、半導体基板1に形成されたフォトダイオード2と、フォトダイオード2上に位置して半導体基板1に形成されたトレンチ3と、少なくともトレンチ3の側壁面を覆う状態で形成されたゲート絶縁膜5と、トレンチ5を埋め込む状態で形成されたゲート電極6とを備える固体撮像素子の構成として、トレンチ3の側壁面を覆うゲート絶縁膜5の物理的な膜厚を、トレンチ3の上部よりも下部の方が厚いものとする。
【選択図】図1
Description
本発明は、固体撮像素子及びその製造方法に関する。詳しくは、縦型ゲート構造を採用した固体撮像素子とその製造方法に関する。
CMOSイメージセンサやCCDイメージセンサなどの固体撮像素子では、感度を向上させるために、回路の高集積化によってフォトダイオードの面積を確保するさまざまな技術が提案されている。その一つとして、縦型ゲート構造を採用した固体撮像素子が知られている。
図14は縦型ゲート構造を採用した裏面照射型の固体撮像素子の構成を示す図である。裏面照射型の固体撮像素子に関しては、例えば、特許文献1に記載された技術が知られている。また、縦型ゲート構造を採用したトランジスタに関しては、例えば、特許文献2に記載された技術が知られている。図示した固体撮像素子においては、半導体基板51の内部にフォトダイオード52が形成されている。また、半導体基板51には、トレンチ53とフローティングディフュージョン部(以下、「FD部」)54が形成されている。トレンチ53は、フォトダイオード52の直上に形成されている。半導体基板51の表面は、トレンチ53の側壁面及び底面を含めて、ゲート絶縁膜55で覆われている。トレンチ53の内部は、電極材料からなるゲート電極56で埋め込まれている。ゲート電極56は、トレンチ53の深さ方向に沿う、縦型の転送ゲートを構成している。
ここで、従来の固体撮像素子の製造方法について説明する。まず、図15(A)に示すように、P型の半導体基板51上にイオン注入法によってフォトダイオード52とFD部54を形成する。次に、図15(B)に示すように、半導体基板51上にCVD法によってシリコン系絶縁膜57を形成した後、縦型ゲートの形成部位に合わせてシリコン系絶縁膜57をフォトリソグラフィーによりパターニングする。次に、図15(C)に示すように、シリコン系絶縁膜57をマスクとして半導体基板51をドライエッチングで加工することにより、半導体基板51上にトレンチ53を形成する。
次に、図16(A)に示すように、トレンチ53内に犠牲酸化膜58を形成した後、シリコン系絶縁膜57をマスクとして、P型不純物をイオン注入法により半導体基板51に注入することにより、トレンチ53部分にP型不純物領域59を形成する。次に、図16(B)に示すように、犠牲酸化膜58及びシリコン系絶縁膜57をHFやH3PO4を含む薬液で除去した後、トレンチ53の内面(側壁面及び底面)を含めて、半導体基板51上にゲート絶縁膜55を形成する。次に、図16(C)に示すように、ゲート絶縁膜55上にCVD法により電極材料を成膜することにより、トレンチ53の部分を埋め込むかたちで電極材料層56aを形成する。その後、電極材料層56aをパターニングすることで、上記図14に示すゲート電極56が形成される。
上記従来の固体撮像素子においては、フォトダイオード52の光電変換によって蓄積された信号電荷をFD部54に読み出す場合に、ゲート電極56に駆動電圧を印加してトランジスタをオン状態にする。このとき、信号電荷の転送能力の観点から、図17に点線で示すように、トレンチ53の底面から上面に向かってポテンシャル勾配(図中の矢印の長さはポテンシャルの大きさを表す)をつけるように、反転ポテンシャルの制御が要求される。これは、トレンチ53の下部では反転ポテンシャルが相対的に小さく、トレンチ53の上部では反転ポテンシャルが相対的に大きくなるように、トレンチ53の深さ方向でポテンシャルに勾配をつけることにより、信号電荷が転送されやすくなるためである。
反転ポテンシャルの大きさは、ゲート絶縁膜55の膜厚に依存性をもつ。しかしながら、従来の固体撮像素子では、その製造方法から、ゲート絶縁膜55が一様な厚みで形成される。このため、上記図17に実線で示すように、反転ポテンシャルの大きさも一様になる。したがって、信号電荷の転送に適したポテンシャル勾配をつけることができなかった。
また、トレンチ53底部のコーナー部分は、構造的に応力が集中している。このため、例えば、熱酸化処理でゲート絶縁膜55を形成する場合に、トレンチ53底部のコーナー部分で酸化速度が遅くなる。したがって、トレンチ53底部のコーナー部分でゲート絶縁膜55の膜厚が薄くなり、耐圧性の劣化を招く。
本発明は、信号電荷の転送ゲートに縦型ゲート構造を採用した固体撮像素子において、信号電荷の転送能力の向上と耐圧性の向上を両立させることができる仕組みを提供することを目的とする。
