JP2015104705A - Washing device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は洗浄装置に関する。 The present invention relates to a cleaning apparatus.
樹脂基板に対し、アイスプラントノズルから、凍結粒子を含んだ洗浄媒体を噴射し、樹脂基板のバリ取り洗浄を行うバリ取り洗浄装置及びバリ取り洗浄方法が知られている(たとえば特許文献1参照)。 A deburring cleaning apparatus and a deburring cleaning method are known in which a cleaning medium containing frozen particles is sprayed from an ice plant nozzle to a resin substrate to perform deburring cleaning of the resin substrate (see, for example, Patent Document 1). .
貫通孔が形成された洗浄対象物では、貫通孔内にも付着物が付着していることがある。 In the object to be cleaned in which the through hole is formed, the deposit may be adhered in the through hole.
1つの側面では、本発明は、貫通孔が形成された洗浄対象物に対する付着物の除去能力を高めることが目的である。 In one aspect, an object of the present invention is to increase the ability to remove deposits on an object to be cleaned in which through holes are formed.
1つの態様では、貫通孔を有する洗浄対象物に噴射口から洗浄剤を噴射し、洗浄対象物に対し噴射口と反対側に設けた吸引口で洗浄剤を吸引する。 In one aspect, the cleaning agent is sprayed from the injection port to the cleaning target having the through hole, and the cleaning agent is sucked by the suction port provided on the side opposite to the injection port with respect to the cleaning target.
貫通孔が形成された洗浄対象物に対する付着物の除去能力が高い。 The ability to remove deposits on the object to be cleaned in which the through holes are formed is high.
第1実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。 1st Embodiment is described in detail based on drawing.
図1には、第1実施形態の洗浄装置12が示されている。
FIG. 1 shows a
洗浄装置12は、チャンバ14を有する。図2〜図4にも示すように、チャンバ14は、密閉された容器である。チャンバ14の内部には、メタルマスク16が収容され、保持される。
The
メタルマスク16は、たとえば、プリント基板の基材上にはんだペースト20(図6参照)を印刷塗布するときのマスクとして用いられる板状の部材である。図1〜図4に示す例では、メタルマスク16は、板状のマスク本体16Aと、マスク本体16Aの周囲に取り付けられた枠状の補強部材16Bと、を有する。
The
メタルマスク16には、図6にも示すように、複数の貫通孔18が形成される。プリント基板の基材上にはんだペースト20を印刷塗布するために使用した後のメタルマスク16では、貫通孔18内に、はんだペースト20の一部が付着物102として付着することがある。はんだペースト20は、たとえば、フラックス20Aとはんだ粒子20Bとが所定の体積比で混合した状態にある。すなわち、はんだペースト20はフラックス20A中にはんだ粒子20Bが分散しており、このはんだペースト20が、メタルマスク16の使用後に貫通孔18内に残留することがある。本実施形態では、メタルマスク16は洗浄対象物の一例であり、はんだペースト20は付着物の一例である。
As shown in FIG. 6, a plurality of through
図2〜図4に詳細に示すように、チャンバ14内には、メタルマスク16を保持する保持部材22が設けられる。保持部材22は、本実施形態では、マスク本体16A及び補強部材16Bを外側から保持し、チャンバ14内の所定位置に設置する。保持部材22は、設置部の一例である。
As shown in detail in FIGS. 2 to 4, a
また、保持部材22は、メタルマスク16をチャンバ14内で保持するが、メタルマスク16の貫通孔18を塞がない。そして、チャンバ14内には、メタルマスク16の下方に下部空間14Bが生じ、メタルマスク16の上方に上部空間14Aが生じる。
The
チャンバ14の側壁14Cには、1又は複数(図2〜図4に示す例では左右の側壁14Cに2つずつ、合計で4つ)の洗浄剤噴射ノズル24が取り付けられる。洗浄剤噴射ノズル24は噴射口部材の一例である。洗浄剤噴射ノズル24は、図3に示すように、洗浄剤供給装置40(図1に示す)から供給された洗浄剤104を、噴射口26からチャンバ14内に噴射する。
