JP2010066262A - 磁界の空間成分を測定する磁界センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気抵抗性の層構造のXMR効果を利用する少なくとも1つの磁界センサを用いて、層構造に対して垂直であるか、平行ではない、検出すべき磁界の既存の別の成分を、磁束線が磁界の水平成分を形成するように磁束コンセントレータの縁部領域において磁束線が偏向されるように層構造上に少なくとも1つの磁束コンセントレータが配置されていることによって検出する。
【選択図】図1
Description
Claims (14)
- 磁界の空間成分を測定する磁界センサ装置において、
磁気抵抗性の層構造のXMR効果を利用する少なくとも1つの磁界センサ(4)を用いて、前記層構造に対して垂直であるか、平行ではない、検出すべき前記磁界の既存の別の成分を、磁束線(3)が前記磁界の水平成分を形成するように磁束コンセントレータ(1)の縁部領域において前記磁束線(3)が偏向されるように前記層構造上に少なくとも1つの磁束コンセントレータ(1)が配置されていることによって検出することを特徴とする、磁界センサ装置。 - 前記磁気抵抗性の層構造は薄い金属性の層から構成されており、該薄い金属性の層は基板上に被着されている、請求項1記載の磁界センサ装置。
- 前記基板は半導体チップ(2)である、請求項2記載の磁界センサ装置。
- 少なくとも2つの磁界センサ(4)が前記磁束コンセントレータ(1)の縁部領域に配置されており、且つ、少なくとも2つのオーム抵抗(7,8)と測定ブリッジ回路において結線されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の磁界センサ装置。
- 前記少なくとも2つの磁界センサ(4)は外側の環に配置されており、該環の内側においてはディスク状の前記磁極コンセントレータ(1)の下に、前記オーム抵抗(7,8)の代わりに少なくとも2つの別の磁界センサ(5)が配置されている、請求項4記載の磁界センサ装置。
- 前記磁気抵抗性の層構造の基準層磁化(9)は、該基準層磁化(9)が前記磁束コンセントレータの外側の境界部と垂直に交差し、有利には、ディスク状の磁束コンセントレータ(1)の場合には該磁束コンセントレータ(1)の中心点に向かって示されるか、中心点から放射状に示されるように配向されている、請求項1から5までのいずれか1項記載の磁界センサ装置。
- 前記磁界センサ(4,5)はAMRセンサである、請求項1から6までのいずれか1項記載の磁界センサ装置。
- 前記磁界センサ(4,5)はGMRセンサである、請求項1から6までのいずれか1項記載の磁界センサ装置。
- 前記磁界センサ(4,5)はTMRセンサである、請求項1から6までのいずれか1項記載の磁界センサ装置。
- 別の磁界センサを用いて前記磁界の別の空間成分が検出される、請求項1から9までのいずれか1項記載の磁界センサ装置。
- 前記磁束コンセントレータ(1)は軟磁性の磁束コンセントレータである、請求項1から10までのいずれか1項記載の磁界センサ装置。
- コイル装置を用いることにより、前記磁界センサ(4,5)によって形成されている環状抵抗の上方に放射状の磁界が形成されることによって基準層磁化(9)を達成する、請求項1から11までのいずれか1項記載の磁界センサ装置。
- 磁気抵抗性の層を形成した後に、レーザビームによる局所的な加熱により外側のフィールドに基準層磁化(9)の書き込みを行うことにより基準層磁化(9)を達成し、半導体チップ(2)は一定の均質な磁界において回転されるか、磁界が回転され、それと同時にレーザビームが環状抵抗上で回転される、請求項1から11までのいずれか1項記載の磁界センサ装置。
- 磁界センサ装置が磁界の3次元検出において、例えばコンパスの用途において使用される、請求項1から13までのいずれか1項記載の磁界センサ装置の使用。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014116953A1 (de) * | 2014-11-19 | 2016-05-19 | Sensitec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Magnetfeldsensorvorrichtung sowie diesbezüglicheMagnetfeldsensorvorrichtung |
JP2016529492A (ja) * | 2013-07-22 | 2016-09-23 | ゼンジテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングSensitec GmbH | 多成分磁場センサー |
JP2016537629A (ja) * | 2013-11-15 | 2016-12-01 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 電流が貫流する一次導体における電流強度を測定するための装置、配置構造、および方法 |
WO2017209169A1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
WO2019035269A1 (ja) * | 2017-08-16 | 2019-02-21 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
CN110036691A (zh) * | 2016-12-09 | 2019-07-19 | 阿莫善斯有限公司 | 用于电磁炉的发热模块及包括其的电磁炉 |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT509725B1 (de) * | 2010-09-01 | 2011-11-15 | Kral Ag | Durchflussmesseinrichtung |
US8761987B2 (en) * | 2010-10-05 | 2014-06-24 | Checkpoint Llc | Automatic guided vehicle sensor system and method of using same |
US11506732B2 (en) * | 2010-10-20 | 2022-11-22 | Infineon Technologies Ag | XMR sensors with serial segment strip configurations |
US9000763B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-04-07 | Infineon Technologies Ag | 3-D magnetic sensor |
DE102011086368A1 (de) * | 2011-11-15 | 2013-05-16 | Robert Bosch Gmbh | Positionserkennung für einen Läufer eines Antriebsmotors |
DE102011086371A1 (de) * | 2011-11-15 | 2013-05-16 | Robert Bosch Gmbh | Steuermodul für einen Antriebsmotor |
US9470764B2 (en) | 2011-12-05 | 2016-10-18 | Hercules Technology Growth Capital, Inc. | Magnetic field sensing apparatus and methods |
US9116198B2 (en) | 2012-02-10 | 2015-08-25 | Memsic, Inc. | Planar three-axis magnetometer |