本発明に係る固体撮像素子は、半導体基板と、前記半導体基板に形成されたフォトダイオードと、前記フォトダイオード上に位置して前記半導体基板に形成されたトレンチと、少なくとも前記トレンチの側壁面を覆う状態で形成されたゲート絶縁膜と、前記トレンチを埋め込む状態で形成されたゲート電極とを備え、前記トレンチの側壁面を覆う前記ゲート絶縁膜の物理的な膜厚は、前記トレンチの上部よりも下部の方が厚いものである。
本発明に係る固体撮像素子においては、フォトダイオード上に位置して半導体基板に形成されたトレンチの側壁面を覆うゲート絶縁膜の物理的な膜厚を、トレンチの上部よりも下部の方が厚くなるように構成している。このため、トランジスタオン時の反転ポテンシャルの大きさは、トレンチの下部で相対的に小さく、かつ、トレンチの上部で相対的に大きくなる。また、トレンチの下部でゲート絶縁膜の物理的な膜厚を相対的に厚くすることで、トレンチ底部のコーナー部に作用する電界の強さが相対的に弱まる。
また、本発明に係る固体撮像素子は、半導体基板と、前記半導体基板に形成されたフォトダイオードと、前記フォトダイオード上に位置して前記半導体基板に形成されたトレンチと、少なくとも前記トレンチの側壁面を覆う状態で形成されたゲート絶縁膜と、前記トレンチを埋め込む状態で形成されたゲート電極とを備え、前記トレンチの側壁面を覆う前記ゲート絶縁膜の電気的な膜厚は、前記トレンチの上部よりも下部の方が厚いものである。
本発明に係る固体撮像素子においては、フォトダイオード上に位置して半導体基板に形成されたトレンチの側壁面を覆うゲート絶縁膜の電気的な膜厚を、トレンチの上部よりも下部の方が厚くなるように構成している。このため、トランジスタオン時の反転ポテンシャルの大きさは、トレンチの下部で相対的に小さく、かつ、トレンチの上部で相対的に大きくなる。また、トレンチの下部でゲート絶縁膜の電気的な膜厚を相対的に厚くすることで、トレンチ底部のコーナー部に作用する電界の強さが相対的に弱まる。
本発明によれば、信号電荷の転送ゲートに縦型ゲート構造を採用した固体撮像素子において、信号電荷の転送能力の向上と耐圧性の向上を両立させることができる。
以下、本発明の具体的な実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本発明の技術的範囲は以下に記述する実施の形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。
<第1の実施の形態>
[固体撮像素子の構成]
図1は本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像素子の構成を示す概略断面図である。図示した固体撮像素子においては、半導体基板1の内部にフォトダイオード2が形成されている。また、半導体基板1には、トレンチ3とFD(フローティングディフュージョン)部4が形成されている。トレンチ3は、フォトダイオード2の直上に形成されている。半導体基板1の表面は、トレンチ3の側壁面及び底面を含めて、ゲート絶縁膜5で覆われている。ゲート絶縁膜5は、シリコン系絶縁膜によって形成されている。トレンチ3の内部は、電極材料からなるゲート電極6で埋め込まれている。ゲート電極6は、トレンチ3の深さ方向に沿う、縦型の転送ゲートを構成している。
[固体撮像素子の構成]
図1は本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像素子の構成を示す概略断面図である。図示した固体撮像素子においては、半導体基板1の内部にフォトダイオード2が形成されている。また、半導体基板1には、トレンチ3とFD(フローティングディフュージョン)部4が形成されている。トレンチ3は、フォトダイオード2の直上に形成されている。半導体基板1の表面は、トレンチ3の側壁面及び底面を含めて、ゲート絶縁膜5で覆われている。ゲート絶縁膜5は、シリコン系絶縁膜によって形成されている。トレンチ3の内部は、電極材料からなるゲート電極6で埋め込まれている。ゲート電極6は、トレンチ3の深さ方向に沿う、縦型の転送ゲートを構成している。
トレンチ3を埋め込む状態で形成されたゲート電極6は、縦型の転送ゲートを構成している。また、フォトダイオード2、FD部4及びゲート電極6は、フォトダイオード2とFD部4をそれぞれソース/ドレインとして、縦型ゲートトランジスタを構成している。ここでは一例として、半導体基板1の導電型がP型、フォトダイオード2の導電型がN型、FD部4の導電型がN型となっている。このため、ゲート電極6は、N型トランジスタのゲートを構成するものとなっている。このトランジスタは、フォトダイオード2から信号電荷を読み出すためのトランジスタとなる。