One or a plurality of cleaning agent injection nozzles 24 (two in total in the example shown in FIGS. 2 to 4, four in total in the example shown in FIGS. 2 to 4) are attached to the
チャンバ14の上壁14Dには、1つ又は複数(図2〜図4に示す例では上壁14Dの中央に1つ)に吸引ノズル28が取り付けられる。吸引ノズル28は、吸引口部材の一例であり、吸引ノズル28の内部は吸引口30である。吸引ノズル28は、チャンバ14から離間するにしたがって段階的に拡径された円筒状の複数のハウジング32を有する。図2〜図4に示す吸引ノズル28では、上方に向かうにしたがって段階的に拡径された4つのハウジング32を有する。
One or a plurality of
図5に詳細に示すように、吸引口30の内部、すなわちハウジング32のそれぞれには、1つ又は複数(図5の例では、1つのハウジング32あたり4つ)のエア噴射ノズル34が取り付けられる。エア噴射ノズル34のそれぞれは、シャフト36によってハウジング32に回転可能に取り付けられる。
As shown in detail in FIG. 5, one or a plurality (four per one
エア噴射ノズル34のそれぞれは、シャフト36を中心とした回転により、図5に実線で示す第1姿勢34Aと、二点鎖線で示す第2姿勢34Bとの間で姿勢変化する。エア噴射ノズル34は、第1姿勢34Aでは、ハウジング32の中心に向かう方向に対し、一定の角度θ1で傾斜し、第2姿勢34Bでは、第1姿勢34Aと反対側へ一定の角度θ2で傾斜している。角度θ1と角度θ2は等しくてもよいし、異なっていてもよい。エア噴射ノズル34の姿勢は、図7に示すように、制御装置38によって制御される。
Each of the
エア噴射ノズル34は、エア供給装置42(図1に示す)から供給されたエアをハウジング32内に噴射するノズルであり、エア噴射部材の一例である。さらに、エア噴射ノズル34は、チャンバ14内での洗浄剤104の移動方向を、貫通孔18の貫通方向に対し傾斜させる傾斜部材の一例である。
The
エア噴射ノズル34のそれぞれが上記した所定の角度θ1又はθ2で傾斜している状態では、ハウジング32内及びチャンバ14内に渦巻106が発生する。なお、本実施形態では、便宜的に、エア噴射ノズル34が第1姿勢34A(角度θ1)にあるときにチャンバ14内で生じる渦巻の向きを右向き(図5に示す向き)とする。したがって、第2姿勢34B(角度θ2)にあるときにチャンバ14内で生じる渦巻の向きは、左向き(図5に示す向きと反対向き)である。
In the state where each of the
チャンバ14内で生じる渦巻106により、チャンバ14内における洗浄剤104の移動方向が変化される。特に、図8Aに示すように、メタルマスク16の貫通孔18の貫通する方向(メタルマスク16の法線方向)に対する、洗浄剤104の移動方向M1が傾斜する。
The direction of movement of the
また、図8Bに示すように、メタルマスク16を平面視したとき、貫通孔18の内部にも渦巻108が生じる。この渦巻108により、貫通孔18の内部における洗浄剤104の移動方向M2は、種々の方向を採りうる。
Further, as shown in FIG. 8B, when the
図1に示すように、洗浄装置12は、洗浄剤供給装置40及び回収装置66を有する。洗浄剤供給装置40は、供給口46から第1ポンプ48及びバッファタンク50を経て第2ポンプ52で分岐し洗浄剤噴射ノズル24に至る第1配管64Aを有する。第1配管64Aにおいて分岐した分岐部分64A1には、粒状体生成装置54が設けられる。第1配管64Aは供給配管の一例である。
As shown in FIG. 1, the
これに対し、回収装置66は、戻し部材44を有する。戻し部材44は、吸引ノズル28から第3ポンプ56、フィルタ58及び貯留タンク60、第1バルブ62を経てバッファタンク50に至る第2配管64Bを有する。第1配管64A、64A1において、バッファタンク50から洗浄剤噴射ノズル24に至る部分と、第2配管64Bと、は戻し部材44である。すなわち、第1配管64A、64A1において、バッファタンク50から洗浄剤噴射ノズル24に至る部分は、供給配管と戻し配管とを兼ねている。
On the other hand, the recovery device 66 has a
回収装置66は、第3ポンプ56の駆動により、チャンバ14内の洗浄剤104を、第2配管64Bを介して回収し、貯留タンク60に送ることができる。
The recovery device 66 can recover the
貯留タンク60には、第2バルブ72によって開閉される排出配管70が接続される。
A
洗浄媒体(本実施形態の例では水)は、第1配管64Aの一端の供給口46から供給され、バッファタンク50に一時的に貯留される。バッファタンク50内の洗浄媒体は、第2ポンプ52が駆動されると、粒状体生成装置54に送られる。
The cleaning medium (water in the example of this embodiment) is supplied from the
本実施形態では、粒状体生成装置54は、第1配管64A1に設けられた噴霧器74及び冷却機76を有する。液状の洗浄媒体は、噴霧器74による霧化と冷却機76による冷却を経て洗浄剤噴射ノズル24に送られる。液状の水の一部又は全部は、霧化及び冷却により固化され、氷粒子となる。そして、図3に示すように、氷粒子が洗浄剤104として、洗浄剤噴射ノズル24からチャンバ14内に噴射される。氷粒子は、粒状体の一例である。
In this embodiment, the granule production |
