JP2010069368A - Dry cleaning apparatus, cleaning method, and cleaned matter - Google Patents
Dry cleaning apparatus, cleaning method, and cleaned matter Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010069368A JP2010069368A JP2008237257A JP2008237257A JP2010069368A JP 2010069368 A JP2010069368 A JP 2010069368A JP 2008237257 A JP2008237257 A JP 2008237257A JP 2008237257 A JP2008237257 A JP 2008237257A JP 2010069368 A JP2010069368 A JP 2010069368A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaning medium
- opening
- medium
- cleaned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/02—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by distortion, beating, or vibration of the surface to be cleaned
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
- B24C1/06—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for producing matt surfaces, e.g. on plastic materials, on glass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
Description
この発明は、例えば各種電気機器等に使用する電子部品をプリント配線板に実装するハンダ付け工程で用いられるマスク治具に付着したフラックスや各種の開口部を有する洗浄対象物に付着あるいは固着した粉塵や異物を除去する乾式洗浄装置と洗浄方法及び洗浄された洗浄物、特に洗浄対象物の開口部内面に付着したフラックス等の除去効率の向上に関するものである。 The present invention relates to, for example, flux adhered to a mask jig used in a soldering process for mounting electronic parts used in various electric devices or the like on a printed wiring board, and dust adhered to or fixed to an object to be cleaned having various openings. The present invention relates to a dry cleaning apparatus and a cleaning method for removing odors and foreign matters, and improvement in removal efficiency of a cleaned object to be cleaned, particularly flux adhered to an inner surface of an opening of an object to be cleaned.
近年、プリント基板製造におけるフローはんだ槽によるハンダ付け工程において、ハンダ付け処理する領域以外をマスクするディップパレット、キャリアパレット等と呼称されるマスク治具が多く用いられている。このようなマスク治具は、繰り返し使用されるうちに、表面にフラックスが堆積して固着しマスクの精度を下げるため、定期的に洗浄する必要があった。 In recent years, a mask jig called a dip pallet, a carrier pallet, or the like that masks a region other than a region to be soldered is frequently used in a soldering process using a flow solder bath in printed circuit board manufacturing. Such a mask jig needs to be periodically cleaned in order to reduce the accuracy of the mask by depositing and fixing flux on the surface as it is repeatedly used.
このようにフラックスや粘着材、接着剤等が付着した治具等の洗浄対象物を洗浄するため、特許文献1に示された洗浄装置は、溶剤洗浄槽で洗浄対象物の上下両面に溶剤を噴射させて洗浄した後、水洗洗浄槽で洗浄対象物に付着した溶剤を水洗いし、乾燥槽で洗浄対象物に温風を吹き当てて乾燥している。
Thus, in order to clean the cleaning object such as a jig to which a flux, an adhesive material, an adhesive or the like adheres, the cleaning device disclosed in
このような溶剤を使用した洗浄装置を、フラックス等が付着した洗浄対象物の洗浄に使用すると、溶剤を大量に使用するとともにフラックス等を含んだ廃液の処理及び洗浄後の乾燥処理におけるエネルギ消費や環境負荷が大きく、高コストになるという問題がある。また、作業者に対する負荷が極めて大きかった。 When a cleaning device using such a solvent is used for cleaning an object to be cleaned, on which flux or the like is adhered, a large amount of solvent is used and energy consumption in the treatment of waste liquid containing flux and the drying process after cleaning is reduced. There is a problem that the environmental load is large and the cost is high. In addition, the load on the worker was extremely large.
これらの問題を解消するため、特許文献2に示された乾式洗浄方法では、洗浄槽内に高速気流を流動させ、軽量で飛翔しやすい固体からなる洗浄媒体を洗浄槽内で高速に飛翔させて、洗浄媒体を洗浄対象物に連続して接触させて洗浄対象物に付着した塵や粉体を分離している。特に可撓性を有する薄片状の洗浄媒体を用いることにより、洗浄媒体の少量の使用量で超音波洗浄と同等以上の洗浄能力を発揮することができる。
In order to solve these problems, in the dry cleaning method disclosed in
例えば特許文献2に示された乾式洗浄方法を用い、洗浄槽より大きい洗浄対象物を洗浄する洗浄装置において、例えば図10に示すように、多くの開口部24を有する洗浄対象物5の開口部24を封止部材40で覆って洗浄槽7の開口部に配置し、洗浄槽7の洗浄媒体加速ノズル11から噴射する高速気流により洗浄媒体6を飛翔させて洗浄対象物5に接触させて洗浄すると、洗浄媒体6は開口部24の方向に加速されるため、開口部24内面には衝突しにくく、開口部24内面の洗浄速度が遅く洗浄ムラが生じてしまう。このように洗浄ムラが生じると、例えば、ハンダ付け工程で多くの開口部を有するマスク治具を洗浄した場合、洗浄が不十分で開口部付近に固着汚れが残留し、その結果マスク治具の密着度が低下してハンダやフラックスがプリント配線版側に漏れ出てしまう。
For example, in a cleaning apparatus that cleans an object to be cleaned that is larger than the cleaning tank using the dry cleaning method disclosed in
このような問題を解消するため、特許文献3に示された洗浄装置は、気体により粒体からなる洗浄媒体を噴流化して洗浄対象物を洗浄するとき、洗浄槽に噴出する気体の噴流方向を揺動させている。この気体の噴流方向を揺動させるために、主噴流ノズルの近傍に2個の制御用噴流ノズルを設け、各制御用噴流ノズルから交互に気体を噴流させて噴流の方向を制御していることにより、複雑な形状の洗浄対象物をムラなく洗浄している。
しかしながら、図10に示すように、洗浄媒体を加速する洗浄媒体加速ノズル11の近傍に制御用ノズル41を設けて気体の噴流方向を揺動させても、洗浄媒体6は洗浄媒体加速ノズル11から直ちに左右に振られながら上方向に飛翔し、洗浄対象物5の開口部24の深さによっては洗浄媒体6が衝突しない領域が生じ、洗浄能力も限定されるものであった。また、開口部24以外の領域においては、その領域に対する洗浄媒体6の入射角度が大きくなり、洗浄媒体6が衝突するエネルギが小さくなって洗浄性能が低下する可能性が高いという問題があった。
However, as shown in FIG. 10, even if the
この発明は、このような問題を解消し、各種の開口部を有する洗浄対象物に付着あるいは固着した粉塵や異物を効率よく洗浄することができる乾式洗浄装置と洗浄方法及びそれを使用して洗浄された洗浄物を提供することを目的とするものである。 The present invention solves such a problem, and is capable of efficiently cleaning dust and foreign matters adhering or adhering to an object to be cleaned having various openings, and a cleaning method and a cleaning method using the same. The object is to provide a cleaned product.