トレンチ3の内面(側壁面、底面)を覆うゲート絶縁膜5の膜厚に関して、トレンチ3の底面を覆っているゲート絶縁膜5の膜厚T1は、トレンチ上部でトレンチ3の側壁面を覆っているゲート絶縁膜5の膜厚T2よりも、厚くなっている。このため、トレンチ3の側壁面を覆うゲート絶縁膜5の膜厚が、トレンチ上部よりもトレンチ下部の方が、相対的に厚くなっている。上記膜厚T1,T2の関係は、“T1≧2×T2”を満たすことが望ましい。
ここで、トレンチ3の上部とは、トレンチ3の深さ寸法の半分(1/2)の位置よりも上側の部分をいう。同様に、トレンチ3の下部とは、トレンチ3の深さ寸法の半分(1/2)の位置よりも下側の部分をいう。また、トレンチ3の底部とは、トレンチ3の底面から、トレンチ3の上面に向かって、トレンチ3の深さ寸法の1/3程度までの部分をいう。
トレンチ3の側壁面を覆うゲート絶縁膜5の膜厚は、トレンチ3の側壁面と直角をなす方向(図の左右方向)の膜厚で規定されるものとする。また、トレンチ3の底面を覆うゲート絶縁膜5の膜厚は、トレンチ3の底面と直角をなす方向(図の上下方向)の膜厚で規定されるものとする。このため、例えば図2に示すように、トレンチ3が断面U字形に形成されている場合は、ゲート絶縁膜5の膜厚が、トレンチ3の底面(曲面)と直角をなす方向の膜厚で規定されることになる。
[固体撮像素子の製造方法]
本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。まず、図3(A)に示すように、P型の半導体基板1上にイオン注入法によってフォトダイオード2とFD部4を形成する。半導体基板1としては、例えば、シリコン基板を用いることとする。
本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。まず、図3(A)に示すように、P型の半導体基板1上にイオン注入法によってフォトダイオード2とFD部4を形成する。半導体基板1としては、例えば、シリコン基板を用いることとする。
次に、図3(B)に示すように、半導体基板1上にCVD法によってシリコン系絶縁膜7を形成した後、縦型ゲートの形成部位に合わせてシリコン系絶縁膜7をフォトリソグラフィーによりパターニングする。シリコン系絶縁膜7は、例えば窒化シリコン膜、酸化シリコン膜によって形成される。
次に、図3(C)に示すように、シリコン系絶縁膜7をマスクとして半導体基板1をドライエッチングで加工することにより、半導体基板1上にトレンチ3を形成する。トレンチ3の深さは、フォトダイオード2にトレンチ底部が接する程度(例えば、1.0μm)とすればよい。
次に、図4(A)に示すように、トレンチ3内に犠牲酸化膜8を形成した後、シリコン系絶縁膜7をマスクとして、P型の不純物をイオン注入法により半導体基板1に注入することにより、トレンチ3部分にP型不純物領域9を形成する。犠牲酸化膜8は、ラジカル酸化プロセスで形成することが望ましい。その理由は、ラジカル酸化は、基板面方位依存性が低く、コーナー部の丸めやラフネス低減に効果があるためである。P型不純物は、転送ゲートのチャネル不純物となる。P型不純物としては、例えば、ボロンを用いることができる。
次に、図4(B)に示すように、犠牲酸化膜8及びシリコン系絶縁膜7をHFやH3PO4を含む薬液で除去した後、トレンチ3の内面(側壁面、底面)を含めて、半導体基板1上にシリコン系絶縁膜からなる第1ゲート絶縁膜5aを形成する。第1ゲート絶縁膜5aの膜厚は、例えば5〜10nmとする。第1ゲート絶縁膜5aは、上記同様の理由により、ラジカル酸化プロセスで形成することが望ましい。ラジカル酸化プロセスによるコーナー部の丸め効果により、トレンチ3の上部及び底部の各コーナー部では、第1ゲート絶縁膜5aが曲面状に丸まって形成される。このときのコーナー部の曲率半径は、5nm以上であることが望ましい。ラジカル酸化プロセスでは、例えば、H2やO2を原料ガスとし、800℃〜1100℃の温度で、半導体基板1を処理する。これにより、原料ガスの活性種によって、1000℃以下の温度でトレンチ3内面(シリコン)の酸化が進行する。
次に、図4(C)に示すように、第1ゲート絶縁膜5a上にシリコン系絶縁膜からなる第2ゲート絶縁膜5bを形成する。このとき、トレンチ3の内部は、第2ゲート絶縁膜5bで埋め込まれた状態となる。第2ゲート絶縁膜5bは、例えば、SiH4やO2を原料ガスとしたプラズマCVD法や、O3やTEOS(テトラエトキシシラン)を原料ガスとした熱CVD法によって形成すればよい。