冷却機76では、霧状の水に酸素以外のガス(たとえば二酸化炭素や窒素)を混合することも可能である。酸素以外のガスがチャンバ14内に送られることで、チャンバ14内の酸素量が減る。チャンバ14内の酸素量が減ることで、はんだペースト20に含有されたフラックス20Aが酸化して粘度上昇することが抑制される。
In the cooler 76, a gas other than oxygen (for example, carbon dioxide or nitrogen) can be mixed with the mist-like water. By sending a gas other than oxygen into the
チャンバ14内の洗浄剤104の一部は、第2配管64Bに設けられた第3ポンプ56の駆動により、吸引ノズル28で吸引される。吸引ノズル28で吸引された洗浄剤104は、フィルタ58を経て貯留タンク60に送られる。
A part of the
フィルタ58は、洗浄剤104に含まれる付着物(メタルマスク16から除去したはんだペースト20等)の一部を、洗浄剤104から分離する。付着物が分離された洗浄剤104は、貯留タンク60に一時的に貯留される。
The
貯留タンク60には凝固点センサ78が設けられる。洗浄剤104に付着物が多く残留していると、洗浄剤104の凝固点も低くなる。すなわち、凝固点センサ78により洗浄剤104の凝固点を測定することで、洗浄剤104が付着物を多く含んでいるか否かを判断できる。図7に示すように、凝固点センサ78による測定データは、制御装置38に送られる。
The
洗浄剤104に残留した付着物が多い等の理由で、洗浄剤104を再利用しない場合は、制御装置38は、排出配管70の第2バルブ72を開弁する。貯留タンク60内の洗浄剤104を排出配管80から排出できる。
When the
これに対し、洗浄剤104に残留した付着物が少ない等の理由で、洗浄剤104を再利用する場合は、制御装置38は、第1バルブ62を開弁し、貯留タンク60内の洗浄剤104をバッファタンク50に移動できるようにする。バッファタンク50に戻った洗浄剤104は、チャンバ14内のメタルマスク16の洗浄に再利用される。
On the other hand, when the
なお、第2配管64Bにおける貯留タンク60とバッファタンク50の間の部分にもフィルタを設け、洗浄剤104から付着物をさらに分離できるようにしてもよい。
Note that a filter may be provided in a portion of the
図1〜図4に示すように、チャンバ14の下壁14Eには、1つ又は複数(図1〜図4に示す例では下壁14Eの中央に1つ)の反対側吸引ノズル82が取り付けられる。反対側吸引ノズル82は円筒状に形成されており、反対側吸引ノズル82の内部が反対側吸引口84である。反対側吸引ノズル82は、メタルマスク16に対し、吸引ノズル28と反対側に位置する。そして、反対側吸引口84も、メタルマスク16に対し、吸引口30と反対側に位置する。
As shown in FIGS. 1 to 4, one or more (one in the center of the
反対側吸引ノズル82には、回収装置68が設けられる。回収装置68は、反対側吸引ノズル82に接続される排出配管86を有する。
The
排出配管86には、第4ポンプ88、沈殿タンク90、フィルタ92及び第3バルブ94が設けられる。回収装置68は、第4ポンプ88の駆動により、チャンバ14内の洗浄剤104を、排出配管86を介して回収し、沈殿タンク90に送ることができる。
The
沈殿タンク90では、洗浄剤104内の付着物102が沈殿される。沈殿タンク90内にたまった付着物(沈殿物)は、所定の条件で(たとえば定期的に)沈殿タンク90から廃棄できる。そして、制御装置38が第3バルブ94を開弁することで、沈殿タンク90内の洗浄剤104の上澄み部分を、排出配管86の排出口から排出できる。
In the
図1〜図4に示すように、チャンバ14の上壁14Dの下面には、複数の反射部材96が形成される。反射部材96は、傾斜部材の一例である。
As shown in FIGS. 1 to 4, a plurality of reflecting
反射部材96のそれぞれは、チャンバ14内に収容されたメタルマスクの貫通方向(矢印P1方向)に対して傾斜する1つ又は複数(図1〜図4の例では2つ)の傾斜面98を有する。図1〜図4に示す例では、隣接する傾斜面98は、互いに反対方向に傾斜している。傾斜面98にあたった洗浄剤104は、上壁14Dに対する入射角と異なる反射角で反射される。
Each of the reflecting
反射部材96の形状は限定されず、たとえば、円錐状あるいは角錐状の形状(底面が上になる向き)が挙げられる。複数の反射部材96の間には隙間があいていてもよいが、図1〜図4に示すように、複数の反射部材96を隙間なく形成すると、所定面積あたりの形成できる反射部材96の数が多くなる。
The shape of the reflecting
本実施形態では、傾斜面98は、チャンバ14の内面の一部として形成されている。すなわち、チャンバ14内で反射部材96がチャンバ14と一体化されている。
In the present embodiment, the
図7に示すように、凝固点センサ78における測定データは制御装置38に送られる。制御装置38では、第1〜第4ポンプ48、52、56、88、第1〜第3バルブ62、72、94及びエア噴射ノズル34を制御する。制御装置38は、第1〜第4ポンプ48、52、56、88、第1〜第3バルブ62、72、94及びエア噴射ノズル34の駆動を制御するコンピュータであってもよいし、シーケンス制御を行う制御装置であってもよい。
As shown in FIG. 7, the measurement data in the
次に、本実施形態の作用及び洗浄方法を説明する。 Next, the operation and cleaning method of this embodiment will be described.
