JP2010073783A - Ｌｓｉテスタ - Google Patents

Abstract

【課題】ウエハ上のチップ数が多くなっても、ウエハ全体の測定結果を１枚の画面に表示できるようにすること。
【解決手段】ウエハ上に形成されたチップの測定結果をパス／フェイルのウエハマップとして表示部に表示するように構成されたＬＳＩテスタにおいて、前記表示部の表示セルに、複数のチップの測定結果を重ね合わせて表示することを特徴とするもの。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ＬＳＩテスタに関し、詳しくは、ウエハ上に形成されたチップの試験結果をウエハマップとして表示するように構成されたＬＳＩテスタの改善に関するものである。

図３は、従来のＬＳＩテスタの一例を示す構成図である。テスタの本体１には、テストヘッド２とプローバ３とテスタの制御端末４が接続されている。テストヘッド２とプローバ３は、測定対象デバイスである多数のチップが形成されたウエハ５を上下の両面から挟むようにして所定の間隙を保ちながら対向するように配置されている。制御端末４には、図４のようなテスト結果を表示する表示部が設けられている。

このような構成において、制御端末４からテスタの本体１を介してテストヘッド２とプローバ３を制御してウエハ５上に形成されたチップに対してプロービングを行うことにより所定の試験を行い、試験結果をテスタの本体１に取り込む。

そして、ウエハ５上の各チップの測定結果(パス／フェイル)は、ウエハ５上における各チップの座標(ＸＹアドレス)に基づいて、制御端末４に設けられている表示部６のウエハマップ７として、たとえば図４に示すように、良品（パス）と判定されたチップは緑色（図中のマークなし部分）、不良品（フェイル）と判定されたチップは赤色（図中の黒色マーク部分）として測定結果に応じて色を変えながらリアルタイムで表示される。

特許文献１には、半導体ウエハのチップに対するプロービング時の測定条件を表す文字記号を、表示画面に表示されるウエハ画像上のチップ毎に、それぞれの測定条件に割り当てられた所定の色で表示する構成が記載されている。

特開平８−３７２１３号公報

しかし、図４の表示画面では、ウエハ５上の各チップの測定結果(パス／フェイル)をリアルタイムウエハマップ７の１セルに割り当てて表示しているため、画面に表示できるウエハ５のサイズ（チップ数）に限界があり、チップ数が多いウエハ５の場合にはウエハ５の一部分しか表示できなかった。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ウエハ上のチップ数が多くなっても、ウエハ全体の測定結果を１枚の画面に表示できるようにすることにある。

このような問題を解決するため、請求項１記載の発明は、
ウエハ上に形成されたチップの測定結果をパス／フェイルのウエハマップとして表示部に表示するように構成されたＬＳＩテスタにおいて、
前記表示部の表示セルに、複数のチップの測定結果を重ね合わせて表示することを特徴とする。

請求項２記載の発明は、請求項１記載のＬＳＩテスタにおいて、
前記表示部に、前記表示セルに重ね合わせるチップの測定結果の数を切り替えるウエハマップ表示切替ボタンを設けたことを特徴とする。

請求項３記載の発明は、請求項１または２記載のＬＳＩテスタにおいて、
前記表示部の表示セルに複数のチップの測定結果を重ね合わせて表示するのにあたり、前記重ね合わせて表示する対象チップのフェイル発生数またはフェイル発生率に応じて異なる色または文字記号数字を割り当てることを特徴とする。

これらにより、ウエハ上のチップ数が多くなってもウエハ全体の測定結果を１枚の画面に表示でき、効率よくウエハのテスト結果解析を行うことができる。

以下、本発明について図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例の主要部分を示す構成図であり、図３と共通する部分には同一の符号を付けている。図１において、制御端末４には、リアルタイムウエハマップ制御部４１と、測定結果重ね合わせデータ保存領域４２と、重ね合わせ無しの測定結果データ保存領域４３と、リアルタイムウエハマップ表示処理部４４が設けられている。

測定結果重ね合わせデータ保存領域４２には、重ね合わせたチップのテスト結果(パス数／フェイル数)が保存される。なお、重ね合わせるチップは、たとえばＸ軸とＹ軸の両軸方向に沿った２個×２個の４チップとする。

これら重ね合わせたチップのテスト結果は、たとえば「デバイスが全て良品（パス）なら緑色、１個でも不良品（フェイル）があれば赤色」のように定められた表示色のルールにしたがってセル毎に表示される。

なお、表示部６の表示画面には、ウエハマップ７が表示されるとともに、ウエハマップ表示切替ボタン８が設けられている。

図１の動作について、説明する。
制御端末４のリアルタイムウエハマップ制御部４１は、テスタの本体１を介して測定を行おうとする測定対象デバイスであるウエハ５上のチップの座標（ＸＹアドレス）を、プローバ３から取得する。