次に、図5(A)に示すように、トレンチ3の底部に第1ゲート絶縁膜5a及び第2ゲート絶縁膜5bを残すように、ドライエッチング又はウェットエッチングによるエッチバックで、第1ゲート絶縁膜5a及び第2ゲート絶縁膜5bを除去する。トレンチ3の底部に残す第2ゲート絶縁膜5bの膜厚は、好ましくは、上記第1ゲート絶縁膜5aの膜厚以上(例えば、10〜50nmの範囲内)になるように、エッチング条件を設定するとよい。この後、N2やHCl 雰囲気中でアニールを施し、第2ゲート絶縁膜5bを高密度化する。アニール条件は、例えば、基板加熱温度=800〜1000℃、基板加熱時間=10〜60分に設定すればよい。
次に、図5(B)に示すように、HFを含む薬液を用いてトレンチ3内を薬液処理した後、第2ゲート絶縁膜5bで覆われていない、トレンチ3の内面(シリコン表面)を覆う状態で、半導体基板1上にシリコン系絶縁膜からなる第3ゲート絶縁膜5cを形成する。薬液処理は、第2ゲート絶縁膜5bが1〜3nmエッチングされる程度の処理時間で行なう。第3ゲート絶縁膜5cの膜厚は、例えば、第1ゲート絶縁膜5aの膜厚と同様に、5〜10nmとする。第3ゲート絶縁膜5cの膜厚は、トレンチ3の底部で積層構造をなす第1ゲート絶縁膜5aと第2ゲート絶縁膜5bを合わせた膜厚よりも薄く形成される。第3ゲート絶縁膜5cは、上記同様の理由により、ラジカル酸化プロセスで形成することが望ましい。トレンチ3上部のコーナー部では、第3ゲート絶縁膜5cが曲面状に丸まって形成される。このときコーナー部の曲率半径は、5nm以上であることが望ましい。ラジカル酸化プロセスでは、例えば、H2やO2を原料ガスとし、800℃〜1100℃の温度で、半導体基板1を処理する。これにより、原料ガスの活性種によって、1000℃以下の温度でトレンチ3内面(シリコン表面)の酸化が進行する。
次に、図5(C)に示すように、第1ゲート絶縁膜5aを覆っている第2ゲート絶縁膜5bと第3ゲート絶縁膜5cの上に、トレンチ3の部分を埋め込むかたちで電極材料を成膜することにより、電極材料層6aを形成する。その後、電極材料層6aをパターニングすることで、上記図1に示すゲート電極6が形成される。電極材料としては、例えば、ポリシリコン、アモルファスシリコンなど用いることができる。電極材料は、例えば、SiH4、PH3、H2を原料ガスとして用いたCVD法により成膜すればよい。
以上の製造工程により、縦型ゲート構造のトランジスタを有する固体撮像素子が得られる。この場合は、ゲート絶縁膜5の構造として、トレンチ3の底部では、ゲート絶縁膜5が第1ゲート絶縁膜5aと第2ゲート絶縁膜5bの2層構造となり、それよりも上側のトレンチ3の側壁部では、ゲート絶縁膜5が第1ゲート絶縁膜5aだけの単層構造となる。つまり、トレンチ3の底部と上部で、ゲート絶縁膜5の積層数が異なる。具体的には、ゲート絶縁膜5の積層数は、トレンチ3底部での積層数の方が、トレンチ3上部での積層数よりも多くなる。
本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像素子においては、トレンチ3の側壁面を覆うゲート絶縁膜5の物理的な膜厚が、トレンチ3の上部よりも下部の方が厚いものとなっている。ゲート絶縁膜5の物理的な膜厚は、反転ポテンシャルの大きさを決める因子となる。即ち、ゲート絶縁膜5の物理的な膜厚が厚くなると、そこでの反転ポテンシャルが小さくなり、逆に、ゲート絶縁膜5の物理的な膜厚が薄くなると、そこでの反転ポテンシャルが大きくなる。このため、ゲート電極6に駆動電圧を印加してトランジスタをオン状態にすると、ゲート絶縁膜5の物理的な膜厚の差により、トレンチ3下部で反転ポテンシャルの大きさが相対的に小さく、かつ、トレンチ3上部で反転ポテンシャルの大きさが相対的に大きくなる。したがって、フォトダイオード2の光電変換によって蓄積された信号電荷をFD部4に読み出す場合に、トレンチ3の深さ方向における反転ポテンシャルの勾配により、信号電荷が転送されやすくなる。
また、本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像素子においては、ゲート絶縁膜を一様な厚みで形成する場合に比較して、トレンチ3底部のコーナー部分がゲート絶縁膜5で厚く覆われるようになる。このため、トレンチ3底部のコーナー部に作用する電界の強さが相対的に弱まる。したがって、トレンチ3底部のコーナー部分の耐圧性を向上させることができる。その結果、信号電荷の転送ゲートに縦型ゲート構造を採用した固体撮像素子において、信号電荷の転送能力の向上と耐圧性の向上を両立させることができる。このため、ノイズや白点等の不良を低減し、信頼性の高い固体撮像素子を実現することが可能となる。