この発明の乾式洗浄装置は、高速気流により流動する薄片状の洗浄媒体を1又は複数の開口部を有する洗浄対象物に衝突させて洗浄する乾式洗浄装置であって、前記洗浄対象物の開口部を封止する開口封止部材と洗浄槽を有し、前記洗浄槽は、一方に開口部を有し、壁面には気体や粉塵を通過させるが洗浄媒体が通り抜けられない洗浄媒体分離手段を有し、前記開口部方向に洗浄媒体を加速する洗浄媒体加速手段を有し、前記開口部封止部材は、飛翔した洗浄媒体の飛翔方向を切り替える洗浄媒体飛翔方向制御手段を有することを特徴とする。 The dry cleaning apparatus according to the present invention is a dry cleaning apparatus that performs cleaning by causing a flaky cleaning medium flowing by a high-speed air current to collide with an object to be cleaned having one or a plurality of openings, and the opening of the object to be cleaned The cleaning tank has an opening on one side, and has a cleaning medium separation means that allows gas or dust to pass through but does not allow the cleaning medium to pass through. And cleaning medium accelerating means for accelerating the cleaning medium in the opening direction, and the opening sealing member has cleaning medium flying direction control means for switching the flying direction of the flying cleaning medium. .
この発明の他の乾式洗浄装置は、高速気流により流動する薄片状の洗浄媒体を1又は複数の開口部を有する洗浄対象物に衝突させて洗浄する乾式洗浄装置であって、前記洗浄対象物に固定されて開口部を封止する開口封止部材と洗浄槽と洗浄対象物保持手段と洗浄媒体戻し手段を有し、前記洗浄槽は、一方に開口部を有し、壁面には気体や粉塵を通過させるが洗浄媒体が通り抜けられない洗浄媒体分離手段を有し、前記開口部方向に洗浄媒体を加速する洗浄媒体加速手段を有し、前記洗浄媒体戻し手段は、前記洗浄媒体分離手段を介して接続された吸引装置と、前記洗浄槽の開口部の外縁に設けられ、前記洗浄対象物保持手段を保持して一定間隔の気体流入路を形成する洗浄媒体減速手段を有し、前記開口部封止部材は、洗浄媒体の飛翔方向を切り替える洗浄媒体飛翔方向制御手段を有し、前記洗浄対象物保持手段は、前記開口部封止部材を固定した洗浄対象物を保持し、前記洗浄媒体減速手段に沿って移動自在であることを特徴とする。 Another dry cleaning apparatus according to the present invention is a dry cleaning apparatus that performs cleaning by colliding a flaky cleaning medium flowing by a high-speed airflow with an object to be cleaned having one or a plurality of openings. It has an opening sealing member that is fixed and seals the opening, a cleaning tank, a cleaning object holding means, and a cleaning medium return means. The cleaning tank has an opening on one side, and gas or dust on the wall surface. Cleaning medium separating means that allows the cleaning medium to pass through, but has cleaning medium accelerating means that accelerates the cleaning medium in the direction of the opening, and the cleaning medium returning means passes through the cleaning medium separating means. A suction device connected to the cleaning tank, and a cleaning medium decelerating unit that is provided on an outer edge of the opening of the cleaning tank and that holds the cleaning object holding unit to form a gas inflow passage at a predetermined interval. The sealing member is the flying direction of the cleaning medium It has a cleaning medium flying direction control means for switching, and the cleaning object holding means holds the cleaning object to which the opening sealing member is fixed and is movable along the cleaning medium deceleration means. And
前記洗浄媒体飛翔方向制御手段は、前記開口部内面に向かう気流を噴射する噴射口を有することを特徴とする。 The cleaning medium flying direction control means has an injection port for injecting an air flow toward the inner surface of the opening.
また、前記洗浄媒体飛翔方向制御手段は、前記開口部内面に対して所定角度傾けた気流を噴射する噴射口を有することを特徴とする。この洗浄媒体飛翔方向制御手段は、回転自在であることが望ましい。 Further, the cleaning medium flying direction control means has an injection port for injecting an airflow inclined at a predetermined angle with respect to the inner surface of the opening. The cleaning medium flying direction control means is preferably rotatable.
さらに、前記洗浄媒体飛翔方向制御手段に加圧空気を供給して前記噴射口から気流を噴射させると良い。 Further, it is preferable that pressurized air is supplied to the cleaning medium flying direction control means so that an air flow is ejected from the ejection port.
また、前記洗浄媒体飛翔方向制御手段は、前記洗浄媒体加速手段で発生した気流の方向を前記開口部内面に向かう方向に補正する流れ制御板を有することを特徴とする。 Further, the cleaning medium flying direction control means includes a flow control plate that corrects the direction of the air flow generated by the cleaning medium acceleration means in a direction toward the inner surface of the opening.