テスタの本体１はウエハ５上に形成されているチップを測定対象デバイスとする測定を行い、測定結果(パス／フェイル)を制御端末４のリアルタイムウエハマップ制御部４１に通知する。

リアルタイムウエハマップ制御部４１は、テスタの本体１から受け取ったウエハ５上のチップの座標（ＸＹアドレス）と各チップの測定結果(パス／フェイル)を、測定結果重ね合わせデータ保存領域４２および重ね合わせ無しの測定結果データ保存領域４３に保存する。

リアルタイムウエハマップ表示処理部４４は、重ね合わせ無しの測定結果データ保存領域４３からデータを読み出し、表示部６のリアルタイムウエハマップ７の表示画面上に、ウエハマップデータを表示する。この場合、ウエハマップ７の各セルは対応する各チップのテスト結果を表す。

このように１セルが１チップのテスト結果を表している状態で表示部６の表示画面に設けられているウエハマップ表示切替ボタン８が選択駆動されると、リアルタイムウエハマップ表示処理部４４は測定結果重ね合わせデータ保存領域４２からデータを読み出し、表示部６のリアルタイムウエハマップ７の表示画面上に、測定結果が重ね合わされたウエハマップデータを、前述のようにあらかじめ設定された表示色のルールにしたがってセル毎に表示する。

図２は本発明に基づくウエハマップ７の表示画面切替表示例図であり、（Ａ）は１チップ／セルを示し、（Ｂ）は２×２チップ／セルを示し、（Ｃ）は４×４チップ／セルを示している。すなわち、（Ｂ）のウエハマップは（Ａ）のウエハマップを１／４に圧縮して表示し、（Ｃ）のウエハマップは（Ｂ）のウエハマップを１／４に圧縮して表示するとともに（Ａ）のウエハマップを１／１６に圧縮して表示する。なお、ハッチングを付けたセルは、測定結果がフェイルになったチップが存在していることを示している。

これにより、圧縮率をウエハ５上のチップ数と表示部６の表示画面の大きさに応じて適切に設定することにより、ウエハ５上のチップ数が多くなっても、ウエハ全体を１枚の画面に表示することができる。

これら表示画面の（Ａ）⇔（Ｂ）⇔（Ｃ）間における拡大・縮小の切替は、ウエハマップ表示切替ボタン８を選択駆動することにより、行うことができる。

なお、上記実施例では、ウエハ５上の各チップの測定結果(パス／フェイル)を重ね合わせて表示するのにあたり、重ね合わせて表示する対象チップのうち１個でもフェイルがあればウエハマップ７のセルの表示を赤色にするようにしているが、重ね合わせ表示対象チップのフェイル発生数や発生率に応じて異なる色や文字記号数字などを割り当てて、それらを各セルに表示するようにしてもよい。これにより、表示倍率を切り換えることなく、ウエハ全体におけるフェイルチップの分布状況を表示画面の表示から把握できる。

以上説明したように、本発明によれば、ウエハ上のチップ数が多くなってもウエハ全体の測定結果を１枚の画面に表示できるＬＳＩテスタを実現することができ、ウエハのテスト結果解析表示に好適である。

本発明の一実施例の主要部分を示す構成図である。 本発明に基づくウエハマップ７の表示画面切替表示例図である。 従来のＬＳＩテスタの一例を示す構成図である。 従来の表示画面例図である。

符号の説明

１ テスタの本体
２ テストヘッド
３ プローバ
４ 制御端末
４１ リアルタイムウエハマップ制御部
４２ 測定結果重ね合わせデータ保存領域
４３ 重ね合わせ無しの測定結果データ保存領域
４４ リアルタイムウエハマップ表示処理部
５ ウエハ
６ 表示部
７ ウエハマップ
８ ウエハマップ表示切替ボタン

Claims (3)

1. ウエハ上に形成されたチップの測定結果をパス／フェイルのウエハマップとして表示部に表示するように構成されたＬＳＩテスタにおいて、
   前記表示部の表示セルに、複数のチップの測定結果を重ね合わせて表示することを特徴とするＬＳＩテスタ。
2. 前記表示部に、前記表示セルに重ね合わせるチップの測定結果の数を切り替えるウエハマップ表示切替ボタンを設けたことを特徴とする請求項１記載のＬＳＩテスタ。
3. 前記表示部の表示セルに複数のチップの測定結果を重ね合わせて表示するのにあたり、前記重ね合わせて表示する対象チップのフェイル発生数またはフェイル発生率に応じて異なる色または文字記号数字を割り当てることを特徴とする請求項１または２記載のＬＳＩテスタ。