なお、上記第1の実施の形態に係る固体撮像素子では、より好ましい構造として、図6に示すように、トレンチ3の側壁面から底面を覆うゲート絶縁膜5を、トレンチ3の上面から底面に向かって、徐々に厚くなるように形成した構成も採用可能である。この構成は、例えば、上記固体撮像素子の製造方法の中で第2ゲート絶縁膜5bを形成する場合に、第2ゲート絶縁膜5bの表面(上面)がトレンチ3の部分でU字形に凹むように、CVDやPVD等の成膜条件を設定することにより形成可能である。かかる構成を採用した場合は、ゲート電極6に駆動電圧を印加してトランジスタをオン状態にしたときに、反転ポテンシャルの勾配として、信号電荷の転送に最適なポテンシャル勾配をつけることができる。このため、信号電荷の転送効率を、より一層高めることが可能となる。
また、上記第1の実施の形態に係る固体撮像素子においては、トレンチ3の側壁面を覆うゲート絶縁膜5の物理的な膜厚に差を持たせているが、これに限らず、トレンチ3の側壁面を覆うゲート絶縁膜5の電気的な膜厚に差を持たせてもよい。具体的には、図7に示すように、トレンチ3の内面を上部ゲート絶縁膜5uと下部ゲート絶縁膜5dで覆う。上部ゲート絶縁膜5uの物理的な膜厚と下部ゲート絶縁膜5dの物理的な膜厚は、どちらが厚くてもかまわない。ここでは、両者の物理的な膜厚が等しいものとする。
上部ゲート絶縁膜5uは、トレンチ3の側壁面から上面にわたって半導体基板1を覆い、下部ゲート絶縁膜5dは、トレンチ3の側壁面から底面にわたって半導体基板1を覆っている。上部ゲート絶縁膜5uと下部ゲート絶縁膜5dは、それぞれ誘電率の異なる絶縁材料で形成されている。絶縁材料の誘電率は、絶縁膜の電気的な膜厚(容量)を決定する因子となる。このため、上部ゲート絶縁膜5uを相対的に誘電率の低い絶縁材料で形成し、下部ゲート絶縁膜5dを相対的に誘電率の高い絶縁材料で形成している。一例として、上部ゲート絶縁膜5uを酸化シリコン膜で形成するものとすると、下部ゲート絶縁膜5dをそれよりも誘電率の高い、窒化シリコン膜又は酸化窒化シリコン膜で形成する。
具体的な製造方法としては、上述したように半導体基板1のトレンチ3の部分にP型不純物領域9を形成した後に、少なくともトレンチ3の内壁面を覆う状態で、例えば酸化シリコンからなる第1ゲート絶縁膜を形成する。次に、トレンチ3の底部に第1ゲート絶縁膜を残すように当該第1ゲート絶縁膜をエッチングする。具体的には、例えば、第1ゲート絶縁膜を形成した後、当該第1ゲート絶縁膜上にトレンチ3を埋め込む状態で犠牲膜を形成し、この犠牲膜と一緒に第1ゲート絶縁膜をエッチバックすることで、トレンチ3の底部に第1ゲート絶縁膜と犠牲膜を残す。次に、犠牲膜を選択的にエッチングすることにより、第1ゲート絶縁膜のみをトレンチの底部に残す。こうして形成される第1ゲート絶縁膜は、上記下部ゲート絶縁膜5dに相当するものとなる。次に、第1ゲート絶縁膜で覆われていない、トレンチ3の内面を覆う状態で、第1ゲート絶縁膜よりも誘電率の高い絶縁材料、例えば窒化シリコン又は酸化窒化シリコンで第2ゲート絶縁膜を形成する。第2ゲート絶縁膜は、トレンチ3の部分を含めて、半導体基板1上に広く形成される。この場合、トレンチ3の側壁面を覆う第2ゲート絶縁膜は、上記上部ゲート絶縁膜5uに相当するものとなる。その後は、第2ゲート絶縁膜の上にトレンチ3の部分を埋め込む状態で電極材料をCVD法等で成膜した後、パターニングを行なうことで、ゲート電極を形成する。
これにより、トレンチ3の側壁面を覆うゲート絶縁膜5の電気的な膜厚は、トレンチ3の上部よりも下部の方が相対的に厚くなる。ゲート絶縁膜5の電気的な膜厚は、トランジスタオフ時の反転ポテンシャルの大きさと、トレンチコーナー部に作用する電界の強さに影響を与える。即ち、ゲート絶縁膜5の電気的な膜厚が厚くなると、それに応じて反転ポテンシャルの大きさが大きくなる。また、ゲート絶縁膜5の電気的な膜厚が厚くなると、それに応じてトレンチ3底部のコーナー部に作用する電界の強さが弱まる。このため、信号電荷の転送及びトレンチ底部のコーナー部分の耐圧性に関して、上記同様の効果が得られる。
<第2の実施の形態>
[固体撮像素子の構成]
図8は本発明の第2の実施の形態に係る固体撮像素子の構成を示す概略断面図である。図示した固体撮像素子は、上記第1の実施の形態と比較して、特に、ゲート絶縁膜5の構成が異なる。即ち、上記第1の実施の形態においては、ゲート絶縁膜5のすべてをシリコン系絶縁膜で形成している。これに対して、第2の実施の形態においては、ゲート絶縁膜5が金属系絶縁膜を含んだ構成となっている。即ち、ゲート絶縁膜5は、第1ゲート絶縁膜5a、第2ゲート絶縁膜5b及び第3ゲート絶縁膜5cを用いて構成され、このうちの第2ゲート絶縁膜5bが金属系絶縁膜で形成されている。この場合、金属系絶縁膜は、ハフニウム、ジルコニウム、アルミニウム、タンタル、チタン、イットリウム、ランタノイド元素のうち、少なくとも1つの元素を含むものとする。
[固体撮像素子の構成]