メタルマスク16を洗浄装置12で洗浄するには、図2に示すように、メタルマスク16をチャンバ14内で保持部材22に保持させる。これにより、メタルマスク16が所定位置で保持された状態で設置されるので、洗浄時のメタルマスク16の位置ずれを抑制できる。
In order to clean the
そして、必要に応じて、チャンバ14内を、ポンプ等を用いて減圧する。このときに用いるポンプは、たとえば、チャンバ14内の減圧用に設けたポンプを用いることが可能である。
And if necessary, the inside of the
図9には、第2ポンプ52の駆動・停止、第3ポンプ56の駆動・停止、エア噴射ノズル34の姿勢変化、及び、第4ポンプ88の駆動・停止のタイミングの一例が示されている。なお、図9において示す各タイミング(T1〜T10)は説明の便宜のための一例である。たとえば、図9ではT1〜T10間の各時間間隔が一定であるが、これら時間間隔は一定でなくてもよい。
FIG. 9 shows an example of the timing of driving / stopping the
チャンバ14内に設置されたメタルマスク16を洗浄するときは、第2ポンプ52を駆動してチャンバ14内に洗浄剤104を供給する(T1〜T2)。これにより、図3に示すように、洗浄剤噴射ノズル24からメタルマスク16に向かって洗浄剤104が噴射される。このとき、第3ポンプ56も駆動し、チャンバ14内に渦巻106を発生させつつ、チャンバ14内を吸引口30で吸引する。さらに、エア噴射ノズル34(第1姿勢34Aにある)からエアを噴射する。これにより、チャンバ14内に渦巻106が発生される。なお、このとき、第4ポンプ88は停止しているので、反対側吸引口84から洗浄剤104が吸引されない。
When cleaning the
そして、洗浄剤104が貫通孔26を通過するときに、はんだペースト20に衝突し、はんだペースト20をメタルマスク16から除去する。
Then, when the
本実施形態では、噴射口26と吸引口30とがメタルマスク16に対し互いに反対側の位置にある。したがって、吸引口30がない構造や、吸引口30がメタルマスク16に対し噴射口26と同じ側にある構造と比較して、噴射口26から噴射された洗浄剤104が、下部空間14Bからメタルマスク16の貫通孔18を通り抜けやすい。このため、貫通孔18内の付着物102を除去する能力が高い。
In the present embodiment, the
特に、図6に示すように、貫通孔18内にははんだペースト20が残存していることがあるが、本実施形態の洗浄装置12では、このはんだペースト20を除去する能力が高い。なお、メタルマスク16において、貫通孔18以外の箇所についても、洗浄剤104が吸引口30で吸引されることで強く当たる。洗浄剤104が強く当たることで、貫通孔18以外の箇所についても、本実施形態の洗浄装置12では、洗浄能力が高い。
In particular, as shown in FIG. 6, the
本実施形態では、吸引口30において、エア噴射ノズル34からエアを噴射することで、チャンバ14内に渦巻106を発生させる。なお、この状態では、エア噴射ノズル34は第1姿勢34Aにあるので、渦巻106は右回りである。
In the present embodiment, the
この渦巻106により、図8Aに矢印M1で示すように、洗浄剤104がメタルマスク16の貫通孔18の内面18Sに対し傾斜して付着物102を除去する。また、洗浄剤104は、図8Bに矢印M2で示すように、貫通孔18内で回転し、貫通孔18の内面18Sに対し、矢印M2と異なる方向で傾斜して付着物102を除去する。このため、チャンバ14内に渦巻106を発生させない構造と比較して、メタルマスク16に対する洗浄効果が高い。
Due to the
なお、エア噴射ノズル34は、チャンバ14内に渦巻106を発生させるためには、チャンバ14内に設けられていてもよい。図1〜図4に示すように、エア噴射ノズル34を吸引口30の内部に設けると、チャンバ14内に多数のエア噴射ノズル34を設けるためのスペースが不要であり、チャンバ14の小型化を図ることができる。
The
これに対し、図10に示すように、エア噴射ノズル34をチャンバ14内に設けた構造としてもよい。図10に示す構造では、多数のエア噴射ノズル34を設けることは難しいが、メタルマスク16に近い位置で渦巻を発生させることができる。
On the other hand, as shown in FIG. 10, the
チャンバ14内で下部空間14Bから貫通孔18を通り上部空間14Aへ上昇した洗浄剤104は、傾斜面98に当たって反射される。そして、図4に示すように、再度貫通孔18と通る。傾斜面98は、貫通孔18の貫通方向に対し傾斜しており、反射後の洗浄剤104は、上昇時とは異なる角度で下降する。すなわち、洗浄剤104は、下降時には上昇時とは異なる角度で貫通孔18を通過する可能性が高い。このため、傾斜面98がない構造と比較して、メタルマスク16に対する洗浄能力が高い。
The
しかも、本実施形態では、隣接する傾斜面98では、傾斜方向が互いに異なっている。したがって、すべての傾斜面98の角度が同じである構造と比較すると、洗浄剤104をランダムに反射させることができる。すなわち、メタルマスク16に対し種々の角度で洗浄剤104が当たる可能性が高いので、メタルマスク16に対する洗浄能力が高い。