この発明の洗浄方法は、前記いずれかに記載の乾式洗浄装置を使用した洗浄方法であって、洗浄槽内の空気を吸引している状態で洗浄媒体加速手段により高速気流を発生し、薄片の洗浄媒体を飛翔させて洗浄対象物の開口部に飛翔した洗浄媒体の飛翔方向を洗浄媒体飛翔方向制御手段により切り替えて洗浄対象物の開口部内面を洗浄することを特徴とする。 The cleaning method of the present invention is a cleaning method using any one of the dry cleaning apparatuses described above, wherein a high-speed air current is generated by the cleaning medium accelerating means in a state where the air in the cleaning tank is sucked, and The cleaning medium flying direction control means is used to switch the flying direction of the cleaning medium, which has been ejected by the cleaning medium, and washed to the opening of the cleaning object, thereby cleaning the inner surface of the opening of the cleaning object.
この発明の洗浄物は、前記いずれかに記載の乾式洗浄装置を使用して洗浄されたことを特徴とする。 The washed product of the present invention is characterized by being cleaned using any of the dry cleaning apparatuses described above.
この発明は、洗浄槽内の空気を吸引している状態で高速気流を発生し、薄片の洗浄媒体を飛翔させて洗浄対象物の開口部に飛翔した洗浄媒体の飛翔方向を切り替えて洗浄媒体を洗浄対象物の開口部側面に衝突させて洗浄することにより、洗浄対象物の開口部内面を確実に洗浄することができる。 This invention generates a high-speed air flow while sucking the air in the cleaning tank, and causes the cleaning medium to fly by switching the flying direction of the cleaning medium that has jumped to the opening of the object to be cleaned. By colliding with the side surface of the opening of the object to be cleaned and cleaning, the inner surface of the opening of the object to be cleaned can be reliably cleaned.
また、洗浄媒体飛翔方向制御手段に洗浄対象物の開口部内面に向かう気流を噴射する噴射口を設けることにより、飛翔した洗浄媒体を開口部内面方向に加速することができ、開口部内面に洗浄媒体が衝突して汚れを除去することができる。また、非接触で洗浄媒体を加速できるから、洗浄媒体が破損することを防ぐことができる。 Also, by providing the cleaning medium flying direction control means with an injection port for injecting an air flow toward the inner surface of the opening of the object to be cleaned, the flying cleaning medium can be accelerated toward the inner surface of the opening, and the inner surface of the opening is cleaned. The medium can collide to remove the dirt. In addition, since the cleaning medium can be accelerated without contact, the cleaning medium can be prevented from being damaged.
さらに、洗浄媒体飛翔方向制御手段に開口部内面に対して所定角度傾けた気流を噴射する噴射口を設けることにより、洗浄媒体飛翔方向制御手段を回転させる推力を生むことができるため、駆動手段を設けることなく、洗浄対象物の開口部内面の全面を洗浄することができる。 Further, since the cleaning medium flying direction control means is provided with an injection port for injecting an airflow inclined at a predetermined angle with respect to the inner surface of the opening, a thrust for rotating the cleaning medium flying direction control means can be generated. Without providing, the entire inner surface of the opening of the object to be cleaned can be cleaned.
さらに、洗浄対象物の開口部内面に向かう気流を噴射する噴射口を有する浄媒体飛翔方向制御手段を回転自在にすることにより、洗浄媒体で開口部内面の全周をより確実に洗浄することができる。 Furthermore, by making the cleaning medium flying direction control means having an injection port for injecting an airflow directed toward the inner surface of the opening of the object to be cleaned, the entire circumference of the inner surface of the opening can be more reliably cleaned with the cleaning medium. it can.
また、洗浄媒体飛翔方向制御手段に洗浄媒体加速手段で発生した気流の方向を開口部内面に向かう方向に補正する流れ制御板を設けることにより、簡易な構成で洗浄媒体の飛翔方向を開口部内面に向けることができ、開口部内面を効率よく洗浄することができる。 Further, the cleaning medium flying direction control means is provided with a flow control plate that corrects the direction of the air flow generated by the cleaning medium acceleration means to the direction toward the inner surface of the opening. And the inner surface of the opening can be efficiently cleaned.
この発明の乾式洗浄装置で洗浄した洗浄物は、開口部内面も確実に洗浄されているから、マスク部材等として使用してもその性能を確実に維持して繰り返して再使用することができ、資源を有効に利用することができる。 Since the cleaning object cleaned with the dry cleaning apparatus of the present invention is also cleaned reliably on the inner surface of the opening, it can be reused repeatedly while maintaining its performance reliably even if used as a mask member, etc. Resources can be used effectively.