図8は本発明の第2の実施の形態に係る固体撮像素子の構成を示す概略断面図である。図示した固体撮像素子は、上記第1の実施の形態と比較して、特に、ゲート絶縁膜5の構成が異なる。即ち、上記第1の実施の形態においては、ゲート絶縁膜5のすべてをシリコン系絶縁膜で形成している。これに対して、第2の実施の形態においては、ゲート絶縁膜5が金属系絶縁膜を含んだ構成となっている。即ち、ゲート絶縁膜5は、第1ゲート絶縁膜5a、第2ゲート絶縁膜5b及び第3ゲート絶縁膜5cを用いて構成され、このうちの第2ゲート絶縁膜5bが金属系絶縁膜で形成されている。この場合、金属系絶縁膜は、ハフニウム、ジルコニウム、アルミニウム、タンタル、チタン、イットリウム、ランタノイド元素のうち、少なくとも1つの元素を含むものとする。
[固体撮像素子の製造方法]
本発明の第2の実施の形態に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。まず、図9(A)に示すように、P型の半導体基板1上にイオン注入法によってフォトダイオード2とFD部4を形成する。半導体基板1としては、例えば、シリコン基板を用いることとする。
本発明の第2の実施の形態に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。まず、図9(A)に示すように、P型の半導体基板1上にイオン注入法によってフォトダイオード2とFD部4を形成する。半導体基板1としては、例えば、シリコン基板を用いることとする。
次に、図9(B)に示すように、半導体基板1上にCVD法によってシリコン系絶縁膜7を形成した後、縦型ゲートの形成部位に合わせてシリコン系絶縁膜7をフォトリソグラフィーによりパターニングする。シリコン系絶縁膜7は、例えば窒化シリコン膜、酸化シリコン膜によって形成される。
次に、図9(C)に示すように、シリコン系絶縁膜7をマスクとして半導体基板1をドライエッチングで加工することにより、半導体基板1上にトレンチ3を形成する。トレンチ3の深さは、フォトダイオード2にトレンチ底部が接する程度(例えば、1.0μm)とすればよい。
次に、図10(A)に示すように、トレンチ3内に犠牲酸化膜8を形成した後、シリコン系絶縁膜7をマスクとして、P型の不純物をイオン注入法により半導体基板1に注入することにより、トレンチ3内面に沿ってP型不純物領域9を形成する。犠牲酸化膜8は、上記同様の理由により、ラジカル酸化プロセスで形成することが望ましい。P型不純物は、転送ゲートのチャネル不純物となる。P型不純物としては、例えば、ボロンを用いることができる。ここまでの工程は、上記第1の実施の形態と同様である。
次に、図10(B)に示すように、犠牲酸化膜8及びシリコン系絶縁膜7をHFやH3PO4を含む薬液で除去した後、トレンチ3の側壁及び底部を含めて、半導体基板1上に第1ゲート絶縁膜5aと第2ゲート絶縁膜5bを積層状態で形成する。第1ゲート絶縁膜5a及び第2ゲート絶縁膜5bの各膜厚は、例えば5〜10nmとする。第1ゲート絶縁膜5aはシリコン系絶縁膜で形成する。第1ゲート絶縁膜5aは、上記同様の理由により、ラジカル酸化プロセスで形成することが望ましい。ラジカル酸化プロセスでは、例えば、H2やO2を原料ガスとし、800℃〜1100℃の温度で、半導体基板1を処理する。第2ゲート絶縁膜5bは、例えば、酸化ハフニウム(HfO)、ハフニウムアルミネート(HfAlOx)、ハフニウムシリケート(HfSiOx)、酸化ジルコニウム、ジルコニウムアルミネート(ZrAlOx)、ジルコニウムシリケート(ZrSiOx)、酸化ランタン(La2O3)、ランタンシリケート(LaSiOx)等の金属系絶縁膜で形成する。
次に、図10(C)に示すように、第2ゲート絶縁膜5b上にシリコン系絶縁膜11を積層状態で形成する。シリコン系絶縁膜11は、トレンチ3の内部を埋め込む状態で積層される。シリコン系絶縁膜11は、例えば、SiH4やO2を原料ガスとしたプラズマCVD法や、O3やTEOS(テトラエトキシシラン)を原料ガスとした熱CVD法によって形成すればよい。
次に、図11(A)に示すように、トレンチ3の底部に第1ゲート絶縁膜5a、第2ゲート絶縁膜5b及びシリコン系絶縁膜11を残すようにエッチングする。具体的には、ドライエッチング又はウェットエッチングによるエッチバックで、第1ゲート絶縁膜5a、第2ゲート絶縁膜5b及びシリコン系絶縁膜11を除去する。その後、第2ゲート絶縁膜5bとのエッチング選択比の高いドライエッチング又はウェットエッチングで、シリコン系絶縁膜11を除去する。