Moreover, in the present embodiment, the inclined directions of adjacent
なお、図1〜図4に示す例では、それぞれの反射部材96の両側に現れる対称形状の傾斜面98を挙げているが、傾斜面98の角度がランダムであってもよい。
In the example shown in FIGS. 1 to 4, the symmetrical
傾斜面98を有する反射部材96は、上記実施形態では、チャンバ14の内面に形成される。傾斜面98を有する反射部材96は、チャンバ14とは別体であってもよいが、上記のようにチャンバ14の内面に形成すると、傾斜面98はチャンバ14と一体化されるので、部品点数が少ない。また、傾斜面(反射部材)をチャンバ14に取り付けるための部材も不要である。
The
図9に示すように、第2ポンプ52及び第3ポンプ56は、一定時間の駆動後に停止される(T2)。エア噴射ノズル34も停止される。
As shown in FIG. 9, the
次に、制御装置38は第4ポンプ88を駆動する(T2〜T3)。これにより、チャンバ14内の洗浄剤104が反対側吸引口84に吸引される。すなわち、傾斜面98による反射や、洗浄剤104に作用する重力に加えて、反対側吸引口84で吸引することで、積極的に洗浄剤104を下方へ移動させて、貫通孔18を通すことができる。
Next, the
しかも、吸引口30での吸引タイミングと、反対側吸引口84での吸引タイミングとが異なっているので、チャンバ14内における洗浄剤104の上下動を、効率的に交互に行わせることができる。
Moreover, since the suction timing at the
第4ポンプ88の一定時間の駆動後、制御装置38は、エア噴射ノズル34を第2姿勢34Bとする(T3)。そして、第2ポンプ52及び第3ポンプ56を駆動する(T3〜T4)。これにより、チャンバ14内で洗浄剤104が上昇し、メタルマスク16の貫通孔18を通過する。このとき、エア噴射ノズル34は第2姿勢34Bであるので、チャンバ14内では、左向きの渦巻が発生する。すなわち、時間T1〜T2と、時間T3〜T4とでは、チャンバ14内に異なる向きの渦巻が発生している。したがって、一方向にのみ渦巻が発生する構造と比較して、貫通孔18内に異なる角度で洗浄剤104を通すので、メタルマスク16に対する洗浄効果が高い。
After driving the
以後は、制御装置38は、第2ポンプ52の駆動によるチャンバ14内からの洗浄剤104の吸引(上方からの吸引)と、第3ポンプ56の駆動によるチャンバ14内からの洗浄剤104の吸引(下方からの吸引)とを交互に行う(T5〜T9)。図9に示す例では、時間T1〜T9で、第2ポンプ52の駆動と第3ポンプ56の駆動とを4回繰り返している。これにより、チャンバ14内で、洗浄剤104の上方への移動と下方への移動とを交互に発生させ、洗浄剤104を貫通孔18に複数回通すことができる。
Thereafter, the
また、制御装置38は、第2ポンプ52の駆動毎に、エア噴射ノズル34の姿勢を第1姿勢34A(T1〜T2、T5〜T6)と第2姿勢34B(T3〜T4、T7〜T8)とに交互に切り替える。これにより、チャンバ14内で、右回りの渦巻と左回りの渦巻とが交互に生じ、メタルマスク16に対し種々の角度で洗浄剤104が当たる。
Further, the
制御装置38は、第2ポンプ52の駆動と第3ポンプ56の駆動の繰り返しを所定回数行った後、第2ポンプ52及び第3ポンプ56を共に駆動する(T9〜T10)。第2ポンプ52の駆動により、チャンバ14内に噴射口26からあらたな洗浄剤104が噴射される。特に、反対側吸引口84からの洗浄剤104の吸引を複数回行った後は、チャンバ14内の洗浄剤が減少しているが、第2ポンプ52の駆動により洗浄剤104をチャンバ14内に供給することで、メタルマスク16に対する洗浄能力を維持できる。そして、チャンバ14内の洗浄剤104が、第2ポンプ52の駆動により、吸引口30を通じて上方へ吸引される。
The
以上のようにしてチャンバ14内でメタルマスク16を洗浄する動作を行うと、チャンバ14内の洗浄剤104の一部は、吸引口30あるいは反対側吸引口84内に入り込むことがある。
When the operation of cleaning the
このように、本実施形態では、チャンバ14内の洗浄剤104を反対側吸引口84及び吸引口30の双方から回収できるので、チャンバ14内に、はんだペースト20が付着した洗浄剤104が滞留することを抑制できる。
Thus, in this embodiment, since the
チャンバ14内からの洗浄剤104の回収は、反対側吸引口84と吸引口30の一方からのみ行ってもよい。特に、はんだペーストが多く付着した洗浄剤104は比重が大きいので、吸引口30よりも反対側吸引口84に入りやすい。換言すれば、反対側吸引口84は、吸引口30よりも下方にあるので、はんだペーストが多く付着し再利用に不向きな洗浄剤104は、メタルマスク16より上方にある吸引口30よりも反対側吸引口84に入りやすい。
The
そして、反対側吸引ノズル82を反対側吸引口84に設けることで、反対側吸引ノズル82が吸引した洗浄剤104を効率的に回収できる。