図1は、この発明の乾式洗浄装置の機構構成を示し、(a)は正面断面図、(b)は(a)のA−A断面図、(c)は上面図である。乾式洗浄装置1は洗浄槽ユニット2と洗浄対象物保持手段3と開口部封止部材4を有し、図2の部分拡大断面図に示すように、洗浄対象物保持手段3で保持した洗浄対象物5に付着した粉塵等を高速気流により飛翔する洗浄媒体6により除去するものである。
1A and 1B show a mechanical configuration of a dry cleaning apparatus according to the present invention, in which FIG. 1A is a front sectional view, FIG. 1B is a sectional view taken on line AA of FIG. 1A, and FIG. The
この乾式洗浄装置1で使用する洗浄媒体6は、例えばポリカーボネイトやPETなどの硬くて、かつ衝撃に対して耐久性のある素材で厚さが例えば0.1〜0.2mmで1辺のサイズが5〜10mmの正方形形状の薄片で形成している。この洗浄媒体6は洗浄対象物5によってはサイズや材質を変えることが効果的な場合もあり、前記条件にとらわれず洗浄対象物5に応じて適切な条件を選択する。
The
このように薄片状の洗浄媒体6は投影面積が大きい方向に気流の力が作用した場合、空気抵抗力に対する質量が非常に小さいため気流によって容易に加速されて高速飛翔する。また、投影面積が小さい方向には空気抵抗が小さく、その方向へ飛翔した場合、高速運動が長距離維持される。このため洗浄媒体6の持つエネルギが大きく、洗浄対象物5に接触したときに作用する力が大きくなって付着した付着物を有効に除去することができるとともに洗浄媒体6を繰返し循環して洗浄対象物5に接触する頻度を増すことができ洗浄効率を高めることができる。
Thus, when the force of the airflow acts in the direction where the projected area is large, the
また、薄片状の洗浄媒体6は、姿勢によって空気抵抗が大きく変化するため、気流に沿って動くだけでなく急に方向を変えるなど複雑な運動をして洗浄対象物5に繰返し接触するので比較的複雑な形状の洗浄対象物5の洗浄効率を高めることができる。
In addition, since the air resistance of the flake-
洗浄槽ユニット2は洗浄槽7と洗浄媒体戻し手段9を有する。洗浄槽7は、例えば両側が封止された半円筒形や長方形や角錐形状に形成され、上部に開口部を有し、例えば半円筒形の壁面には気体や粉塵を通過させるが洗浄媒体6が通り抜けられない小孔やスリットを多数有する洗浄媒体分離手段10を有し、開口部方向に洗浄媒体6を加速する洗浄媒体加速手段8を有する。
The
洗浄媒体加速手段8は複数の噴出し口を有する洗浄媒体加速ノズル11と例えばコンプレッサからなる圧縮空気供給装置12を有する。洗浄媒体加速ノズル11は複数の噴出し口を洗浄槽7の底面中心に沿って一直線に配置して洗浄槽7を貫通して設けられている。圧縮空気供給装置12は制御弁13を有する送気管14を介して洗浄媒体加速ノズル11に圧縮空気を供給して噴射させ、洗浄媒体6を高速飛翔させる。
The cleaning medium accelerating means 8 includes a cleaning
洗浄媒体戻し手段9は洗浄槽7の洗浄媒体分離手段10に接続された吸引ダクト15と吸引装置16及び洗浄媒体減速部材17を有する。吸引装置16は吸引管18を介して洗浄媒体分離手段10の小孔やスリットを通って吸引ダクト15に吸引される空気や粉塵などを搬送する。この吸引装置16は洗浄媒体加速ノズル11から流れ出す圧縮空気の流量に比べて十分な流量を吸引し、洗浄槽7内を負圧にするだけの性能を有する。洗浄媒体減速部材17は一定長さを有し凹形状に形成され、洗浄槽7の両側に設けられている。この洗浄媒体減速部材17の水平な層流形成面19の上面の角部には厚さが例えば約5mmの角柱形状のリニアガイド20を有する。このリニアガイド20は表面が滑らかな材質、例えばフッ素樹脂で形成され、洗浄対象物保持手段3を保持し、洗浄媒体減速部材17の平行な側面ガイド21とともに洗浄対象物保持手段3の移動を案内する。このリニアガイド20で形成する層流形成面19の水平な上面と洗浄対象物保持手段3との間隙22は洗浄媒体6が挟まらず、かつ流入する気流が十分高速になる大きさであれば良く、前記条件にとらわれず洗浄媒体6のサイズに応じて適切な条件を選択する。
The cleaning medium return means 9 includes a
洗浄対象物保持手段3は、洗浄対象物5の長さより大きい長さを有する板形状をしており、中央部に開口部封止部材4を固定した洗浄対象物5の形状に合わせた凹形状の洗浄対象物保持部を有する。洗浄対象物保持部の側面はウレタンゴムや発泡樹脂などの弾性のある部材で構成されており洗浄対象物5を固定する。なお、洗浄対象物保持部は、気流が漏れず、洗浄媒体6が詰まってしまうような間隙が存在しないように洗浄対象物5を保持する構成であればどのように保持しても良い。この洗浄対象物保持手段3の洗浄対象物保持部近傍には、例えばパンチングメタルやスリットの開いた樹脂製の板、柔軟なフィルムやゴム板、ブラシなどの通気性を有するスクレーパーからなる洗浄媒体堰き止め手段23を有する。また、洗浄対象物保持手段3は、図3(a)の平面図と(b)のA−A断面図に示すように、洗浄対象物5の形状に合わせた開口部を備える構成でも良い。洗浄対象物保持部の弾性部材39が洗浄対象物5に密接し、さらに開口部封止部材4が洗浄対象物5に固定されているため、洗浄媒体6や洗浄対象物から除去された付着物は洗浄槽の外に漏れない。
The cleaning object holding means 3 has a plate shape having a length larger than the length of the
この洗浄対象物保持手段3は、例えば直動モータやエアシリンダ、ワイヤー駆動手段等の不図示の駆動手段に着脱自在となっており、制御装置からの制御信号により駆動手段を駆動して洗浄槽ユニット2の動作と並行して層流形成部19に沿って移動する。
The cleaning object holding means 3 is detachably attached to a driving means (not shown) such as a linear motor, an air cylinder, or a wire driving means, and the driving means is driven by a control signal from a control device to wash the cleaning tank. It moves along the laminar