US9000760B2 (en) * | 2012-02-27 | 2015-04-07 | Everspin Technologies, Inc. | Apparatus and method for resetting a Z-axis sensor flux guide |
US9244134B2 (en) * | 2013-01-15 | 2016-01-26 | Infineon Technologies Ag | XMR-sensor and method for manufacturing the XMR-sensor |
US9341684B2 (en) | 2013-03-13 | 2016-05-17 | Plures Technologies, Inc. | Magnetic field sensing apparatus and methods |
CN103267520B (zh) * | 2013-05-21 | 2016-09-14 | 江苏多维科技有限公司 | 一种三轴数字指南针 |
CN104656045B (zh) | 2013-11-17 | 2018-01-09 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁场感测模块、测量方法及磁场感测模块的制作方法 |
DE102014203317A1 (de) * | 2014-02-25 | 2015-08-27 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung, Herstellungsverfahren für eine Sensorvorrichtung mit mindestens einem Magnetkern und Verfahren zum Ermitteln einer Feldstärke eines Magnetfelds in mindestens einer Raumrichtung |
US10247790B2 (en) * | 2015-03-12 | 2019-04-02 | Tdk Corporation | Magnetic sensor |
US9752877B2 (en) | 2015-04-23 | 2017-09-05 | Apple Inc. | Electronic device having electronic compass with demagnetizing coil and annular flux concentrating yokes |
US11647678B2 (en) | 2016-08-23 | 2023-05-09 | Analog Devices International Unlimited Company | Compact integrated device packages |
US10416244B2 (en) | 2016-09-28 | 2019-09-17 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University | Three-dimensional imaging utilizing low frequency magnetic fields |
US10697800B2 (en) * | 2016-11-04 | 2020-06-30 | Analog Devices Global | Multi-dimensional measurement using magnetic sensors and related systems, methods, and integrated circuits |
JP6652108B2 (ja) * | 2017-05-23 | 2020-02-19 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
US10261138B2 (en) | 2017-07-12 | 2019-04-16 | Nxp B.V. | Magnetic field sensor with magnetic field shield structure and systems incorporating same |
US10718825B2 (en) | 2017-09-13 | 2020-07-21 | Nxp B.V. | Stray magnetic field robust magnetic field sensor and system |
EP3520695A3 (en) | 2018-01-31 | 2019-11-06 | Analog Devices, Inc. | Electronic devices |
US10816363B2 (en) | 2018-02-27 | 2020-10-27 | Nxp B.V. | Angular sensor system and method of stray field cancellation |
US10670425B2 (en) | 2018-03-30 | 2020-06-02 | Nxp B.V. | System for measuring angular position and method of stray field cancellation |
US11009562B2 (en) * | 2018-08-03 | 2021-05-18 | Isentek Inc. | Magnetic field sensing apparatus |
US11486742B2 (en) | 2019-08-16 | 2022-11-01 | Nxp B.V. | System with magnetic field shield structure |
CN111624525B (zh) * | 2020-05-26 | 2022-06-14 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种利用磁性应力调控抑制磁噪声的一体化三轴磁传感器 |
US11422167B2 (en) * | 2020-07-17 | 2022-08-23 | Texas Instruments Incorporated | Integrated current sensor with magnetic flux concentrators |
US11719773B2 (en) | 2021-07-14 | 2023-08-08 | Globalfoundries U.S. Inc. | Magnetic field sensor with MTJ elements arranged in series |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0875403A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-22 | Teikoku Tsushin Kogyo Co Ltd | 微小位置変化量検出器 |
JP2002071381A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-03-08 | Sentron Ag | 磁場方向検出センサ |
JP2004257995A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 3次元磁気検出装置および半導体装置 |
JP2005534913A (ja) * | 2002-08-01 | 2005-11-17 | セントロン エージー | 磁場センサ−と磁場センサ−の操作方法 |
JP2006003116A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ |
JP2008525789A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 磁気センサに印加された磁場を評価する方法及び装置 |