By providing the
このように反対側吸引口84に入った洗浄剤104は沈殿タンク90に回収される。
Thus, the
沈殿タンク90では、洗浄剤104から、洗浄剤104やフラックス20Aよりも比重の大きいはんだ粒子20Bが沈殿する。そして、制御装置38は、所定のタイミングで、あるいは、沈殿タンク90にはんだ粒子が一定量たまった場合に、第3バルブ94を開弁する。第1バルブ62の開弁により、洗浄剤104の上澄み成分を反対側吸引口84から廃棄できる。
In the
沈殿タンク90内に沈殿したはんだ粒子20Bは、たとえば作業者が定期的に回収する。
For example, an operator periodically collects the
これに対し、吸引口30で吸引した洗浄剤104では、フィルタ58により、はんだペースト20の一部を分離できる。
On the other hand, with the
さらに、吸引口30で吸引した洗浄剤104を貯留タンク60に貯留させることで、洗浄剤104内のはんだペースト20の一部を沈殿させて分離することもできる。
Furthermore, by storing the
吸引口30で吸引した洗浄剤104は、反対側吸引口84で吸引した洗浄剤104よりも比重が小さいことが多い。吸引口30で吸引した洗浄剤104は、貯留タンク60で回収する。
The
そして、はんだペースト20の一部が除去された洗浄剤104のうち、凝固点センサ78による測定結果で再利用可能と判断された洗浄剤104は、第2配管64を経て第1配管64Aの部分)により、バッファタンク50に戻される。すなわち、洗浄剤104の再利用が可能である。
Of the
これに対し、洗浄剤104が、凝固点センサ78による測定結果で再利用可能と判断された場合は、制御装置38は第2バルブ72を開弁する。貯留タンク60内の洗浄剤104は、排出配管70を通じて排出される。
On the other hand, when it is determined that the
本実施形態において、洗浄剤104は粒状体(氷粒子)を含んでいる。粒状体が洗浄対象物の付着物に当たることで、付着物を洗浄対象物から削ぎ落とすように除去する。したがって、粒状体を含まない洗浄剤を使用する構造と比較して、洗浄対象物を洗浄する効果が高い。
In the present embodiment, the
しかも、洗浄剤104が氷粒子を含んでいるので、チャンバ14内を低温に維持しやすい。チャンバ14内を低温に維持することで、はんだペースト20の粘着性が低下するので、メタルマスク16から除去しやすくなる。
Moreover, since the
また、本実施形態の洗浄装置12は、はんだペースト20(付着物)の除去に、氷粒子を用いており、揮発性の有機溶剤を用いない。揮発性の有機溶剤と比較して、氷粒子(水)は取り扱いや再利用が容易であり、低コストで洗浄対象物を洗浄できる。洗浄剤104としての水を再利用することで、洗浄剤の廃棄量を減らすことも可能である。
Further, the
そして、洗浄剤として有機溶剤を用いないことで、マスク本体16Aと補強部材16Bとを接着する接着剤等に与える影響も小さい。
By not using an organic solvent as a cleaning agent, the influence on the adhesive or the like that bonds the
さらに、洗浄剤104として氷粒子を用いると、氷粒子の形状や粒子サイズの自由度が大きい。したがって、メタルマスク16のサイズや貫通孔18のサイズ、はんだペースト20の物性等に応じて、洗浄時間を短くしたり、洗浄効果を高めたりすることが可能となる。
Further, when ice particles are used as the
本実施形態における洗浄対象物は、上記したメタルマスク16に限定されない。要するに、貫通孔を有する部材であれば、貫通孔に対する洗浄剤の通過性を高め、洗浄対象物に付着した付着物を除去する能力を高めることが可能である。
The object to be cleaned in the present embodiment is not limited to the
また、本実施形態における洗浄対象物は、はんだペーストに限らず、導電性ペースト塗料や研磨用ペースト等を洗浄対象物から除去する場合に適用できる。たとえば、導電性ペースト塗料では、はんだペーストと物性が類似するものがある。また、研磨用ペーストでは、硬質の研磨剤(ダイヤモンド粉等)を含有するものがある。このような導電性ペースト塗料や研磨用ペースト等を洗浄対象物から除去する場合に、本実施形態における洗浄対象物は、貫通孔から付着物を除去する能力が高い。 In addition, the object to be cleaned in the present embodiment is not limited to the solder paste, and can be applied when removing conductive paste paint, polishing paste, and the like from the object to be cleaned. For example, some conductive paste paints have similar physical properties to solder paste. Some polishing pastes contain a hard abrasive (diamond powder or the like). When removing such conductive paste paint or polishing paste from the object to be cleaned, the object to be cleaned in the present embodiment has a high ability to remove deposits from the through holes.