この乾式洗浄装置1で洗浄する洗浄対象物5は、図4の斜視図に示すように、複数の開口部24を有するマスク治具等である。この洗浄対象物5の開口部24から洗浄媒体6や除去された固着汚れが漏れることを防ぐため、開口部封止部材4は洗浄対象物5の洗浄対象面と反対側の開口部24を有する部分に固定される。開口部封止部材4の洗浄対象物5の開口部24に対応する部分には、図5の斜視図に示すように、洗浄媒体飛翔方向制御手段25が固定されている。洗浄媒体飛翔方向制御手段25は4つの傾斜面を有する角錐状または角錐台状に形成され、各傾斜面に噴射口26を有する。この噴射口26は、図6の断面図に示すように、洗浄対象物5に固定される面と反対側の大気開放口27に連通し、洗浄槽7内が負圧にすることにより洗浄対象物保持手段3に設けた貫通孔26から開口部24に流入気流を生じさせる。
The
この乾式洗浄装置1で開口部24を有する洗浄対象物5に付着したフラックス等の汚れや粉塵を除去する動作を説明する。
An operation of removing dirt and dust such as flux attached to the
まず、洗浄槽7に適量の洗浄媒体6を投入し、図2に示すように、開口部封止部材4の洗浄媒体飛翔方向制御手段25を洗浄対象物5の開口部24に位置合わせして洗浄対象物5の上に開口部封止部材4を固定する。この開口部封止部材4を固定した洗浄対象物5を洗浄対象物保持手段3で保持し、洗浄対象物5を洗浄槽ユニット2側にして洗浄対象物保持手段3を洗浄槽ユニット2に載置し、不図示の駆動手段に連結し、図1に示すように、洗浄対象物5を洗浄槽7の上に移動する。この状態で図示していない制御装置を稼働させると、制御装置は、まず吸引装置16を駆動させて洗浄槽7内の空気を吸引する。この洗浄槽7内の空気の吸引により外気との差圧が生じ、リニアガイド20により形成された層流形成部19と洗浄対象物保持手段4の間の間隙22が流路となり、洗浄槽7内に向かう気流が発生する。この気流は層流形成部19の平坦な面を通過して層流化され、外気を洗浄槽7内に流入させる。次に制御装置は圧縮空気供給装置12を駆動して制御弁13を開いて洗浄媒体加速ノズル11に圧縮空気を供給して洗浄媒体加速ノズル11から洗浄槽7内に垂直上方向の高速気流を発生させる。この高速気流により、図2に示すように、洗浄媒体6が高速で飛翔して洗浄対象物5に衝突して洗浄対象物5表面に付着している汚れや粉塵等を効率良く除去する。洗浄対象物5に衝突した洗浄媒体6は気流の流れと重力によって落下し、洗浄媒体分離手段10上を吸引されながら洗浄媒体加速ノズル11の近傍に滑り落ちる。このとき、同時に、洗浄媒体6に付着した汚れが分離・吸引される。洗浄媒体分離手段10で分離した汚れや粉塵等は吸気ダクト15と吸引管18を通って吸引装置16により回収される。また、洗浄媒体加速ノズル11の近傍に落下した洗浄媒体6は再び洗浄媒体加速ノズル11により噴射する高速気流によって垂直上方向に飛翔する。この動作を繰り返すことにより、洗浄対象物5の表面の汚れや粉塵や付着物等が除去される。
First, an appropriate amount of the cleaning
この洗浄媒体加速ノズル11により噴射する高速気流のなかで洗浄対象物5の開口部24に向かって吹き付ける気流は、図6に示すように、洗浄媒体飛翔方向制御手段25の傾斜面に沿って流れる。この洗浄媒体飛翔方向制御手段25の傾斜面に設けられた噴射口26からは、洗浄槽7内の負圧と大気圧との差圧により気流が流入しているから、この流入気流により水平方向に向かう気流がより強化される。このため洗浄対象物5の開口部24内に飛翔した洗浄媒体6は形成された気流に乗って飛翔方向を変え、洗浄対象物5の開口部24の内面に垂直に衝突して汚れや粉塵等を除去する。
Among the high-speed air flow ejected by the cleaning
この飛翔する洗浄媒体6により洗浄対象物5を洗浄しているとき、層流形成部19と洗浄対象物保持手段3との間隙22からは層流された強い気流が流れ込んでくる。したがって間隙22に入り込もうとする洗浄媒体6は押し戻されて洗浄槽7外には排出されないで最終的には洗浄媒体堰き止め手段23により阻止されて洗浄槽7の外縁上に落下して停止する。
When the
この洗浄媒体6を洗浄媒体加速ノズル11により飛翔させて洗浄対象物5を洗浄するとき、制御弁13を間欠駆動して洗浄媒体加速ノズル11からの高速気流の噴射と停止を繰り返す。この高速気流の噴射と停止を繰り返すことにより、洗浄槽7の内外の差圧が大きくなるタイミングが発生し、より確実に洗浄媒体6を洗浄槽7内に引き戻す力を得ることができるとともに洗浄媒体飛翔方向制御手段25の傾斜面に設けられた噴射口26からの流入気流の流速を大きくすることができる。
When the cleaning
制御装置は制御弁13の間欠駆動と平行して洗浄対象物保持手段3を洗浄槽ユニット2の層流形成部19の側面ガイド21とリニアガイド20に沿って洗浄槽7の前後に往復移動して洗浄対象物5の全面を洗浄する。この洗浄対象物保持手段3を少なくとも1往復、必要ならば数回往復させたあとに、制御装置は圧縮空気供給装置12と吸引装置16の駆動を停止して一連の洗浄動作を完了させる。
In parallel with the intermittent drive of the
このように洗浄対象物保持手段3を洗浄槽7に対して前後に移動して洗浄対象物5を洗浄することにより、洗浄対象物5の開口部24を含む全面を確実に洗浄することができる。また、洗浄対象物保持手段3を洗浄槽6に対して前後に間欠移動するとき洗浄媒体堰き止め手段23により層流形成部19と洗浄対象物保持手段3の間の間隙22に残留した洗浄媒体6を掃き取って洗浄槽7内に確実に回収することができる。
Thus, by cleaning the
前記説明では洗浄媒体飛翔方向制御手段25の噴射口26から洗浄槽7内の負圧と大気圧との差圧により気流を流入させる場合について示したが、外部の加圧空気供給源から加圧空気を洗浄媒体飛翔方向制御手段25に供給して噴射口26から噴射させても良い。
In the above description, the case where the airflow is caused to flow from the
また、前記説明では洗浄媒体飛翔方向制御手段25の傾斜面に噴射口26を設けた場合について示したが、図7(a)の平面図と(b)の側面図に示すように、円筒状のノズルヘッドに加圧空気を外周面の法線に対して所定角度傾けて噴射する噴射ノズル30を例えば3個有し、開口部封止部材4に外部から供給される加圧空気を3方から噴射して回転する回転ノズル31を有する洗浄媒体飛翔方向制御手段25を設けても良い。