次に、図11(B)に示すように、HFを含む薬液を用いてトレンチ3の内部を薬液処理した後、第1ゲート絶縁膜5a及び第2ゲート絶縁膜5bで覆われていない、トレンチ3の内面を覆う状態で、半導体基板1上に第3ゲート絶縁膜5cを形成する。薬液処理は、第2ゲート絶縁膜5bが1〜3nmエッチングされる程度の処理時間で行なう。第3ゲート絶縁膜5cの膜厚は、例えば、第1ゲート絶縁膜5aの膜厚と同様に、5〜10nmとする。第3ゲート絶縁膜5cは、シリコン系絶縁膜で形成する。第3ゲート絶縁膜5cの膜厚は、トレンチ3の底部で積層構造をなす第1ゲート絶縁膜5aと第2ゲート絶縁膜5bを合わせた膜厚よりも薄く形成される。第3ゲート絶縁膜5cは、上記同様の理由により、ラジカル酸化プロセスで形成することが望ましい。トレンチ3上部のコーナー部では、第3ゲート絶縁膜5cが曲面状に丸まって形成される。このときコーナー部の曲率半径は、5nm以上であることが望ましい。ラジカル酸化プロセスでは、例えば、H2やO2を原料ガスとし、800℃〜1100℃の温度で、半導体基板1を処理する。これにより、原料ガスの活性種によって、1000℃以下の温度でトレンチ3内面(シリコン表面)の酸化が進行する。
次に、図11(C)に示すように、第1ゲート絶縁膜5aを覆っている第2ゲート絶縁膜5bと第3ゲート絶縁膜5cの上に、トレンチ3の部分を埋め込むかたちで電極材料を成膜することにより、電極材料層6aを形成する。その後、電極材料層6aをパターニングすることで、上記図8に示すゲート電極6が形成される。電極材料としては、例えば、ポリシリコン、アモルファスシリコンなど用いることができる。電極材料は、例えば、SiH4、PH3、H2を原料ガスとして用いたCVD法により成膜すればよい。
以上の製造工程により、縦型ゲート構造のトランジスタを有する固体撮像素子が得られる。この場合は、ゲート絶縁膜5の構造として、トレンチ3の底部では、ゲート絶縁膜5が第1ゲート絶縁膜5aと第2ゲート絶縁膜5bの2層構造となり、それよりも上側のトレンチ3の側壁部では、ゲート絶縁膜5が第1ゲート絶縁膜5aだけの単層構造となる。このため、ゲート絶縁膜5の積層数は、トレンチ3底部での積層数の方が、トレンチ3上部での積層数よりも多くなる。また、第2ゲート絶縁膜5bは、トレンチ3の底面上に、第1ゲート絶縁膜5aを介して積層された金属系絶縁膜で構成されたものとなる。
本発明の第2の実施の形態に係る固体撮像素子においては、上記第1の実施の形態と同様の効果に加えて、次のような効果も得られる。即ち、ゲート絶縁膜5は、トレンチ3の底面上に積層された金属系絶縁膜(第2ゲート絶縁膜5b)を含む構成となっている。金属系絶縁膜は、上記の元素を含むことで、マイナスの固定電荷をもつ膜となる。このため、金属系絶縁膜はトレンチ3の底部でゲート面から信号電荷(電子)を離間させる機能を果たす。このため、金属系絶縁膜で覆われたトレンチ3の底部では、金属系絶縁膜が無い場合に比較して、トランジスタオフ時の表面ポテンシャルが増加する。したがって、トランジスタオフ時には、表面ポテンシャルの障壁を増大させて、暗電流を低減することができる。
<第3の実施の形態>
[固体撮像素子の構成]
図12は本発明の第3の実施の形態に係る固体撮像素子の構成を示す概略断面図である。図示した固体撮像素子においては、上記第2の実施の形態と比較して、特に、ゲート絶縁膜5の構成が異なる。即ち、上記第2の実施の形態においては、ゲート絶縁膜5を構成する第1ゲート絶縁膜5a、第2ゲート絶縁膜5b及び第3ゲート絶縁膜5cのうち、第2ゲート絶縁膜5bを金属系絶縁膜で形成している。これに対して、第3の実施の形態においては、ゲート絶縁膜5を基板全面にわたって単層構造とし、かつ当該ゲート絶縁膜5をすべて金属系絶縁膜で形成している。
[固体撮像素子の構成]
図12は本発明の第3の実施の形態に係る固体撮像素子の構成を示す概略断面図である。図示した固体撮像素子においては、上記第2の実施の形態と比較して、特に、ゲート絶縁膜5の構成が異なる。即ち、上記第2の実施の形態においては、ゲート絶縁膜5を構成する第1ゲート絶縁膜5a、第2ゲート絶縁膜5b及び第3ゲート絶縁膜5cのうち、第2ゲート絶縁膜5bを金属系絶縁膜で形成している。これに対して、第3の実施の形態においては、ゲート絶縁膜5を基板全面にわたって単層構造とし、かつ当該ゲート絶縁膜5をすべて金属系絶縁膜で形成している。
[固体撮像素子の製造方法]
本発明の第3の実施の形態に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。まず、上記第1の実施の形態及び第2の実施の形態と同様の手順で、図13(A)に示すように、半導体基板1にフォトダイオード2、トレンチ3、FD部4、犠牲酸化膜8、P型不純物領域9を形成する。
本発明の第3の実施の形態に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。まず、上記第1の実施の形態及び第2の実施の形態と同様の手順で、図13(A)に示すように、半導体基板1にフォトダイオード2、トレンチ3、FD部4、犠牲酸化膜8、P型不純物領域9を形成する。