以上、本願の開示する技術の実施形態について説明したが、本願の開示する技術は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。 The embodiments of the technology disclosed in the present application have been described above. However, the technology disclosed in the present application is not limited to the above, and can be variously modified and implemented in a range not departing from the gist of the present invention. Of course.
本明細書は、以上の実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。 The present specification further discloses the following supplementary notes regarding the above embodiments.
(付記1)
貫通孔を有する洗浄対象物に噴射口から洗浄剤を噴射する噴射口部材と、
前記洗浄対象物に対し前記噴射口と反対側に設けられた吸引口で前記洗浄剤を吸引する吸引口部材と、
を有する洗浄装置。
(付記2)
前記洗浄剤に粒状体を含ませる粒状体生成装置を有する付記1に記載の洗浄装置。
(付記3)
前記洗浄対象物が設置される設置部を有すると共に前記噴射口部材及び前記吸引口部材が取り付けられたチャンバを有する付記1又は付記2に記載の洗浄装置。
(付記4)
前記貫通孔の貫通方向に対し前記洗浄剤の移動方向を傾斜させる傾斜部材を有する付記1〜付記3のいずれか1つに記載の洗浄装置。
(付記5)
前記傾斜部材が、前記洗浄剤にエアを噴射し渦巻を発生させるエア噴射部材を有する付記4に記載の洗浄装置。
(付記6)
前記エア噴射部材が前記吸引口の内部に設けられる付記5に記載の洗浄装置。
(付記7)
前記傾斜部材が前記チャンバ内に設けられる付記3を引用する付記5に記載の洗浄装置。
(付記8)
前記傾斜部材が、前記貫通孔の貫通方向に対し傾斜した傾斜面を有する付記4に記載の洗浄装置。
(付記9)
前記チャンバの内面の一部が前記傾斜面とされている付記3を引用する付記8に記載の洗浄装置。
(付記10)
前記傾斜面が複数形成され、隣接する傾斜面では傾斜方向が異なっている付記8又は付記9に記載の洗浄装置。
(付記11)
前記洗浄対象物に対し前記吸引口と反対側に設けられた反対側吸引口で前記洗浄剤を吸引する反対側吸引口部材を有する付記1〜付記10のいずれか1つに記載の洗浄装置。
(付記12)
前記吸引口と前記反対側吸引口とで吸引タイミングが異なる付記11に記載の洗浄装置。
(付記13)
前記吸引口と前記反対側吸引口の少なくとも一方から吸引した前記洗浄剤を回収する回収装置を有する付記11に記載の洗浄装置。
(付記14)
前記反対側吸引口が前記洗浄対象物よりも下方にある付記13に記載の洗浄装置。
(付記15)
前記回収装置は、前記反対側吸引部材が吸引した前記洗浄剤を回収する付記14に記載の洗浄装置。
(付記16)
前記回収装置で回収された前記洗浄剤から、前記洗浄対象物から除去された付着物の少なくとも一部を分離する分離部材を有する付記13〜付記15のいずれか1つに記載の洗浄装置。
(付記17)
前記分離部材で前記付着物の少なくとも一部が分離された前記洗浄剤を前記噴射口に戻す戻し部材を有する付記16に記載の洗浄装置。
(付記18)
貫通孔を有する洗浄対象物に噴射口から洗浄剤を噴射し、
前記洗浄対象物に対し前記噴射口と反対側に設けられた吸引口で前記洗浄剤を吸引する洗浄方法。
(Appendix 1)
An injection port member for injecting a cleaning agent from an injection port onto a cleaning object having a through hole;
A suction port member for sucking the cleaning agent with a suction port provided on the side opposite to the ejection port with respect to the cleaning object;
Having a cleaning device.
(Appendix 2)
The cleaning apparatus according to supplementary note 1, including a granular material generating apparatus that includes granular material in the cleaning agent.
(Appendix 3)
The cleaning apparatus according to appendix 1 or appendix 2, wherein the cleaning apparatus includes an installation portion in which the object to be cleaned is installed and a chamber in which the ejection port member and the suction port member are attached.
(Appendix 4)
The cleaning apparatus according to any one of appendix 1 to
(Appendix 5)
The cleaning apparatus according to
(Appendix 6)
The cleaning device according to appendix 5, wherein the air injection member is provided inside the suction port.
(Appendix 7)
The cleaning apparatus according to appendix 5, wherein the inclined member is cited in
(Appendix 8)
The cleaning apparatus according to
(Appendix 9)
The cleaning apparatus according to supplementary note 8, which cites
(Appendix 10)
The cleaning apparatus according to appendix 8 or appendix 9, wherein a plurality of the inclined surfaces are formed and the inclined directions are different between adjacent inclined surfaces.
(Appendix 11)
The cleaning apparatus according to any one of appendices 1 to 10, further including an opposite suction port member that sucks the cleaning agent with an opposite suction port provided on the opposite side to the suction port with respect to the cleaning object.
(Appendix 12)
The cleaning device according to appendix 11, wherein the suction timing is different between the suction port and the opposite suction port.
(Appendix 13)
The cleaning apparatus according to claim 11, further comprising a recovery device that recovers the cleaning agent sucked from at least one of the suction port and the opposite suction port.
(Appendix 14)
The cleaning apparatus according to appendix 13, wherein the opposite suction port is below the object to be cleaned.
(Appendix 15)
15. The cleaning device according to
(Appendix 16)
The cleaning device according to any one of supplementary notes 13 to 15, further comprising a separation member that separates at least a part of the deposit removed from the cleaning object from the cleaning agent recovered by the recovery device.
(Appendix 17)
The cleaning apparatus according to
(Appendix 18)
Injecting the cleaning agent from the injection port to the object to be cleaned having the through hole,
A cleaning method in which the cleaning agent is sucked with a suction port provided on the side opposite to the ejection port with respect to the cleaning object.
12 洗浄装置
14 チャンバ
16 メタルマスク(洗浄対象物)
18 貫通孔
24 洗浄剤噴射ノズル(噴射口部材)
26 噴射口
28 吸引ノズル(吸引口部材)
30 吸引口
34 エア噴射ノズル(エア噴射部材、傾斜部材)
54 粒状体生成装置
58 フィルタ(分離部材)
60 貯留タンク(分離部材)
66 回収装置
68 回収装置
82 反対側吸引ノズル(反対側吸引部材)
84 反対側吸引口
96 反射部材(傾斜部材)
98 傾斜面
104 洗浄剤
12
18 Through-
26
30
54
60 Storage tank (separation member)
66 Recovery device 68
84 Opposite
98
Claims (6)
前記洗浄対象物に対し前記噴射口と反対側に設けられた吸引口で前記洗浄剤を吸引する吸引口部材と、
を有する洗浄装置。 An injection port member for injecting a cleaning agent from an injection port onto a cleaning object having a through hole;
A suction port member for sucking the cleaning agent with a suction port provided on the side opposite to the ejection port with respect to the cleaning object;
Having a cleaning device.
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