Further, in the above description, the case where the
この洗浄媒体飛翔方向制御手段25を構成する回転ノズル31を回転自在に取付けた開口部封止部材4は、図8に示すように、上部に複数のガイドピン32と固定ばね33を有し、ガイドピン32と固定ばね33により洗浄対象物保持手段3に位置決めして取り付け、回転ノズル31の空気供給部を洗浄対象物保持手段3に設けた空気供給継手34にそれぞれ連結する。洗浄対象物保持手段3の各空気供給継手34は電磁弁35を介して加圧空気供給チューブ36に連結されている。この開口部封止部4を洗浄対象物5に固定して洗浄対象物保持手段3に取付けたとき、開口部封止部材4を固定ばね33により洗浄対象物3に押し付けて洗浄対象物3の開口部24周囲に隙間が生じることを防ぐ。
The
この回転ノズル31を有する洗浄媒体飛翔方向制御手段25が設けられた開口部封止部4の洗浄媒体飛翔方向制御手段25を洗浄対象物5の開口部24に位置合わせして洗浄対象物5の上に開口部封止部材4を固定して、開口部封止部材4を固定した洗浄対象物5を洗浄対象物保持手段3で保持した状態で洗浄対象物5を洗浄槽7の上に移動して洗浄媒体6を飛翔させて洗浄対象物5を洗浄しているとき、加圧空気供給チューブ36から電磁弁34を介して洗浄媒体飛翔方向制御手段25の回転ノズル31に加圧空気を供給する。回転ノズル31に供給された加圧空気は各噴射ノズル30から噴射され、回転ノズル31を回転するとともに洗浄対象物5の開口部24の内面方向に気流を噴射する。この回転ノズル31から噴射する気流により開口部24内に飛翔した洗浄媒体6は飛翔方向を変え、洗浄対象物5の開口部24の内面に垂直に衝突して汚れや粉塵等を除去する。
The cleaning medium flying direction control means 25 of the
このように回転ノズル31の各噴射ノズル30から加圧空気を外周面の法線に対して所定角度傾けて噴射することにより洗浄媒体6の飛翔方向を非接触で変えられるため、洗浄媒体6に加えられるダメージをより少なくするとともに、薄片状の洗浄媒体6を遠心方向に容易に加速することができる。また、各噴射ノズル30から間欠的に気流を噴射することにより、加圧空気の消費量を低減することができる。
In this way, the jet direction of the cleaning
前記説明では回転ノズル31を各噴射ノズル30から噴出する気流で回転させる場合について示したが、回転ノズル31を回転させずに固定しておいても、開口部24内に飛翔した洗浄媒体6を遠心方向に飛翔させることができる。
In the above description, the rotating
また、前記説明では回転ノズル31の各噴射ノズル30から洗浄対象物5の開口部24の内面に対して所定角度傾けた気流により洗浄媒体6を衝突させる場合について説明したが、回転ノズル31の代わりに、図8に示すように、複数例えば3枚の回転羽根37を有する羽根車38を回転させて、衝突した洗浄媒体6を遠心方向に投射しても良い。この羽根車38はモータにより外部から回転駆動しても良い。また、回転羽根37の適切にして洗浄媒体加速手段8の洗浄媒体加速ノズル11から噴射する高速気流により回転しても良い。
Further, in the above description, the case where the cleaning
この乾式洗浄装置1を使用して多くの開口部を有する洗浄対象物5を洗浄することにより、洗浄対象物5を繰り返して利用することができ、資源を有効に利用することができる。また、洗浄対象物5の開口部の位置や数が異なっても、それに応じた開口部封止部材4を使用すれば良いから、各種の洗浄対象物5の洗浄に適用することができる。
By using the
1;乾式洗浄装置、2;洗浄槽ユニット、3;洗浄対象物保持手段、
4;開口部封止部材、5;洗浄対象物、6;洗浄媒体、7;洗浄槽、
8;洗浄媒体加速手段、9;洗浄媒体戻し手段、10;洗浄媒体分離手段、
11;洗浄媒体加速ノズル、12;圧縮空気供給装置、13;制御弁、
14;送気管、15;吸引ダクト、16;吸引装置、17洗浄媒体減速部材、
18;吸引管、19;層流形成面、20;リニアガイド、21;側面ガイド、
22;間隙、23;洗浄媒体堰き止め手段、24;開口部、
25;洗浄媒体飛翔方向制御手段、26;噴射口、27;大気開放口、
30;噴射ノズル、31;回転ノズル、32;ガイドピン、33;固定ばね、
34;空気供給継手、35;電磁弁、36;加圧空気供給チューブ、
37;回転羽根、38;羽根車、39;弾性部材。
1; dry cleaning device, 2; cleaning tank unit, 3;
4; Opening sealing member, 5; Cleaning object, 6; Cleaning medium, 7; Cleaning tank,
8; Cleaning medium acceleration means, 9; Cleaning medium return means, 10; Cleaning medium separation means,
11; Cleaning medium acceleration nozzle, 12; Compressed air supply device, 13; Control valve,
14; air pipe, 15; suction duct, 16; suction device, 17 cleaning medium moderator,
18; suction pipe, 19; laminar flow forming surface, 20; linear guide, 21; side guide,
22; gap, 23; cleaning medium damming means, 24; opening,
25; cleaning medium flying direction control means, 26; injection port, 27; atmosphere opening port,
30; injection nozzle, 31; rotating nozzle, 32; guide pin, 33; fixed spring,
34; air supply joint, 35; solenoid valve, 36; pressurized air supply tube,
37; Rotating blade, 38; Impeller, 39; Elastic member.