JP2009276159A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Sae Magnetics (Hk) Ltd | 磁気センサ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6166539A (en) * | 1996-10-30 | 2000-12-26 | Regents Of The University Of Minnesota | Magnetoresistance sensor having minimal hysteresis problems |
US6175229B1 (en) * | 1999-03-09 | 2001-01-16 | Eaton Corporation | Electrical current sensing apparatus |
DE10150950C1 (de) | 2001-10-16 | 2003-06-18 | Fraunhofer Ges Forschung | Kompakter vertikaler Hall-Sensor |
TWI307977B (en) | 2005-03-17 | 2009-03-21 | Yamaha Corp | Three-axis magnetic sensor and manufacturing method therefor |
WO2006134520A1 (en) * | 2005-06-13 | 2006-12-21 | Nxp B.V. | Magnetic field sensor device |
EP1746426B1 (de) * | 2005-07-22 | 2019-03-06 | Melexis Technologies NV | Stromsensor |
DE102006022336B8 (de) * | 2006-02-28 | 2015-12-31 | Infineon Technologies Ag | Magnetfeldsensor und Sensoranordnung mit demselben |
-
2008
- 2008-09-08 DE DE102008041859A patent/DE102008041859A1/de not_active Withdrawn
-
2009
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0875403A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-22 | Teikoku Tsushin Kogyo Co Ltd | 微小位置変化量検出器 |
JP2002071381A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-03-08 | Sentron Ag | 磁場方向検出センサ |
JP2005534913A (ja) * | 2002-08-01 | 2005-11-17 | セントロン エージー | 磁場センサ−と磁場センサ−の操作方法 |
JP2004257995A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 3次元磁気検出装置および半導体装置 |
JP2006003116A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ |
JP2008525789A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 磁気センサに印加された磁場を評価する方法及び装置 |
JP2009276159A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Sae Magnetics (Hk) Ltd | 磁気センサ |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016529492A (ja) * | 2013-07-22 | 2016-09-23 | ゼンジテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングSensitec GmbH | 多成分磁場センサー |
KR101826188B1 (ko) | 2013-07-22 | 2018-02-06 | 젠자이테크 게엠베하 | 다성분 자기장 센서 |
JP2016537629A (ja) * | 2013-11-15 | 2016-12-01 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 電流が貫流する一次導体における電流強度を測定するための装置、配置構造、および方法 |
US10018656B2 (en) | 2013-11-15 | 2018-07-10 | Epcos Ag | Device, arrangement, and method for measuring a current intensity in a primary conductor through which current flows |
DE102014116953B4 (de) | 2014-11-19 | 2022-06-30 | Sensitec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Magnetfeldsensorvorrichtung, sowie diesbezüglicheMagnetfeldsensorvorrichtung |
DE102014116953A1 (de) * | 2014-11-19 | 2016-05-19 | Sensitec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Magnetfeldsensorvorrichtung sowie diesbezüglicheMagnetfeldsensorvorrichtung |
US10151806B2 (en) | 2014-11-19 | 2018-12-11 | Sensitec Gmbh | Method and apparatus for manufacturing a magnetic sensor device, and corresponding magnetic sensor device |
WO2017209169A1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
CN110036691A (zh) * | 2016-12-09 | 2019-07-19 | 阿莫善斯有限公司 | 用于电磁炉的发热模块及包括其的电磁炉 |
CN110036691B (zh) * | 2016-12-09 | 2021-08-17 | 阿莫善斯有限公司 | 用于电磁炉的发热模块及包括其的电磁炉 |
CN110998349A (zh) * | 2017-08-16 | 2020-04-10 | 株式会社村田制作所 | 磁传感器 |
CN110998349B (zh) * | 2017-08-16 | 2021-11-16 | 株式会社村田制作所 | 磁传感器 |
WO2019035269A1 (ja) * | 2017-08-16 | 2019-02-21 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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DE102008041859A1 (de) | 2010-03-11 |
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JP2010066262A5 (ja) | ||
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