次に、図13(B)に示すように、トレンチ3の内面を含めて、半導体基板1上に金属系絶縁膜からなるゲート絶縁膜5を形成する。ゲート絶縁膜5は、例えば、酸化ハフニウム(HfO)、ハフニウムアルミネート(HfAlOx)、ハフニウムシリケート(HfSiOx)、酸化ジルコニウム、ジルコニウムアルミネート(ZrAlOx)、ジルコニウムシリケート(ZrSiOx)、酸化ランタン(La2O3)、ランタンシリケート(LaSiOx)等の金属系絶縁膜で形成する。
次に、図13(C)に示すように、ゲート絶縁膜5上にトレンチ3の部分を埋め込むかたちで電極材料を成膜することにより、電極材料層6aを形成する。その後、電極材料層6aをパターニングすることで、上記図12に示すゲート電極6が形成される。電極材料としては、例えば、ポリシリコン、アモルファスシリコンなど用いることができる。電極材料は、例えば、SiH4、PH3、H2を原料ガスとして用いたCVD法により成膜すればよい。
本発明の第3の実施の形態に係る固体撮像素子においては、トレンチ3の底面を覆っているゲート絶縁膜5を金属系絶縁膜で形成している。このため、ゲート絶縁膜5(金属系絶縁膜)で覆われたトレンチ3の底部では、金属系絶縁膜が無い場合に比較して、トランジスタオフ時の表面ポテンシャルが増加する。したがって、トランジスタオフ時には、表面ポテンシャルの障壁を増大させて、暗電流を低減することができる。
1…半導体基板、2…フォトダイオード、3…トレンチ、5…ゲート絶縁膜、6…ゲート電極
Claims (11)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に形成されたフォトダイオードと、
前記フォトダイオード上に位置して前記半導体基板に形成されたトレンチと、
少なくとも前記トレンチの側壁面を覆う状態で形成されたゲート絶縁膜と、
前記トレンチを埋め込む状態で形成されたゲート電極とを備え、
前記トレンチの側壁面を覆う前記ゲート絶縁膜の物理的な膜厚は、前記トレンチの上部よりも下部の方が厚い
固体撮像素子。 - 前記ゲート絶縁膜は、少なくとも一部が積層構造をなすもので、
前記トレンチの底部における前記ゲート絶縁膜の積層数が、前記トレンチの上部における前記ゲート絶縁膜の積層数よりも多い
請求項1記載の固体撮像素子。 - 前記トレンチの側壁面を覆う前記ゲート絶縁膜は、前記トレンチの上面から底面に向かって、徐々に厚くなるように形成されている
請求項1記載の固体撮像素子。 - 前記ゲート絶縁膜は、前記トレンチの底面上に積層された金属系絶縁膜を含む
請求項1記載の固体撮像素子。 - 前記金属系絶縁膜は、ハフニウム、ジルコニウム、アルミニウム、タンタル、チタン、イットリウム、ランタノイド元素のうち、少なくとも1つの元素を含む
請求項4記載の固体撮像素子。 - 半導体基板と、
前記半導体基板に形成されたフォトダイオードと、
前記フォトダイオード上に位置して前記半導体基板に形成されたトレンチと、
少なくとも前記トレンチの側壁面を覆う状態で形成されたゲート絶縁膜と、
前記トレンチを埋め込む状態で形成されたゲート電極とを備え、
前記トレンチの側壁面を覆う前記ゲート絶縁膜の電気的な膜厚は、前記トレンチの上部よりも下部の方が厚い
固体撮像素子。 - 前記ゲート絶縁膜は、前記トレンチの内壁面を覆う上部ゲート絶縁膜及び下部ゲート絶縁膜を含み、
前記下部ゲート絶縁膜は、前記上部ゲート絶縁膜よりも誘電率の高い絶縁材料で形成されている
請求項6記載の固体撮像素子。 - 半導体基板にフォトダイオードを形成する第1工程と、
前記フォトダイオード上に位置して前記半導体基板にトレンチを形成する第2工程と、
少なくとも前記トレンチの側壁面を覆う状態で、かつ前記トレンチの上部よりも下部の方が膜の厚みが厚くなるようにゲート絶縁膜を形成する第3工程と、
前記トレンチを埋め込む状態でゲート電極を形成する第4工程と
を有する固体撮像素子の製造方法。 - 前記第3工程は、少なくとも前記トレンチの側壁面を覆う状態で第1ゲート絶縁膜を形成する工程と、前記トレンチを埋め込む状態で第2ゲート絶縁膜を形成する工程と、前記トレンチの底部に前記第1ゲート絶縁膜及び前記第2ゲート絶縁膜を残すように前記第1ゲート絶縁膜及び前記第2ゲート絶縁膜をエッチングする工程と、前記トレンチの内面を覆う状態で第3ゲート絶縁膜を形成する工程とを含む
請求項8記載の固体撮像素子の製造方法。 - 前記第1ゲート絶縁膜及び前記第3ゲート絶縁膜のうち少なくとも一方をラジカル酸化プロセスで形成する
請求項9記載の固体撮像素子の製造方法。 - 前記第2ゲート絶縁膜を金属系絶縁膜で形成する
請求項9記載の固体撮像素子の製造方法。
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