Claims (9)
前記洗浄対象物の開口部を封止する開口封止部材と洗浄槽を有し、
前記洗浄槽は、一方に開口部を有し、壁面には気体や粉塵を通過させるが洗浄媒体が通り抜けられない洗浄媒体分離手段を有し、前記開口部方向に洗浄媒体を加速する洗浄媒体加速手段を有し、
前記開口部封止部材は、飛翔した洗浄媒体の飛翔方向を切り替える洗浄媒体飛翔方向制御手段を有することを特徴とする乾式洗浄装置。 A dry cleaning apparatus for cleaning a flaky cleaning medium flowing by a high-speed airflow by colliding with a cleaning object having one or a plurality of openings,
Having an opening sealing member and a cleaning tank for sealing the opening of the object to be cleaned;
The cleaning tank has an opening on one side, and has cleaning medium separating means that allows gas and dust to pass through the wall surface but cannot pass through the cleaning medium, and accelerates the cleaning medium in the direction of the opening. Having means,
The dry-type cleaning apparatus, wherein the opening sealing member has cleaning medium flying direction control means for switching a flying direction of the cleaned cleaning medium.
前記洗浄対象物に固定されて開口部を封止する開口封止部材と洗浄槽と洗浄対象物保持手段と洗浄媒体戻し手段を有し、
前記洗浄槽は、一方に開口部を有し、壁面には気体や粉塵を通過させるが洗浄媒体が通り抜けられない洗浄媒体分離手段を有し、前記開口部方向に洗浄媒体を加速する洗浄媒体加速手段を有し、
前記洗浄媒体戻し手段は、前記洗浄媒体分離手段を介して接続された吸引装置と、前記洗浄槽の開口部の外縁に設けられ、前記洗浄対象物保持手段を保持して一定間隔の気体流入路を形成する洗浄媒体減速手段を有し、
前記開口部封止部材は、洗浄媒体の飛翔方向を切り替える洗浄媒体飛翔方向制御手段を有し、 前記洗浄対象物保持手段は、前記開口部封止部材を固定した洗浄対象物を保持し、前記洗浄媒体減速手段に沿って移動自在であることを特徴とする乾式洗浄装置。 A dry cleaning apparatus for cleaning a flaky cleaning medium flowing by a high-speed airflow by colliding with a cleaning object having one or a plurality of openings,
An opening sealing member that is fixed to the cleaning object and seals the opening, a cleaning tank, a cleaning object holding means, and a cleaning medium return means;
The cleaning tank has an opening on one side, and has cleaning medium separating means that allows gas and dust to pass through the wall surface but cannot pass through the cleaning medium, and accelerates the cleaning medium in the direction of the opening. Having means,
The cleaning medium return means is provided at an outer edge of the suction device connected via the cleaning medium separation means and the opening of the cleaning tank, and holds the cleaning object holding means, and has a gas inflow passage at regular intervals. Having a cleaning medium deceleration means for forming
The opening sealing member has cleaning medium flying direction control means for switching the flying direction of the cleaning medium, the cleaning object holding means holds the cleaning object to which the opening sealing member is fixed, and A dry cleaning apparatus characterized by being movable along a cleaning medium decelerating means.
洗浄槽内の空気を吸引している状態で洗浄媒体加速手段により高速気流を発生し、薄片の洗浄媒体を飛翔させて洗浄対象物の開口部に飛翔した洗浄媒体の飛翔方向を洗浄媒体飛翔方向制御手段により切り替えて洗浄対象物の開口部内面を洗浄することを特徴とする洗浄方法。 A cleaning method using the dry cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 7,
While the air in the cleaning tank is being sucked in, the cleaning medium accelerating means generates a high-speed air current, and the cleaning medium flying direction is defined as the cleaning medium flying direction by flying the thin cleaning medium and flying to the opening of the object to be cleaned. A cleaning method characterized by cleaning the inner surface of the opening of the object to be cleaned by switching by a control means.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008237257A JP5273534B2 (en) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | Dry cleaning apparatus, cleaning method, and cleaned items |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008237257A JP5273534B2 (en) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | Dry cleaning apparatus, cleaning method, and cleaned items |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010069368A true JP2010069368A (en) | 2010-04-02 |
JP5273534B2 JP5273534B2 (en) | 2013-08-28 |
Family
ID=42201647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008237257A Active JP5273534B2 (en) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | Dry cleaning apparatus, cleaning method, and cleaned items |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5273534B2 (en) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102649119A (en) * | 2011-02-25 | 2012-08-29 | 株式会社理光 | Dry type cleaning case and dry type cleaning device |
CN102773230A (en) * | 2011-05-11 | 2012-11-14 | 株式会社理光 | Cleaning media, method of manufacturing cleaning media, and dry-type cleaning device |
CN103071644A (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-01 | 株式会社理光 | Anti-cleanser dispersing element, object holder, and dry washing device |
CN103402658A (en) * | 2011-02-25 | 2013-11-20 | 株式会社理光 | Dry-type cleaning chassis, dry-type cleaning device, and dry-type cleaning system |
US8713750B2 (en) | 2010-11-17 | 2014-05-06 | Ricoh Company, Ltd. | Dry-type cleaning chassis and dry-type cleaning device |
CN104669124A (en) * | 2013-11-29 | 2015-06-03 | 富士通株式会社 | Cleaning apparatus and cleaning method |
US9358589B2 (en) | 2010-11-10 | 2016-06-07 | Ricoh Company, Ltd. | Dry type cleaning case and dry type cleaning device |
JP2019062047A (en) * | 2017-09-26 | 2019-04-18 | 三菱電機株式会社 | Foreign matter removing unit, foreign matter removing apparatus, inspection apparatus, and substrate dividing apparatus |
CN109692846A (en) * | 2018-12-29 | 2019-04-30 | 深圳市富诺依科技有限公司 | A kind of dry cleaning device |
CN109701958A (en) * | 2018-12-29 | 2019-05-03 | 深圳市富诺依科技有限公司 | A kind of dry cleaning device |
CN109759390A (en) * | 2018-12-29 | 2019-05-17 | 深圳市富诺依科技有限公司 | A kind of the packaging container component and dry cleaning device of dry cleaning device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05177811A (en) * | 1992-01-06 | 1993-07-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Cleaning method and its device of printing mask |
JP2007245079A (en) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Ricoh Co Ltd | Dry washing method and dry washing device |
-
2008
- 2008-09-17 JP JP2008237257A patent/JP5273534B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05177811A (en) * | 1992-01-06 | 1993-07-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Cleaning method and its device of printing mask |
JP2007245079A (en) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Ricoh Co Ltd | Dry washing method and dry washing device |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9358589B2 (en) | 2010-11-10 | 2016-06-07 | Ricoh Company, Ltd. | Dry type cleaning case and dry type cleaning device |
US8713750B2 (en) | 2010-11-17 | 2014-05-06 | Ricoh Company, Ltd. | Dry-type cleaning chassis and dry-type cleaning device |
CN103402658A (en) * | 2011-02-25 | 2013-11-20 | 株式会社理光 | Dry-type cleaning chassis, dry-type cleaning device, and dry-type cleaning system |
CN102649119A (en) * | 2011-02-25 | 2012-08-29 | 株式会社理光 | Dry type cleaning case and dry type cleaning device |
US9597716B2 (en) | 2011-02-25 | 2017-03-21 | Ricoh Company, Ltd. | Dry-type cleaning chassis, dry-type cleaning device, and dry-type cleaning system |
CN102773230A (en) * | 2011-05-11 | 2012-11-14 | 株式会社理光 | Cleaning media, method of manufacturing cleaning media, and dry-type cleaning device |
US9421588B2 (en) | 2011-10-26 | 2016-08-23 | Ricoh Company, Ltd. | Anti-cleanser dispersing element, object holder, and dry washing device |
CN103071644A (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-01 | 株式会社理光 | Anti-cleanser dispersing element, object holder, and dry washing device |
JP2013107072A (en) * | 2011-10-26 | 2013-06-06 | Ricoh Co Ltd | Anti-cleaning medium dispersing member, cleaning object holder, and dry washing device |
CN104669124A (en) * | 2013-11-29 | 2015-06-03 | 富士通株式会社 | Cleaning apparatus and cleaning method |
JP2015104705A (en) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 富士通株式会社 | Washing device |
TWI612864B (en) * | 2013-11-29 | 2018-01-21 | Fujitsu Ltd | Washing device and washing method |
JP2019062047A (en) * | 2017-09-26 | 2019-04-18 | 三菱電機株式会社 | Foreign matter removing unit, foreign matter removing apparatus, inspection apparatus, and substrate dividing apparatus |
CN109692846A (en) * | 2018-12-29 | 2019-04-30 | 深圳市富诺依科技有限公司 | A kind of dry cleaning device |
CN109701958A (en) * | 2018-12-29 | 2019-05-03 | 深圳市富诺依科技有限公司 | A kind of dry cleaning device |
CN109759390A (en) * | 2018-12-29 | 2019-05-17 | 深圳市富诺依科技有限公司 | A kind of the packaging container component and dry cleaning device of dry cleaning device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5273534B2 (en) | 2013-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5273534B2 (en) | Dry cleaning apparatus, cleaning method, and cleaned items | |
JP4531841B2 (en) | Cleaning device and cleaning method | |
JP4860764B2 (en) | Cleaning device and cleaning method | |
EP2135687B1 (en) | Cleaning apparatus and cleaning method | |
KR101282453B1 (en) | Cleaning device and cleaning method | |
JP5879903B2 (en) | Dry cleaning housing, dry cleaning device and dry cleaning system | |
JP2016129107A (en) | Apparatus and method for removing static electricity | |
JP5061053B2 (en) | Dry cleaning apparatus, dry cleaning method, cleaning product cleaned by the dry cleaning apparatus, and method of manufacturing the regenerator | |
JP5316496B2 (en) | Cleaning medium and cleaning device | |
JP5953975B2 (en) | Cleaning medium splash prevention member, cleaning object holder and dry cleaning device | |
WO2016169372A1 (en) | Sprayer cleaning device | |
KR100673396B1 (en) | Apparatus and method for processing substrate and removing particles thereon using aerial current | |
JP2007059417A (en) | Substrate treatment device | |
JP2014039921A (en) | Dry cleaning housing, dry cleaning device, and dry cleaning method | |
JP4954030B2 (en) | Cleaning medium and dry cleaning apparatus using the same | |
JP2008062148A5 (en) | ||
TWI612864B (en) | Washing device and washing method | |
JP2005046721A (en) | Duct interior cleaning device and duct interior cleaning method | |
JP3131258U (en) | Substrate cleaning device | |
JP2012035193A (en) | Cleaning device and cleaning method | |
WO2020073192A1 (en) | Ultrasonic cleaning machine | |
JP2012210617A (en) | Washing apparatus | |
JP2014140805A (en) | Dry cleaning body and dry cleaning device | |
JP2015217316A (en) | Dry cleaning housing and dry cleaning device | |
JP2016203101A (en) | Dry cleaning housing and dry cleaning device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100115 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130419 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130502 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5273534 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |